JPH0762542A - 表面被覆切削工具の製造法 - Google Patents
表面被覆切削工具の製造法Info
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- JPH0762542A JPH0762542A JP23562593A JP23562593A JPH0762542A JP H0762542 A JPH0762542 A JP H0762542A JP 23562593 A JP23562593 A JP 23562593A JP 23562593 A JP23562593 A JP 23562593A JP H0762542 A JPH0762542 A JP H0762542A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 密着性に優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を有する
表面被覆切削工具の製造法を提供する。 【構成】 基体表面を研摩したのち、温度：７００〜９
００℃、圧力：３０〜２００Torr、反応ガス組成：４＜
ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮ≦１３の条件の化学蒸着法によ
り、基体表面にＸ線回折における（４２２）面に最高ピ
ーク強度を示す密着性に優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を形
成することを特徴とする表面被覆切削工具の製造法。
表面被覆切削工具の製造法を提供する。 【構成】 基体表面を研摩したのち、温度：７００〜９
００℃、圧力：３０〜２００Torr、反応ガス組成：４＜
ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮ≦１３の条件の化学蒸着法によ
り、基体表面にＸ線回折における（４２２）面に最高ピ
ーク強度を示す密着性に優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を形
成することを特徴とする表面被覆切削工具の製造法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、炭化タングステン
（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン
（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットからなる基体の
焼肌面の一部または全部を研摩し、その研摩面に従来よ
りも一層密着性の優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を形成し、
使用寿命の長い表面被覆切削工具を製造する方法に関す
るものである。
（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン
（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットからなる基体の
焼肌面の一部または全部を研摩し、その研摩面に従来よ
りも一層密着性の優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を形成し、
使用寿命の長い表面被覆切削工具を製造する方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】ＷＣ基超硬合金やＴｉＣＮ基サーメット
を基体とし、その表面にさらに化学蒸着法によりＴｉＣ
Ｎ硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具の製造法
は知られており、このＴｉＣＮ硬質被覆層を形成するこ
とにより使用寿命が長くなることも知られている。
を基体とし、その表面にさらに化学蒸着法によりＴｉＣ
Ｎ硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具の製造法
は知られており、このＴｉＣＮ硬質被覆層を形成するこ
とにより使用寿命が長くなることも知られている。
【０００３】上記ＷＣ基超硬合金やＴｉＣＮ基サーメッ
トからなる基体の上にＴｉＣＮ硬質被覆層を化学蒸着す
