JP2014188626A

JP2014188626A - 表面被覆部材

Info

Publication number: JP2014188626A
Application number: JP2013066561A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Fukano; 剛深野
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2013-03-27
Filing date: 2013-03-27
Publication date: 2014-10-06
Anticipated expiration: 2033-03-27
Also published as: JP6039481B2

Abstract

【課題】良好な耐溶着性と耐摩耗性とを兼ね備えた被覆層を具備する切削工具等の表面被覆部材を提供する。
【解決手段】基体５の表面に、ＴｉＣＮ層（８、９、１０、１３）を少なくとも１層を含む多層からなる被覆層６を設け、ＴｉＣＮ層のうちの最も上層の上層ＴｉＣＮ層１３が、ＴｉＣＮ粒状結晶からなるとともに、Ｘ線回折測定において（４２２）ピークが最強の切削インサート１等の表面被覆部材である。
【選択図】図１

Description

本発明は、基体の表面にＴｉＣＮ層を少なくとも１層を含む多層からなる被覆層を設けた表面被覆部材に関する。

表面被覆部材として、超硬合金やサーメット等の基体の表面に被覆層を成膜して、耐摩耗性、摺動性、耐欠損性を向上させたコーティング超硬合金が広く使われている。

例えば、特許文献１では、超硬合金基体の表面に、ＴｉＮやＴｉＣＮの下部層とＡｌ_２Ｏ_３層の上部層を３〜３０μｍ厚みで成膜した後、ＴｉＯ_Ｖ層の最表面下地層を０．１〜３μｍと、ＴｉＣＮＯ（Ｏは前記最表面下地層から拡散した酸素）層を０．０５〜２μｍとの順に積層した構成の硬質被覆層を形成した切削工具が開示され、ステンレス鋼や軟鋼などの粘性の高い被削材の切粉に対する親和性が低くて、耐溶着性に優れていることが記載されている。

また、特許文献２や特許文献３では、上記構成に類似する被覆層を成膜した後で、被覆層の表面を研磨加工して被覆層の表面を滑らかにする方法が開示されている。

特開２００１−０７１２０３号公報特開２００８−０５５５８１号公報特開２００６−２９７５８５号公報

しかしながら、特許文献１の構成では、被覆層の耐溶着性は向上するものの、最表層は摩耗しやすくて早期に摩滅してしまい、最表層のさらなる改善が求められていた。また、特許文献２、３のように被覆層を成膜した後で被覆層の表面を研磨する方法では、工程が増えるので製造コストがかさんでしまうとともに、被覆層の表面に存在していたＴｉＯ_ｘ層やＴｉＣＮＯ層が研磨によって摩滅してしまい、表面層の効果が失われてしまうという問題があった。

本発明は、上記課題に対して、良好な耐溶着性と耐摩耗性とを兼ね備えた被覆層を具備する表面被覆部材を提供することを目的とする。

本発明の表面被覆部材は、基体の表面に、ＴｉＣＮ層を少なくとも１層含む多層からなる被覆層を設けた表面被覆部材であって、前記ＴｉＣＮ層のうちの最も上層に位置する上層ＴｉＣＮ層が、ＴｉＣＮ粒状結晶からなるとともに、Ｘ線回折測定において（４２２）ピークが最強であるものである。

本発明の表面被覆部材によれば、粒状（４２２）配向ＴｉＣＮ層からなる上層ＴｉＣＮ層は、粒状であるにも関わらずＴｉＣＮ層の表面に対して（４２２）面に配向しており、従来の配向していない粒状のＴｉＣＮ層に比べて簡単に摩滅や剥離することなく、耐摩耗性が高いことがわかった。また、粒状（４２２）配向ＴｉＣＮ層からなる上層ＴｉＣＮ層
は下表面に凹凸があっても上表面は平滑になっている。すなわち、凹凸のある表面に成膜された場合でも、成膜される上層ＴｉＣＮ層の表面は凹凸を打ち消すように成膜されるため、成膜後の被覆層の表面が平滑になる。そのため、成膜後に被覆層の表面を研磨しなくても耐溶着性が良好であり、かつ被覆層の表面に光沢が出て、例えば切削インサート等の表面被覆部材を使用したかどうかを被覆層の外観から目視で確認することができる。

本発明の表面被覆部材の好適例である切削インサートの一例について、（ａ）概略斜視図、（ｂ）要部拡大断面図である。

本発明の表面被覆部材の好適例である切削インサートの一例である図１を基に説明する。

図１の切削インサート（以下、インサートと略す場合がある。）１は、すくい面２と逃げ面３との交差稜線部が切刃４を構成しており、図１（ａ）のインサート１は、板状で主面が概略正方形形状（ＣＮＭＡ／ＣＮＭＧ）からなる。

