JP2020034052A - アクチュエータ、流体制御弁及び弁監視装置 - Google Patents
アクチュエータ、流体制御弁及び弁監視装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020034052A JP2020034052A JP2018159584A JP2018159584A JP2020034052A JP 2020034052 A JP2020034052 A JP 2020034052A JP 2018159584 A JP2018159584 A JP 2018159584A JP 2018159584 A JP2018159584 A JP 2018159584A JP 2020034052 A JP2020034052 A JP 2020034052A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- fluid
- control
- actuator
- valve stem
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Abstract
Description
(2)上記(1)の態様において、前記弁棒は、前記弁体の開方向又は閉方向の上死点で、圧電センサに当接してもよい。
(3)本発明に係る別の1つの態様は、流体制御弁であって、上記(1)又は(2)に記載のアクチュエータと、制御流体用の通路を有するボディと、前記制御流体用の通路を開閉する弁体と、を備えるものである。
(4)本発明に係る更に別の1つの態様は、弁監視装置であって、上記(3)に記載の流体制御弁と、前記駆動流体の供給又は停止を制御する制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記圧電センサからの前記信号が入力されるものである。
(5)上記(4)の態様において、前記制御装置は、前記制御流体又は前記駆動流体の少なくとも一方の圧力変動による前記信号の変動を検出可能であってもよい。
(6)上記(4)又は(5)の態様において、前記制御装置は、前記信号に基づいて、前記弁棒の衝突速度を演算してもよい。
(7)上記(4)から(6)までのいずれか1つの態様において、前記流体制御弁は、複数個備えられてもよい。
アクチュエータ200は、ケーシング210内に、弁棒20と、ピストン30と、を備えており、ケーシング210に固定されたボンネット220内に、弁体110を閉方向に付勢するための弾性部材40を備えている。
図1に示すように、制御装置320は、複数の流体制御弁10の圧電センサ50、各流体制御弁10に駆動流体CAを供給する電磁弁EV、マスフローコントローラMFC、圧力計PT、半導体製造装置の上位制御盤などが接続されており、各種信号をこれらから及び/又はこれらへ送受信可能になっている。
上記実施形態において、制御流体Gは、ガス(気体)でなく、液体、粉体、蒸気(エアロゾル)などであってもよい。
20 弁棒、21 先端部、22 後端部、23 弁体押さえ、
30 ピストン、31 第1ピストン、32 第2ピストン、33 カウンタプレート
40 コイルスプリング(弾性部材)
50 圧電センサ、51 信号線
100 弁部
110 ダイヤフラム(弁体)、111 弁座
120 ボディ、121 第1ボディ、122 第2ボディ、123 上部ボディ
130 通路、131 流入通路、132 流出通路
200 アクチュエータ、201 袋ナット
210 ケーシング、211 上部ケーシング、212 下部ケーシング、
220 ボンネット、221 後端部、222 弁体ホルダ
230 キャップ
300 弁監視装置
310 集積化ガスシステム
320 制御装置
Claims (7)
- 弁体を開方向又は閉方向に移動させる弁棒と、
前記弁棒に固定され、駆動流体により前記弁棒を前記弁体の開方向又は閉方向の一方に駆動するピストンと、
前記ピストンによる前記弁棒の駆動方向とは反対の方向に前記弁棒を付勢する弾性部材と、を備える流体制御弁用のアクチュエータであって、
前記弁棒は、前記弁体の開方向又は閉方向において、前記駆動流体の圧力による外力の大きさに応じた信号を出力する圧電センサに当接する、
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 前記弁棒は、前記弁体の開方向又は閉方向の上死点で、圧電センサに当接する、
ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。 - 請求項1又は2に記載のアクチュエータと、
制御流体用の通路を有するボディと、
前記制御流体用の通路を開閉する弁体と、を備える、
ことを特徴とする流体制御弁。 - 請求項3に記載の流体制御弁と、
前記駆動流体の供給又は停止を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記圧電センサからの前記信号が入力される、
ことを特徴とする弁監視装置。 - 前記制御装置は、前記制御流体又は前記駆動流体の少なくとも一方の圧力変動による前記信号の変動を検出可能である、
ことを特徴とする請求項4に記載の弁監視装置。 - 前記制御装置は、前記信号に基づいて、前記弁棒の衝突速度を演算する、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の弁監視装置。 - 前記流体制御弁は、複数個備えられる、
ことを特徴とする請求項4から6までのいずれか1項に記載の弁監視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018159584A JP7161157B2 (ja) | 2018-08-28 | 2018-08-28 | アクチュエータ、流体制御弁及び弁監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018159584A JP7161157B2 (ja) | 2018-08-28 | 2018-08-28 | アクチュエータ、流体制御弁及び弁監視装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020034052A true JP2020034052A (ja) | 2020-03-05 |
JP7161157B2 JP7161157B2 (ja) | 2022-10-26 |
Family
ID=69667507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018159584A Active JP7161157B2 (ja) | 2018-08-28 | 2018-08-28 | アクチュエータ、流体制御弁及び弁監視装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7161157B2 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4406303A (en) * | 1981-08-04 | 1983-09-27 | Acf Industries, Incorporated | Gate valve with position indicator |
JPH0526357A (ja) * | 1991-05-09 | 1993-02-02 | Kiyohara Masako | 流体制御器 |
US6016778A (en) * | 1997-08-14 | 2000-01-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Magnet valve, in particular for inlet and outlet valves of internal combustion engines |
WO2001042693A2 (en) * | 1999-12-10 | 2001-06-14 | Barrow Financial Associates | Pressure relief valve detection and monitoring device and system |
