JPH0545142A - 表面状態検査方法 - Google Patents

表面状態検査方法

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JPH0545142A
JPH0545142A JP3225038A JP22503891A JPH0545142A JP H0545142 A JPH0545142 A JP H0545142A JP 3225038 A JP3225038 A JP 3225038A JP 22503891 A JP22503891 A JP 22503891A JP H0545142 A JPH0545142 A JP H0545142A
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    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被検査面に明暗光を照射して該被検査面の表
面状態を検査する場合に、より広範囲の被検査面を精度
良く検査するこができると共に、該被検査面が曲面形状
とされている場合であっても検査精度が低下することの
ない表面状態検査方法を提供することを目的とする。 【構成】 光照射手段5より塗膜面1aに対して明から
暗への変化が所定の勾配で繰り返されている明暗光5a
を照射し、その塗膜面1aからの反射光をCCDカメラ
6により捕らえて受光画像を作成し、該受光画像中の明
度変化に基づいて塗膜面1a上の塗装欠陥A,A′を検
出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は表面状態検査方法、特
に、光照射手段により被検査面に光を照射し、その被検
査面からの反射光を捕らえて受光画像を作成し、該受光
画像中の明度差に基づいて被検査面の表面状態を検査す
る表面状態検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】自動車ボディの塗装面等の表面状態を検
査する技術として、例えば特開昭62−233710号
公報には、検査対象物の被検査面に光を照射して、その
反射光をスクリーン上に投影させ、その投影像の鮮映度
から被検査面の表面欠陥を自動的に検出する技術が開示
されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に被検査面に光を照射し、その反射光を捕らえて映像処
理することにより表面欠陥を検出する場合に、表面欠陥
の検出に適した所定の明暗勾配で明から暗へ、あるいは
暗から明に光度が次第に変化する明暗光を被検査面に照
射し、欠陥部分の周囲に対する明度変化を明瞭にするこ
とにより、欠陥検出の精度を向上させることが考えられ
ている。また、検査能率を向上させるために、面光源を
用いて被検査面の広い範囲を照射することが考えられて
いるが、この面光源により広範囲の被検査面を単一の明
暗光により照射した場合には、照射領域の拡大に伴って
明暗光の明暗勾配が予め設定された所定の勾配より緩や
かなものとなって、表面欠陥の検出精度が低下する。
【0004】また、例えば、自動車のボディ等の曲面形
状とされた被検査面に対して面光源より明暗光を照射す
ると、その曲面形状により反射光量が変化することにな
って、その反射光を捕らえた映像中の明暗勾配が予め設
定された所定の勾配より大きく変化し、このため、表面
欠陥の検出精度が低下する。
【0005】そこで本発明は、被検査面に明暗光を照射
してその表面状態を検査する場合に、より広範囲の被検
査面を精度良く検査するこができると共に、該被検査面
が曲面形状とされている場合であっても検査精度が低下
することのない表面状態検査方法を提供することを目的
とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は次のように構成したことを特徴とする。
【0007】まず、本願の請求項1に係る発明(以下、
第1発明という)は、光照射手段より被検査面に光を照
射し、その被検査面からの反射光を捕らえて受光画像を
作成し、該受光画像中の明度差に基づいて被検査面の表
面状態を検査する表面状態検査方法であって、上記光照
射手段より被検査面に対して明から暗への変化が繰り返
されている明暗光を照射することを特徴とする。
【0008】また、本願の請求項2に係る発明(以下、
第2発明という)は、上記第1発明において、明暗光が
明から暗への変化が所定の勾配で繰り返され、且つその
明暗勾配が被検査面の曲率に基づいて設定されているこ
とを特徴とする。
【0009】更に、本願の請求項3に係る発明(以下、
第3発明という)は、上記第1発明において、明暗光が
明から暗への変化が繰り返され、且つ明部に光を完全に
透光させる透光領域もしくは暗部に光を完全に遮光する
遮光領域の少なくともいずれか一方が構成されているこ
とを特徴する。
【0010】更にまた、本願の請求項4に係る発明(以
下、第4発明という)は、上記第1発明と同様の表面状
態検査方法において、光照射手段より被検査面に対して
明から暗への変化が所定の勾配で繰り返されている明暗
光を照射すると共に、上記被検査面上における実際の明
暗勾配を検出し、この検出値と被検査面に応じて予め設
定された明暗勾配の基準値とを比較し、その差を解消す
るように上記光照射手段の出力を調整することを特徴と
する。
【0011】
【作用】第1発明によれば、被検査面に明から暗への変
化が繰り返されている明暗光が照射されることになり、
これにより、被検査面の広い範囲に単一の明暗光を照射
する場合のように、該明暗光の明暗勾配が、被検査面の
表面状態を精度良く検査するために予め設定された所定
の勾配より緩やかとなることが確実に防止されることに
なって、広い範囲の被検査面を精度良く検査することが
可能となり、その検査能率が向上することになる。
【0012】また、第2発明によれば、被検査面の曲率
に基づいて明暗光の明暗勾配が設定されているので、被
検査面の曲面形状に起因する反射光量の過不足が補正さ
れることなり、これにより、曲面形状に合致した所定の
明暗勾配の明暗光により被検査面が適切に照射されるこ
とになって、表面状態の検査精度が向上することにな
る。
【0013】ところで、明から暗への変化が繰り返され
ている明暗光においては、明部と暗部とが互いに干渉す
ることになる。即ち、明部が暗部に影響され、また暗部
が明部に影響されることになって、明から暗への移行領
域における明暗変化の度合いが低下することが懸念され
るのであるが、第3発明によれば、明から暗への変化が
繰り返されている明暗光において、その明部に光を完全
に透光させる透光領域もしくは暗部に光を完全に遮光す
る遮光領域の少なくともいずれか一方が構成されている
ので、明部もしくは暗部が強調されることになって、明
から暗への移行領域における明暗変化がより鮮明とな
り、その結果、被検査面からの反射光を捕らえて受光画
像を作成する場合に、その画像がより明瞭なものとな
り、これにより、検査精度が一段と向上することにな
る。
【0014】更に、第4発明によれば、光照射手段によ
り被検査面に照射された明暗光の該被検査面上における
実際の明暗勾配が検出され、この検出値と被検査面の形
状に応じて予め設定された明暗勾配の基準地とを比較
し、その差を解消するように上記光照射手段の出力が調
整されるようになっているので、被検査面が曲面形状で
あっても、該被検査面をその形状に応じて予め設定され
た所定の明暗勾配の明暗光により適切に照射することが
可能となり、その検査精度が向上することになる。
【0015】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0016】まず、本発明に係る表面状態検査方法によ
り自動車の車体塗装面を検査するように構成された表面
状態検査装置について説明すると、図1に示すように、
塗装検査ステーションSに搬送された車体1の近傍に
は、該車体1の塗膜面1aを検査して塗装欠陥の有無を
検出する表面状態検査装置2が配置されており、この検
査装置2は、台座3に載置されたロボット装置4を有
し、該ロボット装置4の先端アーム4aに光照射手段5
と、CCDカメラ6とが支持金具7を介して取り付けら
れ、これらの光照射手段5とCCDカメラ6とが、塗装
ステーションSに搬入された車体1の表面、即ち、該車
体1の塗膜面1aをトレースし、その際、上記光照射手
段5により照射された光が車体1の塗膜面1aで反射さ
れてCCDカメラ6に受光されるようになっている。
【0017】また、上記のような光照射手段5とCCD
カメラ6とによる塗装欠陥検査においては、ホストコン
ピュータ8によって与えられる指令によりロボットコン
トローラ9制御され、このロボットコントローラ9の信
号がロボット装置4に送られて、該ロボット装置4に内
蔵された所定のアクチュエータ(図示せず)が駆動さ
れ、これにより、ロボット装置4は光照射手段5および
CCDカメラ6が車体1の塗膜面1aをなぞるようにそ
れらを移動させると共に、上記CCDカメラ6により得
られる受光画像を画像処理プロセッサ10に送る。そし