また、本実施態様によれば、図１（ｂ）に示すように、インサート１は、基体５の表面に、ＴｉＣＮ層を含む多層からなる被覆層６が設けられている。被覆層６は、Ｔｉの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物および炭窒酸化物のうちの１層以上と、Ａｌ_２Ｏ_３層１２と、粒状（４２２）配向ＴｉＣＮ層（以下、上層ＴｉＣＮ層と称す場合がある。）１３と、ＴｉＮからなる最表層１４とが順に積層されている。上層ＴｉＣＮ層１３は、粒状のＴｉＣＮ結晶からなるとともに、Ｘ線回折測定において（４２２）ピークが最強のピーク強度を有するものであり、被覆層６のうちの他のＴｉＣＮ層よりも上層として設けられている。なお、ＴｉＣＮ層が１層のみの場合には、その１層が上層ＴｉＣＮ層となる。

なお、本発明において、被覆層６を構成する結晶が粒状であるとは、被覆層６を構成する結晶の任意１０個について最長長さとそれに直交する長さとの比であるアスペクト比を各結晶について求めて、その平均値が１．５未満のものを指す。このアスペクト比が１．５以上の場合には、被覆層６を構成する結晶が柱状であるという。

上層ＴｉＣＮ層１３は、従来の配向していない粒状ＴｉＣＮ層に比べて簡単に摩滅や剥離することなく、耐摩耗性が高い。また、上層ＴｉＣＮ層１３は、下表面に凹凸があっても上表面は平滑になっている。すなわち、凹凸のある表面に成膜された場合でも、成膜される上層ＴｉＣＮ層１３の表面は凹凸を打ち消すように成膜されるため、成膜後の被覆層６の表面が平滑になる。そのため、成膜後に被覆層６の表面を研磨しなくても耐溶着性が良好であり、かつ被覆層６の表面に光沢が出て、被覆層６の外観からインサート１を使用したかどうかを目視で確認することができる。また、さらに被覆層６の表面に光沢を出すために被覆層６の表面を研磨加工する場合でも、研磨加工時間を短くすることができる。なお、上層ＴｉＣＮ層１３は、銀色を示すため、インサート１の表面が有色となりインサート１を使用したときに最表層１４が摩耗して使用済みかどうかの判別がつきやすく、また、摩耗の進行を容易に確認できる。

本実施態様によれば、上層ＴｉＣＮ層１３を構成するＴｉＣＮ粒状結晶の平均粒径が０．０１〜０．１μｍである。これによって、上層ＴｉＣＮ層１３の上表面がより平滑になる結果、被覆層６の表面が平滑になる。また、本実施態様によれば、上層ＴｉＣＮ層１３の厚みが１〜１０μｍである。これによって、上層ＴｉＣＮ層１３の上表面がより平滑になる結果、被覆層６の表面が平滑になる。なお、本実施態様によれば、上層ＴｉＣＮ層１
３の下表面の表面粗さ（Ｒａ）が０．２〜０．５μｍであるとともに、上層ＴｉＣＮ層１３の上表面の表面粗さ（Ｒａ）が０．０１〜０．３μｍである。なお、本発明においては、上層ＴｉＣＮ層１３の下表面および上表面の表面粗さ（Ｒａ）は、被覆層６の断面写真において、上層ＴｉＣＮ層１３の下表面および上表面の凹凸をトレースし、この凹凸形状をＪＩＳＢ０６５１による算出方法に準じて平均粗さ（Ｒａ）を算出する。

また、本実施態様では、上層ＴｉＣＮ層１３の上層としてＴｉＮからなる最表層１４を設けているが、最表層１４を設けないものであってもよい。最表層１４はインサート１の使用時に早期に摩滅して、上層ＴｉＣＮ層１３が最表面に露出する。

本実施態様によれば、Ａｌ_２Ｏ_３層１２はα型結晶構造のＡｌ_２Ｏ_３結晶からなり、かつ基体５の表面に対して垂直な方向から見た平均結晶幅が０．０５〜２μｍである。これによって、耐摩耗性が向上する。

