JP3017398B2 - ダイヤフラム弁構造及びガス配管系 - Google Patents
ダイヤフラム弁構造及びガス配管系Info
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイヤフラム弁構造に
関し、例えば半導体や液晶製造ラインの超高純度ガスの
ガス配管系においてパージ用のガス（窒素ガスやアルゴ
ンガスなどの不活性ガス）を流し続ける場合に使用され
るブリード弁や、ブロック弁などに適用されるダイヤフ
ラム弁構造に関するものである。
関し、例えば半導体や液晶製造ラインの超高純度ガスの
ガス配管系においてパージ用のガス（窒素ガスやアルゴ
ンガスなどの不活性ガス）を流し続ける場合に使用され
るブリード弁や、ブロック弁などに適用されるダイヤフ
ラム弁構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図９に、半導体や液晶製造ラインの超高
純度ガスのガス配管系の一例を示した。例えばこのガス
配管系においてガスボンベ１００を交換する際には、ラ
イン中に腐食性ガスが残存した状態でガスボンベ１００
を取り外した場合には、その腐食性ガスが大気中の水分
と反応し、これがラインやコンポーネント等を腐食させ
る原因となる。このような腐食を防止するため、ガスボ
ンベ１００の取り外しの際には、パージ用のガスによる
配管系のパージがなされる。図示した例では、パージ用
のガスとして窒素ガス１８３、１８４が用いられる。こ
こで、窒素ガス１８３は、バキュームジェネレータ１４
０の真空発生（排気）用のガスとして用いられ、ライン
への封入には用いないものである。そして、上記のパー
ジは、窒素ガス１８４のラインへの封入、並びに窒素ガ
ス１８３を用いた上記真空発生によるラインからの真空
排気の繰り返しにより行われる。なお、図９において、
１１１〜１１７はストップ弁、１２１、１２２はニード
ル弁、１３１〜１３３は逆止弁、１５１、１５２はフィ
ルター、１６１、１６２は圧力ゲージ、１７０は圧力調
整器である。
純度ガスのガス配管系の一例を示した。例えばこのガス
配管系においてガスボンベ１００を交換する際には、ラ
イン中に腐食性ガスが残存した状態でガスボンベ１００
を取り外した場合には、その腐食性ガスが大気中の水分
と反応し、これがラインやコンポーネント等を腐食させ
る原因となる。このような腐食を防止するため、ガスボ
ンベ１００の取り外しの際には、パージ用のガスによる
配管系のパージがなされる。図示した例では、パージ用
のガスとして窒素ガス１８３、１８４が用いられる。こ
こで、窒素ガス１８３は、バキュームジェネレータ１４
０の真空発生（排気）用のガスとして用いられ、ライン
への封入には用いないものである。そして、上記のパー
ジは、窒素ガス１８４のラインへの封入、並びに窒素ガ
ス１８３を用いた上記真空発生によるラインからの真空
排気の繰り返しにより行われる。なお、図９において、
１１１〜１１７はストップ弁、１２１、１２２はニード
ル弁、１３１〜１３３は逆止弁、１５１、１５２はフィ
ルター、１６１、１６２は圧力ゲージ、１７０は圧力調
整器である。
【０００３】ここで、上記の真空排気時における真空発
生源として、図９の配管系の場合にはバキュームジェネ
レータ１４０が使用されている。このバキュームジェネ
レータ１４０は、ノズルの内部で流体（窒素ガス）の流
速が高められ、またノズル出口付近で負圧を発生させて
流体を引き込む性質（エゼクター効果）を利用したもの
である。また、逆止弁１３１、１３２の存在により、窒
素ガス１８３を流さなくてもベントライン１８１からラ
イン中に腐食性ガスが逆流することがないものの、バキ
ュームジェネレータ１４０の所までは腐食性ガスが届い
てしまう。そして、このため、バキュームジェネレータ
１４０のノズル等に腐食が生じてノズルの詰まりが発生
する等のトラブルが発生するおそれがある。
生源として、図９の配管系の場合にはバキュームジェネ
レータ１４０が使用されている。このバキュームジェネ
レータ１４０は、ノズルの内部で流体（窒素ガス）の流
速が高められ、またノズル出口付近で負圧を発生させて
流体を引き込む性質（エゼクター効果）を利用したもの
である。また、逆止弁１３１、１３２の存在により、窒
素ガス１８３を流さなくてもベントライン１８１からラ
イン中に腐食性ガスが逆流することがないものの、バキ
ュームジェネレータ１４０の所までは腐食性ガスが届い
てしまう。そして、このため、バキュームジェネレータ
１４０のノズル等に腐食が生じてノズルの詰まりが発生
する等のトラブルが発生するおそれがある。
【０００４】そこで、真空排気を行わない場合、つまり
ストップ弁１１１を閉じた場合には、ストップ弁１１２
を開とし、またニードル弁１２１を所定の開度で維持す
ることで流量を絞り、バキュームジェネレータ１４０に
窒素ガス１８３を常時一定流量流すようにしている。こ
