JPH04106461A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

表面欠陥検査装置

Info

Publication number
JPH04106461A
JPH04106461A JP22749990A JP22749990A JPH04106461A JP H04106461 A JPH04106461 A JP H04106461A JP 22749990 A JP22749990 A JP 22749990A JP 22749990 A JP22749990 A JP 22749990A JP H04106461 A JPH04106461 A JP H04106461A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
color
inspected
video signal
light irradiation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22749990A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazumoto Tanaka
一基 田中
Tatsumi Makimae
槙前 辰己
Takeshi Sugihara
毅 杉原
Akinori Utsunomiya
昭則 宇都宮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mazda Motor Corp
Original Assignee
Mazda Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mazda Motor Corp filed Critical Mazda Motor Corp
Priority to JP22749990A priority Critical patent/JPH04106461A/ja
Priority to US07/723,174 priority patent/US5237404A/en
Priority to KR1019910011074A priority patent/KR920001190A/ko
Priority to DE4121464A priority patent/DE4121464A1/de
Publication of JPH04106461A publication Critical patent/JPH04106461A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Closed-Circuit Television Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は被検査面に光を照射してその反射光から塗装欠
陥等の表面欠陥の冑無を検出する表面欠陥検査装置に関
する。
(従来の技術) 自動車等の車両の製造ラインにおいては、一般に、車体
の塗装は製造ライン中に設けた塗装ステーションにおい
て行なわれる。
ところで、車体の塗装後の塗装欠陥の検査は、従来より
、人間の目視検査によって行なわれていた。この検査で
は、検査者は塗膜面から微小な欠陥部を発見しなければ
ならないため、検査者の神経的負担が大きく、また肉体
的にもきびしい作業が強いられていた。
塗装欠陥の検査におけるこのような事情に鑑みて、物体
の被検査面に光を照射し、その反射光をスクリーン上に
投影させ、その投影像の鮮映度がら被検査面の表面欠陥
を自動的に検出するようにした表面検査装置が提案され
ている(たとえば、特開昭62−233710号公報参
照)。
この表面検査装置を車体の塗装欠陥の検出に応用すれば
、上記した塗装欠陥の目動検出が可能になり、従来の目
視による検査作業から検査者を解放することができる。
(発明が解決しようとする課題) ところで、上記の光照射による表面検査技術を車体塗装
の自動検査に応用する場合、第5図に示すように、塗膜
面1の鏡面反射性を利用し、この塗膜面1に光源2から
線状(あるいはスポット状)の光を照射して、塗膜面1
に次に述べるビデオカメラ3のカメラ視野Fよりも十分
に小さい光照射領域を作り、この光照射領域からの反射
光をビデオカメラ3により受光する装置が考えられる。
この装置では、ビデオカメラ3で作成される受光画像は
第6図のように、塗膜面1の光照射領域から反射した光
がカメラ視野Fに入り、カメラ視野Fをカバーする全体
として暗い受光画像5の中に、塗膜面1の光照射領域が
明るい線画像6となってとらえられる。そして、この光
照射領域中に塗装の欠陥部7(第5図寮照)があった場
合、この塗装の欠陥部7において光の正反射方向が変化
し、上記欠陥部7がなければ正常に反射して上記カメラ
視野Fに入るべきはずの光がカメラ視野Fに入らなくな
る。このため、上記の明るい線画像6の中に黒く欠陥部
7(第6図謬照)が写ることになる。
したかって、この黒く写る欠陥部7を画像処理技術によ
り識別することによって欠陥部7を検出することができ
