JPH09318334A - 画像２値化方法および表面欠陥検査装置 - Google Patents
画像２値化方法および表面欠陥検査装置Info
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- JPH09318334A JPH09318334A JP13158596A JP13158596A JPH09318334A JP H09318334 A JPH09318334 A JP H09318334A JP 13158596 A JP13158596 A JP 13158596A JP 13158596 A JP13158596 A JP 13158596A JP H09318334 A JPH09318334 A JP H09318334A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微分等によるエッジ検出処理画像において検
出したい信号成分とノイズとを確実に分離するような適
切なしきい値による２値化方法、および上記２値化方法
を欠陥検出に適応することにより、被検査面の欠陥を精
度よく検出することの出来る表面欠陥検査装置を提供す
ること。 【解決手段】 原画像に対して微分等のエッジ検出処理
を行なった画像において、輝度レベルの高い領域のみを
抽出するために所定のしきい値で２値化を行なう場合、
前記エッジ検出処理画像に発生するノイズに関する物理
量に基づいて所定の演算を行ないしきい値を算出する。
出したい信号成分とノイズとを確実に分離するような適
切なしきい値による２値化方法、および上記２値化方法
を欠陥検出に適応することにより、被検査面の欠陥を精
度よく検出することの出来る表面欠陥検査装置を提供す
ること。 【解決手段】 原画像に対して微分等のエッジ検出処理
を行なった画像において、輝度レベルの高い領域のみを
抽出するために所定のしきい値で２値化を行なう場合、
前記エッジ検出処理画像に発生するノイズに関する物理
量に基づいて所定の演算を行ないしきい値を算出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像の２値化方法
および被検査物体の表面欠陥、例えば自動車ボディの塗
装面の凹凸等のような表面欠陥を検査する装置に関す
る。
および被検査物体の表面欠陥、例えば自動車ボディの塗
装面の凹凸等のような表面欠陥を検査する装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の表面欠陥検査装置としては、例え
ば特開平２−７３１３９号公報などに示されたものがあ
る。これは、明暗模様投影手段により明暗パターンの映
し出された被検査面を撮像し、撮像された画像信号を微
分および２値化することにより被検査面の欠陥を検出す
るものである。
ば特開平２−７３１３９号公報などに示されたものがあ
る。これは、明暗模様投影手段により明暗パターンの映
し出された被検査面を撮像し、撮像された画像信号を微
分および２値化することにより被検査面の欠陥を検出す
るものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ごとき従来の表面欠陥検査装置においては、次のごとき
問題があった。明暗パターンの映し出された被検査面を
撮像して得られる画像信号を微分し、その変化度信号の
平均値をしきい値として２値化するため、欠陥のコント
ラストが低い場合やノイズレベルが大きい場合などでは
欠陥でのレベルよりしきい値が高くなるため、欠陥を検
出することができない、という問題点があった。
ごとき従来の表面欠陥検査装置においては、次のごとき
問題があった。明暗パターンの映し出された被検査面を
撮像して得られる画像信号を微分し、その変化度信号の
平均値をしきい値として２値化するため、欠陥のコント
ラストが低い場合やノイズレベルが大きい場合などでは
欠陥でのレベルよりしきい値が高くなるため、欠陥を検
出することができない、という問題点があった。
【０００４】図１および図２に従来例の一例を示す。図
１（ａ）は原画像であり、白く明るい背景に対して円形
の黒い物体が２つあることを表しており、その下は画像
の点線部分の輝度（濃度）断面である。このような原画
像に対して微分等のエッジ検出を行うと、図１（ｂ）の
ような画像および輝度断面となる。よって図１（ｂ）の
画像において、輝度平均値をしきい値として２値化する