のようにガス配管系に一定量の窒素ガスを流通させて、
ベントライン１８１からのガスの流入が防止される。
ストップ弁１１１を閉じた場合には、ストップ弁１１２
を開とし、またニードル弁１２１を所定の開度で維持す
ることで流量を絞り、バキュームジェネレータ１４０に
窒素ガス１８３を常時一定流量流すようにしている。こ
のようにガス配管系に一定量の窒素ガスを流通させて、
ベントライン１８１からのガスの流入が防止される。
【０００５】また、他の例として、上記のストップ弁１
１１、１１２、並びにニードル弁１２１の組合わせに代
えて、図１０のように、空圧作動弁１８１とニードル弁
１８２とを直列接続するとともに、これと並列にマスフ
ローコントローラ１８５を配置する構成が採られてい
る。この構成とすれば、空圧作動弁が閉じた状態でも、
マスフローコントローラを介して一定流量のガスを流す
ことができる。更に、マスフローコントローラの代わり
に、ニードル弁などの流量調整弁を用いて、上記と同様
の効果を得る構成も採られる。
１１、１１２、並びにニードル弁１２１の組合わせに代
えて、図１０のように、空圧作動弁１８１とニードル弁
１８２とを直列接続するとともに、これと並列にマスフ
ローコントローラ１８５を配置する構成が採られてい
る。この構成とすれば、空圧作動弁が閉じた状態でも、
マスフローコントローラを介して一定流量のガスを流す
ことができる。更に、マスフローコントローラの代わり
に、ニードル弁などの流量調整弁を用いて、上記と同様
の効果を得る構成も採られる。
【０００６】その他、例えば特開平６−１１０５５号公
報に記載されているように、ガス配管用弁の一次側と二
次側を貫通する定流量ガス流通孔を形成することで、上
記と同様な効果を得る構成も知られている。
報に記載されているように、ガス配管用弁の一次側と二
次側を貫通する定流量ガス流通孔を形成することで、上
記と同様な効果を得る構成も知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のように複数の弁を用いた構成では、部品点数が多
く、コスト高となるという問題がある。
来のように複数の弁を用いた構成では、部品点数が多
く、コスト高となるという問題がある。
【０００８】一方、ガス配管用弁に定流量ガス流通孔を
形成する構成の場合、当該定流量ガス流通孔の加工が難
しく、コスト高を招く原因となる。また、この構成で
は、弁座近傍の置換性が悪く、大気残留などが生じる可
能性がある。
形成する構成の場合、当該定流量ガス流通孔の加工が難
しく、コスト高を招く原因となる。また、この構成で
は、弁座近傍の置換性が悪く、大気残留などが生じる可
能性がある。
【０００９】本発明の目的は、上記のようなベントライ
ンからのガスの流入防止を図ることができるダイヤフラ
ム弁構造を提供することにある。
ンからのガスの流入防止を図ることができるダイヤフラ
ム弁構造を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のダイヤフラム弁
構造は、流体の流入路と流出路とを有する本体と、前記
流入路の周囲に配された弁シートと、前記弁シート上に
載置されて前記流入路と前記流出路の間の開閉を行うダ
イヤフラムとを有し、前記弁シートに、前記流入路と前
記流出路とを連通するガス流通孔を設けたことを特徴と
する。
構造は、流体の流入路と流出路とを有する本体と、前記
流入路の周囲に配された弁シートと、前記弁シート上に
載置されて前記流入路と前記流出路の間の開閉を行うダ
イヤフラムとを有し、前記弁シートに、前記流入路と前
記流出路とを連通するガス流通孔を設けたことを特徴と
する。
【００１１】
【作用】弁シートに上記のようなガス流通孔を設けるこ
とで、弁が閉じた状態においても流入路から流出路に一
定流量のガスを流すことができる。
とで、弁が閉じた状態においても流入路から流出路に一
定流量のガスを流すことができる。
【００１２】
【実施例】図１に、本発明をブリード弁に適用した実施
例を示した。図１に示したブリード弁は手動弁、より詳
しくは、手動式のメタルダイアフラム弁から構成される
ものである。
例を示した。図１に示したブリード弁は手動弁、より詳
しくは、手動式のメタルダイアフラム弁から構成される
ものである。
【００１３】このブリード弁は、流体の流入路１ａと流
出路１ｂを有する本体１、本体１の内側に嵌合された中
空筒状のガイド部材２、ガイド部材２の中央部に設けら
れた弁軸３、弁軸３の上部に取り付けられたハンドル
４、ハンドル４の内側に位置してガイド部材２の上部外
周に固着された円筒状の基部５などから構成される。
出路１ｂを有する本体１、本体１の内側に嵌合された中
空筒状のガイド部材２、ガイド部材２の中央部に設けら
れた弁軸３、弁軸３の上部に取り付けられたハンドル
４、ハンドル４の内側に位置してガイド部材２の上部外
周に固着された円筒状の基部５などから構成される。