る。また、この装置によれば、塗膜面1を線状に狭く照
射するので、照射光量が少なく、光照射領域に入射する
光が欠陥部7で正反射方向が変化して、ビデオカメラ3
に入る光量が欠陥部7とそうでない部分とで明瞭に差が
でき、微小な欠陥をも検出することができることになる
しかし、上記装置のように、狭い光照射によれば、カメ
ラ視野Fに対して光照射領域が小さすぎ、一方、ビデオ
カメラ3がとらえることができる欠陥部7は光照射領域
(すなわち、受光画像5中の線画像6)の内部か、近辺
でしかないので、常にカメラ視野Fの一部のみを使用し
た表面検査しかできず、検査能率に欠けるという問題が
あった。
また、被検査面が自動車等の車両の車体であるときには
、第5図の光源2ならびにビデオカメラ3をロボット装
置(図示せず。)で車体表面に沿って移動させながら検
査を行うことになる。
しかし、この場合には、車体は多くの曲面からなるので
、これらの曲面部に検査箇所が移動すると、光源2によ
って車体表面にできている線状の照射形状が歪む。この
ため、ビデオカメラ3の受光画像5中の線画像6も第7
図のように歪み、甚だしい場合にはカメラ視野Fから逸
脱することになる。
このため、自動車等の車両の車体では、塗膜面1の正常
な検査が困難で、常にカメラ視野F内に線画像6が収ま
るようにするためには、ロボット装置の制御が複雑にな
るという問題があった。
以上のような難点を解消するために、第8図に示すよう
に、塗膜面lを光源2′によってカメラ視野Fと同等も
しくはそれ以上の範囲で広く照射するようにし、この広
い光照射領域をビデオカメラ3によってとらえることが
考えられる。
しかし、このように広く塗膜面lを照射すると照射光量
が大幅に増加するので、欠陥部7で光のハレーンヨンを
生じてビデオカメラ3が微小な欠陥部7を明確にとらえ
ることができなくなる。
たとえば光源2′からの光り、、L、は塗膜面lで反射
し、その反射光がビデオカメラ3の受光面に入るが、光
照射領域に欠陥部7がないとすると、受光面に入る光量
はどの部分でも同じであるから、受光画像は一面明るい
画像となっている。
これに対して、光照射領域に欠陥部7があると、この欠
陥部7で上記光照射領域に入射する光の正反射方向が変
化し、欠陥部7に対応する受光面部分の入射光量が−減
って黒い点として受光画像中に写るはずである。
しかし、光源2′は、上記のように、広く塗膜面1を照
射しているので、光源2′の他の部分からの光り、、L
、が欠陥部7,7で反射して、光量が減少するはずの受
光面部分に入る。
したがって、受光画像中の明るさが大きくは低下せず、
このため、欠陥部7.7が微小であったときには、欠陥
部7,7とそうでない部分との明るさに差が生じにくく
なり、画像処理しても欠陥部7,7を識別することが困
難になる。ビデオカメラ3の受光面に光度変化を有する
外乱光が入射すると、欠陥部7,7の識別がより困難に
なる。
本発明の目的は、曲面を含む被検査面の欠陥部の位置と
その凹凸状態を同時に、外乱光等の影響を受けることな
く、効率よく正確に検出することができる表面欠陥検査
装置を提供することである。
(課題を解決するための手段) このため、本願の請求項1に係る発明は、被検査面を照
射する光の出射面から出射する光がこの出射面に沿う予
め定められた一つの方向で色が予め定められた順序に変
化する色パターンを有する光照射手段と、上記被検査面
の光照射領域からの反射光をとらえる受光画面を有し、
この受光画面にとらえられた上記光照射領域内の受光画
像をビデオ信号に変換するビデオ信号発生手段と、この
ビデオ信号発生手段から出力するビデオ信号に基づいて
上記光照射領域からの反射光の色パターンの乱れから上
記被検査面の欠陥部を識別する画像情報処理手段とを備
えたことを特徴としている。
また、本願の請求項2に係る発明は、請求項1に係る上
記発明において、光照射手段が光の出射面から出射する
各色の光が光度勾配を有していることを特徴としている
(作用) 上記光照射手段の出射面から出射する光はその色がこの
出射面の一つの方向に関して予め定められた順序に変化
する色パターンとなって出射する。
よってその被検査面からの反射光も同様の色パターンと
なる。
このような光が照射されている上記被検査面に欠陥があ
ると、そこで色パターンの乱れが発生して反射光の色の
順序が変化し、色の混合が発生する。
よって、反射光の色の混合が発生している受光画像の位
置および反射光の色の順序から欠陥の位置および凹凸を
検出することができる。
また、光照射手段が光の出射面から出射する各色の光が
光度勾配を有している場合には、欠陥部における反射光
の色の混合および反射光の色の順序の情報に加えて、各
色の反射光について明暗の変化の情報が得られる。
(発明の効果) 本発明によれば、出射面の一つの方向に関して予め定め
られた順序に色が変化する色パターンとなって光が出射
する光照射手段により被検査面を照射して被検査面から
の反射光の色パターンの乱れをビデオ信号発生手段から
のビデオ信号に基づいて検出するようにしたので、色パ
ターンの乱れから、外乱光の影響を受けることなく、簡
単かつ正確に、欠陥部分の位置および凹凸状態を検出す
ることができる。
