JP3410231B2

JP3410231B2 - カメラ受光位置補正用標板およびカメラ位置補正装置

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Publication number: JP3410231B2
Application number: JP25683694A
Authority: JP
Inventors: 光弘友田
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1993-10-25
Filing date: 1994-10-21
Publication date: 2003-05-26
Anticipated expiration: 2018-05-26
Also published as: JPH085577A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、積層型電子写真感光体
の外観欠陥検査過程にて用いられるカメラ受光位置補正
用標板の構成、およびそのカメラ受光位置補正用標板を
用いたカメラ位置補正装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層型電子写真感光体、特にデジタル画
像処理に対応する感光体において、外観欠陥等が生じる
と、表面層では光沢面に起因する正反射成分と表面層凹
凸に起因する散乱光成分からなる反射を起こし、一方、
内部層では欠陥での選択吸収を伴う拡散反射成分が発生
する。

【０００３】一般的に、撮像カメラを用いた欠陥検査方
式としては、単一照明・撮像系による斜方照明による拡
散反射受光方式が採られていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来方式においては、図19に示すように表面層101，内部
層102，ベース103からなる感光体100の表面層101におけ
る凹凸情報を含んだ成分は、その凹凸101aが鏡面反射性
の自由曲面であるので、図19(a)〜(c)のように３次元形
状が一定でなく、様々な傾角を有した面を構成してお
り、この場合、表面層101を照明する入射光104の入射角
度が一定であると、凹凸101aによる散乱光105の指向性
が凹凸101aの傾角によって変化するため、散乱光105
は、表面層101の前方に設置されている撮像カメラの受
光範囲から外れることが多く、実際には表面層101に凹
凸101aが存在しているにも拘らず、撮像信号には情報が
入らないことが発生する。

【０００５】このため、欠陥による全ての表面層101の
反射成分と内部層102の反射成分の双方を同時に撮像カ
メラに取り込めるような反射指向性を光学系に持たせな
ければならないが、従来、一定入射角の単一照明系およ
び撮像系で、このことを行うことは非常に困難であっ
た。また、２つの異なった反射指向性を持った検査対象
の各々の欠陥を検出する場合、セオリーとして２系統の
照明手段あるいは２系統の撮像手段を併用する対策がと
られており、単一面性状のチャート，校正シートでは異
なる二反射面性状に存在する欠陥を評価する特性が得ら
れず、充分な補正が行えなかった。

【０００６】また、この問題を解決するために、斜方照
明において照射角を小さくし正反射成分を多く取り込む
と、高輝度の正反射成分によりコントラストが低下し、
欠陥の撮像が困難となる。

【０００７】また、マスタドラムを用いたカメラ受光位
置補正では、マスタドラム上の特定位置に欠陥が存在す
るため、撮像面への位置合わせが困難となり、定期的に
実施する校正においては、校正作業に人為的ミスが誘発
されやすく、校正作業に煩雑かつ熟練を要する等の問題
があるばかりでなく、対象欠陥ごとにマスタドラムを複
数種類用意する必要が生じ、その保管，管理が非常に煩
雑であるという問題が発生する。

【０００８】さらに、補正を行う場合、カメラ受光位置
は、異なる反射指向性を有した２つの相乗された反射光
を、高いコントラストで受光するクリティカルな位置に
設定される必要があるため、従来、これらのセッティン
グには、直感的，経験主義的な試行錯誤が伴い、非常に
効率が悪かった。

【０００９】本発明の目的は、感光体表面の欠陥が、高
いコントラストで検出できるようにしたカメラ受光位置
補正用標板およびカメラ位置補正装置を提供することに
ある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のカメラ受光位置補正用標板は、積層型電子
写真感光体に照明装置から所定角度で光を照射し、この
照射された感光体面を撮像カメラによって法線方向から
撮像する画像処理方式の検査装置に用いられるカメラ受
光位置補正用標板において、表面突起を有する透光性光
沢表面層を、表面に格子パターンを有する拡散反射面上
に設けたことを特徴とする。

