JPH06193747A - メタルダイアフラム弁 - Google Patents
メタルダイアフラム弁Info
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- JPH06193747A JPH06193747A JP34578892A JP34578892A JPH06193747A JP H06193747 A JPH06193747 A JP H06193747A JP 34578892 A JP34578892 A JP 34578892A JP 34578892 A JP34578892 A JP 34578892A JP H06193747 A JPH06193747 A JP H06193747A
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- Japan
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- valve seat
- metal diaphragm
- metal
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 メンテナンスのしやすい、また経済的なメタ
ルダイアフラム弁を得ること。 【構成】 金属製の弁箱と、該弁箱内に設けた弁座と、
周縁部を密封挾持すると共に略中央部が前記弁座に対し
直接接離自在に対向するメタルダイアフラムと、該メタ
ルダイアフラムの略中央部を前記弁座方向に押圧する負
荷手段とを有するメタルダイアフラム弁であって、前記
弁座は弁箱とは別体で着脱自在に形成した樹脂製あるい
は金属製の弁座体としたメタルダイアフラム弁。及び上
記のバルブ要素を複数個連結して形成した複合型のメタ
ルダイアラム弁。
ルダイアフラム弁を得ること。 【構成】 金属製の弁箱と、該弁箱内に設けた弁座と、
周縁部を密封挾持すると共に略中央部が前記弁座に対し
直接接離自在に対向するメタルダイアフラムと、該メタ
ルダイアフラムの略中央部を前記弁座方向に押圧する負
荷手段とを有するメタルダイアフラム弁であって、前記
弁座は弁箱とは別体で着脱自在に形成した樹脂製あるい
は金属製の弁座体としたメタルダイアフラム弁。及び上
記のバルブ要素を複数個連結して形成した複合型のメタ
ルダイアラム弁。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置などに
用いられるメタルダイアフラム弁、あるいはこのメタル
ダイアフラム弁のバルブ要素を複数個連結したあるいは
１つの弁本体にまとめた複合型ブロック弁に関する。
用いられるメタルダイアフラム弁、あるいはこのメタル
ダイアフラム弁のバルブ要素を複数個連結したあるいは
１つの弁本体にまとめた複合型ブロック弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置などの配管系に用
いられる開閉弁としては、例えば特開昭63−285373号に
開示されたメタルダイアフラム弁がある。このメタルダ
イアフラム弁は中央部が上方に膨出した金属製のメタル
ダイアフラムと樹脂製の弁座を有する構造で、このメタ
ルダイアフラムを弁座に直接着座あるいは離座させて弁
を開閉するようにしたものである。近年、半導体製造プ
ロセスで使用されるプロセスガスは多種多様にわたって
きており、これらのガスを組合せ混合して導入又は排出
する配管系も多々ある。このような時使用されるのが入
口及び出口流路を複数組設けた複合弁であるが、これに
は例えば実開昭61−6076号に開示されたように、ブロッ
ク状の弁本体内に導入用エア弁と排出用エア弁を複数組
配設した複合型のブロック弁がある。この複合型ブロッ
ク弁は、継手の接続箇所を減らすことができるのでガス
漏れの可能性箇所を減じ、配管作業が容易になるという
長所を有している。さらにガス溜りも小さくできる長所
を有している。
いられる開閉弁としては、例えば特開昭63−285373号に
