JPH0521344B2 - - Google Patents

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JPH0521344B2
JPH0521344B2 JP60265503A JP26550385A JPH0521344B2 JP H0521344 B2 JPH0521344 B2 JP H0521344B2 JP 60265503 A JP60265503 A JP 60265503A JP 26550385 A JP26550385 A JP 26550385A JP H0521344 B2 JPH0521344 B2 JP H0521344B2
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JP
Japan
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transistor
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emitter
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/0203Particular design considerations for integrated circuits
    • H01L27/0248Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection

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  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Bipolar Integrated Circuits (AREA)
  • Element Separation (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] この発明はA/Dコンバータ用集積回路、回転
検出回路用集積回路、自動車用集積回路などの半
導体集積回路の入力段に設けられる入力保護回路
に係り、特に入力電圧が負極性になる可能性があ
り、この負極性電圧による他の回路への悪影響を
抑制するようにしたものである。
[発明の技術的背景とその問題点] 第5図はバイポーラトランジスタによつて構成
され、例えば三つのアナログ入力電圧VinA、
VinB、VinCのいずれかを選択してA/D変換す
るA/D変換回路の入力段に設けられるマルチプ
レクサ回路部の構成を示す回路図である。このマ
ルチプレクサ回路部において、入力電圧VinAを
選択する場合には選択信号のみが“0”レ
ベルにされ、残りの選択信号,は
“1”レベルにされる。信号,が
“1”レベルにされるとnpnトランジスタ51B
及び51Cがそれぞれオンするので、pnpトラン
ジスタ52B及び52Cそれぞれのエミツタ電位
はほぼアース電位にされる。他方、信号が
“0”レベルなのでnpnトランジスタ51Aがオ
フし、ベースに入力電圧VinAが供給されている
pnpトランジスタ53Aのエミツタ電位がVinA
よりもこのトランジスタ53Aのベース、エミツ
タ間電圧VBE53だけ高い電位(VinA+VBE
3)にされ、かつベースがこのトランジスタ53
Aのエミツタに接続されているpnpトランジスタ
52Aのエミツタ電位が上記電位(VinA+VBE
53)よりもこのトランジスタ52Aのベース、
エミツタ間電圧VBE52だけ高い電位(VinA+
VBE52+VBE52)にされる。
一方、pnpトランジスタ54及び55からなる
電流ミラー回路、エミツタが接続されたnpnトラ
ンジスタ56ないし59及び定電流源60は差動
回路を構成しており、トランジスタ59のベー
ス、コレクタ間が短絡されているので、トランジ
スタ56ないし58のうちのいずれか一つのベー
スに供給される電位と等しい電位がトランジスタ
59のベース、コレクタ接続点に設けられた出力
端子61から出力される。従つて、上記信号
SELAのみが“0”レベルにされているときに
は、出力端子61からはトランジスタ52Aのエ
ミツタ電位(VinA+VBE53+VBE52)と等し
い電位が出力される。
また信号が“0”レベルにされるときに
は、npnトランジスタ51Bがオフし、ベースに
入力電圧VinBが供給されているpnpトランジス
タ53Bのエミツタ電位がVinBよりもこのトラ
ンジスタ53Bのベース、エミツタ間電圧VBE
3だけ高い電位(VinB+VBE53)にされ、か
つベースがこのトランジスタ53Bのエミツタに
接続されているpnpトランジスタ52Bのエミツ
タ電位が上記電位(VinB+VBE53)よりもこ
のトランジスタ52Bのベース、エミツタ間電圧
VBE52だけ高い電位(VinB+VBE53+VBE
2)にされ、この電位が出力端子61から出力さ
れる。さらに信号が“0”レベルにされる