と、エッジ成分とノイズ成分とが分離でき良好な２値画
像が得られる。しかし、図２のように背景に対してコン
トラストの低い物体の場合は、エッジ検出のレベルが低
下してしまうため、上記従来のしきい値では良好な２値
化が困難であった。
１（ａ）は原画像であり、白く明るい背景に対して円形
の黒い物体が２つあることを表しており、その下は画像
の点線部分の輝度（濃度）断面である。このような原画
像に対して微分等のエッジ検出を行うと、図１（ｂ）の
ような画像および輝度断面となる。よって図１（ｂ）の
画像において、輝度平均値をしきい値として２値化する
と、エッジ成分とノイズ成分とが分離でき良好な２値画
像が得られる。しかし、図２のように背景に対してコン
トラストの低い物体の場合は、エッジ検出のレベルが低
下してしまうため、上記従来のしきい値では良好な２値
化が困難であった。
【０００５】本発明は上記のごとき従来技術の問題を解
決するためになされたものであり、微分等によるエッジ
検出処理画像において検出したい信号成分とノイズとを
確実に分離するような適切なしきい値による２値化方
法、および上記２値化方法を欠陥検出に適応することに
より、被検査面の欠陥を精度よく検出することの出来る
表面欠陥検査装置を提供することを目的とする。
決するためになされたものであり、微分等によるエッジ
検出処理画像において検出したい信号成分とノイズとを
確実に分離するような適切なしきい値による２値化方
法、および上記２値化方法を欠陥検出に適応することに
より、被検査面の欠陥を精度よく検出することの出来る
表面欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するために、原画像に対して微分等のエッジ検出処
理を行なった画像において、輝度レベルの高い領域のみ
を抽出するために所定のしきい値で２値化を行なう場
合、上記エッジ検出処理画像に発生するノイズに関する
物理量に基づいて所定の演算を行ないしきい値を算出す
るように構成する。
解決するために、原画像に対して微分等のエッジ検出処
理を行なった画像において、輝度レベルの高い領域のみ
を抽出するために所定のしきい値で２値化を行なう場
合、上記エッジ検出処理画像に発生するノイズに関する
物理量に基づいて所定の演算を行ないしきい値を算出す
るように構成する。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【０００８】（第１の実施の形態）図３および図４は、
本発明の第１の実施の形態を示す図である。図３は、本
発明の処理フローである。図４は、本発明の輝度断面を
用いた説明図である。図３のように画像中のエッジを検
出するために微分等の処理を行った結果、図４（図２
（ｂ）の輝度断面例と同じ）のような輝度断面が得られ
たとする。通常画像には、電気的なノイズや被写体の表
面状態などが原因でノイズが存在する。よって２値化に
てエッジのみを抽出するには、図４のようにしきい値Ｔ
ｈがノイズレベルより大きくエッジレベルより小さい値
であればよい。このようなしきい値Ｔｈの算出方法を図
５を用いて以下に説明する。
本発明の第１の実施の形態を示す図である。図３は、本
発明の処理フローである。図４は、本発明の輝度断面を
用いた説明図である。図３のように画像中のエッジを検
出するために微分等の処理を行った結果、図４（図２
（ｂ）の輝度断面例と同じ）のような輝度断面が得られ
たとする。通常画像には、電気的なノイズや被写体の表
面状態などが原因でノイズが存在する。よって２値化に
てエッジのみを抽出するには、図４のようにしきい値Ｔ
ｈがノイズレベルより大きくエッジレベルより小さい値
であればよい。このようなしきい値Ｔｈの算出方法を図
５を用いて以下に説明する。
【０００９】まず図５（ａ）のように、ノイズが発生す
る輝度レベルの範囲の上限値と下限値を設定する。本実
施の形態では、ノイズの最大値を上限値とし（Ｎｍａ
ｘ）、０を下限値とする。よって、上記上限値Ｎｍａｘ
と下限値０との間をノイズレベルとし、この範囲におけ
る平均値Ｎａｖｇを求める（図５（ｂ））。このノイズ
平均値Ｎａｖｇに、例えば式（１）のように所定の係数
ｋを乗じて、図５（ｃ）のようなノイズレベルより大き
くエッジレベルより小さいしきい値Ｔｈを算出する。
る輝度レベルの範囲の上限値と下限値を設定する。本実
施の形態では、ノイズの最大値を上限値とし（Ｎｍａ
ｘ）、０を下限値とする。よって、上記上限値Ｎｍａｘ