【００１１】また前記表面における20°対比光沢度が0.
7〜0.8であることを特徴とする。

【００１２】また本発明のカメラ位置補正装置は、積層
型電子写真感光体に照明装置から所定角度で光を照射
し、この照射された感光体面を撮像カメラによって法線
方向から撮像する画像処理方式の検査装置に用いられる
カメラ位置補正装置において、表面突起を有する透光性
光沢表面層を、表面に格子パターンを有する拡散反射面
上に設けてなるカメラ受光位置補正用標板を検査対象で
ある前記感光体位置に設け、このカメラ受光位置補正用
標板と前記照明装置との光路中に光調整板を設けたこと
を特徴とする。

【００１３】また前記光調整板が遮光板であることを特
徴とする。

【００１４】また前記遮光板によって、照明装置である
ライン状照明体の輝線を40〜60％遮光することを特徴と
する。

【００１５】また前記光調整板が拡散板であり、その透
過率が50〜75％であることを特徴とする。

【００１６】また前記光調整板が、照明装置の光出射端
部に設けられたコリメートレンズ系と、前記カメラ受光
位置補正用標板と前記照明装置との間に設けられた拡散
板とであることを特徴とする。

【００１７】

【００１８】

【００１９】

【００２０】

【００２１】

【００２２】

【作用】前記構成の本発明に係るカメラ受光位置補正用
標板およびカメラ位置補正装置によれば、光沢面，拡散
面という２種の光学的特異性を持つ層を積層し、拡散面
には格子線を、また表面の光沢面には疑似欠陥である突
起を設けることで、同一の標板を用いて感光体表面に対
応した欠陥受光状態が確認され、この状態に基づいてカ
メラ受光位置を補正する。前記標板表面の20°対比光沢
度を0.7〜0.8とすることにより、より良好な狭い検出位
置を決めることが可能となる。

【００２３】本発明に係るカメラ位置補正装置では、光
調整板を用いることにより、光調整板が遮光板である場
合は、最も強い正反射成分となるライトガイド輝線を40
〜60％隠す位置への調整が行われ、また拡散板である場
合は、入射した光のかなりのものが散乱せず直進する部
分的正反射成分の入射設定、および突起への部分的な光
の入射角をランダマイズし、また光調整板がコリメート
レンズ系と拡散板の組み合わせである場合は、入射した
光の多くのものが直進できるようにライン状照明装置の
出射端に直進指向性を高めるコリメートレンズ系を設
け、突起への部分的な光の入射角をランダマイズするこ
とで、凹凸撮像，欠陥撮像のための最適な投射光分布が
得られ、標板，検査対象の撮像能力を持たせることが可
能となる。

【００２４】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。

【００２５】図１は本発明に係る標板の一実施例の斜視
図、図２は本実施例の要部の断面図であり、アルミ板の
基板１の上に白地の拡散層(内部層)２が設けられ、この
拡散層２の表面には所定間隔で黒パターンからなる格子
線３が形成されている。

【００２６】また、拡散層２の白地は、酸化チタンフィ
ラーによって完全拡散面を構成しており、格子線３は見
た目上、艶消し黒となっている。なお、拡散層２は、白
地でなくても有色であってもよい。

【００２７】拡散層２の上面には、透光性光沢面を有す
る表面層４が設けられており、その表面には格子線３と
重ならないように、所定間隔で疑似突起欠陥である突起
５が形成されている。

【００２８】なお、突起５の幅は200μm、格子線３の間
隔は10mmとし、受光信号を識別できるようにしてある。
格子線３は矩形状でなくてもよく、また黒色でなくても
よい。

【００２９】ここで、標板の各構成材料について説明す
る。

【００３０】前記拡散層の内部層２は、光拡散性を有す
る酸化チタン粒子を含むもので、酸化チタンとしては屈
折率が大きく、化学的にも物理的にも安定であり、白色
度の大きなものが望ましい。酸化チタンには、ルチル
型，アナタース型があるが、このいずれも使用できる。

【００３１】結着剤樹脂としては、その上にさらに透光
性を有する表面層４を積層することを考慮すると、一般
の有機溶剤に対して耐溶剤性の高い樹脂が好ましい。水
溶性樹脂，アルコール可溶性樹脂，硬化性樹脂を用いる
ことができる。