ときには、npnトランジスタ51Cがオフし、ベ
ースに入力電圧VinCが供給されているpnpトラ
ンジスタ53Cのエミツタ電位がVinCよりもこ
のトランジスタ53Cのベース、エミツタ間電圧
VBE53だけ高い電位(VinC+VBE53)にさ
れ、かつベースがこのトランジスタ53Cのエミ
ツタに接続されているpnpトランジスタ52Cの
エミツタ電位が上記電位(VinC+VBE53)より
もこのトランジスタ52Cのベース、エミツタ間
電圧VBE52だけ高い電位(VinC+VBE53+
VBE52)にされ、この電位が出力端子61から
出力される。そしてここで選択された電圧は、そ
の後、図示しないA/D変換回路部においてA/
D変換される。なお、第5図において62ないし
67はそれぞれ定電流源である。
第6図は上記のような回路を集積回路化したと
きの上記トランジスタ53A,53B,53Cの
部分の素子構造を示す断面図である。P型の半導
体基板71上にはN型半導体層72が例えばエピ
タキシヤル法によつて形成されている。このN型
半導体層72はP+型半導体層73で分離された
N型の島領域74,75,76が形成されてお
り、それぞれの島領域74,75,76内にはP
型半導体層77,78,79それぞれが形成され
ている。すなわち、上記各トランジスタ53A,
53B,53Cは、P型半導体層77,78,7
9それぞれをエミツタ、島領域74,75,76
をそれぞれをベース、P型の半導体基板71を共
通のコレクタとして構成されており、この半導体
基板71は接地されている。
このような断面構造において、例えば入力電圧
VinAとして負極性の電圧が印加された場合には
N型の島領域74が負極性電位に設定される。この
ため、第6図中に示すように、接地されている基
板71からこの島領域74に向かつてi1なる電流
が流れる。他方、この電流i1の影響により、上
記島領域74に隣接した島領域75から図示のよ
うな寄生電流i2が流れる。このため、この島領
域75をベースとする前記トランジスタ53Bの
入力電圧VinBが影響を受けて低下し、これが変
換誤差発生の原因となる。
そこで従来ではこのように負極性電圧印加時に
おける他の回路の電位変動を防止するため、第7
図に示すように、上記のようなA/D変換回路が
形成された集積回路80の入力端子にダイオード
81,82及び抵抗83などからなる保護回路を
外付するようにしている。この保護回路におい
て、電圧Vinの入力端子84に負極性の電圧が印
加されるとダイオード81が導通し、この負極性
電圧による電流は接地電位に逃がされる。また、
集積回路80の内部で生じる負極性電圧による電
流は抵抗83により十分に減衰されるので、上記
のような他の回路に与える電位変動を十分に押さ
えることができる。なお、もう1個のダイオード
82は正極性の高電圧に対する保護用のものであ
る。
ところが、このような保護回路を集積回路の外
部に設けることは素子数が多くなるなどにより、
価格の面から好ましくない。そこでこのような保
護回路を集積回路80の内部に形成することは容
易に考えられることがである。ところが、単にこ
の保護回路をそのまま内蔵させただけではダイオ
ード81の寄生電流の影響により前記のような電
位変動を防止することはできない。
[発明の目的] この発明は上記のような事情を考慮してなされ
たものであり、その目的は集積回路に内蔵させる
ことができ、負極性電圧の印加時における電位変
動を防止することができる入力保護回路を提供す
ることにある。
[発明の概要] 上記目的を達成するため、この発明にあつて
は、基準電位が印加された第1導電型の半導体基
体と、上記基体上に形成され、基準電位が印加さ
れた第2導電型の第1半導体層をコレクタ、この
第1半導体層内に形成され、基準電位が印加され
た第1導電型の第2半導体層をベース、この第2
半導体層内の形成された第2導電型の第3半導体
層をエミツタとし、第1半導体層の底部には不純
物を高濃度に含み基準電位が印加された第2導電
型の第4半導体層が設けられ、第3半導体層に入
力電圧が印加される入力保護用の第1のトランジ
スタと、上記基体をコレクタ、上記基体上に上記
第1半導体層と分離して形成された第2導電型の
第5半導体層をベース、この第5半導体層内に形
成された第1導電型の第6半導体層をエミツタと
し、第5半導体層の周囲を取り囲みかつその底部
が横方向に広がるように形成され、基準電位が印
加された第2導電型の第7半導体層が設けられ、
第6半導体層に抵抗素子を介して上記入力電圧が
印加される入力用の第2のトランジスタとを具備
した入力保護回路が提供されている。すなわち、
負極性電圧のクランプ手段としてスイツチング作
用を持つトランジスタを使用することにより、基
板に電流が流れ込むことを防止し、また入力用の
第2のトランジスタのベースに対し抵抗素子を介
して入力電圧を印加することによりベースに流れ
込む負極性電流の値を減衰させ、かつ、第2のト
ランジスタの周囲を基板とは別導電型の第6の半
導体層で取り囲みこの半導体層を基準電位に設定
