JPH05142153A - 照射を用いた表面状態検査方法及びその装置 - Google Patents

照射を用いた表面状態検査方法及びその装置

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JPH05142153A
JPH05142153A JP30914891A JP30914891A JPH05142153A JP H05142153 A JPH05142153 A JP H05142153A JP 30914891 A JP30914891 A JP 30914891A JP 30914891 A JP30914891 A JP 30914891A JP H05142153 A JPH05142153 A JP H05142153A
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一基 田中
Kazuo Hironaka
和夫 弘中
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被検査面の色調に関係なく該被検査面の表面
状態を精度良く検査することを可能とした照射を用いた
表面状態検査方法及びその装置を提供する。 【構成】 鏡面と認められる被検査面１０aに対向して
配置された光照射手段１から該被検査面１０aに向けて
所定の変化パターンを有する光を照射するとともに、上
記被検査面１０aにおいて反射された上記光照射手段１
の像を撮像手段２によって撮影して上記変化パターンに
対応する受光画像を作成し、さらに画像処理手段３によ
って上記受光画像に基づき上記変化パターンと異なる箇
所を識別することで上記被検査面の表面欠陥を検出する
に際して、２００nm〜３５０nmの波長範囲の反射光のみ
を上記撮像手段２に取り入れて受光画像の作成を行なわ
しめるもの。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は、照射を用いた車体塗
面等の表面状態検査方法及びその装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より車体の塗膜表面の凹凸欠陥を検
査する手段として、該塗膜表面が鏡面と擬制可能なこと
を利用して、光照射手段から塗膜表面に照射した光の反
射光(正反射)をビデオカメラ等の撮像手段によって受光
して撮像し、これを画像処理手段によって画像処理し、
凹凸欠陥部における正反射の変化に起因する画像の変化
から該凹凸欠陥を検出する技術が知られている(例え
ば、特開昭６２ー２３３７１０号公報参照)。そして、
この場合、照射光として可視光(波長３８０〜７８０nm)
を用いるのが通例であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来の照射を用いた表面状態検査装置によれば、被検査
面である塗膜の色(特に白系塗膜)によっては画像が不鮮
明となって欠陥検出が十分にできないという問題があっ
たが、このような不具合に対して十分な対策が為されて
いないのが現状である。
【０００４】そこで本願発明では、被検査面の色調に関
係なく精度の良い欠陥検出を可能とする照射を用いた表
面状態検査方法及びその装置を提供せんとしてなされた
ものである。
【０００５】
【発明の技術的背景】本願発明者らは、かかる課題を解
決するための手段を研究する過程において、被検査面た
る車体の塗膜における光の拡散反射に着目し、次のよう
に推考した。即ち、塗膜そのものは鏡面擬制し得ること
からその表面においては正反射が生ずるものの、その表
層部分には塗料に含まれた色料としての種々の顔料が微
粒状態で混在しているため、被検査面に光を照射した場
合、鏡面反射による正反射のみならず、上記各種顔料の
微粒において四方に向けて放射散乱する拡散反射が生じ
ている。このため、この被検査面での反射光の全てを撮
像手段としてのカメラに取り入れた場合には、本来目的
とする正反射に基づく撮像の他に、不必要な拡散反射に
基づく撮像が加味された状態で画像処理が行なわれるこ
ととなる。この結果、正反射に基づく画像の変化状態に
よって被検査面の凹凸欠陥を検出しようとしたにもかか
わらず、拡散反射の影響によって画像が不鮮明となり欠
陥検出が困難になると考えられる。このような推考が正
しいとすれば、被検査面における拡散反射の影響を可及
的に抑えれば常に精度の良い欠陥検出が可能になると言
える。
【０００６】さらに、本願発明者らは、各種の塗膜色の
うちでも特に白系塗膜において欠陥検出が困難になると
いう経験的知見から、色料となる顔料の種類及び顔料の
光に対する性状(即ち、光の透過率あるいは吸収率)に着
目した。即ち、一般に白色塗料は顔料として酸化チタン
のみを用いることで得られ、またこの酸化チタンに黒用
顔料としてのカーボンブラックを混ぜることで色調が次
第に黒系に変化し、カーボンブラックのみを顔料として
用いた場合に真っ黒な黒色塗料が得られるものである。
また、酸化チタンは透過率が比較的高いが、カーボンブ
ラックはこれとは逆に光吸収率が極めて高い(換言すれ
ば、透過率が極めて低い)ことが知られており、これら
のことからすれば透過率の高い酸化チタンを顔料として