また、光照射手段が光の出射面から出射する各色の光が
光度勾配を有しているものでは、欠陥部における反射光
の色の混合および反射光の色パターンの情報に加えて、
各色の反射光について明暗の変化の情報が得られるので
、外乱光の影響を受けることなく、さらにより確実に欠
陥部を検出することができる。
(以下、余白) (実施例) 以下に、添付の図面を参照して本発明の詳細な説明する
まず、本発明の原理を、第1図(a)および第1図(b
)により説明する。
第1図(a)は被検査面11に凸状の欠陥部12を有す
る場合を示し、第1図(b)は被検査面11に凹状の欠
陥部12を有する場合を示す。
第1図(a)および第1図(b)において、光照射手段
としての光源13からは、光の出射面13aから出射す
る光の色(光の波長)がこの出射面13aの矢印A1で
示す一つの方向に、予め定められた順序で変化する色パ
ターンの形態で出射する。すなわち、上記出射面13g
は、矢印A、で示す方向に、A色の出射領域、B色の出
射領域、0色の出射領域、・・・のように分割される。
そして、A色の出射領域からはA色の光が、B色の出射
領域からはB色の光が、0色の出射領域からは0色の光
が、・・・というように、予め定められた順序で各出射
領域からは異なる色の光が出射する。
一方、被検査面11には、光源13の光の出射面13a
から出射する上記色パターンを有する光の光照射領域S
が生じる。そして、この光照射領域Sがそれに含まれる
カメラ視野Fを有するビデオ信号発生手段としてのビデ
オカメラ14の上記カメラ視野Fにとらえられる。
よって、第2図(a)および第2図(b)に示すように
、このような光照射領域Sの反射光をとらえるビデオカ
メラ14の受光画像15においても、光源13の光の出
射面13aから出射する光の色がA色から順次に変化す
る矢印A、で示す方向に対応し、上記色パターンに対応
して矢印A、で示す方向に色が順次に変化する。
このような状態において、被検査面11に欠陥部12が
生じていると、その部分で光源13からの光の正反射方
向が変化し、被検査面11からの色パターンに乱れが生
じる。この色パターンの乱れにより、たとえば次のよう
にして欠陥部12を識別できる。
すなわち、上記欠陥部12が、第1図(a)に示すよう
に、たとえば凸状のものであれば、光源13の上記出射
面13aからの光のうち、被検査面11に近い部分16
からの光、たとえばA色の光が主として上記出射面13
aと対向する欠陥部12の面12aに当たって正反射方
向が変化し、その一部がビデオカメラ14に入射する。
したがって、ビデオカメラ14の受光画像15では、第
2図(a)に示すように、欠陥部12が凸状のものでは
、欠陥部12により本来入射する光の色、たとえばG色
に、出射面13aのうち被検査面11に近い部分16、
たとえばA色の出射領域からの光(A色の光)が混合す
ることになる。
一方、上記欠陥部12が凹状のものである場合、光源1
3の上記出射面13aからの光のうち、被検査面11か
ら離れた部分17からの光、たとえばX色の光が主とし
て上記出射面13aと対向する欠陥部12の面12bに
当たって正反射方向が変化し、その一部がビデオカメラ
14に入射する。
したがって、ビデオカメラ14の受光画像15では、第
2図(b)に示すように、欠陥部12が凹状のものでは
、欠陥部12より本来入射する色、たとえばG色に、出
射面13aのうち被検査面11から遠い部分17、たと
えばX色の出射領域がらの光(X色の光)が混合するこ
とになる。
上記から、欠陥部12に本来入射するG色の光に混合さ
れる光がX色とA色というように、欠陥部12の凹凸に
よって異なり、混合される光の色により、欠陥部12の
凹凸状態を判定することができる。また色の混合の発生
する位置から、欠陥部12の位置を知ることができる。
以上の原理による欠陥部12の位置の判定と欠陥部12
の凹凸の判定は、ビデオカメラ15がらのビデオ信号に
含まれる色信号により、後述する画像処理プロセッサに
よりおこなわれる。
次に上述の原理を用いた実施例構成を第3図および第4
図を用いて説明する。
図示りない車体の塗装検査ステーション20には、第3
図に示すように、台座Bに乗ったロボット装置21が装
備される。
上記ロボット装置21には、その先端アーム22に上記
光源13に対応する光照射手段23と、上記ビデオカメ
ラ14に対応するCCDカメラ24とが支持金具25を
介して取り付けられる。ロボット装置21のこれら光照
射手段23とCCDカメラ24とは、第1図(a)およ
び第1図(b)の被検査面11に相当する、塗装検査ス
テー7ョン20に搬入された車体26の塗膜面27をト
レースし、その際、光照射手段23によって照射された
光が、車体26の表面の塗膜面27で反射してCCDカ
メラ24に入射する。
また、このような光照射手段23とCCDカメラ24に
よる塗装欠陥検査においては、ホストコンピュータ31
によって与えられる指令によって、ロボットコントロー
ラ32が駆動される。そして、それによるロボットコン
トローラ32の信号がロボット装置21に送られる。
上記ロボット装置21は、内蔵されている図示しないア