【００１４】ガイド部材２の内側には、弁軸３を図にお
いて下側に押圧する圧縮コイルばね６が設けられてい
る。また弁軸３の外周には、弁軸３とガイド部材２との
間を密封するための気密リング７が設けられている。ガ
イド部材２の底部には、ボール状の転動体８ａ、８ｂを
介して、ダイヤフラム押え９が位置している。
いて下側に押圧する圧縮コイルばね６が設けられてい
る。また弁軸３の外周には、弁軸３とガイド部材２との
間を密封するための気密リング７が設けられている。ガ
イド部材２の底部には、ボール状の転動体８ａ、８ｂを
介して、ダイヤフラム押え９が位置している。
【００１５】本体１の中央部の流入路１ａと流出路１ｂ
の上部には、円筒状の弁シート１０がシートホルダ１１
により取り付けられている。また弁シート１０の上部と
ダイヤフラム押え９との間には、ダイアフラム１２が配
置されている。更に、ダイヤフラム押え９の中央に形成
された通孔内には中継ボール１３が収納されている。中
継ボール１３の下には、押圧子１４が位置している。な
お、以上の構成において、例えば、本体１やシートホル
ダ１１はステンレススチールで、弁シート１０は三フッ
化塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ）などの合成樹脂で、
ダイヤフラム１２はニッケル合金などで、構成される。
の上部には、円筒状の弁シート１０がシートホルダ１１
により取り付けられている。また弁シート１０の上部と
ダイヤフラム押え９との間には、ダイアフラム１２が配
置されている。更に、ダイヤフラム押え９の中央に形成
された通孔内には中継ボール１３が収納されている。中
継ボール１３の下には、押圧子１４が位置している。な
お、以上の構成において、例えば、本体１やシートホル
ダ１１はステンレススチールで、弁シート１０は三フッ
化塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ）などの合成樹脂で、
ダイヤフラム１２はニッケル合金などで、構成される。
【００１６】以上の構成において、ダイアフラム１２
は、ダイヤフラム押え９の外周部下面と弁シート１０と
の間で挟持されており、これによりダイアフラム９の中
央部が弁シート１０に接触したり離間するようになって
おり、これによりダイアフラム１２が流入路１ａと流出
路１ｂとの間の通路を開閉する弁体として機能する。ま
たこの弁体としてのダイヤフラム１２の開閉は、ハンド
ル４を時計回りあるいは反時計回りに回動させ、弁軸３
を上下移動させて、押圧子１４によるダイヤフラム１２
の押圧を調整することで行われる。
は、ダイヤフラム押え９の外周部下面と弁シート１０と
の間で挟持されており、これによりダイアフラム９の中
央部が弁シート１０に接触したり離間するようになって
おり、これによりダイアフラム１２が流入路１ａと流出
路１ｂとの間の通路を開閉する弁体として機能する。ま
たこの弁体としてのダイヤフラム１２の開閉は、ハンド
ル４を時計回りあるいは反時計回りに回動させ、弁軸３
を上下移動させて、押圧子１４によるダイヤフラム１２
の押圧を調整することで行われる。
【００１７】ここで、上記の弁シート１０は、図２に示
したように、その外周にガス流通孔１０ａが形成されて
いる。そしてこれにより、図１に示したダイヤフラム１
２が閉じた状態においても、ガス流通孔１０ａを介して
本体１の流入路１ａと流出路１ｂとの間の通路が開いた
状態となり、流入路１ａから流出路１ｂへの流体の流通
が行われる。またこの場合、ガス流通孔１０ａの大きさ
を変えることで、上記流体の流通量を調整することがで
きるものである。
したように、その外周にガス流通孔１０ａが形成されて
いる。そしてこれにより、図１に示したダイヤフラム１
２が閉じた状態においても、ガス流通孔１０ａを介して
本体１の流入路１ａと流出路１ｂとの間の通路が開いた
状態となり、流入路１ａから流出路１ｂへの流体の流通
が行われる。またこの場合、ガス流通孔１０ａの大きさ
を変えることで、上記流体の流通量を調整することがで
きるものである。
【００１８】図３に、上記構成であるブリード弁１０１
をガス配管系に使用した要部を示した。ブリード弁１０
１は、パージ用のガス流入側１０２とバキュームジェネ
レータ（真空発生器）１０４の間に取付けられる。バキ
ュームジェネレータ１０４にはシリンダーキャビネット
１０５が接続される。この配管系において、ブリード弁
１０１が閉の時には、そのガス流通孔１０ａを介して、
バキュームジェネレータ１０４側に一定流量のパージ用
ガスが流れ、これにより、ベントライン１０３側からの
ガスの流入が防止される。また、ブリード弁１０１が開
の時には、パージ用のガスが大量に流れるため、バキュ
ームジェネレータ１０４において真空が発生し、これに
より、シリンダーキャビネット１０５が真空排気され
る。
をガス配管系に使用した要部を示した。ブリード弁１０
１は、パージ用のガス流入側１０２とバキュームジェネ
