JPH0514272B2 - - Google Patents
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- JPH0514272B2 JPH0514272B2 JP57054701A JP5470182A JPH0514272B2 JP H0514272 B2 JPH0514272 B2 JP H0514272B2 JP 57054701 A JP57054701 A JP 57054701A JP 5470182 A JP5470182 A JP 5470182A JP H0514272 B2 JPH0514272 B2 JP H0514272B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
- G03G5/08214—Silicon-based
- G03G5/08278—Depositing methods
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
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- Light Receiving Elements (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Description
本発明はグロー放電分解法やスパツタリング法
によつて生成されるアモルフアスシリコン(以
下、a−Siと略す)を光導電層とした電子写真感
光体の改良に関する。 従来、電子写真感光体の光導電材料としては、
Se、Cds、ZnO等が一般的に使用されているが、
a−Siは耐熱性、耐磨耗性、無公害性、光感度特
性等に優れているという理由から、近年、a−Si
の電子写真感光体への応用が注目され、既に種々
ま構造のものが提案されている。例えば、a−Si
感光体の耐久性の向上のためa−Si光導電層上に
表面保護層を積層したものが知られている。 しかしながら、従来、公知の表面保護層を設け
たa−Si感光体では耐久性試験をしても、実用に
供する画像としては10万枚程度が限度であり、今
だ満足し得るものではなく、且つ、表面保護層の
影響によりa−Si光導電層単層膜感光体に比して
光感度が低下する欠点があつた。更には、暗中に
おいて+5.6KVで表面保護層上にコロナ放電を行
つても、表面電位が300V程度と低く、電荷保持
能力の点でも不充分であつた。 本発明は上記の事情に鑑みて成されたものでa
−Si感光体の耐久性をより一層向上させるととも
に、光感度が高く、電荷保持能力の優れた電子写
真感光体を提供することを目的とする。 本発明の電子写真感光体は導電性基板上に10-5
乃至5×10-2atomic%の酸素を含有するa−Si
光導電層と、その上に1.0乃至20.0atomic%の酸
素を含有し、且つ0.01乃至0.5ミクロンの厚みを
有するa−Si表面保護層を積層したことを特徴と
するものである。 以下、本発明につき詳細に説明する。 本発明の電子写真感光体は第1図に示す如く、
導電性基板上1上に、a−Si光導電層2とa−Si
表面保護層3を順次積層して構成されている。 各層中の酸素・水素・硼素の含有両並びに各層
の厚みは表1り通りである。
によつて生成されるアモルフアスシリコン(以
下、a−Siと略す)を光導電層とした電子写真感
光体の改良に関する。 従来、電子写真感光体の光導電材料としては、
Se、Cds、ZnO等が一般的に使用されているが、
a−Siは耐熱性、耐磨耗性、無公害性、光感度特
性等に優れているという理由から、近年、a−Si
の電子写真感光体への応用が注目され、既に種々
ま構造のものが提案されている。例えば、a−Si
感光体の耐久性の向上のためa−Si光導電層上に
表面保護層を積層したものが知られている。 しかしながら、従来、公知の表面保護層を設け
たa−Si感光体では耐久性試験をしても、実用に
供する画像としては10万枚程度が限度であり、今
だ満足し得るものではなく、且つ、表面保護層の
影響によりa−Si光導電層単層膜感光体に比して
光感度が低下する欠点があつた。更には、暗中に
おいて+5.6KVで表面保護層上にコロナ放電を行
つても、表面電位が300V程度と低く、電荷保持
能力の点でも不充分であつた。 本発明は上記の事情に鑑みて成されたものでa
−Si感光体の耐久性をより一層向上させるととも
に、光感度が高く、電荷保持能力の優れた電子写
真感光体を提供することを目的とする。 本発明の電子写真感光体は導電性基板上に10-5
乃至5×10-2atomic%の酸素を含有するa−Si
光導電層と、その上に1.0乃至20.0atomic%の酸