開示されたメタルダイアフラム弁がある。このメタルダ
イアフラム弁は中央部が上方に膨出した金属製のメタル
ダイアフラムと樹脂製の弁座を有する構造で、このメタ
ルダイアフラムを弁座に直接着座あるいは離座させて弁
を開閉するようにしたものである。近年、半導体製造プ
ロセスで使用されるプロセスガスは多種多様にわたって
きており、これらのガスを組合せ混合して導入又は排出
する配管系も多々ある。このような時使用されるのが入
口及び出口流路を複数組設けた複合弁であるが、これに
は例えば実開昭61−6076号に開示されたように、ブロッ
ク状の弁本体内に導入用エア弁と排出用エア弁を複数組
配設した複合型のブロック弁がある。この複合型ブロッ
ク弁は、継手の接続箇所を減らすことができるのでガス
漏れの可能性箇所を減じ、配管作業が容易になるという
長所を有している。さらにガス溜りも小さくできる長所
を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記した複合型ブロッ
ク弁でもシール部分の構成は、メタルダイアフラム弁と
同様にメタルダイアフラムと樹脂製弁座による金属と樹
脂の接離構造、あるいはメタルダイアフラムと弁箱と一
体的に形成された金属製弁座による金属と金属の接離構
造がとられている。ところで、このメタルダイアフラム
弁が上記の接触部分からシート漏れを起した場合、考え
られる原因としてはメタルダイアフラムと弁座が接触す
るシート部分に異物の噛み込み等があり接触面に傷が付
くということである。ところが多くの場合ダイアフラム
側に傷が付いたのか、弁座側に傷が付いたのか確認する
ことは困難である。しかも、この時ダイアフラム側の交
換はまだしも、樹脂シート側の交換は樹脂体がかしめ等
によって取付けられているので容易なことではない。弁
箱と一体型の弁座にあっては不可能である。従って現実
的には、このようなメンテナンスは行われることは少な
くそのまま新品の弁と交換してしまうのが実状であっ
た。このことは複合型ブロック弁の場合、特に影響が大
きい。即ちバルブ要素の内１個でも上記のようなシート
漏れ等の不具合が生じればブロック弁全体が機能しなく
なり、高価な新品と交換せざるをえないという問題があ
る。ブロック弁は複数個分のバルブ機能を有している分
高価となるので、経済的な面で負担が大きい。本発明
は、メタルダイアフラム弁のダイアフラム及び弁座部材
を交換可能にすると共に、経済的な複合型ブロック弁を
提供することを目的とする。
ク弁でもシール部分の構成は、メタルダイアフラム弁と
同様にメタルダイアフラムと樹脂製弁座による金属と樹
脂の接離構造、あるいはメタルダイアフラムと弁箱と一
体的に形成された金属製弁座による金属と金属の接離構
造がとられている。ところで、このメタルダイアフラム
弁が上記の接触部分からシート漏れを起した場合、考え
られる原因としてはメタルダイアフラムと弁座が接触す
るシート部分に異物の噛み込み等があり接触面に傷が付
くということである。ところが多くの場合ダイアフラム
側に傷が付いたのか、弁座側に傷が付いたのか確認する
ことは困難である。しかも、この時ダイアフラム側の交
換はまだしも、樹脂シート側の交換は樹脂体がかしめ等
によって取付けられているので容易なことではない。弁
箱と一体型の弁座にあっては不可能である。従って現実
的には、このようなメンテナンスは行われることは少な
くそのまま新品の弁と交換してしまうのが実状であっ
た。このことは複合型ブロック弁の場合、特に影響が大
きい。即ちバルブ要素の内１個でも上記のようなシート
漏れ等の不具合が生じればブロック弁全体が機能しなく
なり、高価な新品と交換せざるをえないという問題があ
る。ブロック弁は複数個分のバルブ機能を有している分
高価となるので、経済的な面で負担が大きい。本発明
は、メタルダイアフラム弁のダイアフラム及び弁座部材
を交換可能にすると共に、経済的な複合型ブロック弁を
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、金属製の弁箱
