JPH05214048A - 光硬化性樹脂組成物およびソルダーレジスト用光硬化性樹脂組成物 - Google Patents

光硬化性樹脂組成物およびソルダーレジスト用光硬化性樹脂組成物

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JPH05214048A
JPH05214048A JP4229192A JP4229192A JPH05214048A JP H05214048 A JPH05214048 A JP H05214048A JP 4229192 A JP4229192 A JP 4229192A JP 4229192 A JP4229192 A JP 4229192A JP H05214048 A JPH05214048 A JP H05214048A
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仁士 湯浅
Fumiaki Oshimi
文明 押見
Yutaka Otsuki
裕 大月
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 特定のエポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸
との反応物に、多塩基酸無水物を反応させて得られる感
光性樹脂及び光重合開始剤を必須成分として含むことを
特徴とする光硬化性樹脂組成物並びに前記光硬化性樹脂
組成物、エポキシ樹脂及び硬化促進剤を含有するソルダ
ーレジスト用光硬化性樹脂組成物。 【効果】 本発明の光硬化性樹脂組成物は、紫外線硬化
型でかつアルカリ現像ができるため、作業性が良く、精
度の良いレジストパターンが得られ、密着性、電気絶縁
性及び耐電触性、半田耐熱性、レベラー用水溶性フラッ
クスに対する非白化性、溶剤に対する耐性、耐酸および
耐アルカリ性、耐メッキ性、PCT性等に優れる硬化塗
膜が得られる。またソルダーレジスト用光硬化性樹脂組
成物は、前記光硬化性樹脂組成物を含有するので、種々
の特性に優れたソルダーレジストを得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、新規、且つ有用な光硬
化性樹脂組成物及びソルダーレジスト用光硬化性樹脂組
成物に関し、さらに詳しくは、光硬化性、耐熱性、耐溶
剤性、耐酸性、耐湿性、電気特性に優れるプリント配線
基板等に有用であり、アルカリ水溶液で現像可能な光硬
化性樹脂組成物及びソルダーレジスト用光硬化性樹脂組
成物に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体部品の急速な進歩により電
子機器は小型軽量薄型化、高性能化、多機能化の傾向に
ある。これらに伴い、プリント配線板も高密度化、高多
層化の方向にあり、更に該プリント配線板に使用される
エッチングレジスト、メッキレジストあるいはソルダー
レジストなどの各種の有機レジストに対しても高解像
度、高信頼性等の要求がますます高まっている。
【0003】プリント配線板のレジストパターンの作成
法としては、従来はスクリーン印刷法が多く用いられて
きたが、該スクリーン印刷法では最近の高密度化に対応
できなくなり、現在では主としてドライフィルムや液状
レジスト等のフォトレジストが用いられている。
【0004】一方、前記フォトレジストを現像する際に
溶剤を使用しているが、最近では大気汚染、作業環境の
点から溶剤現像が問題視されている。そこで特開昭61
−243869号公報においては、ノボラックエポキシ
樹脂に感光基と酸基とを導入した感光性樹脂を用いた、
アルカリ水溶液で現像することができるアルカリ現像型
フォトレジストが提案されている。
【0005】しかしながら、前記アルカリ現像型フォト
レジストは、確かに高解像度及び良好な作業性を有して
いるものの、分子中に酸基を導入しているため耐湿性、
耐酸性、耐めっき性あるいは電気特性などに対する信頼
性が低下するという問題がある。そこで、これらの特性
の低下を補うため、現在、添加剤としてフィラーや該レ
ジストと組み合わせる硬化剤が、種々検討されている
が、未だ実用化に十分なレベルには至っておらず、高信
頼性が要求されるプリント配線板において、従来の熱硬
化性あるいは溶剤現像型フォトレジストが用いられてい
るのが現状である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の目的
は、最近のエレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴うプ
リント配線板の高密度化及び小型部品の表面実装化に対
応して、より精細なパターンが形成できる。また高い光
硬化反応性と高い解像度、良好な現像性、長いポットラ
イフ、優れた密着性、優れた電気絶縁性および耐電触
性、優れたはんだ耐熱性、レベラー用水溶性フラックス
に対する非白化性、塩化メチレンのような溶剤に対する
優れた耐性、優れた耐酸および耐アルカリ性、優れた耐
メッキ性、優れたPCT(Presure Cooker Test)性な
どの特性をすべて具備し、更には耐湿性、電気特性に優
れるアルカリ現像可能な光硬化性樹脂組成物及びソルダ
ーレジスト用樹脂組成物を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、(A)
下記一般式化2で表わされるエポキシ樹脂(以下、エポ
キシ樹脂(1)という)と不飽和モノカルボン酸との反
応物に多塩基酸無水物を反応させて得られる感光性樹脂
(以下、感光性樹脂(a)という)及び(B)光重合開
始剤を必須成分として含むことを特徴とする光硬化性樹
脂組成物が提供される。
【0008】
【化2】
【0009】また本発明によれば、前記光硬化性樹脂組
成物、エポキシ樹脂及び硬化促進剤を含有するソルダー
レジスト用光硬化性樹脂組成物が提供される。
【0010】以下、本発明について更に詳細に説明す
る。
【0011】本発明の光硬化性樹脂組成物は、特定の感
光性樹脂及び光重合開始剤を必須成分として含むことを
特徴とする。
【0012】本発明の光硬化性樹脂組成物において必須
成分として用いる感光性樹脂は、特定のエポキシ樹脂と
不飽和モノカルボン酸との反応物に、さらに多塩基酸無
水物を反応させて得られる感光性樹脂(a)である。
【0013】前記感光性樹脂(a)の原料成分として用