用いた白系塗料による塗膜においては拡散反射が発生し
易く、逆に透過率の低いカーボンブラックを顔料として
用いた黒系塗料による塗膜は拡散反射が発生しにくいと
いうことが推認される。
【０００７】そこで、本願発明者らは、上記二つの推考
事項の当否を確認すべく、下記する三つの塗膜を試料と
して用意し、これらを使用して反射率の試験を行った。
【０００８】試料１・・酸化チタンのみを顔料として用
いた白系塗料による塗膜。
【０００９】試料２・・酸化チタンとカーボンブラック
とを所定比率で混合したグレー系塗料による塗膜。
【００１０】試料３・・カーボンブラックのみを顔料と
して用いた黒系塗料による塗膜。
【００１１】そして、これら各試料に光を照射するとと
もにその照射光の波長を連続的に変化させた場合におけ
る各試料表面の反射率を、正反射成分を含まない状態
(換言すれば、拡散反射成分のみの状態)と正反射成分を
含む状態とに別けてそれぞれ試験し、その結果をそれぞ
れ図２と図３(試料１)、図４と図５(試料２)及び図６と
図７(試料３)に示した。
【００１２】この各試験結果をそれぞれ考察すると、先
ず図２と図３に示す試料１における試験結果からは、紫
外線領域の波長域である２２０nm〜３５０nmの波長範囲
においては拡散反射は極めて少ないが、それ以上の可視
光の波長領域では極端に拡散反射が増加することが分か
った。また、図４及び図５に示す試料２における試験結
果からは、拡散反射は２２０nm〜３５０nmの波長域にお
いてはほとんど発生せず、可視光領域において発生する
ことは上記試料１の場合と同様の傾向ではあるが、可視
光領域における拡散反射の発生レベルそのものに着目す
れば試料１の場合に比して極めて少なくなっており、こ
の点は上記試料１の場合と大きく相違する。さらに、図
６及び図７に示す試料３における試験結果からは、全波
長域において拡散反射がほぼ皆無となっていることが分
かった。尚、このように試料２及び試料３において拡散
反射が減少あるいは皆無となるのは色料として含有され
たカーボンブラックの吸収率が極めて高く、拡散反射光
が効率良く吸収されることによるものと考えられる。
【００１３】これら各試験結果から、塗膜の色に関係な
く常時精度のよい欠陥検出を行うためには、カメラに反
射光を取り入れて撮像する時点において波長２００nm〜
３５０nmの範囲の反射光のみに基づいて撮像すれば拡散
反射の影響を回避することができること、具体的には塗
膜表面への照射光そのものを上記波長範囲の光を用いる
か、あるいは照射光として紫外線領域から可視光領域ま
での波長範囲の光を用いるとともに反射光をカメラに取
り込む際に上記波長範囲の光のみが取り込まれるように
すれば良いという結論が導かれるものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】以上の如き技術的背景に
立脚し、本願発明では上記課題を解決するための具体的
手段として、請求項１記載の照射を用いた表面状態検査
方法では、鏡面と認められる被検査面に対向して配置さ
れた光照射手段から該被検査面に向けて所定の変化パタ
ーンを有する光を照射するとともに、上記被検査面にお
いて反射された上記光照射手段の像を撮像手段によって
撮影して上記変化パターンに対応する受光画像を作成
し、さらに画像処理手段によって上記受光画像に基づき
上記変化パターンと異なる箇所を識別することで上記被
検査面の表面欠陥を検出するに際して、２００nm〜３５
０nmの波長範囲の反射光のみを上記撮像手段に取り入れ
て受光画像の作成を行なわしめることを特徴としてい
る。
【００１５】請求項２記載の照射を用いた表面状態検査
装置では、鏡面と認められる被検査面に対向して配置さ
れ該被検査面に向けて光を照射する光照射手段と、上記
被検査面において反射された上記光照射手段の像を撮影
してその受光画像を作成する撮像手段と、該受光画像に
基づいて上記被検査面の表面欠陥を検出する照射を用い
た表面状態検査装置において、上記撮像手段における受
光画像の作成が２２０nm〜３５０nmの波長範囲の反射光
によって行なわれるように構成したことを特徴としてい
る。
【００１６】請求項３記載の発明では、請求項１記載の
照射を用いた表面状態検査装置において、上記光照射手
段を、照射光として２２０nm〜３５０nmの波長範囲の光
を照射する如く構成したことを特徴としている。
【００１７】請求項４記載の発明では、請求項１記載の
照射を用いた表面状態検査方法において、上記撮像手段
を、被検査面からの反射光のうち、２２０nm〜３５０nm
の波長範囲の反射光のみを受光し得る如く構成したこと
を特徴としている。
【００１８】
【作用】本願各発明ではかかる構成とすることにより、
撮像手段における受光画像の作成が、拡散反射の影響を
全く排除した状態下で正反射のみに基づいて行なわれる
ことから、画像処理手段において被検査面の表面状態が
より正確且つ鮮明に表示されることとなり、該被検査面
の表面状態の検査・判断が容易ならしめられるものであ
る。
【００１９】
【発明の効果】従って、本願各発明の照射を用いた表面
状態検査装置によれば、被検査面の色調の如何に拘わら
ず常時拡散反射の影響を排除した状態で該被検査面の撮