と、該弁箱内に設けた弁座と、周縁部を密封挾持すると
共に略中央部が前記弁座に対し直接接離自在に対向する
メタルダイアフラムと、該メタルダイアフラムの略中央
部を前記弁座方向に押圧する負荷手段とを有するメタル
ダイアフラム弁であって、前記弁座は弁箱とは別体で着
脱自在に形成した樹脂製あるいは金属製の弁座体とした
メタルダイアフラム弁である。また上記したメタルダイ
アフラム弁のバルブ要素を複数個連結してなる複合型の
メタルダイアフラム弁において、弁座は弁箱とは別体で
着脱自在に形成した樹脂製あるいは金属製の弁座体とす
ることが効果的である。さらに金属製の弁座体の上面あ
るいは上面及び下面に軟質のシートリング部材を装着す
るようにしてもよい。
と、該弁箱内に設けた弁座と、周縁部を密封挾持すると
共に略中央部が前記弁座に対し直接接離自在に対向する
メタルダイアフラムと、該メタルダイアフラムの略中央
部を前記弁座方向に押圧する負荷手段とを有するメタル
ダイアフラム弁であって、前記弁座は弁箱とは別体で着
脱自在に形成した樹脂製あるいは金属製の弁座体とした
メタルダイアフラム弁である。また上記したメタルダイ
アフラム弁のバルブ要素を複数個連結してなる複合型の
メタルダイアフラム弁において、弁座は弁箱とは別体で
着脱自在に形成した樹脂製あるいは金属製の弁座体とす
ることが効果的である。さらに金属製の弁座体の上面あ
るいは上面及び下面に軟質のシートリング部材を装着す
るようにしてもよい。
【０００５】
【作用】本発明は上記のとおり、弁座体を弁箱とは別体
にして着脱自在の構成としたのでまずメンテナンス等で
弁座を交換することが容易となりシート漏れをなくすこ
とができる。また例えば開口径の異なる弁座体をいくつ
か用意すれば、これらの弁座体を用途によって交換する
ことで異なる流量特性の弁を得ることができる。このバ
ルブ要素を目的に応じて連結し一体化したブロック状の
複合型メタルダイアフラム弁の場合、比較的安価なダイ
アフラムや弁座体を交換するだけで補修できるので経済
的な効果は大となる。また弁座体の上面及び下面に軟質
のシートリング部材を装着すると、上下面の方向性を考
える必要がないし、組立時に生じる弁座シート面の平担
度のずれや寸法誤差等を下面の軟質シートリング材が吸
収して補正してくれるので、交換後のシール性能も安定
したものが得られる。
にして着脱自在の構成としたのでまずメンテナンス等で
弁座を交換することが容易となりシート漏れをなくすこ
とができる。また例えば開口径の異なる弁座体をいくつ
か用意すれば、これらの弁座体を用途によって交換する
ことで異なる流量特性の弁を得ることができる。このバ
ルブ要素を目的に応じて連結し一体化したブロック状の
複合型メタルダイアフラム弁の場合、比較的安価なダイ
アフラムや弁座体を交換するだけで補修できるので経済
的な効果は大となる。また弁座体の上面及び下面に軟質
のシートリング部材を装着すると、上下面の方向性を考
える必要がないし、組立時に生じる弁座シート面の平担
度のずれや寸法誤差等を下面の軟質シートリング材が吸
収して補正してくれるので、交換後のシール性能も安定
したものが得られる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら説明する。図１は手動開閉型のメタルダイアフラム弁
の全開状態を示す縦断面図である。１はメタルシートダ
イアフラム弁の弁箱で耐食性のあるステンレス材例えば
SUS 316Lよりなる。左側に流入流路２、右側に流出流路
３がそれぞれ略Ｌ字状に形成され、これらの流路は上部
の開口部12で互いに連通されるようになっている。開口
部12の中には弁座体４が着脱可能に嵌着されている。弁
座体４の中央部には流入流路２につながる開口孔があ
り、その外側には、流出流路３につながる開口孔43がほ
ぼ均等に複数個あけられている。また、上面には高分子
材料からなる比較的軟質のシートリング41が、かしめ手
段等により装着されており、この部分とメタルダイアフ