レータ（真空発生器）１０４の間に取付けられる。バキ
ュームジェネレータ１０４にはシリンダーキャビネット
１０５が接続される。この配管系において、ブリード弁
１０１が閉の時には、そのガス流通孔１０ａを介して、
バキュームジェネレータ１０４側に一定流量のパージ用
ガスが流れ、これにより、ベントライン１０３側からの
ガスの流入が防止される。また、ブリード弁１０１が開
の時には、パージ用のガスが大量に流れるため、バキュ
ームジェネレータ１０４において真空が発生し、これに
より、シリンダーキャビネット１０５が真空排気され
る。
【００１９】図４は、上記のように構成される実施例の
ブリード弁において、弁シートに形成するガス流通孔の
大きさを直径５０μｍとした場合において、ブリード弁
本体の流入路におけるパージガスのガス圧力ΔＰ（ｋｇ
ｆ／ｃｍ2Ｇ）に対するブリード弁本体の流出路へのパ
ージガスの流量（ｌ／ｍｉｎ）を示したものである。な
お、パージガスとしては窒素ガスを用いた。また流量は
石鹸膜流量計で計測した。
ブリード弁において、弁シートに形成するガス流通孔の
大きさを直径５０μｍとした場合において、ブリード弁
本体の流入路におけるパージガスのガス圧力ΔＰ（ｋｇ
ｆ／ｃｍ2Ｇ）に対するブリード弁本体の流出路へのパ
ージガスの流量（ｌ／ｍｉｎ）を示したものである。な
お、パージガスとしては窒素ガスを用いた。また流量は
石鹸膜流量計で計測した。
【００２０】同様に、図５は弁シートに形成するガス流
通孔の大きさを直径０．２ｍｍとした場合、また図６は
同じく直径０．４ｍｍとした場合における、パージガス
の流量（ｌ／ｍｉｎ）をそれぞれ示したものである。
通孔の大きさを直径０．２ｍｍとした場合、また図６は
同じく直径０．４ｍｍとした場合における、パージガス
の流量（ｌ／ｍｉｎ）をそれぞれ示したものである。
【００２１】また図７に、本発明をブリード弁に適用し
た他の実施例を示した。図示したブリード弁は空圧弁で
あり、より詳しくは、ダイレクトシール型ダイヤフラム
弁から構成されるものである。
た他の実施例を示した。図示したブリード弁は空圧弁で
あり、より詳しくは、ダイレクトシール型ダイヤフラム
弁から構成されるものである。
【００２２】このブリード弁は、流体の流入路２１ａと
流出路２１ｂを有する本体２１、本体２１の内側に嵌合
された中空筒状のガイド部材２２、ガイド部材２２の中
央部に設けられた弁軸２３、アクチュエータカバー２
５、エアー供給口２６、並びに弁軸２３の上部にこれと
一体に形成された駆動部２７などから構成される。な
お、駆動部２７は、図において左側の駆動部２７ａをＮ
Ｏ（常開）型の構造として、また右側の駆動部２７ｂを
ＮＣ（常閉）型の構造として、それぞれ示した。
流出路２１ｂを有する本体２１、本体２１の内側に嵌合
された中空筒状のガイド部材２２、ガイド部材２２の中
央部に設けられた弁軸２３、アクチュエータカバー２
５、エアー供給口２６、並びに弁軸２３の上部にこれと
一体に形成された駆動部２７などから構成される。な
お、駆動部２７は、図において左側の駆動部２７ａをＮ
Ｏ（常開）型の構造として、また右側の駆動部２７ｂを
ＮＣ（常閉）型の構造として、それぞれ示した。
【００２３】弁軸２３の外周には、弁軸２３とガイド部
材２２との間を密封するための気密リング２８が設けら
れている。ガイド部材２２の底部にはダイヤフラム押え
２９が位置している。ダイヤフラム押え２９の中央に形
成された通孔内には中継ボール３０が収納されている。
また中継ボール３０の下には押圧子３１が位置してい
る。
材２２との間を密封するための気密リング２８が設けら
れている。ガイド部材２２の底部にはダイヤフラム押え
２９が位置している。ダイヤフラム押え２９の中央に形
成された通孔内には中継ボール３０が収納されている。
また中継ボール３０の下には押圧子３１が位置してい
る。
【００２４】本体２１の中央部の流入路２１ａと流出路
２１ｂの上部には、円筒状の弁シート３２がシートホル
ダ３３により取り付けられている。また弁シート３２の
上部とダイヤフラム押え２９との間には、ダイアフラム
３４が配置されている。なお、以上の構成において本体
２１、弁シート３２、シートホルダ３３、ダイヤフラム
３４などは、上記の実施例と同様な材料で構成される。
２１ｂの上部には、円筒状の弁シート３２がシートホル
ダ３３により取り付けられている。また弁シート３２の
上部とダイヤフラム押え２９との間には、ダイアフラム
３４が配置されている。なお、以上の構成において本体
２１、弁シート３２、シートホルダ３３、ダイヤフラム
３４などは、上記の実施例と同様な材料で構成される。
【００２５】この実施例においても、ダイアフラム３４
は、流入路２１ａと流出路２１ｂとの間の通路を開閉す
る弁体として機能する。即ち、ダイヤフラム押え２９の
外周部下面と弁シート３２との間で挟持され、このため
ダイアフラム３４の中央部が弁シート３２に接触あるい