いる前記特定のエポキシ樹脂は、前記一般式化2で表わ
されるエポキシ樹脂(1)である。該エポキシ樹脂
(1)としては、下記一般式化3で示されるフェノール
樹脂をグリシジル化して得られる化合物等を好ましく挙
げることができ、具体的には例えば下記化学式化4、化
5、化6、化7、化8、化9、化10で表わされるエポ
キシ樹脂等を好ましく挙げることができる(但し、式中
Gはグリシジル基を示し、m及びxは1〜10の正数を
示す、なお、m≧x≧1/2mである。)
【0014】
【化3】
【0015】
【化4】
【0016】
【化5】
【0017】
【化6】
【0018】
【化7】
【0019】
【化8】
【0020】
【化9】
【0021】
【化10】
【0022】前記フェノール樹脂を調製するには、酸触
媒の存在下、下記一般式化11で示されるフェノール化
合物と炭素−炭素二重結合を少なくとも2個有する炭素
数5〜16の不飽和多環式炭化水素(以下不飽和多環式
炭化水素(2)という)とを共重合させて得られる化合
物等を好ましく挙げることができる。
【0023】
【化11】
【0024】前記フェノール樹脂の原料成分として用い
ることができる前記フェノール化合物としては、具体的
には例えば、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾ
ール、p−クレゾール、t−ブチルフェノール、2,4
−ジメチルフェノール、2,6−ジメチルフェノール及
びこれらの混合物等からなる群より選択される化合物を
好ましく挙げることができ、特に得られる樹脂の特性、
精製の容易さあるいは経済性の点でフェノール、クレゾ
ール類、キシレノール類を用いるのが好ましい。
【0025】前記フェノール樹脂のもう一方の原料成分
として用いることができる、前記不飽和多環式炭化水素
(2)としては、炭素−炭素二重結合を少なくとも2個
有する炭素数5〜16の不飽和多環式炭化水素でれば、
特に限定されるものではないが、例えば、ブタジエン、
イソプレン、ピペリレン等の鎖状の共役ジエン化合物;
シクロペンタジエン、メチルシクロペンタジエン等の環
状共役ジエン化合物及びこれらの混合物からなる群より
選択される化合物のディールス・アルダー反応生成物等
を好ましく挙げることができ、具体的には例えば下記化
学式化12、化13、化14、化15、化16、化1
7、化18、化19、化20、化21、化22、化23
で示される化合物等を好ましく挙げることができる。
【0026】
【化12】
【0027】
【化13】
【0028】
【化14】
【0029】
【化15】
【0030】
【化16】
【0031】
【化17】
【0032】
【化18】
【0033】
【化19】
【0034】
【化20】
【0035】
【化21】
【0036】
【化22】
【0037】
【化23】
【0038】前記化学式化12〜化23で表わされる化
合物は、いずれもEPDM(エチレン・プロピレン・ジ
エン・メチレンゴム)の第三成分である5−エチリデン
ノルボルネンの製造プラントの中間原料または副生物
で、工業的に安価に入手することができる化合物であ
る。
【0039】また、前記不飽和多環式炭化水素(2)と
しては、シクロペンタジエン、メチルシクロペンタジエ
ン等の環状ジエン化合物を、単独もしくは2種類以上を
混合して用いることもできる。
【0040】前記フェノール化合物と前記不飽和多環式
炭化水素(2)との仕込み割合は、フェノール化合物
を、前記不飽和多環式炭化水素(2)に対して0.8〜
12倍モル当量用いることが好ましく、さらに好ましく
は1〜8倍モル当量である。フェノール化合物の仕込み
量が0.8倍モル当量より少ない場合には、不飽和多環
式炭化水素(2)の単独重合が併発し、12倍モル当量
を超えると未反応のフェノール化合物の回収が困難とな
るので好ましくない。
【0041】前記フェノール樹脂を製造するにあたり、
フェノール化合物と不飽和多環式炭化水素(2)との共
重合に際して用いる酸触媒としては、三フッ化ホウ素;
三フッ化ホウ素のエーテル錯体、水錯体、アミン錯体、
フェノール錯体またはアルコール錯体等の三フッ化ホウ
素錯体;三塩化アルミニウム、ジエチルアルミニウムモ
ノクロリド等のアルミニウム化合物;塩化鉄;四塩化チ
タン;硫酸;フッ化水素;トリフルオロメタンスルホン
酸等を好ましく使用することができ、特に活性と触媒の
除去の容易さの点から三フッ化ホウ素、三フッ化ホウ素
錯体が好ましく、さらには三フッ化ホウ素、三フッ化ホ
ウ素・フェノール錯体が最も好ましい。
【0042】前記酸触媒の使用量は特に限定されず、使
用する触媒により異なるが、例えば、三フッ化ホウ素・
フェノール錯体を用いる場合には、不飽和多環式炭化水
素(2)100重量部に対して0.1〜20重量部とす
るのが好ましく、特に0.5〜10重量部とするのが好
ましい。
【0043】前記フェノール樹脂は、溶剤を使用しても
使用しなくても製造することができ、溶剤を使用しない
場合は前記フェノール化合物(2)を前記不飽和多環式
炭化水素(2)に対して通常当モル量以上、好ましくは
3〜12倍モル当量用いるのが好ましい。溶剤を使用す
る場合、該溶剤としては、反応を阻害しない溶剤であれ
ば特に制限されるものではないが、特に好ましい溶剤と
しては、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化
水素化合物等が挙げられる。
【0044】前記フェノール樹脂を製造する際の重合温
度は、使用する酸触媒の種類により異なるが、例えば三
フッ化ホウ素・フェノール錯体を用いる場合には、通常
20〜170℃、好ましくは50〜150℃である。前
記重合温度が170℃を超える場合には触媒の分解又は
副反応が生じ、また20℃未満の場合には、反応が遅延
し、経済的に不利であるので好ましくない。
【0045】また前記フェノール樹脂を製造する際に
は、反応を円滑に進行させるために、系内の水分をでき
るだけ少なくすることが好ましく、特に100重量pp
m以下に保つことが好ましい。更に前記不飽和多環式炭
化水素(2)とフェノール化合物とを共重合させる際
に、前記不飽和多環式炭化水素(2)を逐次的に添加し
ながら重合を行うことは、反応が円滑に進行するので、
更には不飽和多環式炭化水素(2)の単独重合の防止、
反応熱の安全な除去の点でも好ましい。
【0046】前記フェノール化合物と不飽和多環式炭化