【００３２】感光層が電荷発生層の上に透明な電荷輸送
層を積層せしめた感光体の場合、検査光が電荷輸送層表
面で反射すると共に、入射光の一部は屈折して層中に入
り電荷発生層の表面で反射して屈折して外部へ出ること
になる。このような層構成の場合、内部欠陥と共に電荷
輸送層表面の凹凸とをそれぞれを区別して検出するため
の位置範囲は狭いものとなる。

【００３３】その狭い位置を決めるためには、標板の表
面層４における20°対比光沢度を0.7〜0.8とすることに
より可能となる。

【００３４】20°対比光沢度とは、入射角20°としたと
き、反射角０°における光束Ｉ₀と、正反射位置(反射角
20°)における光束Ｉ₂₀との比Ｉ₀／Ｉ₂₀を表す。

【００３５】この値は、内部層２に含まれるフィラーの
粒径および含有量によって制御することができる。

【００３６】本実施例では、結着剤樹脂としてオイルフ
リーアルキッド樹脂ベッコライトＭ6401(大日本インキ
化学(株)製)とメラミン樹脂スーパーベッカミンＧ−821
(大日本インク化学(株)製)、酸化チタンとしてＴＡ−30
0(富士チタン(株)製)を使用して、400×200mmアルミ基
板上に厚さ２μmの内部層２を形成した。

【００３７】その後、内部層２の表面に格子線３を描
き、次にポリカーボネート樹脂パンライトＣ−1400(帝
人化成(株)製)を用いて、厚さ20μmの透光性を有する表
面層４と突起５を形成した。表面層４としては成膜性の
ある樹脂、例えばポリエステル，ポリカーボネート，ポ
リスチレン等を用い、これを内部層２の表面に10〜30μ
m程度成膜させればよい。

【００３８】図３は検査装置における光照明装置と標板
の位置関係を示す説明図であり、７は検査時のドラムワ
ーク位置、８はシート状または板状の図１，図２にて説
明した標板、９はライン状照明装置、10は受光装置であ
る１次元ＣＣＤカメラ、11はランプハウスである。

【００３９】図４，図５，図６は光の反射の様子を示す
模式図であり、これらの各図において、12は入射光、13
はカメラ受光光軸、14〜16は各反射成分を示す。

【００４０】標板８では、まず表面層４の突起５によっ
て(散乱光成分＋正反射成分)の相乗された反射成分14が
生成され(図４)、さらに表面層４を通過した光は、拡散
層２において、格子線３に沿った拡散選択反射成分15を
生成する(図５)。この２つの光の成分が相乗されたもの
が塗膜外部へ反射成分16となって出ていき(図６)、前記
１次元ＣＣＤカメラ10で受光され、信号処理システムへ
と信号が送り出されることになる。

【００４１】また、前記信号処理システムは、標板８か
らの反射光を受光して得られる波形データにより、突起
５，格子線３の特徴量を計測して、カメラ位置の妥当性
を確認するためのもので、図７に例示する１次元ＣＣＤ
カメラ10および信号処理装置17と、図３に例示する補正
用の標板８，ライン状照明装置９とからなる。

【００４２】受光装置である１次元ＣＣＤカメラ10は、
適当な照明下で格子線３および突起５の反射光を受光し
て、受光信号を信号処理装置17へ出力する。

【００４３】信号処理装置17は、Ａ／Ｄ(アナログ／デ
ジタル信号)変換器18，ＣＰＵ19などで構成される。Ａ
／Ｄ変換器18では、１次元ＣＣＤカメラ10より入力した
アナログ信号をデジタル信号に変換し、ＣＰＵ19では、
入力された波形信号に、平滑化，微分演算，ＦＦＴ等の
信号処理を施し、波形信号を定量化し、モニタ部20へ出
力する。

【００４４】図９は標板８を撮像して得られた信号波形
であり、21は突起５の検知信号、22は格子線３の検知信
号である。今、突起５の反射光を受光していないとする
とき、標板８の受光信号は図10において23で示されるよ
うな信号波形となる。