像及び画像処理が行なわれることから、該被検査面の表
面状態の検査をより正確に判定することができ、延いて
は検査作業の迅速・適正化あるいは製品の品質向上に寄
与することができるものである。
【００２０】
【実施例】以下、添付図面に示す実施例に基づいて本願
発明の照射を用いた表面状態検査方法及びその装置を具
体的に説明すると、図１には車体の塗膜１０の塗膜面１
０aの凹凸欠陥を検査するための本願発明の実施例にか
かる表面状態検査装置が示されている。この表面状態検
査装置は、光照射手段として機能する光源１と、該光源
１によって照射された塗膜面１０aからの反射光を受光
して受光画像を作成する撮像手段としてのカメラ２と、
該カメラ２によって撮像された受光画像を画像処理して
上記塗膜面１０aの凹凸欠陥の有無を検出する画像処理
手段３とを備えている。
【００２１】上記光源１は、その内部に紫外線ランプ
(図示省略)を内蔵するとともに、その照射方向前方側に
バンドパスフィルター６と明暗調整フィルター４と拡散
フィルター５とをそれぞれ取り付けて構成されている。
このバンドパスフィルター６は、紫外線ランプから照射
される紫外線のうち、波長が２２０nm〜３５０nmの範囲
の光のみを通過させるものである。また、明暗調整フィ
ルター４は、照射光の光度分布に所定のパターンをもた
せるものであり、さらに拡散フィルター５は明暗調整フ
ィルター４を透過してくる光を拡散させて紫外線ランプ
相互間に対応する部分の光度が他の部分に比して低下す
るのを防止するものである。尚、これら各フィルターは
紫外線に耐えるような材質(例えば、石英)で構成され
る。
【００２２】そして、実際の表面状態の検査に際して
は、このように構成された光源１と上記カメラ２とが所
定の相対関係を維持し且つ塗膜面１０aと所定の間隔を
保った状態で該塗膜面１０aの表面形状をなぞりながら
一方側へ移動して行く。この場合、上記カメラ２のカメ
ラ視野には、鏡面である塗膜面１０aで反射された所定
の光度分布をもって一方向に移動する光出射面が写し出
され、該カメラ２においては光度分布に対応して一方向
に明るさが一様に変化する受光画像が作成されることと
なる。そして、塗膜面１０aに凹凸欠陥２１,２２がある
と、その部分において光源１からの光の正反射方向が変
化することから局部的に明暗差が生じ且つこれが光源１
及びカメラ２の移動とともに変化することになり、該カ
メラ２はこの受光画像の明るさの変化に応じて変化する
ビデオ信号を画像処理手段３に出力する。この画像処理
手段３においては、上記凹凸欠陥２１,２２の存在に基
づいて上記カメラ２から出力されるビデオ信号からこの
欠陥の大きさ及び位置を検出するものである。
【００２３】この場合、この実施例のものにおいては、
光源１から塗膜面１０aに照射される照射光が拡散反射
を生じない波長２２０nm〜３５０nmの範囲のものに限定
されていることから、カメラ２は拡散反射が排除された
正反射状態のみの光照射面に基づいて受光画像を作成す
ることなる。このため、受光画像が鮮明となり、上記凹
凸欠陥２１,２２による局部的な明暗変化が明瞭に写し
出され、従って、画像処理手段３における欠陥の検出が
精度良く行えるものである。
【００２４】尚、この実施例においては、光源１側に紫
外線ランプを設けるとともにバンドパスフィルター６を
取り付けて波長２２０nm〜３５０nmの範囲の光のみを照
射光として照射するようにしているが、本願発明の他の
実施例においては請求項４記載の如く、該光源１側から
は可視光線をも含む光を照射し、カメラ２の受光方向前
方位置に上記特定波長の紫外線のみを透過させるバンド
パスフィルター６を取り付けるとか、該カメラ２のレン
ズそのものを上記波長の紫外線のみを透過させるような
性状をもつ紫外線受光素子で構成するようにすることも
できるものである。
【００２５】また、この実施例にかかる表面状態検査装
置及び方法は、光輝材の混入していない車体の中塗り塗
膜あるいは上塗り塗膜の表面状態の検査に適用できるこ
とは勿論であるが、例え塗料中に光輝材が混入している
所謂メタリック塗装の上塗り塗膜の表面状態検査にも適
用できるものである。但し、この場合には、塗膜内部へ
の入射光及び光輝材において反射した反射光を該塗膜の
内部で十分に吸収減衰させることが必要であることか
ら、塗膜自身の光に対する吸収率が高いことが要求さ
れ、具体的にはカーボンブラック、亜鉛華等の吸収率の
高い顔料を高比率で含んだ塗膜であることが必要であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の実施例にかかる照射を用いた表面状
態検査装置のシステム図である。
【図２】波長に対する反射率特性図である。
【図３】波長に対する反射率特性図である。
【図４】波長に対する反射率特性図である。
【図５】波長に対する反射率特性図である。
【図６】波長に対する反射率特性図である。
【図７】波長に対する反射率特性図である。
【符号の説明】
１は光源(光照射手段)、２はカメラ(撮像手段)、３は画
像処理手段、４は明暗調整フィルター、５は拡散フィル
ター、６は波長調整フィルター、１０は塗膜(被検査
面)、２１は凸部(表面欠陥)、２２は凹部(表面欠陥)で