また、Ａｌ_２Ｏ_３層１２の基体５側に形成される被覆層は、ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＣＮＯ、ＴｉＣＯ、ＴｉＮＯの群から選ばれる１層以上が好適に用いられ、耐摩耗性および耐欠損性が向上する。本実施態様によれば、具体的な構成として、基体５の直上には第１層としてＴｉＮ層７が形成され、第２層としてＴｉＣＮ層（第２ＴｉＣＮ層と称す場合がある。）８−１０が形成されている。第２ＴｉＣＮ層８−１０としては、アセトニトリル（ＣＨ_３ＣＮ）ガスを原料として含み成膜温度が７８０〜９００℃と比較的低温で成膜した柱状結晶からなる、いわゆるＭＴ−ＴｉＣＮ層８，９と、成膜温度が９５０〜１１００℃と高温で成膜した、いわゆるＨＴ−ＴｉＣＮ層１０とが順に成膜された構成であることが望ましい。さらに、ＭＴ−ＴｉＣＮ層８，９は、平均結晶幅が０．５μｍ未満と微細な微細柱状結晶からなる微細ＭＴ−ＴｉＣＮ層と８、平均結晶幅が０．５〜２μｍと比較的大きい粗大柱状結晶からなる粗大ＭＴ−ＴｉＣＮ層９との積層からなることが望ましい。これによって、ＨＴ−ＴｉＣＮ層１０と中間層１１とを介して積層される粗大ＭＴ−ＴｉＣＮ層９およびＡｌ_２Ｏ_３層１２との密着力が高まり、被覆層の剥離やチッピングを抑えることができる。

また、本実施態様によれば、ＨＴ−ＴｉＣＮ層１０とＡｌ_２Ｏ_３層１２との間には、ＴｉＣＮＯからなる厚み０．０５〜０．５μｍの中間層１１が設けられている。この酸素成分の存在によって、α型Ａｌ_２Ｏ_３層１２を構成する結晶を、平均粒径０．０５〜２μｍのα型結晶構造のＡｌ_２Ｏ_３結晶とすることができ、耐摩耗性を向上させることができる。

なお、各層の厚みおよび各層を構成する結晶の性状は、インサート１の断面における電子顕微鏡写真（走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真または透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）写真）を観察することにより、測定することが可能である。

一方、インサート１の基体５は、炭化タングステン（ＷＣ）と、所望により周期表第４、５、６族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物の群から選ばれる少なくとも１種と、からなる硬質相を、コバルト（Ｃｏ）やニッケル（Ｎｉ）等の鉄属金属からなる結合相にて結合させた超硬合金やＴｉ基サーメット、またはＳｉ_３Ｎ_４、Ａｌ_２Ｏ_３、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素（ｃＢＮ）等のセラミックスのいずれかが好適に使用できる。中でも、インサート１を切削工具として用いる場合には、基体５は、超硬合金またはサーメットからなることが耐欠損性および耐摩耗性の点で望ましい。また、用途によっては、基体５は炭素鋼、高速度鋼、合金鋼等の金属からなるものであっても良い。

さらに、上記記載では切削インサートについて説明したが、摺動部品や金型等の耐摩部品、掘削工具、刃物等の工具、耐衝撃部品等の各種の用途への応用も可能である。

（製造方法）
また、本実施形態のインサートの製造方法の一実施形態について説明する。

まず、上述した硬質合金を焼成によって形成しうる金属炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物等の無機物粉末に、金属粉末、カーボン粉末等を適宜添加、混合し、プレス成形、鋳込成形、押出成形、冷間静水圧プレス成形等の公知の成形方法によって所定の工具形状に成形する。その後、得られた成形体を真空中または非酸化性雰囲気中にて焼成することによって上述した硬質合金からなる基体５を作製する。そして、上記基体の表面に所望によって研磨加工や切刃部のホーニング加工を施す。

次に、得られた基体５の表面に化学気相蒸着（ＣＶＤ）法によって被覆層を形成する。まず、基体の直上に１層目としてＴｉＮ層を形成する。ＴｉＮ層の成膜条件としては、混合ガス組成として四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを０．５〜１０体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを１０〜６０体積％の割合で含み、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を８００〜９４０℃、圧力を８〜５０ｋＰａにて成膜される。

次に、２層目としてＴｉＣＮ層を形成する。ここでは、ＴｉＣＮ層が、平均結晶幅が小さい微細柱状結晶層と、この層よりも平均結晶幅が大きい粗柱状結晶層とのＭＴ−ＴｉＣＮ層と、ＨＴ−ＴｉＣＮ層との３層にて構成する場合の成膜条件について説明する。

ＭＴ−ＴｉＣＮ層のうちの微細柱状結晶層の成膜条件は、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを０．５〜１０体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを１０〜６０体積％、アセトニトリル（ＣＨ_３ＣＮ）ガスを０．１〜０．４体積％の割合で含み、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を７８０〜９００℃、圧力を５〜２５ｋＰａとする。ＭＴ−ＴｉＣＮ層のうちの粗柱状結晶層の成膜条件は、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを０．５〜４．０体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを５〜４０体積％、アセトニトリル（ＣＨ_３ＣＮ）ガスを０．４〜２．０体積％の割合で含み、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を７８０〜９００℃、圧力を５〜２５ｋＰａとする。