ラム５が接触してシールする。弁箱１の上部開口部12の
周縁と上記弁座体４の周縁との間で段差面を形成し、こ
こに後述するメタルダイアフラム５の周縁部を載置し、
ダイアフラム押え６を介してふた７を弁箱１に対し螺合
することにより、メタルダイアフラム５の周縁部を弁箱
１に密封挾持する。これによって接ガス部と、負荷手段
部分とを区画し、密封された流体室11が形成される。
ら説明する。図１は手動開閉型のメタルダイアフラム弁
の全開状態を示す縦断面図である。１はメタルシートダ
イアフラム弁の弁箱で耐食性のあるステンレス材例えば
SUS 316Lよりなる。左側に流入流路２、右側に流出流路
３がそれぞれ略Ｌ字状に形成され、これらの流路は上部
の開口部12で互いに連通されるようになっている。開口
部12の中には弁座体４が着脱可能に嵌着されている。弁
座体４の中央部には流入流路２につながる開口孔があ
り、その外側には、流出流路３につながる開口孔43がほ
ぼ均等に複数個あけられている。また、上面には高分子
材料からなる比較的軟質のシートリング41が、かしめ手
段等により装着されており、この部分とメタルダイアフ
ラム５が接触してシールする。弁箱１の上部開口部12の
周縁と上記弁座体４の周縁との間で段差面を形成し、こ
こに後述するメタルダイアフラム５の周縁部を載置し、
ダイアフラム押え６を介してふた７を弁箱１に対し螺合
することにより、メタルダイアフラム５の周縁部を弁箱
１に密封挾持する。これによって接ガス部と、負荷手段
部分とを区画し、密封された流体室11が形成される。
【０００７】メタルダイアフラム５は、弾性変形可能な
適宜の金属材料からなり、その中央部が上方に膨出した
形状で２乃至３枚を重ねて用いる。そして、中央部が上
記弁座体のシール面41と直接接離（着座あるいは離座）
自在に対向して開閉作用をなし得るように上記の通り配
置される。一方負荷手段10は、ふた７の中央の貫通孔に
嵌合し、一部でねじ螺合する弁棒８と、この弁棒８の外
端部に設けられたハンドル９を備えている。ここで弁棒
でなく空圧等の流体圧や磁力などによって昇降させる構
造としてもよい。また弁棒８の先端面は適宜な曲面形状
となっているが、この局面状の端面とメタルダイアフラ
ム５との間に軟質材からなる押圧部材を介在させてもよ
い。
適宜の金属材料からなり、その中央部が上方に膨出した
形状で２乃至３枚を重ねて用いる。そして、中央部が上
記弁座体のシール面41と直接接離（着座あるいは離座）
自在に対向して開閉作用をなし得るように上記の通り配
置される。一方負荷手段10は、ふた７の中央の貫通孔に
嵌合し、一部でねじ螺合する弁棒８と、この弁棒８の外
端部に設けられたハンドル９を備えている。ここで弁棒
でなく空圧等の流体圧や磁力などによって昇降させる構
造としてもよい。また弁棒８の先端面は適宜な曲面形状
となっているが、この局面状の端面とメタルダイアフラ
ム５との間に軟質材からなる押圧部材を介在させてもよ
い。
【０００８】そして、ハンドル９を回転することによっ
て弁棒８が昇降し、メタルダイアフラム５の中央部が弁
座体４に接離して弁が開閉されるようになっている。す
なわち、弁棒８を下降させると曲面状の最下端面はメタ
ルダイアフラム５を押圧し、メタルダイアフラム５は弾
性変形し中央部は下方に移動するが、ここでメタルダイ
アフラムの弾性変形の範囲内で中央部が弁座体４に圧接
して弁が閉状態となるようにメタルダイアフラムと弁座
との間隔すなわちリフトを定める。そして、この後弁棒
８を上昇させたときにはメタルダイアフラム５が弁棒８
に追従して上昇し、元の形状に自己の力で弾性復起する
ようにする。即ちメタルダイアフラムを弾性変形範囲内
で変形させて弁を開閉するようにしている。
て弁棒８が昇降し、メタルダイアフラム５の中央部が弁
座体４に接離して弁が開閉されるようになっている。す
なわち、弁棒８を下降させると曲面状の最下端面はメタ
ルダイアフラム５を押圧し、メタルダイアフラム５は弾
性変形し中央部は下方に移動するが、ここでメタルダイ
アフラムの弾性変形の範囲内で中央部が弁座体４に圧接