るには、 温度：９１０〜９６０℃、 圧力：３０〜２００Torr、 反応ガス組成：１≦ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮ≦４ の条件で行なうことも知られている。
トからなる基体の上にＴｉＣＮ硬質被覆層を化学蒸着す
るには、 温度：９１０〜９６０℃、 圧力：３０〜２００Torr、 反応ガス組成：１≦ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮ≦４ の条件で行なうことも知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年の切削加工
の高速化および省力化に対する要求は厳しく、これに伴
ない高速切削や、高切込みおよび高送りなどの重切削が
強いられる傾向にあるが、上記の従来表面被覆切削工具
の場合、このような苛酷な条件下での切削では、表面被
覆層の基体表面に対する密着性が不十分であるために、
剥離が発生し易く、比較的短時間で使用寿命に至るのが
現状である。
の高速化および省力化に対する要求は厳しく、これに伴
ない高速切削や、高切込みおよび高送りなどの重切削が
強いられる傾向にあるが、上記の従来表面被覆切削工具
の場合、このような苛酷な条件下での切削では、表面被
覆層の基体表面に対する密着性が不十分であるために、
剥離が発生し易く、比較的短時間で使用寿命に至るのが
現状である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、従来のＴｉＣＮ硬質被覆層より
も一層密着性および耐摩耗性に優れたＴｉＣＮ硬質被覆
層を形成し、表面被覆切削工具の使用寿命を延ばすべく
研究を行った結果、ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サ
ーメットからなる基体の焼肌面の一部または全部を研摩
し、この一部または全部を研摩した基体表面に、 温度：７００〜９００℃、 圧力：３０〜２００Torr、 反応ガス組成：４＜ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮ≦１３、 とした条件の化学蒸着法によりＴｉＣＮ硬質被覆層を形
成すると、上記基体の研摩面にＸ線回折における（４２
２）面に最高ピーク強度を示すＴｉＣＮ硬質被覆層が形
成され、この（４２２）面に最高ピーク強度を示すＴｉ
ＣＮ硬質被覆層は、従来の条件の化学蒸着法により形成
されるＸ線回折における最高ピーク強度が（２２０）
面、（１１１）面または（２００）面に現われるＴｉＣ
Ｎ硬質被覆層に比べて密着性が著しく高くなり、Ｘ線回
折における（４２２）面に最高ピーク強度を示すＴｉＣ
Ｎ硬質被覆層を基体表面に形成して得られた表面被覆切
削工具は、従来のＴｉＣＮ硬質被覆層を形成した表面被
覆切削工具に比べて、すぐれた切削性能を長期に亘って
発揮するという研究結果が得られたのである。
上述のような観点から、従来のＴｉＣＮ硬質被覆層より
も一層密着性および耐摩耗性に優れたＴｉＣＮ硬質被覆
層を形成し、表面被覆切削工具の使用寿命を延ばすべく
研究を行った結果、ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サ
ーメットからなる基体の焼肌面の一部または全部を研摩
し、この一部または全部を研摩した基体表面に、 温度：７００〜９００℃、 圧力：３０〜２００Torr、 反応ガス組成：４＜ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮ≦１３、 とした条件の化学蒸着法によりＴｉＣＮ硬質被覆層を形
成すると、上記基体の研摩面にＸ線回折における（４２
２）面に最高ピーク強度を示すＴｉＣＮ硬質被覆層が形
成され、この（４２２）面に最高ピーク強度を示すＴｉ
ＣＮ硬質被覆層は、従来の条件の化学蒸着法により形成
されるＸ線回折における最高ピーク強度が（２２０）
面、（１１１）面または（２００）面に現われるＴｉＣ
Ｎ硬質被覆層に比べて密着性が著しく高くなり、Ｘ線回
折における（４２２）面に最高ピーク強度を示すＴｉＣ
Ｎ硬質被覆層を基体表面に形成して得られた表面被覆切
削工具は、従来のＴｉＣＮ硬質被覆層を形成した表面被
覆切削工具に比べて、すぐれた切削性能を長期に亘って
発揮するという研究結果が得られたのである。
【０００６】この発明は、かかる研究結果にもとづいて
なされたものであって、焼結して得られたＷＣ基超硬合