と下限値０との間をノイズレベルとし、この範囲におけ
る平均値Ｎａｖｇを求める（図５（ｂ））。このノイズ
平均値Ｎａｖｇに、例えば式（１）のように所定の係数
ｋを乗じて、図５（ｃ）のようなノイズレベルより大き
くエッジレベルより小さいしきい値Ｔｈを算出する。
【００１０】Ｔｈ＝ｋ×Ｎａｖｇ …（１） 例えば、ノイズ平均値Ｎａｖｇを２倍するとほぼノイズ
の上限値となるので、さらにその１．２倍をしきい値と
するならば、ｋ＝２×１．２＝２．４となる。ノイズレ
ベルが変化しなければ、しきい値Ｔｈは上記ノイズ最大
値Ｎｍａｘに所定のオフセット値を加えた値としてもよ
いが、ノイズレベルが変動する場合は、その変動に比例
してしきい値が追従するように係数を乗じて算出した方
がよい。ここで上記係数や計算式、およびノイズの上限
／下限値は、予め実験的に決定すればよい。このように
して求めたしきい値で２値化すれば、図５（ｄ）のよう
にエッジのみを検出することができる。
の上限値となるので、さらにその１．２倍をしきい値と
するならば、ｋ＝２×１．２＝２．４となる。ノイズレ
ベルが変化しなければ、しきい値Ｔｈは上記ノイズ最大
値Ｎｍａｘに所定のオフセット値を加えた値としてもよ
いが、ノイズレベルが変動する場合は、その変動に比例
してしきい値が追従するように係数を乗じて算出した方
がよい。ここで上記係数や計算式、およびノイズの上限
／下限値は、予め実験的に決定すればよい。このように
して求めたしきい値で２値化すれば、図５（ｄ）のよう
にエッジのみを検出することができる。
【００１１】（第２の実施の形態）次に、本発明の第２
の実施の形態を図６を用いて説明する。
の実施の形態を図６を用いて説明する。
【００１２】図２（ａ）のような原画像に対してエッジ
検出処理を行い図２（ｂ）のような画像が得られたもの
とする。この画像に対して最大値フィルタ処理を行い、
ノイズの谷を周囲の明るい輝度値に変換すると、図６
（ａ）のような輝度断面となる。最大値フィルタとは、
所定の範囲内の画素における輝度の最大値をその中央の
画素の新しい輝度値とするもので、局所領域において輝
度の高い（明るい）部分が広がり、輝度の低い（暗い）
部分が収縮するよう作用する。
検出処理を行い図２（ｂ）のような画像が得られたもの
とする。この画像に対して最大値フィルタ処理を行い、
ノイズの谷を周囲の明るい輝度値に変換すると、図６
（ａ）のような輝度断面となる。最大値フィルタとは、
所定の範囲内の画素における輝度の最大値をその中央の
画素の新しい輝度値とするもので、局所領域において輝
度の高い（明るい）部分が広がり、輝度の低い（暗い）
部分が収縮するよう作用する。
【００１３】次に、最大値フィルタ処理で得られた画像
（図６（ａ））に対して最小値フィルタ処理を行い、画
像における輝度の高い（明るい）部分を収縮すると、図
６（ｂ）のような輝度断面となる。これは、原画像にお
けるノイズの各ピークを結んだものであり、これをノイ
ズピーク値とする。よって、このノイズピーク値に所定
のオフセット値を加えるか、所定の係数を乗じてしきい
値を算出すれば、図５（ｄ）のようにノイズと分離しエ
ッジのみを検出することができる。なお、本発明はノイ
ズに関する物理量から２値化しきい値を算出するもので
あり、その算出方法や計算式等は本実施の形態に限定さ
れるものではない。
（図６（ａ））に対して最小値フィルタ処理を行い、画
像における輝度の高い（明るい）部分を収縮すると、図
６（ｂ）のような輝度断面となる。これは、原画像にお
けるノイズの各ピークを結んだものであり、これをノイ
ズピーク値とする。よって、このノイズピーク値に所定
のオフセット値を加えるか、所定の係数を乗じてしきい
値を算出すれば、図５（ｄ）のようにノイズと分離しエ
ッジのみを検出することができる。なお、本発明はノイ
ズに関する物理量から２値化しきい値を算出するもので
あり、その算出方法や計算式等は本実施の形態に限定さ
れるものではない。
【００１４】（第３の実施の形態）次に、本発明の第３
の実施の形態について説明する。
の実施の形態について説明する。
【００１５】これは、例えば画像を図７のようにＡ，
Ｂ，Ｃ，Ｄの４つの領域に分割し、各領域毎に上記の手
順でしきい値を算出し２値化するものである。本発明
は、画像においてノイズレベルが部分的に異なり一定で
ない場合に有効である。なお、上記領域の分割数、形
状、大きさはノイズの発生状況等に応じて決定すればよ
い。
Ｂ，Ｃ，Ｄの４つの領域に分割し、各領域毎に上記の手