水素(2)との共重合終了後、酸触媒を濾別あるいは失
活させた後、瀘別し、濃縮する工程を行って前記フェノ
ール樹脂を調整するのが好ましい。前記酸触媒を除去す
る方法は、使用する触媒の種類により異なるが、三フッ
化ホウ素・フェノール錯体を用いた場合、触媒の1〜1
0倍モル量の水酸化カルシウム、水酸化マグネシウムな
どを添加して失活させた後、触媒を濾別するのが好まし
い。濾別に際しては、溶媒を添加したり、濾過物の温度
を上げるなどの処理をすることにより作業性を良くする
ことが望ましい。
【0047】前記エポキシ樹脂(1)は、前記フェノー
ル樹脂をグリシジル化して得られるエポキシ樹脂であ
り、該グリシジル化する反応方法としては、ノボラック
フェノール樹脂をグリシジル化しノボラックエポキシ樹
脂とする方法と全く同様の公知の方法を採用することが
できる。具体的には、例えば水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム等の塩基の存在下、前記フェノール樹脂をエピ
クロルヒドリン、エピブロムヒドリン等のグリシジル化
剤と反応させた後、水洗、乾燥する等して得ることがで
きる。なお、得られるエポキシ樹脂(1)を電子材料の
一成分として使用する場合には、副生する塩化ナトリウ
ムを水洗工程で完全に除去する必要がある。
【0048】該グリシジル化反応は、通常10〜80℃
の温度で前記フェノール樹脂とグリシジル化剤との混合
物中に、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアル
カリ水溶液を連続的に添加することにより行なうことが
できる。この際グリシジル化剤の使用量はフェノール樹
脂に対して2〜20倍モル当量、好ましくは3〜7倍モ
ル当量である。またこのグリシジル化反応は、減圧下に
て、グリシジル化剤との共沸蒸留によって、水を留去す
ることにより反応をより速く進行させることができる。
反応終了後、水洗により副生した塩化ナトリウム、未反
応のアルカリを除去するが、その際グリシジル化剤を蒸
留により回収して反応溶液を濃縮した後、該濃縮物を他
の溶剤に溶解し、水洗してもよい。この際用いる溶剤と
しては、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、
ベンゼン、ブチルセロソルブなどを好ましく挙げること
ができる。次いで、水洗後、加熱濃縮することにより、
エポキシ樹脂(1)を得ることができる。
【0049】前記エポキシ樹脂(1)におけるグリシジ
ル基の導入割合は、グリシジル化前の前記フェノール樹
脂中のフェノール性水酸基のうち50〜100mol
%、即ち前記化2中の、mおよびxが、m≧x≧1/2
mの関係を有する必要があり、好ましくは70〜100
mol%がグリシジル基で置換されるのが好ましい。
【0050】前記感光性樹脂(a)は、エポキシ樹脂
(1)に不飽和モノカルボン酸を反応させたのち、多塩
基酸無水物を反応させて得られる樹脂である。
【0051】前記エポキシ樹脂(1)に反応させる不飽
和モノカルボン酸としては具体的には、例えばメタクリ
ル酸、アクリル酸等を挙げることができる。
【0052】また、前記多塩基酸無水物としては、例え
ば無水マレイン酸、無水コハク酸、無水フタル酸、テト
ラヒドロフタル酸無水物、メチルテトラヒドロフタル酸
無水物、メチルパーヒドロフタル酸無水物などの二塩基
酸無水物;無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸な
どの芳香族多価カルボン酸無水物などが好ましく挙げら
れる。
【0053】前記エポキシ樹脂(1)と不飽和モノカル
ボン酸との反応は、アルカリ触媒の存在下、溶媒中で行
うことができる。不飽和モノカルボン酸の付加割合とし
ては、エポキシ樹脂(1)の有するグリシジル基1個当
り通常0.3〜1.0個、好ましくは0.5〜1.0個
付加されるのが望ましい。
【0054】この際用いるアルカリ触媒としては、例え
ばジメチルベンジルアミン、トリエチルアミンなどの三
級アミン化合物、各種イミダゾール類、トリフェニルホ
スフィンなどを用いることができる。
【0055】該反応に際して用いる溶媒としては、反応
および次工程である多塩基酸無水物との反応を阻害しな
いものであれば特に制限されるものではないが、具体的
には例えば、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香
族炭化水素;エチレングリコールジメチルエーテル、ジ
エチレングリコールジメチルエーテルなどのエーテル
類;、エチルセロソルブアセテート、メトキシプロピル
アセテート、エチルカルビトールアセテートなどのエス
テル類などが好ましく挙げられる。
【0056】前記エポキシ樹脂(1)と不飽和モノカル
ボン酸の反応は、通常70〜150℃、好ましくは80
〜120℃で行うことができる。前記反応温度が70℃
より低い場合には、反応に長時間を要し、また150℃
を超えると不飽和モノカルボン酸またはそのエステル化
物の重合が併発するので好ましくない。
【0057】次に前記エポキシ樹脂(1)と不飽和モノ
カルボン酸との反応生成物に、前記多塩基酸無水物を付
加反応させることにより前記感光性樹脂(a)を得るこ
とができる。該反応は、エポキシ樹脂(1)と不飽和モ
ノカルボン酸の反応が終了した後、溶媒や触媒等を除去
することなく実施することができる。
【0058】前記多塩基酸無水物の付加割合は、前記エ
ポキシ樹脂(1)と不飽和モノカルボン酸との反応物が
有する水酸基1個当り、通常0.15〜1.0個、特に
0.2〜0.9個付加されるのが好ましく、最終的に感
光性樹脂(a)が、45〜160mgKOH/gの酸価
を有することが好ましい。該多塩基酸無水物の付加反応
は通常30〜150℃、好ましくは50〜120℃で行
うことができる。
【0059】本発明において、必須成分として用いられ
る光重合開始剤としては、通常の光重合開始剤であれば
特に制限されず、従来公知のもの、例えばベンゾイン、
ベンゾインメチルエーテル、ベンジル、ミヒラーケト
ン、ジエチルチオキサントン、等を好ましく挙げること
ができ、商品名「イルガキュア−184」、商品名「イ
ルガキュア−651」、商品名「イルガキュア−90
7」(チバガイギー社製)、商品名「ダロキュア−11
73」(メルク社製)、商品名「DETX」(日本化薬