金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる基体焼肌面の一
部または全部を研摩し、この研摩面にＴｉＣＮ硬質被覆
層を形成することにより、Ｘ線回折における（４２２）
面に最高ピーク強度を示すＴｉＣＮ硬質被覆層を形成す
る表面被覆切削工具の製造法に特徴を有するものであ
る。
なされたものであって、焼結して得られたＷＣ基超硬合
金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる基体焼肌面の一
部または全部を研摩し、この研摩面にＴｉＣＮ硬質被覆
層を形成することにより、Ｘ線回折における（４２２）
面に最高ピーク強度を示すＴｉＣＮ硬質被覆層を形成す
る表面被覆切削工具の製造法に特徴を有するものであ
る。
【０００７】上記Ｘ線回折による（４２２）面に最高ピ
ーク強度を示す密着性の優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を形
成するには、（１） 基体の焼肌面が研摩されているこ
と、（２） 化学蒸着条件として、反応温度が７００〜
９００℃と相対的に低く、さらに反応ガス組成のＴｉＣ
ｌ4 ：ＣＨ3 ＣＮの比が高いこと、が必要である。
ーク強度を示す密着性の優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を形
成するには、（１） 基体の焼肌面が研摩されているこ
と、（２） 化学蒸着条件として、反応温度が７００〜
９００℃と相対的に低く、さらに反応ガス組成のＴｉＣ
ｌ4 ：ＣＨ3 ＣＮの比が高いこと、が必要である。
【０００８】上記基体の表面が焼肌面のままの状態で上
記条件の化学蒸着を行っても、Ｘ線回折における（４２
２）面に最高ピークを示す密着性の優れたＴｉＣＮ硬質
被覆層は形成されない。
記条件の化学蒸着を行っても、Ｘ線回折における（４２
２）面に最高ピークを示す密着性の優れたＴｉＣＮ硬質
被覆層は形成されない。
【０００９】また、基体表面を研摩しても、化学蒸着条
件の温度が９００℃を越えると、Ｘ線回折における（２
２０）面、（１１１）面または（２００）面に最高ピー
ク強度を示すＴｉＣＮ硬質被覆層が形成され、密着性が
低下して好ましくなく、一方、７００℃未満であるとＴ
ｉＣｌ4 に由来する塩素が膜中に取り込まれ、膜の強度
が低下するので好ましくない。したがって、この発明の
化学蒸着条件の温度は７００〜９００℃に定めた。
件の温度が９００℃を越えると、Ｘ線回折における（２
２０）面、（１１１）面または（２００）面に最高ピー
ク強度を示すＴｉＣＮ硬質被覆層が形成され、密着性が
低下して好ましくなく、一方、７００℃未満であるとＴ
ｉＣｌ4 に由来する塩素が膜中に取り込まれ、膜の強度
が低下するので好ましくない。したがって、この発明の
化学蒸着条件の温度は７００〜９００℃に定めた。
【００１０】さらに、上記化学蒸着において使用する反
応ガス組成は、ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3ＣＮの値が４を越え
ることが必要であり、４以下であると（２２０）面、
（１１１）面、または（２００）面に最高ピーク強度を
示すＴｉＣＮ硬質被覆層が形成されるので密着性が低下
し、一方、ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮの値が１３を越える
と膜の生成速度が著しく低下するので、実際上の生産に
おいては好ましくない。
応ガス組成は、ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3ＣＮの値が４を越え
ることが必要であり、４以下であると（２２０）面、
（１１１）面、または（２００）面に最高ピーク強度を
示すＴｉＣＮ硬質被覆層が形成されるので密着性が低下
し、一方、ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮの値が１３を越える
と膜の生成速度が著しく低下するので、実際上の生産に
おいては好ましくない。
【００１１】したがって、ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮの値
は４＜ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮ≦１３となるように定め
た。