【００４５】図８は信号処理のフローチャートであり、
ＣＰＵ19では、入力信号(Ｓ1)に対してＡ／Ｄ変換後(Ｓ
2)、高周波ノイズ処理(平滑化処理)(Ｓ3)を行った後、
１階時間微分を行う(Ｓ4)。微分され強調処理された波
形は、この後、単純にＣＰＵ19内で判定のための閾値と
比較されてもよいが、突起５の前記検知信号21の出現周
期で定量化を行った場合の方が補正の精度が向上するこ
とにより、高速フーリェ変換ないしは最大エントロピ法
といった周波数解析処理を施し(Ｓ5)、周波数とパワー
スペクトルで波形の特徴を特定する(Ｓ6)。その後、Ｃ
ＰＵ19で判定のための管理パラメータと比較し(Ｓ7)、
その結果をモニタ部20に表示する。

【００４６】以上のごとく出力波形が管理パラメータと
一致しているかどうか、毎日または毎週のごとくカメラ
受光位置を手順書に従い調整する。その後、撮像系の校
正が済めば標板８の代わりに被検査物である積層型電子
写真感光体を検査装置に装着することになる。

【００４７】本実施例によれば、前記標板８を用い表面
層４と内部層２からの受光信号を信号処理することによ
りカメラ受光位置確認を行うので、従来のような煩雑，
熟練を要する等の問題が解消されるばかりでなく、作業
効率が上がるという効果を奏する。さらに検査作業員が
目視でカメラファインダを覗いて補正をしたり、動的に
撮像画像を取得して欠陥受光状態を確認することが不要
となる。

【００４８】本発明に係る外観欠陥検査装置の基本的構
成としては、既に説明したが、図11に示すように、表面
層24，内部層25，ベース26からなる被検査物(積層型電
子写真感光体)Ｍの表面に光(入射光12の光軸のみを示
す)を照射するライン状照明装置９と、被検査物Ｍの表
面の光照射領域からの反射光を受光する１次元ＣＣＤカ
メラ(カメラ受光光軸13)10を有し、この１次元ＣＣＤカ
メラ10に受光された光照射領域からの取得画像を処理
し、外観欠陥を検出するものである。前記表面層24の透
明な突起欠陥による反射光情報をも画像として扱う本検
査装置では、表面層24での部分正反射となる散乱光を取
得可能な光学系を構成させ、１次元ＣＣＤカメラ10へ最
もピントの合った像を形成させることが必要となる。

【００４９】以下に、表面層突起散乱光を受光すること
について説明する。

【００５０】図11のように配設されたカメラ受光光軸13
上に存在する反射面と１次元ＣＣＤカメラ10を考えた場
合、散乱光や正反射光成分(正反射光)31を撮る必要のな
い理想的な斜方照明方式・拡散反射光受光方式(内部欠
陥反射光受光のみ)の場合であれば、幾何学的には１次
元ＣＣＤカメラ10はカメラ受光光軸13に直交する形で配
設すればよく、特に必要がなければ後述する光調整板を
配置する必要もない。図11において、30は拡散反射光成
分(拡散反射光)である。

【００５１】しかし、被検査物Ｍの場合は図12〜図14に
示す通り、表面層24の突起欠陥32を検出しなければなら
ず、このため図11のセオリー通りの光学系では突起での
反射成分がカメラ側で取り込めず、これらの突起欠陥32
を撮像できなくなってしまう。

【００５２】また、この問題を解決するために、斜方照
明において照射角を小さくし正反射光成分31を、１次元
ＣＣＤカメラ10側に多く取り込むようライン状照明装置
９を配設することが考えられるが、この場合、高輝度の
正反射光成分が増加することにより取得画像全体のコン
トラストが低下し(画像の白色化)、却って欠陥の撮像が
困難となる(図17参照)。

【００５３】以上の考え方から、被検査物Ｍの表面層2
4，内部層25の外観検査に用いる検査光学系について様
々な調査を行った。

【００５４】その結果、投射光の空間強度分布を調整す
る下記のような光調整板を、被検査物Ｍとライン状照明
装置９との間に配置させたことにより、表面層24，内部
層25双方の欠陥が高いコントラストで撮像できることが
確認された。

