JPH05126903A - 電子試験ヘツドと電子装置ハンドラとの取付け取外し装置 - Google Patents

電子試験ヘツドと電子装置ハンドラとの取付け取外し装置

Info

Publication number
JPH05126903A
JPH05126903A JP3145191A JP14519191A JPH05126903A JP H05126903 A JPH05126903 A JP H05126903A JP 3145191 A JP3145191 A JP 3145191A JP 14519191 A JP14519191 A JP 14519191A JP H05126903 A JPH05126903 A JP H05126903A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test head
handler
electronic
guide pins
contact means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3145191A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2513362B2 (ja
Inventor
Nathan R Smith
アール スミス ナーサン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
InTest Corp
Original Assignee
InTest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=23628432&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH05126903(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by InTest Corp filed Critical InTest Corp
Publication of JPH05126903A publication Critical patent/JPH05126903A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2513362B2 publication Critical patent/JP2513362B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J1/00—Manipulators positioned in space by hand
    • B25J1/12—Manipulators positioned in space by hand having means for attachment to a support stand
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/001—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine
    • B23Q11/0017—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine compensating the weight of vertically moving elements, e.g. by balancing liftable machine parts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/54—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
    • B23Q1/5468—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only a single rotating pair followed parallelly by a single rotating pair
    • B23Q1/5475—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only a single rotating pair followed parallelly by a single rotating pair followed perpendicularly by a single rotating pair
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B25J18/025—Arms extensible telescopic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0008—Balancing devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0008—Balancing devices
    • B25J19/0012—Balancing devices using fluidic devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0008—Balancing devices
    • B25J19/002—Balancing devices using counterweights
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/02—Heads
    • F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
    • F16M11/06—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting
    • F16M11/10—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting around a horizontal axis
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/02—Heads
    • F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
    • F16M11/06—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting
    • F16M11/10—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting around a horizontal axis
    • F16M11/105—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting around a horizontal axis the horizontal axis being the roll axis, e.g. for creating a landscape-portrait rotation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/02—Heads
    • F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
    • F16M11/06—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting
    • F16M11/12—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting in more than one direction
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/20—Undercarriages with or without wheels
    • F16M11/2007—Undercarriages with or without wheels comprising means allowing pivoting adjustment
    • F16M11/2014—Undercarriages with or without wheels comprising means allowing pivoting adjustment around a vertical axis
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/20—Undercarriages with or without wheels
    • F16M11/2007—Undercarriages with or without wheels comprising means allowing pivoting adjustment
    • F16M11/2035—Undercarriages with or without wheels comprising means allowing pivoting adjustment in more than one direction
    • F16M11/2071—Undercarriages with or without wheels comprising means allowing pivoting adjustment in more than one direction for panning and rolling
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/20—Undercarriages with or without wheels
    • F16M11/24—Undercarriages with or without wheels changeable in height or length of legs, also for transport only, e.g. by means of tubes screwed into each other
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
    • G—PHYSICS
    • G12—INSTRUMENT DETAILS
    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M2200/00—Details of stands or supports
    • F16M2200/02—Locking means
    • F16M2200/021—Locking means for rotational movement
    • F16M2200/022—Locking means for rotational movement by friction
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M2200/00—Details of stands or supports
    • F16M2200/04—Balancing means
    • F16M2200/048—Balancing means for balancing translational movement of the undercarriage
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子試験ヘッドの電気コネクタを装置ハンド
ラの電気コネクタに正確に結合させる機構を提供するこ
とを目的とする。 【構成】 試験ヘッド（１１）には少なくとも２本のガ
イドピン（１１ｂ）が固定され、ハンドラ（１５）には
該ピンを受容するソケット（２０４ａ）を有するブロッ
ク（２０２ａ）がもうけられ、ガイドピンとソケットに
より試験ヘッドとハンドラを位置ぎめする。試験ヘッド
とハンドラの電気コネクタの取付け取外しのために、ら
せん溝をもつ２つのカムがもうけられ、該２つのカムは
ワイヤにより結合され、同期回転する、一方のカムをハ
ンドル（２１５ａ、ｂ）により回転させると、ブロック
（２０２ａ）の側面にもうけられるガイドピン（２０６
ａ）がカムにそって移動し、試験ヘッドとハンドラが引
きよせられて、電気コネクタの接続が行なわれる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子試験ヘッド位置決
め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路（ＩＣ）や他の電子ディバイス
の自動試験では、これらのディバイスを試験する位置に
設置するための特別のディバイスハンドラが用いられて
いる。電気的な試験そのものは、ディバイスハンドラに
接続しかつドッキングすることが要求される試験ヘッド
を含む大規模かつ高価な自動試験装置により行なわれ
る。このような装置では、試験ヘッドは通常重さが３４
〜１３６kg（７５〜３００ポンド）と極めて重い。この
ように重い理由は、試験ヘッドは高速電気タイミング信
号を用い、この結果電子回路を試験下にあるディバイス
にできるだけ近接するように位置決めしなければならな
いことにある。従って、試験ヘッドは、複雑化したディ
バイスの高速試験を行なうために、電子回路が密にパッ
ケージ化されている。
【０００３】従来技術では、ディバイスハンドラ機構に
対して重い試験ヘッドを所定の位置に正確にかつ容易に
動かすための移動装置又は位置決め装置を備えておくこ
とが多く望まれている。ある従来の位置決め装置では、
各々移動可能なリードスクリューと回転及びスライドす
る機構により、一度に位置決めされる。これらの従来装
置では、ハンドラに容易にかつ正確にドッキングするた
めに必要なすべての方向の自由度を備えていないので、
利用者は重いディバイスハンドラ又は重い位置決め装置
自体を動かさねばならなかった。別の従来の移動装置
は、リードスクリューを上又は下方向に駆動するための
モータを用いている。このようにリードスクリューをモ
ータで駆動するかあるいは手動で駆動することにより、
試験ヘッドソケット接続あるいは過度の応力によるディ
バイスハンドラ上の接続に、損傷を与える可能性があ
る。
【０００４】従来装置の他の欠点は、これらは大規模で
あり試験施設において額面以上の床のスペースを考慮し
なければならないということにある。大規模な従来装置
の更に別の問題点は、試験装置を試験ヘッドに接続する
ための通常短かく邪魔で弱いケーブルを有することにあ
る。従って、これらの大きさと構造のために、従来装置
を試験装置に十分に近接して動かすことはできなかっ
た。
【０００５】調査の結果、興味あるものとしては次の米
国特許がある。 米国特許番号 発 明 者 ４，１９９，２９４ ストレック(Streck)外 ４，０６２，４５５ カール フラトー(Carl Flatau) ４，１３２，３１８ ウォング(Wang)外 ３，８７３，１４８ ロバート ケニキット(Robert Kennicuit) ４，０７６，１３１ ダルストーム(Dahlstrom) 外 ４，１８８，１６６ モリュー(Moreau)外 ４，２７３，５０６ トムソン(Thomson) 外 ４，２９９，５２９ イナバ(Inaba) 外 ４，２６４，２６６ ハンス トレクセル(Hans Trechsel) ３，７９１，０５２ コルネリー バン デル レリ(Cornelis Van Der Lely) ３，８２６，３８３ ハンス リクタ(Hans Richter) ４，３０３，３６８ デント(Dent)外