は４＜ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮ≦１３となるように定め
た。
【００１２】このようにして得られたＸ線回折による
（４２２）面に最高ピーク強度を示すＴｉＣＮ硬質被覆
層は、基体に対する密着性が優れているために、複層か
らなる硬質被覆層の下地層として使用することもでき
る。
（４２２）面に最高ピーク強度を示すＴｉＣＮ硬質被覆
層は、基体に対する密着性が優れているために、複層か
らなる硬質被覆層の下地層として使用することもでき
る。
【００１３】なお、この発明の表面被覆切削工具の製造
法を実施するに際し、基体の焼肌面を研摩して得られた
研摩面は鏡面であるほどＸ線回折による（４２２）面に
最高ピーク強度を示すＴｉＣＮ硬質層が得られやすく、
研摩面の表面荒さは７０Ｓ以下とすることが好ましい。
法を実施するに際し、基体の焼肌面を研摩して得られた
研摩面は鏡面であるほどＸ線回折による（４２２）面に
最高ピーク強度を示すＴｉＣＮ硬質層が得られやすく、
研摩面の表面荒さは７０Ｓ以下とすることが好ましい。
【００１４】
実施例１ すくい面寸法：１２．７０mm×１２．７０mm、厚さ：
３．１８mm、逃げ角度：１１度、コーナー半径：０．８
mmおよびチャンファーホーニングの刃先部を有し、焼肌
面を有するＷＣ基超硬合金基体ａ（成分組成：ＷＣ−１
０％Ｃｏ）を作製した。
３．１８mm、逃げ角度：１１度、コーナー半径：０．８
mmおよびチャンファーホーニングの刃先部を有し、焼肌
面を有するＷＣ基超硬合金基体ａ（成分組成：ＷＣ−１
０％Ｃｏ）を作製した。
【００１５】このＷＣ基超硬合金基体ａの逃げ面、すく
い面および刃先部を表１〜表２に示される表面粗さとな
るように研摩してＷＣ基超硬合金基体Ａ−１〜Ａ−１０
を作製した。
い面および刃先部を表１〜表２に示される表面粗さとな
るように研摩してＷＣ基超硬合金基体Ａ−１〜Ａ−１０
を作製した。
【００１６】上記ＷＣ基超硬合金基体Ａ−１〜Ａ−１０
および無研摩のＷＣ基超硬合金基体ａを通常の化学蒸着
装置に装入し、表１〜表２に示される条件で平均層厚：
４μｍのＴｉＣＮ硬質被覆層を形成することにより本発
明表面被覆切削工具の製造法（以下、本発明法という）
１〜１０、比較表面被覆切削工具の製造法（以下、比較
法という）１〜７および従来表面被覆切削工具の製造法
１〜３を実施した。上記本発明法１〜１０、比較法１〜
７および従来法１〜３で得られた表面被覆切削工具のＴ
ｉＣＮ硬質被覆層をＸ線回折することにより最大ピーク
強度結晶面を測定し、ついで、これら表面被覆切削工具
を用い、 被削材：ＳＮＣＭ４３９（硬さ：ＨB ２７０）、 切削速度：２００ｍ／min 、 切り込み：２．０mm、 送り：０．３mm／分（単刃切削）、 切削時間：５０分、 の条件で乾式フライス切削試験を行ない、ＴｉＣＮ硬質
被覆層の状況を観察し、これら測定および観察結果を表
１〜表２に示した。
および無研摩のＷＣ基超硬合金基体ａを通常の化学蒸着
装置に装入し、表１〜表２に示される条件で平均層厚：
４μｍのＴｉＣＮ硬質被覆層を形成することにより本発
明表面被覆切削工具の製造法（以下、本発明法という）
１〜１０、比較表面被覆切削工具の製造法（以下、比較
法という）１〜７および従来表面被覆切削工具の製造法
１〜３を実施した。上記本発明法１〜１０、比較法１〜
７および従来法１〜３で得られた表面被覆切削工具のＴ
ｉＣＮ硬質被覆層をＸ線回折することにより最大ピーク
強度結晶面を測定し、ついで、これら表面被覆切削工具
を用い、 被削材：ＳＮＣＭ４３９（硬さ：ＨB ２７０）、 切削速度：２００ｍ／min 、 切り込み：２．０mm、 送り：０．３mm／分（単刃切削）、 切削時間：５０分、 の条件で乾式フライス切削試験を行ない、ＴｉＣＮ硬質
被覆層の状況を観察し、これら測定および観察結果を表
１〜表２に示した。
【００１７】
【表１】
【００１８】
【表２】
【００１９】実施例２ 実施例１で作製したＷＣ基超硬合金基体ａと全く同一形
状同一寸法の焼肌面を有するＴｉＣＮ基サーメット基体
ｂ（成分組成：ＴｉＣＮ−１０％ＷＣ−１０％ＴａＣ−
２％ＮｂＣ−１０％Ｃｏ−１０％Ｎｉ）を作製し、この
ＴｉＣＮ基サーメット基体ｂの逃げ面、すくい面および
切刃部を研摩して表３〜表４に示される表面粗さとし、
ＴｉＣＮ基サーメット基体Ｂ−１〜Ｂ−１０を作製し
た。
状同一寸法の焼肌面を有するＴｉＣＮ基サーメット基体
ｂ（成分組成：ＴｉＣＮ−１０％ＷＣ−１０％ＴａＣ−
２％ＮｂＣ−１０％Ｃｏ−１０％Ｎｉ）を作製し、この