【００５５】例えば、最も表面層24の突起欠陥32の光情
報を含んでいる位置を最適光学系とすると、それは図12
〜図14に示す光学系配設図ということになる。この場
合、ライン状照明装置９の入射角は、正反射光成分を多
めに取り込むため、θ＝20deg.と小さくしてある。

【００５６】次に前記光調整板の具体例について説明す
る。

【００５７】上述の光技術による表面検査技術を、被検
査物Ｍの欠陥検査に応用する場合、図12に示すように表
面層24，内部層25の反射指向性を利用し(図15，図16)、
この被検査物Ｍにライン状照明装置９の光12を照射し
て、この光照射領域からの反射光を１次元ＣＣＤカメラ
10により受光する装置が考えられる。図15，図16におい
て、29は散乱光成分(散乱光)である。

【００５８】この装置では、１次元ＣＣＤカメラ10で作
成される表面層24の突起欠陥撮像画像は、表面層24の光
照射領域から反射した光輝性の強い反射光が部分的にカ
メラ視野内に入り、高輝度の散乱光像となって捕らえら
れる。

【００５９】この場合、表面層24の正反射成分を多く取
り込めるようにするため、フレネルの法則に従い、ライ
ン状照明装置の入射角度は浅く(＝20deg.)設定してあ
る。

【００６０】また、被検査物Ｍの表面層24からの突起欠
陥32による散乱光29と、内部層25からの拡散反射光成分
30(図15，図16参照)を同時に取り込む位置に配設された
１次元ＣＣＤカメラ10と、ライン状照明装置９と、光調
整板であるライン状照明の反射輝線を40〜60％だけ遮る
位置に配設された遮光板27(図12)、もしくは透過率50〜
75％の拡散板28(図13)、もしくはコリメートレンズ系33
＋拡散板28(図14)を備えている。

【００６１】このとき、撮像光学系は、表面層24での正
反射光成分31を多分に取り込んでいるので、前記光調整
板がない場合、内部層25の欠陥情報を蓄えた拡散反射光
成分30が正反射光成分31の中に埋没してしまい、内部欠
陥信号のＳＮ比が低下してしまう(図17参照)。しかし、
前記光調整板をライン状照明装置９と被検査物Ｍとの間
に配置してやれば、全ての傾角を持った突起欠陥32およ
び内部層欠陥の反射光を取り込むことができるようにな
るばかりでなく、正反射光成分31と拡散反射光成分30の
反射信号比がほぼ等しくなり、良好な画像が取得できる
ようになる(図18参照)。このとき、前記光調整板を介し
て照明された被検査物Ｍの照明領域を１次元ＣＣＤカメ
ラ10で撮像すると、撮像面の照明領域の画像信号が出力
される。その際、表面層24に突起欠陥32があると、拡散
光入射が突起欠陥32の傾角に応じて反射し、そのうち１
次元ＣＣＤカメラ10のレンズ開口部へ向かう散乱光29が
集光され、欠陥画像が結像される。

【００６２】図12に示すように、光調整板として遮光板
27を備えた場合、この遮光板27は撮像領域外の遮光およ
びライトガイド輝線遮蔽のためストレートエッジを有し
ており、遮光板27は輝線に対する倒れも矯正されてい
る。配設位置の微調整は、１次元ＣＣＤカメラ10からの
アナログ出力を、オシロスコープで観察しながら行われ
る。遮光板27によって表面層24での正反射成分31のパワ
ーを50％に抑制すれば、正反射光成分31と拡散反射光成
分30の反射信号比がほぼ等しくなり、良好な画像が取得
できるようになる(図18参照)。この最も強い正反射光成
分となるライトガイド輝線を遮光する比率は、40〜60％
を満足するものが好ましい。

【００６３】図13に示すように光調整板として拡散板28
(本実施例では、アクリライトNo.422,432 (三菱レイヨ
ン(株)製))を備えた場合、最も強い正反射成分となるラ
イトガイド輝線等を拡散する拡散板28の透過率は、50〜
75％を満足するものが好ましく、それ以上でも以下でも
欠陥の撮像能力に影響を及ぼす。