は離間する。
は、流入路２１ａと流出路２１ｂとの間の通路を開閉す
る弁体として機能する。即ち、ダイヤフラム押え２９の
外周部下面と弁シート３２との間で挟持され、このため
ダイアフラム３４の中央部が弁シート３２に接触あるい
は離間する。
【００２６】上記のようなダイヤフラム３４の開閉は、
エアー供給口２６への圧搾空気の供給により行われる。
即ち、駆動部２７が図７の左側のＮＯ型の駆動部２７ａ
の場合には、上記のように圧搾空気を供給した場合に
は、駆動部２７が下方に押し下げられ、その際には弁軸
２３が中継ボール３０、押圧子３１を介してダイヤフラ
ム３４を弁シート３２に押し付ける。これにより、ダイ
ヤフラム３４と弁シート３２との密着し、ダイヤフラム
３４が閉の状態となる。また、上記圧搾空気の供給を解
除した場合には、駆動部２７が内部のコイルばねの弾性
により押し上げられる結果、ダイヤフラム３４と弁シー
ト３２との間に隙間ができ、ダイヤフラム３４が開の状
態となる。
エアー供給口２６への圧搾空気の供給により行われる。
即ち、駆動部２７が図７の左側のＮＯ型の駆動部２７ａ
の場合には、上記のように圧搾空気を供給した場合に
は、駆動部２７が下方に押し下げられ、その際には弁軸
２３が中継ボール３０、押圧子３１を介してダイヤフラ
ム３４を弁シート３２に押し付ける。これにより、ダイ
ヤフラム３４と弁シート３２との密着し、ダイヤフラム
３４が閉の状態となる。また、上記圧搾空気の供給を解
除した場合には、駆動部２７が内部のコイルばねの弾性
により押し上げられる結果、ダイヤフラム３４と弁シー
ト３２との間に隙間ができ、ダイヤフラム３４が開の状
態となる。
【００２７】また、駆動部２７が図７の右側のＮＣ型の
駆動部２７ｂの場合には、圧搾空気が供給されていない
状態では、駆動部２７が内部のコイルばねの弾性によっ
て下方に押し下げられ、その際には弁軸２３が中継ボー
ル３０、押圧子３１を介してダイヤフラム３４を弁シー
ト３２に押し付ける。これにより、ダイヤフラム３４と
弁シート３２とが密着し、ダイヤフラム３４が閉の状態
となる。また、上記の圧搾空気を供給した場合には、駆
動部２７が上方に押し上げられる結果、ダイヤフラム３
４と弁シート３２との間に隙間ができ、ダイヤフラム３
４が開の状態となる。
駆動部２７ｂの場合には、圧搾空気が供給されていない
状態では、駆動部２７が内部のコイルばねの弾性によっ
て下方に押し下げられ、その際には弁軸２３が中継ボー
ル３０、押圧子３１を介してダイヤフラム３４を弁シー
ト３２に押し付ける。これにより、ダイヤフラム３４と
弁シート３２とが密着し、ダイヤフラム３４が閉の状態
となる。また、上記の圧搾空気を供給した場合には、駆
動部２７が上方に押し上げられる結果、ダイヤフラム３
４と弁シート３２との間に隙間ができ、ダイヤフラム３
４が開の状態となる。
【００２８】ここで、上記の弁シート３２は、その外周
に本体２１の流入路２１ａと流出路２１ｂとを連通す
る、上記実施例と同様なガス流通孔が形成されているも
のである。そしてこれにより、ダイヤフラム３４が閉じ
た状態においても、このガス流通孔を介して本体２１の
流入路２１ａと流出路２１ｂとの間の通路が開いた状態
となり、流入路２１ａから流出路２１ｂへの流体の流通
が行われる。
に本体２１の流入路２１ａと流出路２１ｂとを連通す
る、上記実施例と同様なガス流通孔が形成されているも
のである。そしてこれにより、ダイヤフラム３４が閉じ
た状態においても、このガス流通孔を介して本体２１の
流入路２１ａと流出路２１ｂとの間の通路が開いた状態
となり、流入路２１ａから流出路２１ｂへの流体の流通
が行われる。
【００２９】図８は、本発明をブロック弁に適用した実
施例を示したものである。このブロック弁は、流体の流
入路４１ａと流出路４１ｂ、４１ｃとを有する本体４１
に、２つの駆動部４２、４３と、３つの接続部４４、４
５、４６を設けたものである。
施例を示したものである。このブロック弁は、流体の流
入路４１ａと流出路４１ｂ、４１ｃとを有する本体４１
に、２つの駆動部４２、４３と、３つの接続部４４、４
５、４６を設けたものである。
【００３０】このうち、駆動部４２と４３は、本体４１
の内側に嵌合された中空筒状のガイド部材４２１、４３
１、ガイド部材４２１、４３１の中央部に設けられた弁
軸４２２、４３２、ダイヤフラム押え４２３、４３３、
弁シート４２４、４３４、並びにダイヤフラム押え４２
３、４３３と弁シート４２４、４３４との間に挟持され
たダイヤフラム４２５、４３５などから構成される。こ
こで、上記の弁シート４２４、４３４には、本体４１の
流入路４１ａと流出路４１ｂ、４１ｃとを連通する、上
記と同様なガス流通孔が形成されている。
の内側に嵌合された中空筒状のガイド部材４２１、４３
１、ガイド部材４２１、４３１の中央部に設けられた弁
軸４２２、４３２、ダイヤフラム押え４２３、４３３、