ＨＴ−ＴｉＣＮ層の成膜条件は、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを０．１〜５体積％、メタン（ＣＨ_４）ガスを０．１〜１０体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを５〜３０体積％の割合で含み、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を９５０〜１１００℃、圧力を５〜４０ｋＰａとして成膜する。

そして、チャンバ内を９５０〜１１００℃、５〜４０ｋＰａとし、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを１〜５体積％、メタン（ＣＨ_４）ガスを４〜１０体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを１０〜３０体積％、一酸化炭素（ＣＯ）ガスを４〜８体積％、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に１０〜６０分導入した後、続いて体積％で二酸化炭素（ＣＯ_２）ガスを０．５〜４．０体積％、残りが窒素（Ｎ_２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に導入し、成膜温度を９５０〜１１００℃、５〜４０ｋＰａにて、二酸化炭素（ＣＯ_２）ガスを０．５〜１０体積％、残りが窒素（Ｎ_２）ガスからなる混合ガスをチャンバ内に１０〜６０分導入することによって、中間層を成膜する。なお、このＣＯ_２ガスを含む混合ガスを流す工程を経ることなく中間層を形成することもできるが、α型Ａｌ_２Ｏ_３層を構成する結晶を微細なものとするためには、ＣＯ_２ガスを含む混合ガスを流す工程を経ることが望ましい。

そして、引き続き、α型Ａｌ_２Ｏ_３層を形成する。α型Ａｌ_２Ｏ_３層の成膜条件としては、三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ_３）ガスを０．５〜５．０体積％、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを０．５〜３．５体積％、二酸化炭素（ＣＯ_２）ガスを０．５〜５．０体積％、硫
化水素（Ｈ_２Ｓ）ガスを０〜０．５体積％、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスをチャンバ内に導入し、成膜温度を９５０〜１１００℃、圧力を５〜１０ｋＰａとして成膜することが望ましい。

さらに、α型Ａｌ_２Ｏ_３層の上層に上層ＴｉＣＮ層を形成する。四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを１〜１０体積％、アセトニトリル（ＣＨ_３ＣＮ）ガスを０．１〜２．０体積％、一酸化炭素（ＣＯ）ガスを０．１〜１０体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを５〜６０体積％の割合で含み、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスをチャンバ内に導入し、成膜温度を９６０〜１１００℃、圧力を１０〜８５ｋＰａとして、成膜時間を1０分〜６０分の
間で成膜する。この成膜条件によって、上層ＴｉＣＮ層１３は、ＴｉＣＮ粒状結晶からなるとともに、Ｘ線回折測定において（４２２）ピークが最強のピーク強度を有するものとなる。

平均粒径１．５μｍの炭化タングステン（ＷＣ）粉末に対して、平均粒径１．２μｍの金属コバルト（Ｃｏ）粉末を６質量％の割合で添加、混合して、プレス成形により切削工具形状（ＣＮＭＧ１２０４１２）に成形した。得られた成形体について、脱バインダ処理を施し、０．５〜１００Ｐａの真空中、１４００℃で１時間焼成して超硬合金を作製した。さらに、作製した超硬合金に対して、ブラシ加工にてすくい面側について刃先処理（Ｒホーニング）を施した。

そして、上記超硬合金をＣＶＤ装置内にセットし、以下の順序で被覆層を成膜した。まず、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを２．０体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを３３体積％、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を８８０℃、ガス圧を１６ｋＰａにてＴｉＮ層を成膜した。次に、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを２．５体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを２５体積％、アセトニトリル（ＣＨ_３ＣＮ）ガスを０．２体積％の割合で含み、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を８６５℃、圧力を１５ｋＰａとして、ＴｉＣＮ層の下側のＭＴ−ＴｉＣＮ層を成膜した。そして、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを２．５体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを２５体積％、アセトニトリル（ＣＨ_３ＣＮ）ガスを０．５体積％の割合で含み、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を８６５℃、圧力を９ｋＰａとして、ＴｉＣＮ層の上側のＭＴ−ＴｉＣＮ層を成膜した。その後、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを３．５体積％、メタン（ＣＨ_４）ガスを７体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを２５体積％の割合で含み、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を１０１０℃、圧力を２０ｋＰａとして、ＨＴ−ＴｉＣＮ層を成膜した。