素を含有し、且つ0.01乃至0.5ミクロンの厚みを
有するa−Si表面保護層を積層したことを特徴と
するものである。 以下、本発明につき詳細に説明する。 本発明の電子写真感光体は第1図に示す如く、
導電性基板上1上に、a−Si光導電層2とa−Si
表面保護層3を順次積層して構成されている。 各層中の酸素・水素・硼素の含有両並びに各層
の厚みは表1り通りである。
上述した第2図に示すグロー放電分解装置でa
−Si光導電層とa−Si表面保護層を形成し、該電
子写真感光体の分光光感度特性及び表面電位特性
を測定した。 すなわち、前記グロー放電分解装置のターンテ
ーブル21上に円筒状のアルミニウム基板1を載
置し、第1タンク4より水素をキヤリアーガスと
したSiH4ガス(流量320sccM)を、第2タンク
5より水素をキヤリアーガスとしたB2H6ガス
(流量80sccM)を、更に、第3タンク6よりO2
ガス(流量1.4sccM)を放出し、アルミニウム基
板1上に酸素を約10-2atomic%、硼素を約
200ppm、水素を約15atomic%含有する厚さ10.0
ミクロンのa−Si光導電層を得た。このときの製
造条件は放電圧を0.6Torr、基板温度を200℃、
高周波電力を200watts、膜形成速度を14Å/sec
とした。更に、同様の方法で、SiH4ガスを
50sccM、B2H6ガスを125sccM、O2ガスを
10sccMの流量とした以外は同一の条件の下で上
記a−Si光導電層上に酸素を約10.0atomic%、硼
素を約200ppm、水素を約5atomic%含有する厚
さ0.1ミクロンのa−Si表面保護層を得た。 かくして得られた積層膜感光体の分光光感度特
性を測定したところ、第3図に示す通りの結果が
得られた。この結果は前記感光体を暗中で+
5.6KVの高圧源に接続されたコロナチヤージヤで
正帯電し、次いで分光された単色光で該感光体表
面に照射して、表面電位の減衰速度から該電位が
半減するに必要なエネルギーの逆数で光感度を求
めたものである。 尚、同図において○印は該積層膜感光体の或る
波長の光感度測定結果で、イはその全体傾向を示
し、また●印は該積層膜感光体のa−Si光導電層
と同じ製作条件で生成した、厚さ10.1ミクロンか
らなるa−Si光導電層の単層膜感光体の或る波長
の好感度測定結果で、ロはその全体傾向を示して
いる。第3図から明らかなように、本発明の積層
膜感光体は単層感光体に比して積層膜にしたこと
による感光度の減衰は全くみられず、むしろ、光
感度特性が向上している。 また、本発明の積層膜感光体の表面電位、暗減
衰及び光減衰の特性を測定したところ、第4図に
示す通りの結果がえられた。これは暗中で+
5.6KVのコロナチヤージヤで正帯電し、暗中での
表面電位の経時変化と、そして600nmの単色光照
射直後の表面電位の経時変化を追つたものであ
る。 尚、同図においてハ,ホはそれぞれ積層膜感光
体と単層膜感光体の暗減衰を示し、ニ,ヘはそれ
ぞれ積層膜感光体と単層膜感光体の光減衰の測定
結果を示す。 第4図から明らかなように、前記単層感光体は
表面電位が300V程度であり、且つ、10秒後で約
20〜30%の暗減衰を示しているが、本発明の積層
膜感光体では表面電位が約550Vと大幅に高くな
り、暗減衰も遅く10秒後で10数%であり、電荷保
持能力が単層膜感光体に比して飛躍的に向上して
いる。また、両感光体とも残留電位はほぼOであ
る。 〔実施例 2〕 前記実施例1で得た積層膜感光体について、+
5.6KVのコロナチヤージヤによる正帯電した後
に、画像露光し磁気ブラシ現像を行つた結果、画
像濃度が高く、高コントラストで良好な画像が得
られ、15万回の繰り返しテスト後においても初期
画像からの劣化は全く見られず、耐久性も良好で
あることが確認された。 〔実施例 3〕 前記実施例1と同様に、グロー放電分解装置に
よりアルミニウム基板上に下記構造の積層膜を形
成した感光体A,B,C及びDを製作した。 (感光体A) a−Si表面保護層: 酸素含有量約15.0atomic% 水素含有量約10% 硼素含有量約200ppm 膜 厚 0.08ミクロン a−Si光導電層: 酸素含有量約0.01atomic% 水素含有量約15atomic% 硼素含有量約150ppm 膜 厚 10.0ミクロン (感光体B) a−Si表面保護層:酸素含有量約13.0atomic% 水素含有量約7atomic% 硼素含有量約200ppm 膜 厚 0.08ミクロン a−Si光導電層 : 酸素含有量約0.01atomic% 水素含有量約18atomic% 硼素含有量約190ppm 膜 厚 10.0ミクロン (感光体C) a−Si表面保護層: 酸素含有量約7.0atomic% 水素含有量約13atomic% 硼素含有量約200ppm 膜 厚 0.15ミクロン a−Si光導電層: 酸素含有量約0.01atomic% 水素含有量約18atomic% 硼素含有量約180ppm 膜 厚 9.9ミクロン (感光体D) a−Si表面保護層: 酸素含有量約13.0atomic% 水素含有量約8atomic% 硼素含有量約200ppm 膜 厚 0.08ミクロン a−Si光導電層: 酸素含有量約0.008atomic% 水素含有量約20atomic% 硼素含有量約200ppm 膜 厚 10.0ミクロン 上記積層膜感光体A,B,C及びDについて実