クチュエータが作動し、これにより、ロボット装置21
は光照射手段23およびCCDカメラ24が車体26の
表面をなぞるように、これら光照射手段23およびCC
Dカメラ24を移動させるとともに、CCDカメラ24
によって得られるビデオ信号を画像処理ブロッセ、す3
3に出力する。
上記画像処理ブロノセノサ33では、CCDカメラ24
から入力するビデオ信号に含まれる色信号により、CC
Dカメラ24の受光画像15(第2図(a)、第2図(
b)参照)において、欠陥部12に本来入射する光(た
とえばG色の光)にほかの領域の光(たとえばA色の光
、X色の光)が混合され、この混合が発生するビデオ信
号の走査線とこの走査線上でのタイミングを検出する。
そして、そのデータはホストコンピュータ32に伝送さ
れて解析される。これにより、欠陥部12の位置の座標
を検出するとともに、上記混合する光(A色の光、X色
の光)(こより欠陥部12が凸状であるか凹状であるか
を検出する。
この検出結果により、車体26の塗装面に存在する塗装
の欠陥部12の凹凸状態に応じた補修が行われる。すな
わち、欠陥部12が凸状であるときは、その突出部分は
小さく削り取られるが、上記欠陥部12が凹状であると
きは、欠陥部12を含んで比較的広い範囲で塗膜か削り
取られる。
この補修は、人手により行うこともできるが、上記ロボ
ット装置21もしくはそれとは別に設けた図示しない補
修用のロボット装置により、自動的に行うこともできる
上記の光照射手段23は、第4図に示すように、ボック
ス41の内部に複数本の蛍光灯42(特に蛍光灯42に
限られるものではない。)が装置されている。これら蛍
光灯42の前面には、光フィルタ43が設置される。
上記光フィルタ43は、蛍光灯42から出る光の色を、
上記光フィルタ43が形成する光の出射面13aの一方
向に対して、A色、B色、0色、・・・というように、
予め定められた色パターンとするためのものである。上
記光フィルタ43により、光の出射面13a上にたとえ
ば第4図に示すように設定したXY座標の同一のX座標
値を有する点での光の色は同じであり、異なるy座標値
を有する点での光の色は異る。これによって、車体26
の表面の塗膜面27には一方向に色が変化する上記と同
様の色パターンを有する光照射領域Sが形成される。
以上の塗装欠陥検査装置では、壁装検査ステーション2
0に塗装済の車体26が搬入されるに伴い、塗装欠陥検
査作業が開始される。すなわち、ロボット装置21がロ
ボットコントローラ32に制御されて、光照射手段23
とCCDカメラ24とを一体の関係を保って、かつ、車
体26の表面にこれら光照射手段23とCCDカメラ2
4とが適切な距離を置く状態で車体26の表面形状に沿
ってなぞらせる。
このときに、光照射手段23により、第1図(a)およ
び第1図(b)に示すように、カメラ視野Fをカバーす
るとともに色がA色、B色、0色、・・・というように
一方向に予め定められた順序で変化する色パターンを有
する光が車体26の表面に照射される。
このため、塗膜面27には、一つの方向に対して色がA
色、B色、0色、・・・というように変化する光の光照
射領域Sが形成される。また、この光照射領域Sからの
反射光が入射するCCDカメラ24では、上記光照射手
段23からの光の色パターンに対応して一方回に色が順
次変化する受光画像15が作成されることになる。
したがって、被検査面11に欠陥部12か生じていると
、その部分で光源13からの光の正反射方向が変化して
色パターンが乱れ、第1図(a)および第1図(b)、
第2図(a)および第2図(b)の原理説明で述べたよ
うに、たとえば上記欠陥部12が凸状のものである場合
は、ビデオカメラ14の受光画像15は、第2図(a)
に示すように、ビデオカメラ14の受光画像15の矢印
A、で示す方向で、欠陥部12に本来受光されるG色の
光にA色の光が混合する。
また、上記欠陥部12が凹状のものである場合は、第2
図(b)に示すように、ビデオカメラ14の受光画像1
5は矢印A、で示す方向で、欠陥部12に本来受光され
るG色の光にX色の光が混合する。
ビデオカメラ15はその上記受光画像15の色の変化に
対応するビデオ信号を画像処理プロセッサ33に出力す
る。
上記ビデオ信号が入力すると、画像処理プロセッサ33
は、上記ビデオ信号に含まれる色信号から欠陥部12に
おける色の混合を検出し、欠陥部12を検出する。そし
て、この欠陥部12に対応するビデオ信号の走査線とこ
の走査線上での欠陥部12に対応する信号部分を検出し
、受光画像15内での欠陥部12の位置および欠陥部1
2の凹凸状態を検出する。この検出データとロボット装
置21の先端アーム22の位置をメモリに記憶する。
ソシテ、欠陥部12の補修時にこのメモリの記憶内容を
取り出し、既に述べたようにして、欠陥部12の補修が
行われる。
上記から、欠陥部12は、周囲とは色にちがいのある明
瞭な画像としてとらえることができ、欠陥部12が微小
であっても、また、被検査面11に光度変化のある外乱
光等が入射しても、効率よ(確実に欠陥部12をとらえ
ることができる。
なお、第1図(a)および第1図(b)において、光源
13の光の出射面13aから出射する各色の光、たとえ