社製)など市販品を用いることもできる。前記光重合開
始剤の使用量は、感光性樹脂(a)100重量部に対し
て通常0.2〜15重量部、好ましくは1〜8重量部で
ある。前記使用量が、0.2重量部より少ない場合に
は、光硬化性が低下し、15重量部を超えると感光塗膜
の強度が低下するので好ましくない。
【0060】本発明においては、前記成分に加えて更に
希釈剤を使用することができ、該希釈剤としては、前記
感光性樹脂(a)の製造に際して用いた溶媒又は他の溶
媒、例えばエチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、エチ
ルカルビトール、ブチルカルビトールなどのアルコール
類等を用いることができる。前記希釈剤の使用量は、光
硬化性樹脂組成物全体に対して、20〜40重量%の範
囲とするのが好ましい。
【0061】また本発明の光硬化性樹脂組成物には、光
感度を向上させるとともに各特性を向上させる目的で、
更に各種の感光性モノマーを加えて使用することもでき
る。前記感光性モノマーとしては、具体的には例えば、
2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシブ
チルアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレート、2−ヒドロキ
シエチルメタクリレート、トリメチロールプロパントリ
メタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレ
ートなど公知の光重合性モノマーが使用できる。前記感
光性モノマーを使用する際の添加量は、感光性樹脂
(a)100重量部に対して通常0.1〜20重量部、
好ましくは3〜15重量部の範囲内で、かつ塗膜にタッ
クを与えない量が好ましい。なお、該感光性モノマーを
使用する場合には、感光性モノマー自身に希釈剤として
の効果があるので、前記希釈剤の使用量を低減させるこ
ともできる。
【0062】本発明のソルダーレジスト用光硬化性樹脂
組成物は、前記光硬化性樹脂組成物、エポキシ樹脂(以
下、エポキシ樹脂(3)という)及び硬化促進剤を含有
する組成物である。
【0063】本発明のソルダーレジスト用光硬化性樹脂
組成物において必須成分として用いる前記エポキシ樹脂
(3)は、耐熱性を向上させるために熱硬化成分として
添加する成分であって、分子内に2個以上のエポキシ基
を有するエポキシ樹脂を用いるのが好ましく、具体的に
は例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂及びその誘
導体、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノー
ルS型エポキシ樹脂、ビスフェノール型特殊エポキシ樹
脂、ノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック
型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、特殊ノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポ
キシ樹脂、特殊グリシジルエーテル系エポキシ樹脂等の
グリシジルエーテル系エポキシ樹脂;グリシジルエステ
ル系エポキシ樹脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、
環式脂肪族エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ヒダ
ントイン型エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレ
ート等の特殊エポキシ樹脂等を好ましく挙げることがで
き、使用に際しては単独若しくは混合物として用いるこ
とができる。また前記エポキシ樹脂(3)としては、特
にフェノールノボラックエポキシ樹脂;たとえば、大日
本インキ化学工業(株)社製、商品名「エピクロンEX
A−4506」、クレゾールノボラックエポキシ樹脂;
たとえば、大日本インキ化学工業(株)製、商品名「エ
ピクロンN−695」、商品名「EXA−4621」、
特殊ノボラック型エポキシ樹脂;たとえば大日本インキ
化学工業(株)製、「エピクロンN−510」、ビフェ
ニル型エポキシ樹脂;たとえば、油化シェルエポキシ社
製、商品名「YX−4000」、特殊グリシジルエーテ
ル系エポキシ樹脂;たとえば、日本化薬(株)社製、商
品名「EPPN−500」シリーズや大日本インキ化学
工業(株)製、商品名「エピクロンHP−4032」等
の市販品を用いることもできる。
【0064】前記エポキシ樹脂(3)の添加量は、特に
制限されるものではなく、用いるエポキシ樹脂(3)の
種類によって異なるが、光硬化性樹脂組成物100重量
部に対して通常10〜145重量部、好ましくは20〜
80重量部の範囲内であることが望ましい。該添加量が
上記範囲外の場合には、ソルダーレジストとして十分な
耐熱性、PCT性、電気絶縁性および耐電触性が得られ
ないので好ましくない。
【0065】また本発明において必須成分として用いる
硬化促進剤としては、第三級ホスフィン類、イミダゾー
ル類、第三級アミン類等を挙げることができ、具体的に
は例えば、第三級ホスフィン類としては、例えばトリエ
チルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリフェニル
ホスフィンなど;また第三級アミン類としては、例えば
ジメチルエタノールアミン、ジメチルベンジルアミン、
2,4,6−トリス(ジメチルアミノ)フェノール、
1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセンな
ど;イミダゾール類としては、例えば2−エチル−4−
メチルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、
2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾー
ル、2−ヘプタデシルイミダゾール、1−ビニル−2−
メチルイミダゾール、1−プロピル−2−メチルイミダ
ゾール、2−イソプロピルイミダゾール、1−シアノエ
チル−2−エチルイミダゾール、1−シアノエチル−2
−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル
−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2
−フェニルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、
1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−フェニル
−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジ
ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メ
チル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール等を好ましく
挙げることができ、特に2−メチルイミダゾール、1,
8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン、トリフ
ェニルホスフィンやジメチルベンジルアミン等を好まし
く用いることができる。また使用に際しては、単独もし
くは混合物として用いることができる。
【0066】前記硬化促進剤の使用量は、前記エポキシ
樹脂(3)100重量部に対して、0.01〜10重量
部、特に好ましくは0.5〜5重量部の範囲である。
【0067】さらに本願発明においては、必要に応じ、
無機充填剤、顔料、粘度調節剤などを添加することもで
きる。 前記無機充填剤としては通常のソルダーレジス
トに用いる無機充填剤であれば特に制限されず、従来公
知のもの、例えばタルク、石英、アルミナ、硫酸バリウ
ムなどを使用することができる。また、前記顔料として
は、例えばフタロシアニンブルー、シアニングリーン、
ハンザイエロー等の着色顔料や各種蛍光顔料、更に前記
粘度調節剤としては、エアロジル等のチクソトロピー性
コントロールのための微粒子等を挙げることができる。
【0068】本発明のソルダーレジスト用光硬化性樹脂
組成物は、必要に応じ有機溶剤で希釈して混合・練磨し
て、常温での粘度を通常1〜500ポイズの範囲に調整
し、インク状として使用することもできる。この際用い
る有機溶剤としては、前述の希釈剤と同様の溶剤が用い
られる。また粘度は塗布方法に応じて適宜選択でき、例
えば静電塗装では通常1〜100ポイズ、スクリーン印
刷やカーテン塗布では通常100〜500ポイズの範囲
内とするのが一般的である。
【0069】本発明のソルダーレジスト用光硬化性樹脂
組成物は、感光性を有するため、塗膜にフォトマスクを
介して露光することによりパターン形成が可能であり、
しかもパターン形成の後、得られる塗膜を加熱すること
によりさらに硬化させることができる。
【0070】次に本発明のソルダーレジスト用光硬化性
樹脂組成物を用いてソルダーレジストパターンを形成す
る方法を以下に述べる。
【0071】まず本発明の光硬化性樹脂組成物を、導体
回路の形成されたプリント基板に塗布することによって
塗膜を作成する。
【0072】基材への塗布法は特に限定されないが、通
常スクリーン印刷法、スプレーコート法、カーテンコー
ト法などが好ましい。また得られる塗膜の乾燥は、熱風
乾燥器、遠赤外線等により行うのが好ましい。この際、
乾燥温度と乾燥時間とは特に限定されず、用いる溶剤の
種類と希釈率、塗膜厚などに応じて適宜条件を選定する
ことができるが、乾燥温度、通常120℃以下、好まし
くは60〜100℃の範囲で、乾燥時間通常10〜60
分行うのが好ましい。前記乾燥温度が120℃を越える
と、熱硬化反応が生じ、露光・現像後パターンが形成さ
れなくなるので好ましくない。
【0073】得られる塗膜は、常温で表面タックがな
く、フォトマスクと接触してもフォトマスクに粘着する
ことがない。
【0074】乾燥後、レーザーを直接照射するか、ある
いは塗膜とネガ型のフォトマスクとを密着させて、たと
えば水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等
の光照射装置を用いて露光し、次いで、未露光部の塗膜
をアルカリ性現像液で現像除去する等してパターンを形
成することができる。
【0075】残留した部分の塗膜はさらに熱硬化(アフ
ターキュア)を行なうことによって、耐熱性、密着性に
優れ、電気絶縁性の良い高信頼性の被膜とすることがで
き、ソルダーレジスト、メッキレジスト等として極めて
有用とすることができる。前記アルカリ性現像液として
は、一般に1〜5重量%の炭酸ナトリウム水溶液等のア
ルカリ性水溶液等を用いることができる。
【0076】前記アフターキュアは、熱風乾燥器、遠赤
外線等を用い、キュア温度、通常120〜180℃で、
キュア時間、通常10〜60分間行うのが好ましい。前
記キュア温度又は時間が、120℃未満若しくは10分
未満の場合には、塗膜物性が十分でなく、また、180
℃を超える場合若しくは60分を超える場合には、塗膜
が劣化する恐れがあるので好ましくない。
【0077】
【発明の効果】本発明の光硬化性樹脂組成物は、紫外線
硬化型でかつアルカリ現像ができるため、作業性が良
く、精度の良いレジストパターンを得ることができる。
しかも、密着性、電気絶縁性および耐電触性、はんだ耐
熱性、レベラー用水溶性フラックスに対する非白化性、
塩化メチレン等の溶剤に対する耐性、耐酸および耐アル
カリ性、耐メッキ性、PCT性などに優れる硬化塗膜が
得られる。従って、民生用や産業用プリント配線板など
の製造に適したソルダーレジスト、エッチングレジス
ト、メッキレジストとして用いることができる。
【0078】また本発明のソルダーレジスト用光硬化性
樹脂組成物は、前記優れた特性を有する光硬化性樹脂組
成物を含有するので、種々の特性に優れたソルダーレジ
ストを得ることができる。
【0079】
【実施例】以下に本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0080】
【合成例1】フェノール樹脂(F−1)の合成 フェノール1500gとトルエン300gとを、還流冷
却器及びリービッヒコンデンサーを備える5リットル反
応器に仕込み、170℃に加熱して、トルエン250g
を留出し、系内の水分を60ppmとした。次いで反応
系を80℃まで冷却し、三フッ化ホウ素・フェノール錯