施例1と同じの方法で光感度、表面電位並びに暗
減衰率を測定したところ、下記の通りの結果にな
つた。 (感光体A) 光感度(E50): 500nmで0.30(cm2/erg) 600nmで0.55 700nmで0.48 800nmで0.12 表面電位 :600V 暗減衰率 :10秒後で約8% (感光体B) 光感度(E50): 500nmで0.31 600nmで0.56 700nmで0.49 800nmで0.13 表面電位 :500V 暗減衰率 :10秒後で約10% (感光体C) 光感度(E50):500nmで0.28 600nmで0.55 700nmで0.45 800nmで0.10 表面電位 :500V 暗減衰率 :10秒後で約15% (感光体D) 光感度(E50):500nmで0.33 600nmで0.57 700nmで0.51 800nmで0.15 表面電位 :550V 暗減衰率 :10秒後で約12% 上記実施例の感光体のすべてについて、前記実
施例2と同一の方法で耐久性試験を行つたとこ
ろ、15万回の繰り返し後も高コントラストで良好
な画像が得られ、初期画像と何等遜色がなかつ
た。 上述した実施例から明らかなように、本発明の
a−Si感光体は、耐久性が優れていると同時に、
光感度が高く、且つ電荷保持能力も向上してい
る。 更に、本発明の積層膜感光体は表面保護層とし
て、本来、耐久性、耐摩耗性の優れたa−Si層を
用いたことにより、a−Siの単層膜感光体の利点
が損われることはない。
−Si光導電層とa−Si表面保護層を形成し、該電
子写真感光体の分光光感度特性及び表面電位特性
を測定した。 すなわち、前記グロー放電分解装置のターンテ
ーブル21上に円筒状のアルミニウム基板1を載
置し、第1タンク4より水素をキヤリアーガスと
したSiH4ガス(流量320sccM)を、第2タンク
5より水素をキヤリアーガスとしたB2H6ガス
(流量80sccM)を、更に、第3タンク6よりO2
ガス(流量1.4sccM)を放出し、アルミニウム基
板1上に酸素を約10-2atomic%、硼素を約
200ppm、水素を約15atomic%含有する厚さ10.0
ミクロンのa−Si光導電層を得た。このときの製
造条件は放電圧を0.6Torr、基板温度を200℃、
高周波電力を200watts、膜形成速度を14Å/sec
とした。更に、同様の方法で、SiH4ガスを
50sccM、B2H6ガスを125sccM、O2ガスを
10sccMの流量とした以外は同一の条件の下で上
記a−Si光導電層上に酸素を約10.0atomic%、硼
素を約200ppm、水素を約5atomic%含有する厚
さ0.1ミクロンのa−Si表面保護層を得た。 かくして得られた積層膜感光体の分光光感度特
性を測定したところ、第3図に示す通りの結果が
得られた。この結果は前記感光体を暗中で+
5.6KVの高圧源に接続されたコロナチヤージヤで
正帯電し、次いで分光された単色光で該感光体表
面に照射して、表面電位の減衰速度から該電位が
半減するに必要なエネルギーの逆数で光感度を求
めたものである。 尚、同図において○印は該積層膜感光体の或る
波長の光感度測定結果で、イはその全体傾向を示
し、また●印は該積層膜感光体のa−Si光導電層
と同じ製作条件で生成した、厚さ10.1ミクロンか
らなるa−Si光導電層の単層膜感光体の或る波長
の好感度測定結果で、ロはその全体傾向を示して
いる。第3図から明らかなように、本発明の積層
膜感光体は単層感光体に比して積層膜にしたこと
による感光度の減衰は全くみられず、むしろ、光
感度特性が向上している。 また、本発明の積層膜感光体の表面電位、暗減
衰及び光減衰の特性を測定したところ、第4図に
示す通りの結果がえられた。これは暗中で+
5.6KVのコロナチヤージヤで正帯電し、暗中での
表面電位の経時変化と、そして600nmの単色光照
射直後の表面電位の経時変化を追つたものであ
る。 尚、同図においてハ,ホはそれぞれ積層膜感光
体と単層膜感光体の暗減衰を示し、ニ,ヘはそれ
ぞれ積層膜感光体と単層膜感光体の光減衰の測定
結果を示す。 第4図から明らかなように、前記単層感光体は