ＴｉＣＮ基サーメット基体ｂの逃げ面、すくい面および
切刃部を研摩して表３〜表４に示される表面粗さとし、
ＴｉＣＮ基サーメット基体Ｂ−１〜Ｂ−１０を作製し
た。
【００２０】上記ＴｉＣＮ基サーメット基体Ｂ−１〜Ｂ
−１０および無研摩のＴｉＣＮ基サーメット基体ｂを通
常の化学蒸着装置に装入し、表３〜表４に示される条件
で平均層厚：４μｍのＴｉＣＮ硬質被覆層を形成するこ
とにより本発明法１１〜２０、比較法８〜１４および従
来法４〜６を実施した。
−１０および無研摩のＴｉＣＮ基サーメット基体ｂを通
常の化学蒸着装置に装入し、表３〜表４に示される条件
で平均層厚：４μｍのＴｉＣＮ硬質被覆層を形成するこ
とにより本発明法１１〜２０、比較法８〜１４および従
来法４〜６を実施した。
【００２１】上記本発明法１１〜２０、比較法８〜１４
および従来法４〜６で得られた表面被覆切削工具のＴｉ
ＣＮ硬質被覆層をＸ線回折することにより最大ピーク強
度結晶面を測定し、ついでこれら表面被覆切削工具を用
い、実施例１で行った条件と同一条件にて乾式フライス
切削試験を行ない、ＴｉＣＮ硬質被覆層の状況を観察
し、これら測定および観察結果を表３〜表４に示した。
および従来法４〜６で得られた表面被覆切削工具のＴｉ
ＣＮ硬質被覆層をＸ線回折することにより最大ピーク強
度結晶面を測定し、ついでこれら表面被覆切削工具を用
い、実施例１で行った条件と同一条件にて乾式フライス
切削試験を行ない、ＴｉＣＮ硬質被覆層の状況を観察
し、これら測定および観察結果を表３〜表４に示した。
【００２２】
【表３】
【００２３】
【表４】
【００２４】実施例３ 実施例１の本発明法５および実施例２の本発明法１５で
作製したＸ線回折における最大ピーク強度結晶面が（４
２２）のＴｉＣＮ硬質被覆層を有する表面被覆切削工具
を基体とし、その表面に、 温度：１０２０℃、 圧力：５０torr、 反応ガス組成：８６．２％Ｈ2 −３．５％ＴｉＣｌ4 −
１０．３％ＣＨ4 、 の条件で厚さ：４μｍのＴｉＣ硬質被覆層を形成し、本
発明法２１〜２２を実施した。
作製したＸ線回折における最大ピーク強度結晶面が（４
２２）のＴｉＣＮ硬質被覆層を有する表面被覆切削工具
を基体とし、その表面に、 温度：１０２０℃、 圧力：５０torr、 反応ガス組成：８６．２％Ｈ2 −３．５％ＴｉＣｌ4 −
１０．３％ＣＨ4 、 の条件で厚さ：４μｍのＴｉＣ硬質被覆層を形成し、本
発明法２１〜２２を実施した。
【００２５】一方、実施例１の従来法１で作製したＸ線
回折における最大ピーク強度結晶面が（１１１）のＴｉ
ＣＮ硬質被覆層を有する表面被覆切削工具および実施例
２の従来法４で作製した最大ピーク強度結晶面が（２２
０）のＴｉＣＮ硬質被覆層を有する表面被覆切削工具を
それぞれ基体とし、それら基体の表面に上記条件でＴｉ
Ｃ硬質被覆層を形成し、従来法７〜８を実施した。
回折における最大ピーク強度結晶面が（１１１）のＴｉ
ＣＮ硬質被覆層を有する表面被覆切削工具および実施例
２の従来法４で作製した最大ピーク強度結晶面が（２２
０）のＴｉＣＮ硬質被覆層を有する表面被覆切削工具を
それぞれ基体とし、それら基体の表面に上記条件でＴｉ
Ｃ硬質被覆層を形成し、従来法７〜８を実施した。
【００２６】上記本発明法２１〜２２で得られた表面綜
合複合切削工具および従来法７〜８で得られた表面複合
被覆切削工具を用い、実施例１で行った乾式フライス切
削試験条件と同一条件で乾式フライス切削試験を行な
い、乾式フライス切削試験後の複合被覆硬質層の剥離の
有無を調べたところ、Ｘ線回折における最大ピーク強度
結晶面が（４２２）のＴｉＣＮ硬質被覆層を下地層とし
た本発明法２１〜２２で得られた表面複合被覆切削工具
には剥離が発生しないに対し、最大ピーク強度結晶面が
（１１１）および（２２０）のＴｉＣＮ硬質被覆層を下
地層とした従来法７〜８で得られた表面被覆切削工具に
は剥離が見られた。
合複合切削工具および従来法７〜８で得られた表面複合
被覆切削工具を用い、実施例１で行った乾式フライス切
削試験条件と同一条件で乾式フライス切削試験を行な
い、乾式フライス切削試験後の複合被覆硬質層の剥離の
有無を調べたところ、Ｘ線回折における最大ピーク強度
結晶面が（４２２）のＴｉＣＮ硬質被覆層を下地層とし
た本発明法２１〜２２で得られた表面複合被覆切削工具
には剥離が発生しないに対し、最大ピーク強度結晶面が
（１１１）および（２２０）のＴｉＣＮ硬質被覆層を下
地層とした従来法７〜８で得られた表面被覆切削工具に