することによりこの第2のトランジスタから流れ
出る負極性電流を減衰するようにしている。
[発明の実施例] 以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説
明する。
第2図はこの発明に係る入力回路を前記第5図
と同様にA/D変換回路のマルチプレクサ回路部
に実施した場合の回路図であり、一つのアナログ
入力電圧Vinの入力回路部のみが示されている。
図において入力電圧Vinが供給される入力端子1
0と前記第5図中のトランジスタ53に相当する
入力用のpnpトランジスタ11のベースとの間に
は2個の抵抗12及び13が直列に挿入されてい
る。上記抵抗12と13の接続点にはnpnトラン
ジスタ14のエミツタが接続されている。このト
ランジスタ14のコレクタ及びベースは共に接地
されている。さらに入力用のトランジスタ11の
コレクタは接地され、エミツタと電源電圧Vccと
の間には定電流源15が挿入されている。また上
記トランジスタ11のエミツタには前記第5図中
のトランジスタ52に相当するpnpトランジスタ
16のベースが接続されている。このトランジス
タ16のコレクタは接地されており、エミツタと
電源電位Vccとの間には定電流源17が挿入され
ている。またこのトランジスタ17のエミツタに
は前記第5図中のトランジスタ51に相当する選
択用のnpnトランジスタ18のコレクタが接続さ
れており、このトランジスタ18のエミツタは接
地され、ベースには前記選択信号SELが供給され
るようになつている。そして上記トランジスタ1
6のエミツタ電位は、図示しないが前記第5図と
同様な構成の差動回路に供給されている。
また、上記入力用のトランジスタ11の周囲に
は破線で示すガードリングが形成されており、こ
のガードリングは接地されている。
第1図は上記第2図のような構成の回路を集積
回路化した際のトランジスタ11と14の部分の
断面構造を示す断面図である。
P型の半導体基板21上にはN型半導体層22
が例えばエピタキシヤル法によつて形成されてい
る。このN型半導体層22にはP+型半導体層2
3で分離されたN型の島領域24,25が形成さ
れている。上記一方の島領域24の底部にはN+
半導体層26が形成されており、その一部はこの
島領域24の表面から露出するように形成されて
いる。またこの島領域24内にはP型半導体層2
7が形成され、さらにこのP型半導体層27内に
はN型半導体層28が形成されている。そして前
記第2図中のnpnトランジスタ14は、上記N型
の島領域24をコレクタ、P型半導体層27をベ
ース及びN型半導体層28をエミツタとして構成
されており、N+半導体層26、P型半導体層2
7及びN型の島領域24の周囲に形成されている
P+型半導体層23それぞれは接地され、N型半
導体層28は抵抗12を介して入力端子10に接
続されている。
上記他方の島領域25内にはP型半導体層29
が形成されている。さらにこの島領域25を分離
するためのP+型半導体層23の周囲には前記ガ
ードリングを構成するN+型半導体層30が形成
されている。なお、このN+型半導体層30の底
部は図示のように横方向に広がつて形成されてい
る。すなわち、前記第2図中のpnpトランジスタ
11は、P型の基板21ををコレクタ、N型半導
体層25をベース及びP型半導体層29をエミツ
タとして構成されており、このN型の島領域25
の周囲に形成されているP+型半導体層23及び
N+型半導体層30それぞれは接地され、N型半
導体層25は抵抗13を介して上記トランジスタ
14のN型半導体層28に接続されている。また
このトランジスタ11のP型半導体層29は第2
図中のpnpトランジスタ16のベース及び定電流
源15の一端に接続されている。
このような構成において、入力端子10に負極
性の電圧が印加された場合、第1図においてN型
半導体層28が負極性電位に設定される。このN
型半導体層28が形成されているP型半導体層2
7は接地されているので、このような負極性の電
圧が印加されることにより、N型半導体層28及
びP型半導体層27とからなるpn接合において
P型半導体層27からN型半導体層28に向かつ
て電流が流れ、入力端子10に印加された負極性
電圧のほとんどはこのトランジスタ14で吸収さ
れる。またP型の基板21とN型の島領域24と
は共に接地されており同電位にされているので、
入力端子10に負極性の電圧が供給されても、こ
の基板21と島領域24とからなるpn接合には
ほとんど電流は流れない。従つて、基板21には
電流が流れないため、上記島領域24と隣接して
設けられた島領域25、基板21及びN型半導体
層24からなる経路の寄生電流発生せず、他の回
路には影響を与えない。
またトランジスタ11については、入力端子1
0に負極性の電圧が供給された場合、N型の島領
域25が負極性電位に設定される。このとき、前
記第6図の場合と同様に、他のN型の島領域、P
型の基板、N型の島領域25の経路で寄生電流が
流れようとするが、この島領域25の周囲には高