して弁が閉状態となるようにメタルダイアフラムと弁座
との間隔すなわちリフトを定める。そして、この後弁棒
８を上昇させたときにはメタルダイアフラム５が弁棒８
に追従して上昇し、元の形状に自己の力で弾性復起する
ようにする。即ちメタルダイアフラムを弾性変形範囲内
で変形させて弁を開閉するようにしている。
【０００９】なお、流入流路２、流出流路３及び開口部
12等の接ガス部は電解研磨加工などによってＲmax0.4μ
ｍ以下の鏡面仕上げが施されている。またメタルダイア
フラム５は熱処理によってHv300〜500程度の硬さになっ
ており、表面粗さも0.2μｍ以下に施されている。弁座
体４は弁箱１と同一の材料でSUS 316L材を使用してい
る。鏡面仕上げは少なくとも下面に上記と同等の鏡面仕
上げを施して弁箱との間をシールするようにしている。
なお、この部分のシールは閉弁時には負荷手段による上
からの力によって閉の時は完全にシールするようにし、
開弁時はある程度漏れを流出流路側に許容し得るので、
開口部12に対応する部分はそのように表面粗さを柔軟に
対応してよいものと考えられる。
12等の接ガス部は電解研磨加工などによってＲmax0.4μ
ｍ以下の鏡面仕上げが施されている。またメタルダイア
フラム５は熱処理によってHv300〜500程度の硬さになっ
ており、表面粗さも0.2μｍ以下に施されている。弁座
体４は弁箱１と同一の材料でSUS 316L材を使用してい
る。鏡面仕上げは少なくとも下面に上記と同等の鏡面仕
上げを施して弁箱との間をシールするようにしている。
なお、この部分のシールは閉弁時には負荷手段による上
からの力によって閉の時は完全にシールするようにし、
開弁時はある程度漏れを流出流路側に許容し得るので、
開口部12に対応する部分はそのように表面粗さを柔軟に
対応してよいものと考えられる。
【００１０】以上のように、弁座体４は弁箱１とは別体
にして着脱自在に構成されている。従って、シート漏れ
等が生じメンテナンスが必要な際には、ふた７を弁箱１
からはずして、ダイアフラム押え６を取り、そしてメタ
ルダイアフラム５又は弁座体４を、あるいは両者を新品
に交換して補修を行うことができる。またこのように弁
座体の交換が簡単であるので、弁座体の開口孔径や形状
を変化させるなどして特性の異なる弁座体をいくつか用
意すれば、その弁座体を場合に応じて交換することによ
って、異なった特性のメタルダイアフラム弁をすぐに得
ることができる。なお弁座体４は、弁箱と同材質で全金
属製としてもよく、この場合は図３に示すように略中央
部の上下面に突出部分を形成し、鏡面仕上げや硬度等を
適宜選択して形成することが望ましい。
にして着脱自在に構成されている。従って、シート漏れ
等が生じメンテナンスが必要な際には、ふた７を弁箱１
からはずして、ダイアフラム押え６を取り、そしてメタ
ルダイアフラム５又は弁座体４を、あるいは両者を新品
に交換して補修を行うことができる。またこのように弁
座体の交換が簡単であるので、弁座体の開口孔径や形状
を変化させるなどして特性の異なる弁座体をいくつか用
意すれば、その弁座体を場合に応じて交換することによ
って、異なった特性のメタルダイアフラム弁をすぐに得
ることができる。なお弁座体４は、弁箱と同材質で全金
属製としてもよく、この場合は図３に示すように略中央
部の上下面に突出部分を形成し、鏡面仕上げや硬度等を
適宜選択して形成することが望ましい。
【００１１】次に本発明の他の実施例を図２に示す。図
２はメタルダイアフラム弁の全開状態を示す縦断面図で
あるが、これらのバルブ要素は上記した図１のものと同
じであるので説明は省略する。この例では弁座体４Ｂの
上下面にそれぞれ上記と同様のシートリング41Ｂ及び42
Ｂを装着したものである。これによって弁座体４Ｂを弁
箱１内に嵌着した際に生じるシートリング41Ｂの平担度
のずれ、及び弁座体自身にある加工誤差や組立時の組立
て誤差などの寸法誤差を、シートリング42Ｂの弾性的な
変形によって吸収することができる。