は剥離が見られた。
【００２７】
【発明の効果】実施例１〜３に示される結果から明らか
なように、本発明法１〜２２によると、Ｘ線回折（４２
２）面に最大ピーク強度を示す基体に対する密着性のす
ぐれたＴｉＣＮ硬質被覆層を形成することができ、この
（４２２）面に最大ピーク強度を示すＴｉＣＮ硬質被覆
層は複合硬質被覆層の下地層としても有効であるが、こ
の発明の条件から外れた条件の比較法１〜１４および従
来法１〜８で形成したＴｉＣＮ硬質被覆層はＸ線回折に
おける最大ピーク強度が（１１１），（２２０）または
（２００）となって密着性に劣ることがわかる。
なように、本発明法１〜２２によると、Ｘ線回折（４２
２）面に最大ピーク強度を示す基体に対する密着性のす
ぐれたＴｉＣＮ硬質被覆層を形成することができ、この
（４２２）面に最大ピーク強度を示すＴｉＣＮ硬質被覆
層は複合硬質被覆層の下地層としても有効であるが、こ
の発明の条件から外れた条件の比較法１〜１４および従
来法１〜８で形成したＴｉＣＮ硬質被覆層はＸ線回折に
おける最大ピーク強度が（１１１），（２２０）または
（２００）となって密着性に劣ることがわかる。
【００２８】上述のように、この発明によると密着性に
優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を形成することができ、この
密着性に優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を基体表面に形成し
た表面被覆切削工具は従来よりも長期に亘って優れた性
能を発揮し、産業上すぐれた効果をもたらすものであ
る。
優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を形成することができ、この
密着性に優れたＴｉＣＮ硬質被覆層を基体表面に形成し
た表面被覆切削工具は従来よりも長期に亘って優れた性
能を発揮し、産業上すぐれた効果をもたらすものであ
る。
Claims (2)
- 【請求項１】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒
化チタン基サーメットからなる基体の焼肌面の一部また
は全部を研摩し、その研摩した面に、Ｘ線回折における
（４２２）面に最高ピーク強度を示す炭窒化チタン硬質
被覆層を形成することを特徴とする表面被覆切削工具の
製造法。 - 【請求項２】 上記Ｘ線回折における（４２２）面に最
高ピーク強度を示す炭窒化チタン硬質被覆層は、 温度：７００〜９００℃、 圧力：３０〜２００Torr、 反応ガス組成：４＜ＴｉＣｌ4 ／ＣＨ3 ＣＮ≦１３、 の条件で形成することを特徴とする請求項１記載の表面
被覆切削工具の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23562593A JP3278785B2 (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 表面被覆切削工具の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23562593A JP3278785B2 (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 表面被覆切削工具の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0762542A true JPH0762542A (ja) | 1995-03-07 |
| JP3278785B2 JP3278785B2 (ja) | 2002-04-30 |
Family
ID=16988787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23562593A Expired - Lifetime JP3278785B2 (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 表面被覆切削工具の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3278785B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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