弁シート４２４、４３４、並びにダイヤフラム押え４２
３、４３３と弁シート４２４、４３４との間に挟持され
たダイヤフラム４２５、４３５などから構成される。こ
こで、上記の弁シート４２４、４３４には、本体４１の
流入路４１ａと流出路４１ｂ、４１ｃとを連通する、上
記と同様なガス流通孔が形成されている。
【００３１】そしてこのブロック弁では、駆動部４２と
４３においてダイヤフラム４２５、４３５を閉じた状態
においても、接続部４４から本体４１の流入路４１ａに
ガスを供給することで、このガスは流入路４１ａから、
弁シート４２４、４３４の上記のガス流通孔を介し、流
出路４１ｂ、４１ｃを通って接続部４５、４６に接続さ
れるため、接続部４５、４６からのガス流入を阻止する
ことができる。
４３においてダイヤフラム４２５、４３５を閉じた状態
においても、接続部４４から本体４１の流入路４１ａに
ガスを供給することで、このガスは流入路４１ａから、
弁シート４２４、４３４の上記のガス流通孔を介し、流
出路４１ｂ、４１ｃを通って接続部４５、４６に接続さ
れるため、接続部４５、４６からのガス流入を阻止する
ことができる。
【００３２】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、弁シート
に流入孔と流出孔とを連通するガス流通孔を設けたの
で、弁が閉じた状態においても流入路から流出路に一定
流量のガスを流すことができる。このため、流出路に上
記のベントラインを、また流入路に上記のパージ用のガ
スをそれぞれ接続することで、弁が閉じている状態にお
いても、ベントラインからのガスの流入防止を図ること
ができる。そしてこの場合、流入路から流出路に流すべ
きガスの流量は、弁シートのガス流通孔の径を変えるだ
けで良く、低コスト且つ容易に行うことができる。その
他、弁シートにガス流通孔を設けたので、弁内部におけ
るガスのパージ効果が高く、このため腐食性ガスによる
弁の腐食が抑制されて、弁自体の耐久性の向上に寄与す
ることができる。
に流入孔と流出孔とを連通するガス流通孔を設けたの
で、弁が閉じた状態においても流入路から流出路に一定
流量のガスを流すことができる。このため、流出路に上
記のベントラインを、また流入路に上記のパージ用のガ
スをそれぞれ接続することで、弁が閉じている状態にお
いても、ベントラインからのガスの流入防止を図ること
ができる。そしてこの場合、流入路から流出路に流すべ
きガスの流量は、弁シートのガス流通孔の径を変えるだ
けで良く、低コスト且つ容易に行うことができる。その
他、弁シートにガス流通孔を設けたので、弁内部におけ
るガスのパージ効果が高く、このため腐食性ガスによる
弁の腐食が抑制されて、弁自体の耐久性の向上に寄与す
ることができる。
【図１】本発明をブリード弁に適用した実施例の断面図
である。
である。
【図２】図１に使用するシート弁の断面図である。
【図３】図１のブリード弁をガス配管系に使用した状態
の説明図である。
の説明図である。
【図４】図１のブリード弁における流出路へのパージガ
スの流量のグラフである。
スの流量のグラフである。
【図５】図１のブリード弁における流出路へのパージガ
スの流量のグラフである。
スの流量のグラフである。
【図６】図１のブリード弁における流出路へのパージガ
スの流量のグラフである。
スの流量のグラフである。
【図７】本発明をブリード弁に適用した他の実施例の断
面図である。
面図である。
【図８】本発明をブロック弁に適用した実施例の断面図
である。
である。
【図９】半導体や液晶製造ラインのガス配管系の一例の
説明図である。
説明図である。
【図１０】半導体や液晶製造ラインのガス配管系の他例
の要部の説明図である
の要部の説明図である
１、２１、４１ 本体、 １ａ、２１ａ、４１ａ 流入路、 １ｂ、２１ｂ、４１ｂ、４１ｃ 流出路、 ２、２２、４２１、４３１ ガイド部材、 ３、２３、４２２、４２３ 弁軸、 １２、３４、４２５、４３５ ダイヤフラム、 ４ ハンドル、 ５ 基部、 ６ 圧縮コイルばね、 ７ 気密リング、 ８ａ、８ｂ ボール状の転動体、 ９、２９、４２３、４３３ ダイヤフラム押え、 １０、３２、４２４、４３４ 弁シート、 １１、３３ シートホルダ、 １３、３０ 中継ボール、 ２５ アクチュエータカバー、 ２６ エアー供給口、 ２７、２７ａ、２７ｂ、４２、４３ 駆動部、 ２８ 気密リング、 ３１ 押圧子、 ４４、４５、４６ 接続部、 １００ ガスボンベ、 １０１ ブリード弁、 １０２ パージ用のガス流入側、 １０３、１８１ ベントライン、 １０４ バキュームジェネレータ（真空発生器）、 １０５ シリンダーキャビネット、 １１１〜１１７ ストップ弁、 １２１、１２２ ニードル弁、 １３１〜１３３ 逆止弁、 １５１、１５２ フィルター、 １６１、１６２ 圧力ゲージ、 １４０ バキューム、 １７０ 圧力調整器、 １８３、１８４ 窒素ガス。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 平５−50254（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 7/16