順でしきい値を算出し２値化するものである。本発明
は、画像においてノイズレベルが部分的に異なり一定で
ない場合に有効である。なお、上記領域の分割数、形
状、大きさはノイズの発生状況等に応じて決定すればよ
い。
【００１６】（第４の実施の形態）次に、本発明の第４
の実施の形態について説明する。
の実施の形態について説明する。
【００１７】本発明は、エッジ検出画像を任意の領域に
分割し各領域毎に上記の手順で算出した複数のしきい値
のうち、所定の条件を満たすしきい値でエッジ検出画像
全体を２値化するものである。例えば、図８のように画
像において被写体と処理不要の背景とが同時に映る場
合、被写体部分に対してエッジ検出／２値化処理を行な
うには、背景部分を含まず被写体領域だけでしきい値を
算出する必要がある。
分割し各領域毎に上記の手順で算出した複数のしきい値
のうち、所定の条件を満たすしきい値でエッジ検出画像
全体を２値化するものである。例えば、図８のように画
像において被写体と処理不要の背景とが同時に映る場
合、被写体部分に対してエッジ検出／２値化処理を行な
うには、背景部分を含まず被写体領域だけでしきい値を
算出する必要がある。
【００１８】例えば、図８のように画像の被写体領域で
は輝度が高く明るいのでノイズレベルも大きいが、背景
では輝度が低く暗いのでノイズレベルが小さい、という
特性がある場合は、上記４領域で最も大きいしきい値を
用いて２値化すればよいわけで、上記所定の条件とは求
めた複数領域のしきい値の最大値、ということになる。
ゆえに、画像における処理不要領域（背景）が図８のよ
うに画像の上下、左右のいずれかに映る場合は、図９の
ように画像において領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを設定し、上記
４領域において各々しきい値を算出し、求めた４つのし
きい値の最大値で画像全体を２値化すれば被写体におけ
るエッジを良好に検出できる。例えば、図８（ａ）のよ
うに画面の左端に被写体が映る場合は、図９の領域Ｂで
算出したしきい値、図８（ｂ）のような場面では図９の
領域Ｃで算出したしきい値が最大値となり２値化が行わ
れることになる。なお、上記領域の分割数、形状、大き
さは画像に映る処理不要領域（背景）やノイズの発生状
況等に応じて決定すればよい。
は輝度が高く明るいのでノイズレベルも大きいが、背景
では輝度が低く暗いのでノイズレベルが小さい、という
特性がある場合は、上記４領域で最も大きいしきい値を
用いて２値化すればよいわけで、上記所定の条件とは求
めた複数領域のしきい値の最大値、ということになる。
ゆえに、画像における処理不要領域（背景）が図８のよ
うに画像の上下、左右のいずれかに映る場合は、図９の
ように画像において領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを設定し、上記
４領域において各々しきい値を算出し、求めた４つのし
きい値の最大値で画像全体を２値化すれば被写体におけ
るエッジを良好に検出できる。例えば、図８（ａ）のよ
うに画面の左端に被写体が映る場合は、図９の領域Ｂで
算出したしきい値、図８（ｂ）のような場面では図９の
領域Ｃで算出したしきい値が最大値となり２値化が行わ
れることになる。なお、上記領域の分割数、形状、大き
さは画像に映る処理不要領域（背景）やノイズの発生状
況等に応じて決定すればよい。
【００１９】（第５の実施の形態）次に本発明の第５の
実施の形態を図１０を用いて説明する。
実施の形態を図１０を用いて説明する。
【００２０】図１０において、１は照明手段であり、被
検査面５に明暗パターンを映し出すように配置されてい
る。２は撮像手段であり例えばＣＣＤカメラといったも
ので、所定の焦点距離のレンズを取り付けることにより
上記明暗パターンの映し出された被検査面５を所定の視
野で撮像する。カメラ２から出力されるビデオ信号は、
画像処理手段３に入力され、さらにその処理結果は追跡
処理手段４へと接続される。また、この実施の形態にお
いて、上記被検査面もしくは撮像手段のいずれか一方を
移動させながら任意の時刻毎に受光画像を処理する、と
記載したが、本実施の形態では被検査面５が図１０の矢
印の方向へ移動するものとして説明する。図１１は、上
記照明手段１の一例を示す概略図である。照明箱１０１
に光源１０２が取り付けられており、照明箱１０１の照
射側には拡散板につや消し黒色で所定の明暗パターンが
形成された照明板１０３が配置される。よって光源１０
２の光が照明板１０３を通過し、被検査面５に所定の明
暗パターンが映し出される。ここで、被検査面５上に凹
凸状の欠陥６があると、欠陥での凹凸により光が乱反射
するため、カメラ２の受光画像は図１２（ａ）のように
欠陥が周囲とは異なる輝度（明るさ）を持った領域とし
て映る。よって画像処理手段３では、カメラ受光画像を
上記の手順でエッジ検出／２値化処理し、図１２（ｂ）
のような２値画像を得る。
検査面５に明暗パターンを映し出すように配置されてい
る。２は撮像手段であり例えばＣＣＤカメラといったも
ので、所定の焦点距離のレンズを取り付けることにより
上記明暗パターンの映し出された被検査面５を所定の視
野で撮像する。カメラ２から出力されるビデオ信号は、
画像処理手段３に入力され、さらにその処理結果は追跡
処理手段４へと接続される。また、この実施の形態にお
いて、上記被検査面もしくは撮像手段のいずれか一方を
移動させながら任意の時刻毎に受光画像を処理する、と
記載したが、本実施の形態では被検査面５が図１０の矢
印の方向へ移動するものとして説明する。図１１は、上
記照明手段１の一例を示す概略図である。照明箱１０１
に光源１０２が取り付けられており、照明箱１０１の照
射側には拡散板につや消し黒色で所定の明暗パターンが
形成された照明板１０３が配置される。よって光源１０
２の光が照明板１０３を通過し、被検査面５に所定の明
暗パターンが映し出される。ここで、被検査面５上に凹
凸状の欠陥６があると、欠陥での凹凸により光が乱反射
するため、カメラ２の受光画像は図１２（ａ）のように
欠陥が周囲とは異なる輝度（明るさ）を持った領域とし
て映る。よって画像処理手段３では、カメラ受光画像を
上記の手順でエッジ検出／２値化処理し、図１２（ｂ）
のような２値画像を得る。
【００２１】さらに、図１０のように被検査面５が移動
する場合、任意の時刻毎の画像における欠陥６が図１２
の矢印の方向に移動するものとすると、追跡処理手段４
において上記任意の時刻毎の複数の画像から被検査面５
の移動量および移動方向と一致する物体を検出する。こ
の結果、被検査面５上にある欠陥６は、上記被検査面５
の移動と一致した動きをするので、欠陥と判定される。
またそれ以外の物体は、上記移動とは一致しないので欠
陥とは判定されない。よって画像より本物の欠陥６のみ
を検出することができる。
する場合、任意の時刻毎の画像における欠陥６が図１２
の矢印の方向に移動するものとすると、追跡処理手段４
において上記任意の時刻毎の複数の画像から被検査面５
の移動量および移動方向と一致する物体を検出する。こ
の結果、被検査面５上にある欠陥６は、上記被検査面５
の移動と一致した動きをするので、欠陥と判定される。
またそれ以外の物体は、上記移動とは一致しないので欠
陥とは判定されない。よって画像より本物の欠陥６のみ
を検出することができる。
【００２２】（第６の実施の形態）次に、本発明の第６
の実施の形態を図１３を用いて説明する。
の実施の形態を図１３を用いて説明する。
【００２３】本発明は、被検査面の表面状態、例えば塗
装や表面粗さといった表面状態と上記ノイズ平均値とい
ったノイズに関する物理量との関係に基づいてしきい値
を決定するものである。
装や表面粗さといった表面状態と上記ノイズ平均値とい
ったノイズに関する物理量との関係に基づいてしきい値
を決定するものである。
【００２４】本実施の形態では、被検査面が塗装されて
いる場合を例に取り、塗装色とノイズに関する物理量と
の関係に基づいてしきい値を決定する方法について説明
する。例えば塗装色自身の持つ明度が高い、つまり白な
どの明るいほど輝度レベルつまりビデオ信号の電圧レベ
ルも高くなるので、この電圧レベルに比例してノイズレ
ベルも増大する、という性質があるものとする。このよ
うな場合、エッジ成分とノイズ成分とを分離するしきい
値もまた塗装色の明度に応じて変化すればよく、ゆえに
ノイズに関する物理量Ｎとしきい値Ｔｈとの関係は図１
３のようになる。このような関係式を予め実験的に求め
ておき、しきい値を算出する。
いる場合を例に取り、塗装色とノイズに関する物理量と
の関係に基づいてしきい値を決定する方法について説明
する。例えば塗装色自身の持つ明度が高い、つまり白な
どの明るいほど輝度レベルつまりビデオ信号の電圧レベ
ルも高くなるので、この電圧レベルに比例してノイズレ
ベルも増大する、という性質があるものとする。このよ
うな場合、エッジ成分とノイズ成分とを分離するしきい
値もまた塗装色の明度に応じて変化すればよく、ゆえに
ノイズに関する物理量Ｎとしきい値Ｔｈとの関係は図１
３のようになる。このような関係式を予め実験的に求め
ておき、しきい値を算出する。
【００２５】なお、しきい値の算出方法や計算式等は本
実施の形態に限定されるものではない。
実施の形態に限定されるものではない。
【００２６】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明におい
ては、微分等によるエッジ検出処理画像のノイズに関す
る物理量に基づいてしきい値を算出し、検出したい信号
成分とノイズとを確実に分離する２値化方法、および上
記２値化方法を表面欠陥検査装置に適応することによ
り、被検査面の欠陥を精度よく検出することが出来る、
という効果が得られる。
ては、微分等によるエッジ検出処理画像のノイズに関す
る物理量に基づいてしきい値を算出し、検出したい信号
成分とノイズとを確実に分離する２値化方法、および上
記２値化方法を表面欠陥検査装置に適応することによ
り、被検査面の欠陥を精度よく検出することが出来る、
という効果が得られる。
【図１】従来例を説明する画像および輝度断面図であ
る。
る。
【図２】従来例を説明する画像および輝度断面図であ
る。
る。
【図３】本発明の第１の実施の形態における処理フロー
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態の説明のための輝度
断面図である。
断面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態の説明のための輝度
断面図である。
断面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態の説明のための輝度
断面図である。
断面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態における画像の分割
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態における処理不要領
域を含んだ原画像例を示す図である。
域を含んだ原画像例を示す図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態における画像の分割
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【図１０】本発明の第５の実施の形態を示す概略構成図
である。
である。
【図１１】本発明の第５の実施の形態における照明手段
の概略構成図である。
の概略構成図である。
【図１２】本発明の第５の実施の形態における受光画像
および処理画像の一例を示す図である。
および処理画像の一例を示す図である。
【図１３】本発明の第６の実施の形態におけるしきい値
とノイズに関する物理量、および塗装色の関係を示す概
略図である。
とノイズに関する物理量、および塗装色の関係を示す概
略図である。
１ 照明手段 ２ 撮像手段 ３ 画像処理手段 ４ 追跡処理手段 ５ 被検査面 ６ 欠陥 １０１ 照明箱 １０２ 光源 １０３ 照明板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 裕 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内 (72)発明者 辻 正文 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 原画像に対して微分等のエッジ検出処理
を行なった画像において、輝度レベルの高い領域のみを
抽出するために所定のしきい値で２値化を行なう場合、
上記エッジ検出処理画像に発生するノイズに関する物理
量に基づいて所定の演算を行ないしきい値を算出する、
ことを特徴とする画像２値化方法。 - 【請求項２】 上記エッジ検出処理画像を所定の領域に
分割し、各領域毎に上記手順でしきい値を算出し２値化
する、ことを特徴とする請求項１に記載の画像２値化方
法。 - 【請求項３】 上記エッジ検出処理画像を所定の領域に
分割し、各領域毎に上記手順で算出したしきい値の中で
所定の条件を満たすしきい値を用いて画像全体を２値化
する、ことを特徴とする請求項１に記載の画像２値化方
法。 - 【請求項４】 被検査面に光を照射し、その被検査面か