２はメタルダイアフラム弁の全開状態を示す縦断面図で
あるが、これらのバルブ要素は上記した図１のものと同
じであるので説明は省略する。この例では弁座体４Ｂの
上下面にそれぞれ上記と同様のシートリング41Ｂ及び42
Ｂを装着したものである。これによって弁座体４Ｂを弁
箱１内に嵌着した際に生じるシートリング41Ｂの平担度
のずれ、及び弁座体自身にある加工誤差や組立時の組立
て誤差などの寸法誤差を、シートリング42Ｂの弾性的な
変形によって吸収することができる。
【００１２】さらに他の実施例を図４及び図５に示す。
図４は上記の第１あるいは第２実施例で説明したメタル
ダイアフラム弁の１つのバルブ要素を複数個連結して形
成した複合型のメタルダイアフラム弁を示し、その上面
図である。図５は図４の側面図である。この例の複合型
メタルダイアフラム弁は、負荷手段として空圧式のシリ
ンダを利用した10連９方弁である。各々のメタルダイア
フラムは上記と同様であり、弁座体も着脱可能になって
いる。この10連９方弁の働きを簡単に説明すると、これ
は各弁箱Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに一対のノーマルクローズ
弁形式のメタルダイアフラム弁のバルブ要素を一体的に
組込んだもので、合計10個のバルブ要素でもって複合型
メタルダイアフラム弁を構成している。Ｉ１，Ｉ２はキ
ャリアガスの入口、Ｇ１〜Ｇ５はそれぞれ反応ガスの入
口である。またＯ１はベント側の出口でＯ２は反応チャ
ンバー側の出口である。例えばＩ１よりキャリアガス１
を流入し、又Ｉ２よりキャリアガス２を流入して、Ｇ１
〜Ｇ５より反応ガス１〜５を適宜混合し、Ｏ２より所望
の反応ガスを得ることができる。このときの混合は各メ
タルダイアフラム弁Ａ２〜Ｅ２を開動作させて行う。一
方ベント側へ反応ガス１〜５を送る場合は同様に適宜メ
タルダイアフラム弁Ａ１〜Ｅ１を開動作させて行うもの
である。このように複数のバルブ要素を備えてはじめて
一つの機能を達成するものにおいては、１つのバルブに
ついてシート漏れが発生すれば全体の機能が損なわれる
ので、メンテナンスが簡単にできることは極めて有利で
ある。
図４は上記の第１あるいは第２実施例で説明したメタル
ダイアフラム弁の１つのバルブ要素を複数個連結して形
成した複合型のメタルダイアフラム弁を示し、その上面
図である。図５は図４の側面図である。この例の複合型
メタルダイアフラム弁は、負荷手段として空圧式のシリ
ンダを利用した10連９方弁である。各々のメタルダイア
フラムは上記と同様であり、弁座体も着脱可能になって
いる。この10連９方弁の働きを簡単に説明すると、これ
は各弁箱Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに一対のノーマルクローズ
弁形式のメタルダイアフラム弁のバルブ要素を一体的に
組込んだもので、合計10個のバルブ要素でもって複合型
メタルダイアフラム弁を構成している。Ｉ１，Ｉ２はキ
ャリアガスの入口、Ｇ１〜Ｇ５はそれぞれ反応ガスの入
口である。またＯ１はベント側の出口でＯ２は反応チャ
ンバー側の出口である。例えばＩ１よりキャリアガス１
を流入し、又Ｉ２よりキャリアガス２を流入して、Ｇ１
〜Ｇ５より反応ガス１〜５を適宜混合し、Ｏ２より所望
の反応ガスを得ることができる。このときの混合は各メ
タルダイアフラム弁Ａ２〜Ｅ２を開動作させて行う。一
方ベント側へ反応ガス１〜５を送る場合は同様に適宜メ
タルダイアフラム弁Ａ１〜Ｅ１を開動作させて行うもの
である。このように複数のバルブ要素を備えてはじめて
一つの機能を達成するものにおいては、１つのバルブに
ついてシート漏れが発生すれば全体の機能が損なわれる
ので、メンテナンスが簡単にできることは極めて有利で
ある。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、弁座部分は弁箱とは別
体の弁座体として形成し、この弁座体は弁箱内に着脱自
在になって構成されているのでシート漏れが生じたとき