Claims (6)
- 【請求項１】 流体の流入路と流出路とを有する本体
と、前記流入路の周囲に配された弁シートと、前記弁シ
ート上に載置されて前記流入路と前記流出路の間の開閉
を行うダイヤフラムとを有し、前記弁シートに、前記流
入路と前記流出路とを連通するガス流通孔を設けたこと
を特徴とするダイヤフラム弁構造。 - 【請求項２】 前記ダイヤフラム弁はブリード弁である
ことを特徴とする請求項１記載のダイヤフラム弁構造。 - 【請求項３】 前記ブリード弁は空圧弁であることを特
徴とする請求項２記載のダイヤフラム弁構造。 - 【請求項４】 前記空圧弁はダイレクトシール型ダイヤ
フラム弁であることを特徴とする請求項３記載のダイヤ
フラム弁構造。 - 【請求項５】 前記ダイヤフラム弁ブロック弁であるこ
とを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラム弁構造。 - 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれか１項に記載
のダイヤフラム弁構造を有する弁が、パージ用のガスの
流入側と真空発生器との間に取付けられ、該真空発生器
にはシリンダーキャビネットが接続されていることを特
徴とするガス配管系。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6147575A JP3017398B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | ダイヤフラム弁構造及びガス配管系 |
| US08/492,788 US6105933A (en) | 1994-06-29 | 1995-06-20 | Diaphragm valve structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6147575A JP3017398B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | ダイヤフラム弁構造及びガス配管系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814415A JPH0814415A (ja) | 1996-01-16 |
| JP3017398B2 true JP3017398B2 (ja) | 2000-03-06 |
Family
ID=15433467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6147575A Expired - Fee Related JP3017398B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | ダイヤフラム弁構造及びガス配管系 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6105933A (ja) |
| JP (1) | JP3017398B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3522535B2 (ja) * | 1998-05-29 | 2004-04-26 | 忠弘 大見 | 圧力式流量制御装置を備えたガス供給設備 |
| JP4700234B2 (ja) * | 2001-07-31 | 2011-06-15 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
| US20030042459A1 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-06 | Gregoire Roger J. | Unitary diaphragm and seat assembly |
| US20050075612A1 (en) * | 2003-10-03 | 2005-04-07 | Baxter International Inc. | Parylene coated fluid flow regulator |
| US7871387B2 (en) | 2004-02-23 | 2011-01-18 | Tyco Healthcare Group Lp | Compression sleeve convertible in length |
| US7490620B2 (en) * | 2004-02-23 | 2009-02-17 | Tyco Healthcare Group Lp | Fluid conduit connector apparatus |