JP2007525622A (ja) * | 2003-10-03 | 2007-09-06 | スワゲロック カンパニー | 流れ制御デバイスのためのダイヤフラムモニタリング |
US20100236319A1 (en) * | 2007-10-19 | 2010-09-23 | Qinetiq Limited | Valve testing |
US20170350535A1 (en) * | 2016-03-22 | 2017-12-07 | Noel Jordan Jameson | Methods of fault detection for solenoid valves |
US20190323318A1 (en) * | 2018-04-24 | 2019-10-24 | Ge Oil & Gas Pressure Control Lp | System and method for preventing inadvertent valve closures |
-
2018
- 2018-08-28 JP JP2018159584A patent/JP7161157B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4406303A (en) * | 1981-08-04 | 1983-09-27 | Acf Industries, Incorporated | Gate valve with position indicator |
JPH0526357A (ja) * | 1991-05-09 | 1993-02-02 | Kiyohara Masako | 流体制御器 |
US6016778A (en) * | 1997-08-14 | 2000-01-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Magnet valve, in particular for inlet and outlet valves of internal combustion engines |
WO2001042693A2 (en) * | 1999-12-10 | 2001-06-14 | Barrow Financial Associates | Pressure relief valve detection and monitoring device and system |
JP2007525622A (ja) * | 2003-10-03 | 2007-09-06 | スワゲロック カンパニー | 流れ制御デバイスのためのダイヤフラムモニタリング |
US20100236319A1 (en) * | 2007-10-19 | 2010-09-23 | Qinetiq Limited | Valve testing |
US20170350535A1 (en) * | 2016-03-22 | 2017-12-07 | Noel Jordan Jameson | Methods of fault detection for solenoid valves |
US20190323318A1 (en) * | 2018-04-24 | 2019-10-24 | Ge Oil & Gas Pressure Control Lp | System and method for preventing inadvertent valve closures |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7161157B2 (ja) | 2022-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8210196B2 (en) | Vacuum control system and vacuum control method | |
JP4933936B2 (ja) | 圧電素子駆動式制御弁 | |
JP4743763B2 (ja) | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 | |
KR101887364B1 (ko) | 압력식 유량 제어 장치 및 그 유량 제어 개시 시의 오버슈트 방지 방법 | |
JP5397525B1 (ja) | 真空調圧システム | |
JP4765746B2 (ja) | 遮断弁装置及びこれを組み込んだ質量流量制御装置 | |
KR101910357B1 (ko) | 압전 소자 구동식 밸브 및 압전 소자 구동식 밸브를 구비한 유량 제어 장치 | |
JP4547674B2 (ja) | 真空調圧システム | |
JP7113529B2 (ja) | バルブ装置、流量調整方法、流体制御装置、流量制御方法、半導体製造装置および半導体製造方法 | |
US20210332895A1 (en) | Gas flow regulating device and mass flow controller | |
JP7161157B2 (ja) | アクチュエータ、流体制御弁及び弁監視装置 | |
TWI693357B (zh) | 閥裝置及使用其控制裝置之控制方法、流體控制裝置及半導體製造裝置 | |
JP2020020371A (ja) | アクチュエータおよびこれを用いたバルブ装置 | |
US11525523B2 (en) | Open circuit diagnostic for pulsed solenoid I/P | |
US11674603B2 (en) | Diaphragm valve and flow rate control device | |
US20230136494A1 (en) | Valve system, output monitoring method and output adjusting method for diaphragm valve, and semiconductor manufacturing apparatus | |
JP5357233B2 (ja) | 操作エア用中間弁 | |
JP7148989B2 (ja) | アクチュエータ、バルブ、流体供給システム、および半導体製造装置 | |
TW202136668A (zh) | 隔膜閥、流量控制裝置、流體控制裝置及半導體製造裝置 | |
JP4963478B2 (ja) | 流体制御弁 | |
US20230136072A1 (en) | Valve and fluid control device | |
JP2020034135A (ja) | ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 | |
JP7382054B2 (ja) | バルブ装置および流量制御装置 | |
US11598430B2 (en) | Valve device, flow rate control method, fluid control device, semiconductor manufacturing method, and semiconductor manufacturing apparatus using the valve device | |
JP2020026829A (ja) | ダイヤフラムバルブおよび流量制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220525 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220725 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220906 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220930 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7161157 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |