JP5182833B1 - 表面検査装置および表面検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】照明手段13が、複数の帯状の有機EL素子13cを幅方向に並べて形成されており、被検査体1の表面に縞状パターンの光を照射するよう構成されている。撮影手段14が、被検査体1の表面に映る縞状パターンを撮影するよう構成されている。検出手段15が、撮影手段14により撮影された画像を、その画像中の縞状パターンと検出したい凹凸の大きさとに基づいて複数のブロックに分割し、各ブロックに含まれる前記縞状パターンの周波数および方向の変化に基づいて、各ブロック毎に2次元ガボールフィルタを求め、その2次元ガボールフィルタを撮影された画像に適用することにより、被検査体1の表面の凹凸2を検出するよう構成されている。
【選択図】図1
Description
図1乃至図8は、本発明の実施の形態の表面検査装置および表面検査方法を示している。
図1および図2に示すように、表面検査装置10は、基台11と多関節ロボット12と照明手段13と撮影手段14と検出手段15とを有している。
2 (被検査体の表面の)凹凸
10 表面検査装置
11 基台
11a 車輪
12 多関節ロボット
12a,12b,12c,12d アーム
13 照明手段
13a 陽極側フレキシブル基板
13b 陰極側フレキシブル基板
13c 有機EL素子
14 撮影手段
14a カメラ収納筐体
15 検出手段
Claims (5)
- 被検査体の表面の凹凸を検出するための表面検査装置であって、
前記被検査体の表面に縞状パターンの光を照射する照明手段と、
前記被検査体の表面に映る前記縞状パターンを撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された画像を、その画像中の前記縞状パターンと検出したい前記凹凸の大きさとに基づいて複数のブロックに分割し、各ブロック毎に、各ブロックに含まれる前記縞状パターンの周波数および方向を求め、その結果に基づいて2次元ガボールフィルタを求め、前記2次元ガボールフィルタを前記画像に適用することにより、前記凹凸を検出する検出手段とを、
有することを特徴とする表面検査装置。 - 前記撮影手段は、前記被検査体の表面に映り込む前記照明手段に焦点を合わせて撮影することを特徴とする請求項1記載の表面検査装置。
- 前記照明手段は、照射する縞状パターンの明暗のパターンを変更可能であることを特徴とする請求項1または2記載の表面検査装置。
- 前記照明手段は、複数の帯状の有機EL素子を幅方向に並べて形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の表面検査装置。
- 照明手段により被検査体の表面に縞状パターンの光を照射し、
前記被検査体の表面に映る前記縞状パターンを撮影手段により撮影し、
前記撮影手段により撮影された画像を、その画像中の前記縞状パターンと検出したい前記被検査体の表面の凹凸の大きさとに基づいて複数のブロックに分割し、各ブロック毎に、各ブロックに含まれる前記縞状パターンの周波数および方向を求め、その結果に基づいて2次元ガボールフィルタを求め、前記2次元ガボールフィルタを前記画像に適用することにより、前記凹凸を検出することを
特徴とする表面検査方法。
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