濃度にN型不純物を含むN+型半導体層30が設
けられているために、このN+型半導体層30、
N型半導体装置22、P+型半導体層23及びN
型の島領域25の経路でこのトランジスタ11に
発生するほとんどの寄生電流が流れる。従つて、
このトランジスタ11が他の回路に与える影響も
ほとんどない。
この結果、この実施例回路では入力端子10に
負極性の電圧が印加されても、他の回路に対して
電位変動をほとんど発生させない。
なお、一般にnpnトランジスタはトランジスタ
14のように接続されている場合、エミツタに正
極性の所定電圧が印加されたときにツエナー特性
を示す。このため、このトランジスタ14のエミ
ツタとなる前記N型半導体層28などの不純物濃
度の制御によりこのツエナー電圧を調整すれば、
入力端子10に印加される正極性の高電圧に対す
る保護も図ることができる。
第3図は入力端子10に負極性の電圧が印加さ
れて負極性の電流−Iが流れた時の他の回路の電
位Vの変動を示す特性図である。図において曲線
aは従来回路のものであり、電流−Iが増加する
と電位Vは大幅に低下する。これに対して、曲線
bは上記実施例回路のものであり、電流−Iが増
加しても電位Vはほとんど低下しない。
第4図はこの発明の変形例の断面図であり、前
記トランジスタ14の他の構造が示されている。
この例では前記N+型半導体層26をN型の島領
域24の底部のみならず周囲にも連続的に形成
し、かつ接地するようにしたものである。このよ
うな構成とすることにより、基板21を経由して
流れる寄生電流は大幅に低減させることができ
る。
第8図は上記実施例回路で使用される抵抗1
2,13の具体的に構成を示す断面図である。こ
れらの抵抗は、P型の半導体基板21上に形成さ
れたN型半導体層22をP+型半導体層23で分
離してN型の島領域81を形成し、この島領域8
1内にP型半導体層82を形成することによつて
構成されている。すなわち、前記抵抗12,13
はこのP型半導体層82が使用される。そしてN
型の島領域81はVccもしくはアースに接続され
ている。
[発明の効果] 以上説明したようにこの発明によれば、容易に
集積回路に内蔵させることができ、負極性電圧の
印加時における電位変動を防止することができる
入力保護回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例の構成を示す断面
図、第2図は上記実施例の回路図、第3図は上記
実施例を説明するための特性図、第4図はこの発
明の変形例の断面図、第5図はA/D変換回路の
入力段に設けられるマルチプレクサ回路部の構成
を示す回路図、第6図は上記第5図回路の一部分
の素子構造を示す断面図、第7図は従来回路の回
路図、第8図は上記実施例回路で使用される抵抗
の構成を示す断面図である。 11……入力用のpnpトランジスタ、12,1
3……抵抗、14……npnトランジスタ、16…
…pnpトランジスタ、21……P型の半導体基
板、22……N型半導体層、23……P+型半導
体層、24,25……N型の島領域、26……
N+半導体層、27……P型半導体層、28……
N型半導体層、29……P型半導体層、30……
P+型半導体層。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 基準電位が印加された第1導電型の半導体基
    体と、 上記基体上に形成され、基準電位が印加された
    第2導電型の第1半導体層をコレクタ、この第1
    半導体層内に形成され、基準電位が印加された第
    1導電型の第2半導体層をベース、この第2半導
    体層内に形成された第2導電型の第3半導体層を
    エミツタとし、第1半導体層の底部には不純物を
    高濃度に含み基準電位が印加された第2導電型の
    第4半導体層が設けられ、第3半導体層に入力電
    圧が印加される入力保護用の第1のトランジスタ
    と、 上記基体をコレクタ、上記基体上に上記第1半
    導体層と分離して形成された第2導電型の第5半
    導体層をベース、この第5半導体層内に形成され
    た第1導電型の第6半導体層をエミツタとし、第
    5半導体層の周囲を取り囲みかつその底部が横方
    向に広がるように形成され、基準電位が印加され
    た第2導電型の第7半導体層が設けられ、第6半
    導体層に抵抗素子を介して上記入力電圧が印加さ
    れる入力用の第2のトランジスタ とを具備したことを特徴とする入力保護回路。 2 前記第1のトランジスタには前記第1半導体
    層の周囲を取り囲むように、不純物を高濃度に含
    み、基準電位が印加された第2導電型の第8半導
    体層が形成されている特許請求の範囲第1項に記
    載の入力保護回路。
JP26550385A 1985-11-26 1985-11-26 入力保護回路 Granted JPS62125659A (ja)

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