らの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像
に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装
置において、 被検査物体表面に所定の明暗パターンを形成する照明手
段と、 上記被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の
画像データに変換する撮像手段と、 上記画像データに対してエッジ検出処理を行って得られ
る画像を上記２値化方法で２値化する画像処理手段と、 上記被検査面もしくは撮像手段のいずれか一方を移動さ
せながら任意の時刻毎に上記画像処理手段により所定の
処理を実行し、そこで得られる時系列に処理された複数
の画像のそれぞれに存在する欠陥候補物体が上記移動の
移動量および移動方向に所定の条件で適合したならば、
その欠陥候補物体を欠陥と判定する追跡処理手段、を備
えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 【請求項５】 上記画像処理手段における２値化しきい
値が、上記ノイズに関する物体量と被検査面の表面状態
との関係に基づいて決定される、ことを特徴とする請求
項４に記載の表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13158596A JP3185916B2 (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 画像２値化方法および表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13158596A JP3185916B2 (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 画像２値化方法および表面欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09318334A true JPH09318334A (ja) | 1997-12-12 |
| JP3185916B2 JP3185916B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=15061503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13158596A Expired - Lifetime JP3185916B2 (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 画像２値化方法および表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3185916B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007249681A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Fuji Heavy Ind Ltd | エッジ検出システム |
| JP2009244081A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | V Technology Co Ltd | 表面形状測定方法 |
| JP5182833B1 (ja) * | 2012-06-19 | 2013-04-17 | バイスリープロジェクツ株式会社 | 表面検査装置および表面検査方法 |
| JP2014215301A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 株式会社ミツトヨ | エッジ検出方法 |
| CN109963118A (zh) * | 2018-07-24 | 2019-07-02 | 永康市异造科技有限公司 | 基于空调平台的场景监控系统 |
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-
1996
- 1996-05-27 JP JP13158596A patent/JP3185916B2/ja not_active Expired - Lifetime
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