ば第1図(c)に示すように、光度勾配(たとえば25
6階調)をつけるようにしてもよい。
このようにすれば、ビデオカメラ14の受光画像15は
、第2図(c)に示すように、上記光度勾配に応じて欠
陥部12から入射する光の色の明るさが欠陥部12の位
置によって変化することになる。これにより、欠陥部1
2の検出がより容易になる。
以上では、欠陥部12の検出を画像処理プロッセッサ3
3により行う実施例について説明したが、上記CCDカ
メラ24からのビデオ信号を検査者がモニタテレビをモ
ニタすることにより、欠陥部12を検出し、その形状や
位置等の情報を記録装置に記録させることもできる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)および第1図(b)はそれぞれ本発明にか
かる表面欠陥検査装置の原理説明図、第1図(c)は光
源の光の出射面から出射する各色の光に光度変化をつけ
た場合の表面欠陥検査装置の原理説明図、 第2図(a)および第2図(b)はそれぞれ被検査面ニ
凸状オよび凹状の欠陥かあるときのカメラの画面の説明
図、 第2図(c)は第1図(c)の場合のカメラの画面の説
明図、 第3図は本発明に係る表面欠陥検査装置を自動車の車体
の塗装欠陥検査装置に適用した実施例の説明図、 第4図は光照射手段の分解斜視図、 第5図は従来の表面欠陥検査装置の説明図、第6図は第
5図の表面欠陥検査装置のカメラにより得られる画像の
説明図、 第7図は被検査面が曲面のときにカメラにより得られる
画像の説明図、 第8図は従来のいま一つの表面欠陥検査装置の説明図で
ある。 11・・・被検査面、12・・・欠陥部、13・・・光
源。 14・・ビデオカメラ、15・・受光画像21・・・ロ
ボット装置、23・・光照射手段24・・CCDカメラ
、25・・支持金具、26・・・車体。 27・・塗膜面、31・・・ホストコンピュータ。 32・・ロボットコントローラ 33・・画像処理プロ、セ、す 41・・・ボックス、42・・蛍光灯、43・・光フィ
ルタ。 特 許 出 願 人 マツダ株式会社 代理人弁理士青山 葆 はか1名 第2図 1M 1 図 第2図 第4M 第6図 第5図 第7図 第8図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被検査面を照射する光の出射面から出射する光が
    この出射面に沿う予め定められた一つの方向で色が予め
    定められた順序に変化する色パターンを有する光照射手
    段と、上記被検査面の光照射領域からの反射光をとらえ
    る受光画面を有し、この受光画面にとらえられた上記光
    照射領域内の受光画像をビデオ信号に変換するビデオ信
    号発生手段と、このビデオ信号発生手段から出力するビ
    デオ信号に基づいて上記光照射領域からの反射光の色パ
    ターンの乱れから上記被検査面の欠陥部を識別する画像
    情報処理手段とを備えたことを特徴とする表面欠陥検査
    装置。
  2. (2)上記光照射手段は、光の出射面から出射する各色
    の光が光度勾配を有していることを特徴とする請求項1
    記載の表面欠陥検査装置。
JP22749990A 1990-06-28 1990-08-28 表面欠陥検査装置 Pending JPH04106461A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22749990A JPH04106461A (ja) 1990-08-28 1990-08-28 表面欠陥検査装置
US07/723,174 US5237404A (en) 1990-06-28 1991-06-28 Inspection apparatus with improved detection of surface defects over large and curved surfaces
KR1019910011074A KR920001190A (ko) 1990-06-28 1991-06-28 표면결함 검사장치
DE4121464A DE4121464A1 (de) 1990-06-28 1991-06-28 Vorrichtung zur feststellung von oberflaechendefekten

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22749990A JPH04106461A (ja) 1990-08-28 1990-08-28 表面欠陥検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04106461A true JPH04106461A (ja) 1992-04-08

Family