体12gを添加した後、反応温度80℃に制御しながら
水分が20ppmのジシクロペンタジエン300gを
2.5時間かけて徐々に滴下した。滴下終了後80℃で
0.5時間反応を行った。反応終了後、協和化学工業社
製のマグネシウム化合物「KW−1000」36gを添
加し、30分間撹拌して触媒を失活させた後、セライト
を敷き詰めた濾紙を用いて反応溶液を濾過した。得られ
た透明な濾液を240℃で減圧蒸留し、下記化学式化2
4で示されるフェノール樹脂(F−1)を560gを得
た。各種分析結果を以下に示す。
【0081】
【化24】
【0082】得られたフェノール樹脂(F−1)は軟化
点が96℃であった。またフェノール性水酸基の含有量
を無水酢酸でアセチル化した後、逆滴定により求めたと
ころ、フェノール性水酸基当量は173であった。
【0083】1H−NMR分析では、δ6.5〜7.5
ppmに芳香環に結合したプロトンが、またδ0.8〜
2.5ppmにナフテン環のプロトンが観測され、二重
結合に結合したプロトンの吸収は認められなかった。ま
1H−NMR分析において、δ6.5〜8ppmとδ
0.8〜2.5ppmとのピーク面積比よりフェノール
性水酸基の含有量を求めたところ、滴定による結果と同
様にフェノール性水酸基当量は173であった。また、
13C−NMR分析ではフェノールが二重結合にエーテル
付加した場合に生じる158ppmの炭素のシグナルが
観測されないことからフェノールはいずれもアルキレー
ションで付加していることがわかる。さらにGPC分析
により得られた樹脂の数平均分子量を求めたところ43
0であった。
【0084】
【合成例2】フェノール樹脂(F−2)の合成 フェノールの代わりにo−クレゾールを1600g用い
た以外は合成例1と同様に反応を行い、下記化学式化2
5で示されるフェノール樹脂(F−2)を570gを得
た。
【0085】
【化25】
【0086】得られたフェノール樹脂(F−2)は、軟
化点が92℃で、フェノール性水酸基当量は180であ
った。1H−NMR分析では、二重結合に結合したプロ
トンの吸収は認められなかった。また、ピーク面積比よ
りフェノール性水酸基の含有量を求めたところ、滴定に
よる結果と同様にフェノール性水酸基当量は180であ
った。さらにGPC分析により得られた樹脂の数平均分
子量を求めたところ470であった。
【0087】
【合成例3】フェノール樹脂(F−3)の合成 フェノール1600gとトルエン300gとを、還流冷
却器及びリービッヒコンデンサーを備えた5リットル反
応器に仕込み、170℃に加熱して、トルエン250g
を留出し、反応系内の水分を70ppmとした。次い
で、反応系を80℃まで冷却し、三フッ化ホウ素・フェ
ノール錯体25gを添加した後、反応温度を80℃に制
御しながら水分が20ppmのテトラヒドロインデン4
00gを2時間かけて徐々に滴下した。滴下終了後、1
40℃で3時間反応を行い、反応終了後、協和化学工業
(株)製のマグネシウム化合物、商品名「KW−100
0」を75g添加し、30分間撹拌して触媒を失活さ
せ、次いでセライトを敷き詰めた濾紙を用いて反応溶液
を濾過した。得られた透明な濾液を230℃で減圧蒸留
し、下記化学式化26で示されるフェノール樹脂(F−
3)410gを得た。
【0088】
【化26】
【0089】得られたフェノール樹脂(F−3)は軟化
点が105℃であった。また、フェノール樹脂(F−
3)の水酸基当量は195であった。
【0090】
【合成例4】フェノール樹脂(F−4)の合成 テトラヒドロインデンの代わりにビニルシクロヘキセン
を用いた以外は、合成例3と同様に反応を行い、下記化
学式化27で示されるフェノール樹脂(F−4)390
gを得た。
【0091】
【化27】
【0092】得られたフェノール樹脂(F−4)は軟化
点が104℃で、フェノール性水酸基当量は196であ
った。
【0093】
【合成例5】フェノール樹脂(F−5)の合成 テトラヒドロインデンの代わりにビニルノルボルネンを
用いた以外は合成例3と同様に反応を行い、下記化学式
化28で示されるフェノール樹脂(F−5)380gを
得た。
【0094】
【化28】
【0095】得られたフェノール樹脂(F−5)は軟化
点が109℃で、フェノール性水酸基当量は200であ
った。
【0096】
【合成例6】フェノール樹脂(F−6)の合成 ジシクロペンタジエンの代わりにブタジエンとジクシロ
ペンタジエンとのディールス・アルダー反応物300g
を用いた以外は、合成例3と同様にして反応を行い、下
記化学式化29、化30で示されるフェノール樹脂の混
合物(F−6)560gを得た。
【0097】
【化29】
【0098】
【化30】
【0099】得られたフェノール樹脂(F−6)は軟化
点が115℃で、フェノール性水酸基当量は205であ
った。
【0100】
【合成例7】エポキシ樹脂(E−1)の合成 撹拌機、還流冷却器および温度計を備えた3リットル4
つ口フラスコに、合成例1で得られたフェノール樹脂
(F−1)300gとエピクロルヒドリン1500gを
仕込んだ後、撹拌溶解し、反応系内を150mmHgの
圧力に調整して、68℃に昇温した。該反応系に48重
量%水酸化ナトリウム水溶液173gを連続的に添加し
ながら3.5時間反応させた。この間、反応により生成
する水および水酸化ナトリウム水溶液の水を、水−エピ
クロルヒドリン共沸混合物の還流により分離し、反応系
外へ連続的に除去した。反応終了後、反応系を常圧に戻
し110℃の温度まで昇温して、反応系の水を完全に除
去した。次いで過剰のエピクロルヒドリンを常圧下で蒸
留除去し、更に15mmHgの減圧下に140℃で蒸留
を行なった。
【0101】生成した樹脂および塩化ナトリウムの混合
物に、メチルイソブチルケトン400gおよび10重量
%水酸化ナトリウム水溶液36gを加え、85℃の温度
で1.5時間反応を行なった。反応終了後、メチルイソ
ブチルケトン550gおよび水500gを加え、下層の
塩化ナトリウム水溶液を分液除去した。得られたメチル
イソブチルケトン液層に、水150gを加えて洗浄し、
リン酸で中和して、水層を分離した。次いで更に水12
00gで洗浄して、水層を分離した。得られたメチルイ
ソブチルケトン液層を常圧下で蒸留した後、5mmH
g、140℃で減圧蒸留を行い、390gのエポキシ樹
脂を得た。得られたエポキシ樹脂(E−1)のエポキシ
当量は260で、軟化点は80℃であった。