【００６４】図14に示すようにコリメートレンズ系33＋
拡散板28を備えた場合、最も強い正反射成分となるライ
トガイド輝線等を拡散する拡散板28の透過率は、60％以
下でもよく一般照明用のものが使用できる(本実施例で
は、アクリライトNo.441,435(三菱レイヨン(株)製))。
これは、通常、拡散板を照明側に挿入する場合、表面層
欠陥(部分正反射光成分)を受光するため、入射した光の
かなりのものが散乱せずに直進する、透過率の高い(50
〜75％)拡散板が必要となるところを、コリメートレン
ズ系33で正反射光成分の指向性を高めている。本実施例
では、コリメートレンズとしてシリンドリカルレンズを
一対使用している。

【００６５】ところで、突起欠陥32の散乱光成分29を１
次元ＣＣＤカメラ10が受光した場合、取得画像中には光
輝性の強い白色の点が撮像されることがあるが、この白
く写る突起欠陥画像を画像処理技術により識別すること
によって、突起欠陥32を検出することができる。

【００６６】上述した光調整板を装着することによっ
て、未装着の場合に比べ、本来、正反射成分の中に埋没
してしまう内部層25の拡散反射光成分30もカメラ視野内
に到達させることができるので、内部拡散層の色ムラ，
微小欠陥等も同時に検出することが可能となり、同様
に、内部層欠陥も多階調の輝度変化として画像取得さ
れ、画像処理により欠陥が抽出される。

【００６７】ただし、前記光調整板を含む光学系のアラ
イメント状態によっては、極端な場合には突起欠陥32の
散乱光成分29がカメラ視野から逸脱することになるの
で、オシロスコープを用いたアライメントには注意が必
要である。

【００６８】上述した外観欠陥検査装置において用いら
れた、投射光の空間強度分布を調整する光調整板は、前
記標板８を用いたカメラ位置補正の際にも用いられて効
果がある。

【００６９】すなわち、具体的に図示はしないが、図12
〜図14における被検査物Ｍを図１，図２にて説明した標
板８に代えて、この標板８とライン状照明装置９との間
に、図12に基づいて説明した遮光板27，図13に基づいて
説明した拡散板28，図14に基づいて説明した拡散板28と
コリメートレンズ系33のいずれかを設置することで、標
板８における拡散層２の格子線３と、表面層４の突起５
とを高いコントラストで撮像できる。

【００７０】したがって、前記光調整板をカメラ位置補
正装置に利用することで、標板８からの反射光を１次元
ＣＣＤカメラ10にて受光して得られる波形データによる
突起５，格子線３の特徴量の計測が正確かつ確実に行
え、カメラ位置の妥当性の確認がより正確になされるこ
とになる。

【００７１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のカメラ受
光位置補正用標板は、請求項１記載の発明によれば、光
沢面，拡散面という２種の光学的特異性を持つ層を積層
し、拡散面には格子線を、また表面の光沢面には疑似欠
陥である突起を設けたので、同一の標板を用いて両層の
欠陥受光状態を確認でき、この確認状態にて感光体表面
の欠陥をコントラストよく撮像，検出できるように、微
妙なカメラ受光位置の補正を行うことが可能となる。

【００７２】請求項２記載の発明によれば、表面の20°
対比光沢度を0.7〜0.8とすることにより、より良好な狭
い検出位置を決めることが可能となる。

【００７３】また本発明のカメラ位置補正装置は、請求
項３記載の発明によれば、請求項１記載のカメラ受光位
置補正用標板と照明装置との間に配置された光調整板を
用いることにより、投光成分が調整され、標板の拡散層
と表面層における格子線と突起とをコントラストよく撮
像，検出でき、より微妙に前記カメラ受光位置の補正が
可能となる。

【００７４】請求項４記載の発明によれば、前記光調整
板として遮光板を用いることにより、投光成分が調整さ
れ、標板の拡散層と表面層における格子線と突起とをコ
ントラストよく撮像，検出でき、より微妙に前記カメラ
受光位置の補正が可能となる。

【００７５】請求項５記載の発明によれば、前記遮光板
によってライン状照明の輝線を40〜60％遮光することに
より、投光成分が調整され、標板の拡散層と表面層にお
ける格子線と突起とをコントラストよく撮像，検出で
き、より微妙に前記カメラ受光位置の補正が可能とな
る。