ある。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 鏡面と認められる被検査面に対向して配
    置された光照射手段から該被検査面に向けて所定の変化
    パターンを有する光を照射するとともに、上記被検査面
    において反射された上記光照射手段の像を撮像手段によ
    って撮影して上記変化パターンに対応する受光画像を作
    成し、さらに画像処理手段によって上記受光画像に基づ
    き上記変化パターンと異なる箇所を識別することで上記
    被検査面の表面欠陥を検出するに際して、２００nm〜３
    ５０nmの波長範囲の反射光のみを上記撮像手段に取り入
    れて受光画像の作成を行なわしめることを特徴とする照
    射を用いた表面状態検査方法。
  2. 【請求項２】 鏡面と認められる被検査面に対向して配
    置され該被検査面に向けて所定の変化パターンを有する
    光を照射する光照射手段と、上記被検査面において反射
    された上記光照射手段の像を撮影して上記変化パターン
    に対応する受光画像を作成する撮像手段と、該受光画像
    に基づき上記変化パターンと異なる箇所を識別すること
    で上記被検査面の表面欠陥を検出する画像処理手段とを
    備えるとともに、上記撮像手段における受光画像の作成
    を２２０nm〜３５０nmの波長範囲の反射光によって行な
    わしめるように構成したことを特徴とする照射を用いた
    表面状態検査装置。
  3. 【請求項３】 請求項２において、上記光照射手段が、
    照射光として２２０nm〜３５０nmの波長範囲の光を照射
    する如く構成されていることを特徴とする照射を用いた
    表面状態検査装置。
  4. 【請求項４】 請求項２において、上記撮像手段が、被
    検査面からの反射光のうち、２２０nm〜３５０nmの波長
    範囲の反射光のみを受光し得る如く構成されていること
    を特徴とする照射を用いた表面状態検査装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006242814A (ja) * 2005-03-04 2006-09-14 Kanto Auto Works Ltd 表面検査装置
JP2007017379A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Gen Tec:Kk 表面形状測定装置
JP2022098254A (ja) * 2020-12-21 2022-07-01 新日本空調株式会社 塗装表面観察方法

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5686987A (en) 1995-12-29 1997-11-11 Orfield Associates, Inc. Methods for assessing visual tasks to establish desirable lighting and viewing conditions for performance of tasks; apparatus; and, applications
DE19730885A1 (de) * 1997-07-18 1999-01-21 Audi Ag Verfahren zur automatischen Erkennung von Oberflächenfehlern an Rohkarosserien und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
US6800859B1 (en) * 1998-12-28 2004-10-05 Hitachi, Ltd. Method and equipment for detecting pattern defect
US6266138B1 (en) * 1999-10-12 2001-07-24 Perceptron, Inc. System and method for detecting defects in a surface of a workpiece
US6836000B1 (en) * 2000-03-01 2004-12-28 Micron Technology, Inc. Antifuse structure and method of use
JP3858571B2 (ja) * 2000-07-27 2006-12-13 株式会社日立製作所 パターン欠陥検査方法及びその装置
DE10036741A1 (de) 2000-07-27 2002-02-07 Duerr Systems Gmbh Verfahren und Kontrollsystem zur Kontrolle der Beschichtungsqualität von Werkstücken
GB2395289A (en) * 2002-11-11 2004-05-19 Qinetiq Ltd Structured light generator
US7559258B2 (en) * 2003-06-12 2009-07-14 Matzoll Robert J Torque sensor using signal amplitude analysis