て、この画像処理プロセッサ10は、CCDカメラ6か
らのビデオ信号を増幅したのち微分し、その微分信号の
データをホストコンピュータ8に伝送して解析させ、こ
れにより、車体1の塗膜面1a上の塗装欠陥の有無なら
びに欠陥箇所の座標および塗装欠陥の形状、その大小を
検出するように構成されている。
【0018】次に、上記の光照射手段5の構成について
説明すると、この光照射手段5は、図2に示すように、
一側面が開放されたボックス11内に設けられた光源と
しての複数の蛍光灯(特に蛍光灯に限定されるものでは
ない)12…12と、これらの蛍光灯12の前面に設け
られてボックス11の一側面を閉塞する光フィルタ13
および拡散スクリーン14とで構成されている。そし
て、上記光フィルタ13は、各蛍光灯12により照射さ
れる光を明から暗に、あるいは暗から明への変化が繰り
返される明暗光に変換し得るように、透過場所によって
光の透過率が異なるように構成されている。即ち、本実
施例においては、図2に示す互いに直交するX,Y方向
のうちX方向についてのみ透過率が小から大に繰り返し
変化するように構成されており、この光フィルタ13に
より、図3に示すように、上記X方向に沿って所定の輝
度勾配で暗から明への変化が繰り返されている明暗光が
形成され、この明暗光が上記車体1の塗膜面1aに照射
されるようになっている。
【0019】また、上記拡散スクリーン14は、光フィ
ルタ13を透過した光を拡散させて車体1の塗膜面1a
にムラなく明暗光を照射するためのものである。
【0020】ところで、上記光フィルタ13により構成
される明暗光の輝度勾配は、塗装欠陥を精度良く検出す
りために、予め所定の勾配となるように設定されている
のであるが、車体1aの塗膜面1aの形状が曲面形状と
されている場合には、その曲率の大小により反射光量が
変化することになり、CCDカメラ6により得られる受
光画像中の明暗勾配が大きく変化することになる。この
ため、受光画像中の明暗勾配が、塗装欠陥の検出精度を
低下させることのない所定の勾配となるように、曲面形
状とされた塗膜面1aの曲率の大小に応じてその塗膜面
1aに照射する明暗光の勾配を変化させるように、該塗
膜面1aの曲率に応じた明暗勾配の明暗光を形成するこ
とのできる透過率の異なる光フィルタ13が使用される
ようになっている。
【0021】以上のように構成された表面状態検査装置
2では、塗装ステーションSに塗装済みの車体1が搬入
されるのに伴い欠陥検査作業が開始さることになる。即
ち、上記ロボット装置4が、ロボットコントローラ9に
制御されて、光照射手段5とCCDカメラ6とを一定の
間隔で保った状態で、且つこれらを塗膜面1aに対して
適切な距離を確保した状態で該塗膜面1aに沿って移動
させる。そして、そのときに上記光照射手段5により、
図4に示すように、CCDカメラ6の視野Fをカバーす
る比較的広い塗膜面1aに対してX方向に暗から明への
変化が連続して繰り返される明暗光5aが照射される。
このため、塗膜面1aには暗から明への変化が繰り返さ
れる明度変化のある光照射領域が形成れ、また、該光照
射領域からの反射光を受光するCCDカメラ6には、図
5に示すように、上記明暗光5aの暗から明への変化方
向Xに対応する矢印X1で示す方向に、暗から明に変化
する明暗ある受光画像15が作成されることになる。
【0022】なお、図5において、符号lは、暗から明
への変化が繰り返されている明暗光5a中における暗か
ら明への一変化領域を示し、また、各領域lにおいて線
の密度が粗である程、明度が高く、線の密度が密である
程、明度が低いことを示している。
【0023】従って、車体1の塗膜面1aの光照射領域
に欠陥があると、該欠陥に対応する一変化領域からの明
暗光5aにより、その欠陥の形状に応じて該欠陥部の明
度が変化し、例えば、図4に示すような凸欠陥Aの場合
には、その欠陥Aの凸面鏡作用により、図5に示すよう
に、受光画像15中における暗から明に変化する一変化
領域l内に、一側部に暗部a1が他側部に明部a2が隣
合わせとなった暗から明に変化する凸欠陥部aが認識さ
れることになり、また、図4に示すような凹欠陥A′の
場合には、その欠陥A′の凹面鏡作用により、図5に示
すように、受光画像15中における暗から明に変化する
一変化領域l内に、一側部に明部a1′が他側部に暗部
a2′が隣合わせとなった明から暗に変化する凹欠陥部
a′が認識されることになる。
【0024】そして、CCDカメラ6は、その受光画像
の明るさの変化に応じて変化するビデオ信号を画像処理
プロセッサ10に出力する。この場合、上記のような凸
欠陥Aの場合には、図6示すようなレベル変化のあるビ
デオ信号が出力され、また、上記のような凹欠陥A′で
ある場合には、図7示すようなレベル変化のあるビデオ
信号が出力されることになり、これらのビデオ信号の変
化状態に基づいて塗装欠陥の位置の座標、形状および大
きさを検出し、これをホストコンピュータ8内のメモリ
ーに記憶する。そして、塗装欠陥の補修時には、メモリ
ー内の記憶内容を取り出し、その欠陥の種類に応じた所
定の補修動作が実行されることになる。
【0025】このように、本実施例によれば、車体1の
塗膜面1aに明から暗への変化が繰り返されている明暗
光5aが照射されることになり、これにより、塗膜面1
aの広い範囲に単一の明暗光を照射する場合のように、
該明暗光の明暗勾配が、塗膜面1aにおける塗装欠陥を
精度良く検査するために予め設定された所定の勾配より
緩やかとなることが確実に防止されることになって、広
い範囲の塗膜面1aを精度良く検査することが可能とな
り、その検査能率が向上することになる。
【0026】また、上記塗膜面1aが曲面形状とされて
いる場合には、その曲率に基づいて予め設定された所定
の勾配の明暗光を形成し得る光フィルタ13が使用さ
れ、該塗膜面1aの曲面形状に起因する反射光量の過不
足が補正されることなり、これにより、曲面形状に合致
した所定の明暗勾配の明暗光により塗膜面1aが適切に
照射されることになって、塗装欠陥の検査精度が向上す
ることになる。
【0027】ところで、上記のように、暗から明への変
化が繰り返されている明暗光5aにおいては、暗部と明
部とが互いに干渉することになる。即ち、暗部が明部に
影響され、また明部が暗部に影響されることになって、
暗から明への変化領域における明暗変化の度合いが低下
することが懸念されるのであるが、これに対処するよう
に構成された光照射手段を図8に基づいて説明すると、
この光照射手段5′は、上記の実施例と同様に、一側面
が解放されたボックス11′内に設けられた光源として
の複数の蛍光灯(特に蛍光灯に限定されるものではな
い)12′…12′と、これらの蛍光灯12′の前面に
設けられてボックス11′の一側面を閉塞する光フィル
タ13′および拡散スクリーン14′とで構成されてい
る。そして、上記光フィルタ13′は、各蛍光灯12′
により照射される光を明から暗に、あるいは暗から明へ
の変化が繰り返されている明暗光に変換し得るように、
透過場所によって光の透過率が異なるように構成されお
り、本実施例においては、図8に示す互いに直交する
X,Y方向のうちX方向についてのみ透過率が小から大
に繰り返し変化するように構成されている。そして、こ
の光フィルタ13′は、明から暗への変化が繰り返され
る明暗光の暗部に相当する部位に光を遮光する複数の遮
光部13a′…13a′が設けられたものであり、これ
によれば、図9に細線(イ)で示す遮光部13a′が設
けられていない場合の明暗変化に比べて、実線(ロ)で
示すように暗部がより強調されることになって、暗から
明への変化領域における明暗変化がより鮮明となり、そ
の結果、被検査面としての塗膜面(図示せず)からの反
射光を捕らえて受光画像を作成する場合に、その画像が
より明瞭なものとなって、検査精度が一段と向上するこ
とになる。
【0028】更にまた、図8に示すように、各遮光部1
3a′にそれぞれ隣接させて明から暗への変化が繰り返
される明暗光の明部に相当する光フィルタの部位に光を
完全に通過させる複数のスリット13b′…13b′開
設した場合には、図10に細線(イ)で示すスリット1
3b′が設けられていない場合の明暗変化に比べて、実
線(ハ)で示すように明部がより強調されることになっ
て、明から暗への変化領域における明暗変化がより鮮明
となり、その結果、被検査面からの反射光を捕らえて受
光画像を作成する場合に、その画像がより明瞭なものと
なって、検査精度が一段と向上することになる。更に、
上記遮光部13a′とスリット13b′とを併用するこ
とにより、暗部ならびに明部がそれぞれ強調されること
になって、明から暗への変化領域における明暗変化がよ
り一段と鮮明となり、受光画像がより一層明瞭なものと
なる。
【0029】次に、上記各実施例における光フィルタ1
3,13′を用いることなく光源の出力を調整すること
により明暗勾配を可変し得るように構成された光照射手
段を図11に示す。この光照射手段25は、ボックス3
1の前面に、光源としての多数の発光ダイオード32a
…32aがX方向およびY方向に所定の間隔で行列配置
されたマトリックス光源32を有すると共に、その前面
に上記各実施例と同様の拡散スクリーン34が設けられ
たものであり、上記各発光ダイオード32aはそれぞれ
光度調整が可能とされており、本実施例においては、X
方向について各ダイオード32aの光度を可変調整し得
るように構成されている。これにより、X方向に、明か
ら暗に、あるいは暗から明への変化が繰り返される明暗
光が照射されるようになっている。
【0030】そして、図12に示すように、上記光照射
手段25、CCDカメラ26、ホストコンピュータ28
および画像処理プロセッサ30により上記実施例と同様
の表面状態検査装置22が構成され、上記画像処理プロ
セッサ30では、CCDカメラ26からのビデオ信号を
解析処理し、これに基づいて欠陥の検出を行う。また、
ホストコンピュータ28は、上記画像処理プロセッサ3
0からの信号に基づいて光照射手段25の光度を適切に
制御するための信号を出力するようになっている。
【0031】次に、上記光照射手段25の光度調整動作
を、図13に示すフローチャートに基づいて説明する
と、まず、ステップS1においてCCDカメラ26によ
り作成された受光画像を取り込み、次いで、ステップS
2で、図14に示す被検査面としての車体の塗膜面(図
示せず)上に照射された明暗光中における明から暗への
変化の一繰返区間長さ1およびその区間の実際の明度m
を検出する。次いで、ステップS3においては、図15
に示す予め設定された基準の明度Mと基準の一繰返区間
長さLを読み出し、ステップS4においては、基準の明
度Mおよび基準の一繰返区間長さLとなるように補正値
を演算する。即ち、塗膜面上の実際の明度mに対する基
準明度Mの比(M/m)を求め、この値に、一繰返区間
を構成する各発光ダイオード32aへの実際の出力値y
を乗ずることにより補正出力Yを演算すると共に、塗膜
面上の実際の区間長さlに対する基準の区間長さの比
(L/l)を求め、この値に、明から暗への一繰返区間
を構成する各発光ダイオード32aの実際の出力区間
l′を乗ずることにより補正区間長L′さを演算する。
そして、上記演算により求めた補正区間長さL′と補正
出力Yとの比(Y/L)に基づいて明暗勾配θを演算す
る。その後、ステップS5では、上記ステップS4で演
算された明暗勾配θとなるように明から暗への一繰返区
間を構成する各発光ダイオード32a毎の出力値Yを設
定し、それを各発光ダイオード32aに出力する。そし
て、ステップS6では、上記一連の欠陥検査処理を実行
し、ステップS7で欠陥検査の完了を確認して制御を終
了する。
【0032】これによれば、光照射手段25により塗膜
面に照射された明暗光の該塗膜面上における実際の明度
mおよび一繰返区間lに基づいて明暗勾配が検出され、
この検出値と被検査面の形状に応じて予め設定された明
暗勾配の基準地とを比較し、その差を解消するように上
記光照射手段25における各発光ダイオード32aの出
力が調整されるようになっているので、塗膜面が曲面形
状であっても、該塗膜面をその形状に応じて予め設定さ
れた所定の明暗勾配の明暗光により適切に照射すること
が可能となり、その検査精度が向上することになる。
【0033】なお、図11に示す光照射手段25におい
て、各発光ダイオード32aに換えてボックス31の前
面に多数のグラスファイバーの一端を臨ませて配置する
と共に、これらの各グラスファイバーの他端にそれぞれ
上記発光ダイオード32aを接続するように構成しても
良い。
【0034】
【発明の効果】以上のように、第1発明によれば、被検
査面に明から暗への変化が繰り返されている明暗光が照
射されることになり、これにより、被検査面の広い範囲
に単一の明暗光を照射する場合のように、該明暗光の明
暗勾配が、被検査面の表面状態を精度良く検査すべく予
め設定された所定の勾配より緩やかとなることが確実に
防止されることになって、広い範囲の被検査面を精度良
く検査することが可能となり、その検査能率が向上する
ことになる。
【0035】また、第2発明によれば、被検査面の曲率
に基づいて明暗光の明暗勾配が設定されているので、被
検査面の曲面形状に起因する反射光量の過不足が補正さ
れることなり、これにより、曲面形状に合致した所定の
明暗勾配の明暗光により被検査面が適切に照射されるこ
とになって、表面状態の検査精度が向上することにな
る。
【0036】更に、第3発明によれば、明から暗への変
化が繰り返されている明暗光において、その明部に光を
完全に透光させる透光領域もしくは暗部に光を完全に遮
光する遮光領域の少なくともいずれか一方が構成されて
いるので、明から暗への移行領域における明暗変化がよ
り鮮明となり、その結果、被検査面からの反射光を捕ら
えて受光画像を作成する場合に、その画像がより明瞭な
ものとなり、これにより、検査精度が一段と向上するこ
とになる。
【0037】更にまた、第4発明によれば、光照射手段
により被検査面に照射された明暗光の該被検査面上にお
ける実際の明暗勾配が検出され、この検出値と被検査面
の形状に応じて予め設定された明暗勾配の基準地とを比
較し、その差を解消するように上記光照射手段の出力が
調整されるようになっているので、被検査面が曲面形状
であって、該被検査面をその形状に応じて予め設定され
た所定の明暗勾配の明暗光により適切に照射することが
可能となり、その検査精度が向上することになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 表面状態検査装置の斜視図。
【図2】 光照射手段の分解斜視図。
【図3】 明暗勾配のパターンを示すグラフ。
【図4】 光照射手段による照射状態およびCCDカ
メラによる受光状態を示す拡大図。
【図5】 受光画像の部分拡大図。
【図6】 凸欠陥部が発生した付近における一走査線
上のビデオ信号の変化状態を示すグラフ。
【図7】 凹欠陥部が発生した付近における一走査線
上のビデオ信号の変化状態を示すグラフ。
【図8】 他の実施例の光照射手段の分解斜視図。
【図9】 遮光部が設けられた場合の明暗勾配のパタ
ーンを示すグラフ。
【図10】 スリットが設けられた場合に明暗勾配のパ
ターンを示すグラフ。
【図11】 マトリックス光源を有する光照射手段の分
解斜視図。
【図12】 他の実施例の表面状態検査装置の概略構成
図。
【図13】 マトリックス光照の光度調整動作を示すフ
ローチャート図。
【図14】 塗膜面上に照射された実際の明暗光の明暗
勾配を示すグラフ。
【図15】 基準の明暗光の明暗勾配を示すグラフ。
【符号の説明】
1 車体 1a 塗膜面 2,22 表面状態検査装置 5,5′,25 光照射手段 5a 明暗光 6,26 CCDカメラ 8,28 ホストコンピュータ 10,30 画像処理プロセッサ 13a′ 遮光部 13b′ スリット 15 受光画像 A,A′ 塗装欠陥

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光照射手段より被検査面に光を照射し、
    その被検査面からの反射光を捕らえて受光画像を作成
    し、該受光画像中の明度差に基づいて被検査面の表面状
    態を検査する表面状態検査方法であって、上記光照射手
    段より被検査面に対して明から暗への変化が繰り返され
    ている明暗光を照射することを特徴とする表面状態検査
    方法。
  2. 【請求項2】 光照射手段より被検査面に光を照射し、
    その被検査面からの反射光を捕らえて受光画像を作成
    し、該受光画像中の明度差に基づいて被検査面の表面状
    態を検査する表面状態検査方法であって、上記光照射手
    段より被検査面に対して明から暗への変化が所定の勾配
    で繰り返され、且つその明暗勾配が被検査面の曲率に基
    づいて設定されている明暗光を照射することを特徴とす
    る表面状態検査方法。
  3. 【請求項3】 光照射手段より被検査面に光を照射し、
    その被検査面からの反射光を捕らえて受光画像を作成
    し、該受光画像中の明度差に基づいて被検査面の表面状
    態を検査する表面状態検査方法であって、上記光照射手
    段より被検査面に対して明から暗への変化が繰り返さ
    れ、且つ明部に光を完全に透光させる透光領域もしくは
    暗部に光を完全に遮光する遮光領域の少なくともいずれ
    か一方が構成された明暗光を照射することを特徴する表
    面状態検査方法。
  4. 【請求項4】 光照射手段により被検査面に光を照射
    し、その被検査面からの反射光を捕らえて受光画像を作
    成し、該受光画像中の明度差に基づいて被検査面の表面
    状態を検査する表面状態検査方法であって、上記光照射
    手段より被検査面に対して明から暗への変化が所定の勾
    配で繰り返されている明暗光を照射すると共に、上記被
    検査面上における実際の明暗勾配を検出し、この検出値
    と被検査面の形状に応じて予め設定された明暗勾配の基
    準値とを比較し、その差を解消するように上記光照射手
    段の出力を調整することを特徴とする表面状態検査方
    法。
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