表面電位が300V程度であり、且つ、10秒後で約
20〜30%の暗減衰を示しているが、本発明の積層
膜感光体では表面電位が約550Vと大幅に高くな
り、暗減衰も遅く10秒後で10数%であり、電荷保
持能力が単層膜感光体に比して飛躍的に向上して
いる。また、両感光体とも残留電位はほぼOであ
る。 〔実施例 2〕 前記実施例1で得た積層膜感光体について、+
5.6KVのコロナチヤージヤによる正帯電した後
に、画像露光し磁気ブラシ現像を行つた結果、画
像濃度が高く、高コントラストで良好な画像が得
られ、15万回の繰り返しテスト後においても初期
画像からの劣化は全く見られず、耐久性も良好で
あることが確認された。 〔実施例 3〕 前記実施例1と同様に、グロー放電分解装置に
よりアルミニウム基板上に下記構造の積層膜を形
成した感光体A,B,C及びDを製作した。 (感光体A) a−Si表面保護層: 酸素含有量約15.0atomic% 水素含有量約10% 硼素含有量約200ppm 膜 厚 0.08ミクロン a−Si光導電層: 酸素含有量約0.01atomic% 水素含有量約15atomic% 硼素含有量約150ppm 膜 厚 10.0ミクロン (感光体B) a−Si表面保護層:酸素含有量約13.0atomic% 水素含有量約7atomic% 硼素含有量約200ppm 膜 厚 0.08ミクロン a−Si光導電層 : 酸素含有量約0.01atomic% 水素含有量約18atomic% 硼素含有量約190ppm 膜 厚 10.0ミクロン (感光体C) a−Si表面保護層: 酸素含有量約7.0atomic% 水素含有量約13atomic% 硼素含有量約200ppm 膜 厚 0.15ミクロン a−Si光導電層: 酸素含有量約0.01atomic% 水素含有量約18atomic% 硼素含有量約180ppm 膜 厚 9.9ミクロン (感光体D) a−Si表面保護層: 酸素含有量約13.0atomic% 水素含有量約8atomic% 硼素含有量約200ppm 膜 厚 0.08ミクロン a−Si光導電層: 酸素含有量約0.008atomic% 水素含有量約20atomic% 硼素含有量約200ppm 膜 厚 10.0ミクロン 上記積層膜感光体A,B,C及びDについて実
施例1と同じの方法で光感度、表面電位並びに暗
減衰率を測定したところ、下記の通りの結果にな
つた。 (感光体A) 光感度(E50): 500nmで0.30(cm2/erg) 600nmで0.55 700nmで0.48 800nmで0.12 表面電位 :600V 暗減衰率 :10秒後で約8% (感光体B) 光感度(E50): 500nmで0.31 600nmで0.56 700nmで0.49 800nmで0.13 表面電位 :500V 暗減衰率 :10秒後で約10% (感光体C) 光感度(E50):500nmで0.28 600nmで0.55 700nmで0.45 800nmで0.10 表面電位 :500V 暗減衰率 :10秒後で約15% (感光体D) 光感度(E50):500nmで0.33 600nmで0.57 700nmで0.51 800nmで0.15 表面電位 :550V 暗減衰率 :10秒後で約12% 上記実施例の感光体のすべてについて、前記実
施例2と同一の方法で耐久性試験を行つたとこ
ろ、15万回の繰り返し後も高コントラストで良好
な画像が得られ、初期画像と何等遜色がなかつ
た。 上述した実施例から明らかなように、本発明の
a−Si感光体は、耐久性が優れていると同時に、
光感度が高く、且つ電荷保持能力も向上してい
る。 更に、本発明の積層膜感光体は表面保護層とし
て、本来、耐久性、耐摩耗性の優れたa−Si層を
用いたことにより、a−Siの単層膜感光体の利点
が損われることはない。
第1図は本発明に係る感光体の拡大断面図、第
2図はアモルフアスシリコン層を生成するための
グロー放電分解装置の概略構成図、第3図はアモ
ルフアスシリコンから成る単層膜感光体と本発明
の積層膜感光体の分光光感度曲線を示すグラフ、
第4図はアモルフアスシリコンから成る単層膜感
光体と本発明の積層膜感光体の表面電位、暗減衰
曲線及び光減衰曲線を示すグラフである。 1……導電性基板、2……アモルフアスシリコ
ン光導電層、3……アモルフアスシリコン表面保
護層。
2図はアモルフアスシリコン層を生成するための
グロー放電分解装置の概略構成図、第3図はアモ
ルフアスシリコンから成る単層膜感光体と本発明
の積層膜感光体の分光光感度曲線を示すグラフ、
第4図はアモルフアスシリコンから成る単層膜感
光体と本発明の積層膜感光体の表面電位、暗減衰
曲線及び光減衰曲線を示すグラフである。 1……導電性基板、2……アモルフアスシリコ