そして、チャンバ内を１０００℃、３０ｋＰａとし、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを２体積％、メタン（ＣＨ_４）ガスを８体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを２０体積％、一酸化炭素（ＣＯ）ガスを６体積％、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に２０分導入して成膜した後、成膜温度を１０００℃、２０ｋＰａにて、二酸化炭素（ＣＯ_２）ガスを５体積％、残りが窒素（Ｎ_２）ガスからなる混合ガスをチャンバ内に２０分導入して、ＴｉＣＮＯからなる中間層を成膜した。

次に、三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ_３）ガスを１．５体積％、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを２．０体積％、二酸化炭素（ＣＯ_２）ガスを４．０体積％、硫化水素（Ｈ_２Ｓ）ガスを０．３体積％、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用いて、成膜温度を１００５℃、圧力を９ｋＰａとして、Ａｌ_２Ｏ_３層を成膜した。

その後、Ａｌ_２Ｏ_３層の上層に、各種の被覆層を表１に示す成膜条件で第１層を成膜し、表２に示す層構成にて成膜してインサートを作製した。なお、第２層の成膜条件は、Ｔ
ｉＮ層の場合、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを２．０体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを３３体積％、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を８８０℃、ガス圧を１６ｋＰａとした。ＴｉＣＮＯ層の場合、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを２．０体積％、メタン（ＣＨ_４）ガスを８体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを３３体積％、二酸化炭素（ＣＯ_２）ガスを４．０体積％、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を８８０℃、ガス圧を１６ｋＰａとした。ＴｉＮＯ層の場合、四塩化チタン（ＴｉＣｌ_４）ガスを２．０体積％、窒素（Ｎ_２）ガスを３３体積％、二酸化炭素（ＣＯ_２）ガスを４．０体積％、残りが水素（Ｈ_２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を８８０℃、ガス圧を１６ｋＰａとした。

得られたインサートについて、走査型電子顕微鏡観察を行い、各層を構成する結晶の形状、平均粒径（または平均結晶幅）、厚みを見積もった。結果は表２に示した。

次に、このインサートを用いて以下の切削条件にて切削試験を行った。結果は表２に示した。
切削方法：端面加工
被削材：ＦＣ２５０
切削速度：４５０ｍ／分
送り：０．３５ｍｍ／ｒｅｖ
切り込み：３．０ｍｍ
切削状態：乾式
評価方法：フランク摩耗が０．３ｍｍ以上となるまでに加工できた個数（表中、加工数と記載。）とそのときの切刃の状態

表１、２に示される結果から、柱状（４２２）配向の上層ＴｉＣＮ層を設けた試料Ｎｏ．５では被削材が溶着しやすく、（４２２）配向でない配向状態の上層ＴｉＣＮ層を設けた試料Ｎｏ．６〜８では、早期に剥離してクレータ摩耗が大きくなって加工数がすくなかった。これに対し、本発明の範囲内であるＡｌ_２Ｏ_３層の上層として粒状（４２２）配向の上層ＴｉＣＮ層を設けた試料Ｎｏ．１〜４では、インサートの表面への被削材の溶着が少なく、摩耗しにくくて工具寿命が長いものであった。

１切削インサート（インサート）
２すくい面
３逃げ面
４切刃
５基体
６被覆層
７ＴｉＮ層
８、９ＭＴ−ＴｉＣＮ層
１０ＨＴ−ＴｉＣＮ層
１１中間層
１２Ａｌ_２Ｏ_３層
１３上層ＴｉＣＮ層（粒状（４２２）配向ＴｉＣＮ層）
１４最表層

Claims

基体の表面に、ＴｉＣＮ層を少なくとも１層含む多層からなる被覆層を設けた表面被覆部材であって、前記ＴｉＣＮ層のうちの最も上層に位置する上層ＴｉＣＮ層が、ＴｉＣＮ粒状結晶からなるとともに、Ｘ線回折測定において（４２２）ピークが最強である表面被覆部材。
前記上層ＴｉＣＮ層を構成するＴｉＣＮ粒状結晶の平均粒径が０．０１〜０．１μｍである請求項１記載の表面被覆部材。
前記上層ＴｉＣＮ層の厚みが１〜１０μｍである請求項１または２記載の表面被覆部材。
前記上層ＴｉＣＮ層の下表面の表面粗さ（Ｒａ）が０．２〜０．５μｍであるとともに、該上層ＴｉＣＮ層の上表面の表面粗さ（Ｒａ）が前記下表面の表面粗さ（Ｒａ）よりも小さい請求項１乃至３のいずれか記載の表面被覆部材。