ID=16861851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22749990A Pending JPH04106461A (ja) 1990-06-28 1990-08-28 表面欠陥検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04106461A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010112941A (ja) * 2008-10-10 2010-05-20 Toyota Motor Corp 表面検査装置
JP2016095160A (ja) * 2014-11-12 2016-05-26 Jfeスチール株式会社 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置
WO2018025389A1 (ja) * 2016-08-05 2018-02-08 エヌズエンタープライズ株式会社 不良箇所検出器具及び不良箇所検出方法
JP2020091238A (ja) * 2018-12-07 2020-06-11 ファナック株式会社 加工品の表面損傷検査システム
WO2022135635A1 (de) * 2020-12-21 2022-06-30 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Bestimmung von störungen eines objektoberflächenverlaufs mit hilfe farbiger reflexionen

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010112941A (ja) * 2008-10-10 2010-05-20 Toyota Motor Corp 表面検査装置
US8493558B2 (en) 2008-10-10 2013-07-23 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Surface inspection apparatus
JP2016095160A (ja) * 2014-11-12 2016-05-26 Jfeスチール株式会社 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置
WO2018025389A1 (ja) * 2016-08-05 2018-02-08 エヌズエンタープライズ株式会社 不良箇所検出器具及び不良箇所検出方法
JPWO2018025389A1 (ja) * 2016-08-05 2018-10-11 株式会社三勢 不良箇所検出器具及び不良箇所検出方法
JP2020091238A (ja) * 2018-12-07 2020-06-11 ファナック株式会社 加工品の表面損傷検査システム
WO2022135635A1 (de) * 2020-12-21 2022-06-30 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Bestimmung von störungen eines objektoberflächenverlaufs mit hilfe farbiger reflexionen

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5237404A (en) Inspection apparatus with improved detection of surface defects over large and curved surfaces
WO1985003776A1 (en) Panel surface flaw inspection
JPH09184713A (ja) 表面欠陥検査装置
JPH05142153A (ja) 照射を用いた表面状態検査方法及びその装置
JP3204444B2 (ja) 表面欠陥検査装置
JPH11271038A (ja) 塗装欠陥検査装置
JPH0765972B2 (ja) パネル表面検査方法及び装置
JPH04106461A (ja) 表面欠陥検査装置
JPH0979988A (ja) 表面欠陥検査装置
JP2938948B2 (ja) 表面欠陥検査装置
JP3017572B2 (ja) 表面状態検査方法
JP2955686B2 (ja) 表面欠陥検査装置
JP3062293B2 (ja) 表面欠陥検査装置
JP2938953B2 (ja) 表面欠陥検査装置
JP2892464B2 (ja) 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法
JPH04204314A (ja) 表面欠陥検査装置
JP3054227B2 (ja) 表面欠陥検査装置
JP3339677B2 (ja) 表面状態検査用スクリーン及びそのスクリーンを用いた検査装置
JP3056552B2 (ja) 表面状態検査方法
JP3204443B2 (ja) 表面欠陥検査装置
JPH05322543A (ja) 表面欠陥検査装置
JP3100448B2 (ja) 表面状態検査装置
JP3095820B2 (ja) 表面状態検出装置
JP3278490B2 (ja) 塗膜欠陥検査装置
JPH0670324A (ja) 画像取込み用検出ヘッド