ン光導電層、3……アモルフアスシリコン表面保
護層。
Claims (1)
- 1 導電性基板上に−10-5乃至5×10-2atomic%
の酸素を含有するアモルフアスシリコン光電導層
と、その上に−1.0乃至20.0atomicの酸素を含有
し、且つ0.01乃至0.5ミクロンの厚みを有するア
モルフアスシリコン表面保護層を積層して成るこ
とを特徴とする電子写真感光体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57054701A JPS58171056A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | 電子写真感光体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57054701A JPS58171056A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | 電子写真感光体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58171056A JPS58171056A (ja) | 1983-10-07 |
JPH0514272B2 true JPH0514272B2 (ja) | 1993-02-24 |
Family
ID=12978097
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57054701A Granted JPS58171056A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | 電子写真感光体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58171056A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07317121A (ja) * | 1994-05-27 | 1995-12-05 | Toyo Gasumeetaa Kk | 押ボタン型小便器用自動水洗器 |
JPH07317120A (ja) * | 1994-05-27 | 1995-12-05 | Toyo Gasumeetaa Kk | 小便器用手動押ボタン付自動水洗器 |
US9353511B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-05-31 | Sloan Valve Company | Dual mode flush actuator |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0752305B2 (ja) * | 1985-12-11 | 1995-06-05 | キヤノン株式会社 | 電子写真感光体の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56156835A (en) * | 1980-05-08 | 1981-12-03 | Minolta Camera Co Ltd | Electrophotographic receptor |
JPS5717180A (en) * | 1980-07-04 | 1982-01-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor element |
-
1982
- 1982-03-31 JP JP57054701A patent/JPS58171056A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS56156835A (en) * | 1980-05-08 | 1981-12-03 | Minolta Camera Co Ltd | Electrophotographic receptor |
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US9353511B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-05-31 | Sloan Valve Company | Dual mode flush actuator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPS58171056A (ja) | 1983-10-07 |
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