【0102】
【合成例8〜12】エポキシ樹脂(E−2〜E−6)の合成 フェノール樹脂(F−1)の代わりにフェノール樹脂
(F−2)〜(F−6)を夫々用いた以外は、合成例7
と同様にしてグリシジル化を行い、エポキシ樹脂(E−
2)〜(E−6)を、夫々得た。得られたエポキシ樹脂
のエポキシ当量および軟化点温度を表1に示す。
【0103】
【表1】
【0104】
【合成例13】感光性樹脂(P−1)溶液の合成 撹拌機、還流冷却器、滴下ロートおよび温度計を備えた
3リットル4つ口フラスコに、合成例7で得られたエポ
キシ樹脂(E−1)300gとジエチレングリコールジ
メチルエーテル130gとを加えた後、90℃に昇温し
てエポキシ樹脂を溶解させ、次いでヒドロキノン0.8
gおよびジメチルベンジルアミン5gを添加した。次い
で、加熱、撹拌しながら滴下ロートよりアクリル酸79
g及びジエチレングリコールジメチルエーテル20gの
溶液を1時間かけて滴下した。滴下終了後、100℃に
昇温し、さらに5時間撹拌した。次いで、反応系の温度
を80℃に下げた後、テトラヒドロフタル酸無水物11
4g及びジエチレングリコールジメチルエーテル62g
からなる溶液を、滴下ロートより1時間かけて滴下した
後、さらに1時間撹拌し、感光性樹脂(P−1)の70
重量%溶液を得た。本感光性樹脂(P−1)の固形分の
酸価を測定したところ85mgKOH/gであった。ま
た、本感光性樹脂(P−1)のアクリル基含量を、1
−NMRで測定値から求めたところ、2.22ミリグラ
ム当量/gであった。
【0105】
【合成例14】感光性樹脂(P−2)溶液の合成 撹拌機、還流冷却器、滴下ロートおよび温度計を備えた
3リットル4つ口フラスコに、合成例7で得られたエポ
キシ樹脂(E−2)300gとエチルセロソルブアセテ
ート130gとを加えた後、90℃に昇温してエポキシ
樹脂を溶解させ、次いでヒドロキノン0.8gおよびジ
メチルベンジルアミン5gを添加した。次いで、撹拌し
ながら、滴下ロートより、メタクリル酸91g及びエチ
ルセロソルブアセテート20gからなる溶液を1時間か
けて滴下した。滴下終了後、100℃に昇温し、さらに
5時間撹拌した。撹拌終了後、反応系内の温度を80℃
に下げた後、無水フタル酸107g及びエチルセロソル
ブアセテート68gを、滴下ロートより1時間かけて滴
下し、さらに1時間撹拌して、感光性樹脂(P−2)の
70重量%溶液を得た。感光性樹脂(P−2)の固形分
の酸価を測定したところ81mgKOH/gであった。
また、本感光性樹脂(P−2)のアクリル基含量を1
−NMRで測定したところ、2.11ミリグラム当量/
gであった。
【0106】
【合成例15〜18】感光性樹脂(P−3)〜(P−6)溶液の合成 エポキシ樹脂(E−1)の代わりに合成例9〜12で得
られたエポキシ樹脂(E−3)〜(E−6)を用い、ア
クリル酸を各エポキシ樹脂のエポキシ基の0.95倍モ
ル量、テトラヒドロフタル酸無水物を0.65倍モル量
用い、合成例13と同様にしてグリシジル化を行い、樹
脂含量70重量%の感光性樹脂(P−3)〜(P−6)
溶液を得た。得られた各感光性樹脂(P−3)〜(P−
6)の酸価およびアクリル含量を表2に示す。
【0107】
【表2】
【0108】
【合成例19】感光性樹脂ノボラックアクリレート溶液の合成 エポキシ樹脂(E−1)の代わりに東都化成(株)製ノ
ボラックエポキシ樹脂、商品名「YDCN702」(エ
ポキシ当量210)を用い、アクリル酸をエポキシ基の
0.95倍モル量、テトラヒドロフタル酸無水物を0.
65倍モル量用い、合成例13と同様にしてグリシジル
化を行い、さらに溶剤としてジエチレングリコールジメ
チルエーテルを加え、樹脂含量70重量%のノボラック
アクリレート溶液を得た。
【0109】
【実施例1〜10,比較例1】表3に示す配合(表中の
単位は、全て重量部である)の主剤1〜7を三本ロール
撹拌器を用いて調製した。
【0110】次いで、得られた主剤(1〜7)100g
に対して、表4に示す組成のエポキシ樹脂溶液(1〜
3)35gを表5に示す組合せで混合し、実施例1〜
8、比較例1の光硬化性樹脂組成物を調整した。
【0111】次いで、各種試験を行った。結果を表5に
示す。
【0112】本発明の実施例および比較例における試験
方法及び評価判定基準は下記の通りである。
【0113】1)シェルフライフ試験 ポリ容器にインク状の感光性樹脂(P−1)〜(P−
6)を入れ密詮して、40℃の恒温槽に保管し、経時的
に粘度を測定した。
【0114】初期の粘度が2倍となる時間をシェルフラ
イフとした。
【0115】本発明による感光性樹脂(P−1)〜(P
−6)のシェルフライフはいずれも1ヵ月以上と良好で
あった。
【0116】2)現像性 エポキシ基板に主剤とエポキシ樹脂溶液からなる光硬化
性樹脂溶液をスクリーン印刷により塗布し(乾燥膜厚で
約20μm)、75℃、30分間乾燥の後、フォトマス
クを塗膜面に接触させ、オーク製作所製メタルハライド
灯露光装置を用いて500mJ/cm2の露光をし、1
%炭酸ソーダ水溶液を現像液として2kg/cm2のス
プレー圧で1分間現像し、水スプレーで水洗し、乾燥し
た時の状態を、光照射された部分に脱落があったり、未
照射部分にインクが残っていないか、目視で判定した。
【0117】本発明による実施例1〜8の組成物はいず
れも良好な現像性を示した。
【0118】3)光硬化反応性および解像度 エポキシ基板にソルダーレジスト用光硬化性樹脂溶液を
スクリーン印刷により塗布し(乾燥膜厚で約20μ
m)、75℃、30分間乾燥の後、STOUFFER社
のステップタブレットおよび日立化成社の解像度測定用
テストパターンNo.1とを塗膜面に接触させ、オーク
製作所製メタルハライド灯露光装置を用いて500mJ
/cm2の露光をし、ついで1%炭酸ソーダ水溶液を現
像液として2kg/cm2のスプレー圧で1分間現像し
た後、水スプレーで水洗し、乾燥した。次に、150℃
の熱風循環炉で30分間、熱硬化させた。
【0119】STOUFFER社のステップタブレット
により、パターンの残っている段数を読み、光硬化反応
性の目安(感度)とした。段数が多いほど光硬化反応が
速いものと考えられる。また、日立化成社の解像度測定
用テストパターンNo.1により解像度を評価した。
【0120】4)密着性 エポキシ基板にソルダーレジスト用光硬化性樹脂溶液を
スクリーン印刷により塗布し(乾燥膜厚で約20μ