EP1768724A4 (en) * 2004-06-07 2010-08-25 Bard Inc C R SUBCUTANEOUS INFUSION DEVICES
US7253908B2 (en) * 2004-07-22 2007-08-07 The Boeing Company Non-destructive inspection using laser profiling and associated method
DE102006044443A1 (de) * 2006-09-21 2008-04-03 Robert Bosch Gmbh Automatische Erkennung von Beschichtungsfehlern
JPWO2008056625A1 (ja) * 2006-11-07 2010-02-25 株式会社カネカ 医療用カテーテルチューブ
US7784364B2 (en) * 2008-04-28 2010-08-31 Matzoll Robert J Optical sensor for measurement of static and dynamic torque
KR100952934B1 (ko) * 2009-12-04 2010-04-16 대아공전주식회사 무대 기기 제어시스템
JP5568456B2 (ja) * 2010-12-06 2014-08-06 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置
US8542351B2 (en) 2011-09-01 2013-09-24 Nike, Inc. Coating inspection device
CN103245677A (zh) * 2013-05-02 2013-08-14 苏州欧菲光科技有限公司 感光光阻检验方法及装置
US9988242B1 (en) * 2017-01-11 2018-06-05 Otis Elevator Company Elevator rail healthy monitoring method
US11397111B2 (en) * 2018-09-18 2022-07-26 Axalta Coating Systems Ip Co., Llc Device and method for determining observation geometry
US10996165B1 (en) * 2020-03-19 2021-05-04 The Boeing Company Apparatus and method for measuring UV coating effectiveness

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4629319A (en) * 1984-02-14 1986-12-16 Diffracto Ltd. Panel surface flaw inspection
JPH0621775B2 (ja) * 1986-04-04 1994-03-23 日産自動車株式会社 表面検査装置
US5072128A (en) * 1989-07-26 1991-12-10 Nikon Corporation Defect inspecting apparatus using multiple color light to detect defects
US5041726A (en) * 1990-06-11 1991-08-20 Hughes Aircraft Company Infrared holographic defect detector
US5208766A (en) * 1990-11-13 1993-05-04 Hughes Aircraft Company Automated evaluation of painted surface quality
US5153445A (en) * 1991-07-22 1992-10-06 General Motors Corporation Method and apparatus for measuring orange peel and texture in painted surfaces

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006242814A (ja) * 2005-03-04 2006-09-14 Kanto Auto Works Ltd 表面検査装置
JP2007017379A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Gen Tec:Kk 表面形状測定装置
JP2022098254A (ja) * 2020-12-21 2022-07-01 新日本空調株式会社 塗装表面観察方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR930010527A (ko) 1993-06-22
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