に疑わしきダイアフラムあるいは弁座体を新品に交換す
ることが容易である。このことは複合型のブロック型メ
タルダイアフラム弁の場合一層効果的である。以上より
メンテナンスが容易で経済的なメタルダイアフラム弁あ
るいは複合型メタルダイアフラム弁を得ることができ
る。
体の弁座体として形成し、この弁座体は弁箱内に着脱自
在になって構成されているのでシート漏れが生じたとき
に疑わしきダイアフラムあるいは弁座体を新品に交換す
ることが容易である。このことは複合型のブロック型メ
タルダイアフラム弁の場合一層効果的である。以上より
メンテナンスが容易で経済的なメタルダイアフラム弁あ
るいは複合型メタルダイアフラム弁を得ることができ
る。
【図１】 本発明の一実施例を示すメタルダイアフラム
弁の縦断面図。
弁の縦断面図。
【図２】 他の実施例を示すメタルダイアフラム弁の縦
断面図。
断面図。
【図３】 他の弁座体の例を示す断面図。
【図４】 本発明のさらに他の実施例を示す複合型メタ
ルダイアフラム弁の上面図。
ルダイアフラム弁の上面図。
【図５】 図４の側面図。
１…弁箱 ２…流入流路 ３…流出流路 ４…弁座体 ５…メタルダイアフラム ６…ダイアフラム押え ７…ふた ８…弁棒 ９…ハンドル ４Ｂ…弁座体 41，41Ｂ，42Ｂ…シートリング
Claims (4)
- 【請求項１】 金属製の弁箱と、該弁箱内に設けた弁座
と、周縁部を密封挾持すると共に略中央部が前記弁座に
対し直接接離自在に対向するメタルダイアフラムと、該
メタルダイアフラムの略中央部を前記弁座方向に押圧す
る負荷手段とを有するメタルダイアフラム弁であって、
前記弁座は弁箱とは別体で着脱自在に形成した樹脂製あ
るいは金属製の弁座体としたことを特徴とするメタルダ
イアフラム弁。 - 【請求項２】 金属製の弁箱と、該弁箱内に設けた弁座
と、周縁部を密封挾持すると共に略中央部が前記弁座に
対し直接接離自在に対向するメタルダイアフラムと、該
メタルダイアフラムの略中央部を前記弁座方向に押圧す
る負荷手段とからなるバルブ要素単位を複数個連結した
複合型のメタルダイアフラム弁となし、前記バルブ要素
の各弁座は弁箱とは別体で着脱自在に形成した樹脂製あ
るいは金属製の弁座体としたことを特徴とするメタルダ
イアフラム弁。 - 【請求項３】 前記金属製の弁座体の上面に軟質のシー
トリング部材を装着したことを特徴とする請求項１又は
２記載のメタルダイアフラム弁。 - 【請求項４】 前記金属製の弁座体の上面及び下面に軟
質のシートリング部材を装着したことを特徴とする請求
項１又は２記載のメタルダイアフラム弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34578892A JPH06193747A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | メタルダイアフラム弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34578892A JPH06193747A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | メタルダイアフラム弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06193747A true JPH06193747A (ja) | 1994-07-15 |
Family
ID=18378985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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-
1992
- 1992-12-25 JP JP34578892A patent/JPH06193747A/ja active Pending
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