m)、75℃、30分間乾燥の後、フォトマスクを塗膜
面に接触させ、オーク製作所製メタルハライド灯露光装
置を用いて500mJ/cm2の露光をし、1重量%炭
酸ソーダ水溶液を現像液として2kg/cm2のスプレ
ー圧で1分間現像し、水スプレーで水洗した後、乾燥し
た。次に、150℃の熱風循環炉で30分間、熱硬化さ
せた(以下、これを硬化塗膜という)。
【0121】銅箔上の硬化塗膜を1mm×1mmの基盤
目(100個)にクロスカットし、この上にセロファン
テープを張り付けて、引き剥し、剥がれ状態から目視判
定をした。
【0122】◎;100/100で全く剥がれないもの ○;100/100でクロスカット部が少し剥がれたも
の △;99/100〜50/100で剥がれたもの ×;49/100〜0/100で剥がれたもの 5)鉛筆硬度試験 銅箔上の硬化塗膜について、JIS K 5400の試
験方法に従って硬度を測定した。
【0123】5)耐熱性 硬化塗膜にロジン系フラックス(アサヒ化学研究所社
製、商品名「アサヒスピディフラックスAGF−J
3」)を塗布し、次いで260℃のはんだ浴上に15秒
間静置し、はんだ付けをしてから、塗膜に異常がないか
観察した。塗膜が剥離したり、ふくれたり、塗膜の下に
はんだが潜り込むような異常がない場合、再びフラック
スを塗布して260℃15秒はんだ付けしてから塗膜を
観察した。塗膜に異常がでるまでの時間を耐熱時間とし
た。
【0124】7)レベラー用水溶性フラックスに対する
耐性 硬化塗膜にレベラー用水溶性フラックス(メック社製、
W−139)を塗布し、次いで260℃のはんだ浴中に
15秒間浸漬した後、直ちに70〜80℃の温水中に投
入し、1時間放置した後、水洗して乾燥し、塗膜にふく
れ、剥離、白化などの異常がないか観察し、以下のよう
に評価した。
【0125】○;白化なし △;やや白化 ×;白化あり なお、本発明の実施例1〜8及び比較例1では、塗膜の
ふくれや剥離は発生しなかった。また、セロファンテー
プを張り付けた後、それを引き剥して塗膜が剥離しない
かどうかピーリングテストし、次のように判定した。
【0126】◎;全く剥がれないもの ○;わずか少し剥がれたもの △;剥がれが顕著なもの ×;塗膜が全体的に剥離してしまうもの 8)塩化メチレンに対する耐性 硬化塗膜を常温の塩化メチレン中に浸漬し、15分ごと
に取り出し、塗膜にふくれがないかどうか、また、ガラ
ス基材目が見えるかどうか観察し、塗膜に欠陥が発生す
るまでの時間を測定した。
【0127】9)耐酸性 硬化塗膜を10体積%HCl水溶液、20体積%硫酸水
溶液および5重量%苛性ソーダ水溶液に、それぞれ室温
で3時間浸漬し、表面の白化と塗膜の密着性(ピーリン
グテスト)を評価した。
【0128】10)耐メッキ性 奥野製薬社製の無電解ニッケルメッキ用前処理液によっ
て、前処理の後、無電解ニッケルメッキ、続いて無電解
金メッキを施したテスト基板をピーリングテストし、剥
がれ状態を観察した。
【0129】耐メッキ性の程度は、セロファンテープを
張り付けた後、それを引き剥して塗膜が剥離しないかど
うかピーリングテストし、次のように判定した。
【0130】◎;全く剥がれないもの ○;わずか少し剥がれたもの △;剥がれが顕著なもの ×;塗膜が全体的に剥離してしまうもの 11)PCT(プレッシャークッカーテスト)性 121℃、2気圧の蒸気中で5時間放置したあと、塗膜
にふくれ、剥離、変色などの異常がないものを合格とし
た。
【0131】12)電気絶縁性および耐電触性 電気絶縁性はJIS C−6481に準拠しておこなっ
た。また、耐電触性はくし状パターンを用いIPC S
M−840に準拠しておこなった。尚、IPCでは試験
条件として、以下の3つの異なった条件を規定してお
り、これに合格するか否か評価した。
【0132】条件1 温度 35±5℃、湿度90%、
4日間 条件2 温度 50±5℃、湿度90%、7日間 条件3 温度 25±2℃〜65℃±2℃サイクル、湿
度90%、4日間 感光性樹脂(P−1)〜(P−6)を使用したソルダー
レジストはいずれもノボラックアクリレートを使用した
レジストに比べ著しく優れた特性をを有していた。
【0133】
【表3】
【0134】
【表4】
【0135】
【表5】
【0136】
【実施例11】合成例13で得られた感光性樹脂(P−
1)溶液100gと、光重合開始剤としてイルガキュア
907(商品名、チバガイギー(株)製)3g及びDE
TX(商品名、日本化薬(株)製)1gとの混合溶液
を、スクリーン印刷法により銅厚18μmの銅張りプリ
ント基板全面に、乾燥膜厚15μmになるように塗布
し、熱風乾燥器で80℃にて、10分間乾燥した。
【0137】つぎに、ネガパターンのフォトマスクを、
該乾燥塗膜に密着させ、オーク社製メタルハライド灯露
光装置で、150mJ/cm2の露光を行い、ついで1
重量%炭酸ソーダ水溶液(液温30℃)を現像液とし
て、2kg/cm2のスプレー圧で現像し、水洗・乾燥
した。
【0138】得られたプリント基板を塩化第二鉄のエッ
チング液(30℃)を用いて、1kg/cm2のスプレ
ー圧でエッチングしたところ、ライン/スペースが30
μmの配線が得られた。
【0139】
【実施例12〜16】合成例14〜17で得られた各感
光性樹脂(P−2)〜(P−5)溶液を夫々用いた以外
は、実施例11と同様にしてプリント配線板を作成し
た。その結果いずれの感光性樹脂溶液を用いた場合も、
ライン/スペースが30μmの配線が得られた。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/032 501 7/038 501 503 H05K 1/03 D 7011−4E

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)下記一般式化1で表わされるエポ
    キシ樹脂と不飽和モノカルボン酸との反応物に、多塩基
    酸無水物を反応させて得られる感光性樹脂及び (B)光重合開始剤を必須成分として含むことを特徴と
    する光硬化性樹脂組成物。 【化1】
  2. 【請求項2】 請求項1記載の光硬化性樹脂組成物、エ
    ポキシ樹脂及び硬化促進剤を含有するソルダーレジスト
    用光硬化性樹脂組成物。
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