| TWM290544U (en) * | 2005-11-30 | 2006-05-11 | Tricore Corp | Electromagnetic valve with different gas-releasing velocity |
| EP2003379A1 (en) * | 2007-06-12 | 2008-12-17 | Luxembourg Patent Company S.A. | High pressure diaphragm valve with exchangeable seat assembly |
| US7762523B2 (en) * | 2007-09-25 | 2010-07-27 | United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Miniaturized double latching solenoid valve |
| DE102011116392A1 (de) * | 2011-10-20 | 2013-04-25 | Buschjost GmbH | Druckluftventil zur Reingaszufuhr |
| KR102341939B1 (ko) * | 2017-11-30 | 2021-12-22 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브 장치, 이 밸브 장치를 사용한 유체제어장치 및 반도체 제조 장치 |
| US11339881B2 (en) * | 2018-02-28 | 2022-05-24 | Fujikin Incorporated | Valve device and fluid control device |
| US20230175598A1 (en) * | 2020-03-26 | 2023-06-08 | Fujikin Incorporated | Valve device |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1695848A (en) * | 1924-11-01 | 1928-12-18 | Westinghouse Lamp Co | Gas economizer |
| US1670318A (en) * | 1925-03-09 | 1928-05-22 | William H Keller Inc | Governor for pressure-fluid-operated tools |
| US1883240A (en) * | 1925-11-27 | 1932-10-18 | Honeywell Regulator Co | Magnetically operated valve |
| DE645812C (de) * | 1935-10-18 | 1937-06-03 | Junkers & Co | Druckmangelsicherung fuer Gasleitungen |
| JPS6097480U (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-03 | 旭有機材工業株式会社 | ダイヤフラムバルブ |
| JPS63115970A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-20 | Motoyama Seisakusho:Kk | ダイヤフラム弁 |
| JPH0288075A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-28 | Terumo Corp | 管状体、その製造方法およびこの管状体を組み込む流れ制御装置 |
| JP3006913B2 (ja) * | 1991-05-09 | 2000-02-07 | 清原 まさ子 | 流体制御器 |
| JPH0611055A (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-21 | Tanaka Seisakusho Kk | ガス配管用バルブ構造 |
-
1994
- 1994-06-29 JP JP6147575A patent/JP3017398B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-06-20 US US08/492,788 patent/US6105933A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0814415A (ja) | 1996-01-16 |
| US6105933A (en) | 2000-08-22 |
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