【００７６】請求項６記載の発明によれば、前記光調整
板として、透過率が50〜75％の拡散板を用いることによ
り、投光成分が調整され、標板の拡散層と表面層におけ
る格子線と突起とをコントラストよく撮像，検出でき、
より微妙に前記カメラ受光位置の補正が可能となる。

【００７７】請求項７記載の発明によれば、前記光調整
板として照明装置の出射端にコリメートレンズ系を備
え、さらに請求項１記載のカメラ受光位置補正用標板と
照明装置との間に拡散板を配置させたことにより、投光
成分が調整され、標板の拡散層と表面層における格子線
と突起とをコントラストよく撮像，検出でき、より微妙
に前記カメラ受光位置の補正が可能となる。

【００７８】

【００７９】

【００８０】

【００８１】

【００８２】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカメラ受光位置補正用標板の一実施例
の斜視図である。

【図２】本発明の一実施例のカメラ受光位置補正用標板
の要部の断面図である。

【図３】光照明装置と標板の位置関係を示す説明図であ
る。

【図４】光の反射の様子を示す模式図である。

【図５】光の反射の様子を示す模式図である。

【図６】光の反射の様子を示す模式図である。

【図７】標板からの反射光の信号処理ブロック図であ
る。

【図８】信号処理のフローチャートである。

【図９】標板を撮像して得られた信号波形図である。

【図１０】標板を撮像して得られた信号波形図である。

【図１１】外観欠陥検査装置の説明図である。

【図１２】外観欠陥検査装置の説明図である。

【図１３】外観欠陥検査装置の説明図である。

【図１４】外観欠陥検査装置の説明図である。

【図１５】表面層での反射指向性の模式図である。

【図１６】内部層での反射指向性の模式図である。

【図１７】受信信号中における正反射光成分の説明図で
ある。

【図１８】受信信号中における突起欠陥成分と拡散反射
光成分の説明図である。

【図１９】表面層の凹凸の違いによる反射状態の説明図
である。

【符号の説明】

１…基板、２，25…拡散層(内部層)、３…格子線、
４，24…表面層、５…突起、８…標板、９…ラ
イン状照明装置、 10…１次元ＣＣＤカメラ、27…遮光
板、 28…拡散板、 32…突起欠陥、 33…コリメート
レンズ系。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】積層型電子写真感光体に照明装置から所
定角度で光を照射し、この照射された感光体面を撮像カ
メラによって法線方向から撮像する画像処理方式の検査
装置に用いられるカメラ受光位置補正用標板において、
表面突起を有する透光性光沢表面層を、表面に格子パタ
ーンを有する拡散反射面上に設けたことを特徴とするカ
メラ受光位置補正用標板。
【請求項２】前記表面における２０°対比光沢度が
０．７〜０．８であることを特徴とする請求項１記載の
カメラ受光位置補正用標板。
【請求項３】積層型電子写真感光体に照明装置から所
定角度で光を照射し、この照射された感光体面を撮像カ
メラによって法線方向から撮像する画像処理方式の検査
装置に用いられるカメラ位置補正装置において、表面突
起を有する透光性光沢表面層を、表面に格子パターンを
有する拡散反射面上に設けてなるカメラ受光位置補正用
標板を検査対象である前記感光体位置に設け、このカメ
ラ受光位置補正用標板と前記照明装置との光路中に光調
整板を設けたことを特徴とするカメラ位置補正装置。
【請求項４】前記光調整板が遮光板であることを特徴
とする請求項３記載のカメラ位置補正装置。
【請求項５】前記遮光板によって、照明装置であるラ
イン状照明体の輝線を４０〜６０％遮光することを特徴
とする請求項４記載のカメラ位置補正装置。
【請求項６】前記光調整板が拡散板であり、その透過
率が５０〜７５％であることを特徴とする請求項３記載
のカメラ位置補正装置。
【請求項７】前記光調整板が、照明装置の光出射端部
に設けられたコリメートレンズ系と、前記カメラ受光位
置補正用標板と前記照明装置との間に設けられた拡散板
とであることを特徴とする請求項３記載のカメラ位置補
正装置。