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、電子
試験ヘッドが装置ハンドラに位置決めされたとき、両者
の電気コネクタを正確に結合させる機構を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によると、試験ヘ
ッドには少なくとも２本の配列ピンが固定され、ハンド
ラには該ピンを受容するソケットがもうけられる。試験
ヘッドとハンドラの取付け取外しのために、らせん溝を
もつ２つのカムがもうけられ、該２つのカムはワイヤに
より結合され、同期回転する。一方のカムをピンにより
回転させると、カムに沿って配列ピンがソケットの中に
押し込まれる。
【０００８】
【実施例】図５Ａには、本発明による試験ヘッド位置決
め装置１０が示されている。図示ように、位置決め装置
１０は集積回路ハンドラ１５の機構プレート１７とドッ
キングさせるために、試験装置のための試験ヘッド１１
を支持する。他の電子ディバイスはトランジスタ、チッ
プ又はダイス等のようなディバイスハンドラによって操
作されるということが理解されるであろう。動作におい
て、位置決め装置１０は重い試験ヘッド１１を正確に寸
分違うことなく動かしかつ機構プレート１７にドッキン
グさせるために、実質上重さのない状態で手動で動かさ
れる。ドッキングにおいて、位置選定ピン１１ｂはプレ
ート１７の対応する開口部に挿入され、試験コネクタ１
１ａは試験されるディバイス１５ａに対するコネクタに
接続される。試験ヘッド１１の位置は、あらゆる位置に
ある他の機構プレートとドッキングさせるために、水平
面内の実質上拡張可能な６つの自由度をもって、他の位
置に実質上重さのない状態で正確に動かすことができ
る。例えば、プローバ又はハンドラに対する機構プレー
トは水平面から垂直面までのいかなる位置をもとること
ができる。
【０００９】位置決め装置１０の詳細は図１ないし図３
に示されている。これらの図において、Ｈ型の梁は垂直
の柱１２を形成する。柱１２は対向する壁１２ａ，１２
ｂを有し、フランジ１２ｃはこれらの壁を接続する。柱
１２は基体２２と外側に拡がっている脚２４ａ−ｅを有
するアセンブリ２０によって底部で支持されている。
【００１０】試験ヘッド１１は、メインシャフト５０上
を垂直方向に動く位置決めアームアセンブリ３０により
支持され、連結した状態で動く。アセンブリ３０は、メ
インアームアセンブリ３２、前部アームアセンブリ３
４、リスト連結アセンブリ３６、クレドールアセンブリ
３８及び試験ヘッドアダプタプレート４０ａ，ｂを有す
る。メインシャフト５０は対向する軸受けブロック５
２，５３によりしっかりと固着されている。
【００１１】位置決めアームアセンブリ３０は、柱１２
の後部領域内の垂直方向のいずれかに動くウェイトキャ
リッジ６２を有するカウンタウェイトアセンブリ６０に
より、メインシャフト５０上の垂直方向で停止するよう
につり合いがとられている。キャリッジ６２はこれらに
固定された垂直方向に伸びているキャリッジシャフト６
５ａ，ｂを有し、移動可能なウェイト６２ａ−ｃを支持
する。ウェイト６２ａ−ｃは、アセンブリ３０と試験ヘ
ッド１１の重さに対して正確につり合いをとる。この結
果、これらは実質上重さがない状態となる。
【００１２】シャフト６５ａ，ｂの上端部は部材６７
ａ，ｂをささえる。シャフト７４は滑車７２ａ，ｂを回
転させる。シャフト７４は柱１２の上端部領域でささえ
られている。ケーブル６８ａ，ｂは伸びており、メイン
アームアセンブリ３２の下に位置するリフトブロック８
０にスエッジ部材により締め付けられている。ブロック
８０はシャフト５０を収容するための開口部を有する。
ブロックはフランジ１２ｃに沿ってスライドし、シャフ
ト５０のまわりを回転することはない。
【００１３】図３及び図８に図示するように、メインア
ームアセンブリ３２は上部ベアリングブロック８６とブ
ロック８０により支持された下部ベアリングブロック８
７とを有する。ブロック８６，８７はそれぞれ、下に伸
びている領域８６ａと上に伸びている領域８７ａとを有
する。特に、Ｉ型の梁９０の前壁９０ａはブロック８
６，８７の前面に固着されており、一方Ｉビーム９０の
後部領域９０ｂは領域８６ａ，８７ａに固着されてい
る。ロック５５は、アセンブリ３２の垂直方向の動き及
び回転する動きを、アセンブリがいかなる位置にあって
も、一時的にロックすることができる。シャフト５０と
同一中心のスリーブ２２６は、これをシャフト５０上で
上方向あるいは下方向に動かすことができるように、内
部に設けられた線状ベアリング２２８を有するブロック
８７と９１の間に固着されている。この方法により、シ
ャフト５０上で垂直方向の動き及び回転する動き（垂直
軸を中心とする）が可能な単一のメインアームアセンブ
リ３２が形成される。
【００１４】アセンブリ３２に速度に応答する内部から
の制動を与えるために、流体シリンダ２２０は軸受けブ
ロック５２に一端が固定され、他端がスリーブ２２６の
外部表面に固着された板２３０に固定されている。シリ
ンダ２２０はアームアセンブリ３０の迅速な垂直方向の
動きを阻止し、ハンドラと試験ヘッドに損傷を与えない
ようにする。
【００１５】一組の軸受けブロック９５，９６は、Ｉ型
の梁９０の前面９０ａに固着されている。垂直シャフト
９８は軸受けブロック９５，９６を介して伸長してい
る。前部アームアセンブリ３４は、更に後部領域１０１
を有する前部アーム１００を有する。シャフト９８は領
域１０１にある垂直方向の開口部１０７を介して伸長し
ている。前部アセンブリ３４は、前部アームロックアセ
ンブリ１０６により垂直軸を中心とする回転領域におい
て、一時的に固定可能である。
【００１６】前部アームアセンブリ３４は事実上１８０
°回転可能であり、一方他のすべての素子をこれらの当
初の位置に維持することができるということは理解され
るであろう。
【００１７】前部アーム１００は、リスト連結アセンブ
リ３６の取り付け部材１２０を回転可能な状態で支持す
る前部が“Ｃ”型状の領域を有する。部材１２０は、垂
直方向の上部及び下部ピボットピン１２２により前部ア
ーム１００に対して回転する。部材１２０は、ブロック
１１２内に形成されたリスト連結ロックアセンブリ１１
０により、アセンブリ３４に対する回転を一時的に固定
することができる。
【００１８】部材１２０は、垂直方向に伸長しているシ
ャフト３００を収容するための縦方向開口部を有する。
外部端におけるシャフト３００は、クレードルアセンブ
リ３８の後部プレート１３０を固着するためにキャップ
ねじ３１２を収容するための接続ハブ３１０に連結され
ている。
【００１９】クレードルアセンブリ３８は接合された３
つの壁１３０−１３２により形成され、これらは試験ヘ
ッドに対するＵ字型のホールダを形成する。シャフト３
００は水平軸を中心としてアセンブリ３８を回転させる
ものであり、アセンブリ３８はクレードルロックアセン
ブリ３０６を締め付けることによって固着される。
【００２０】壁１３１，１３２は試験ヘッドアダプタプ
レート４０ａ，ｂを支持し、これらのプレートを壁に対
して回転させそしてしっかりと固定することができる。
アーム１３１はその端部領域に円形状の溝１３５と肩ね
じ１３７を収容するための開口部１３６とを有する。ロ
ックノブ１４０はプレート４０ａ内を通り、通常の方法
で円形状の溝１３５に沿って動く。この方法によれば、
ロックノブ１４０をしっかりと締めることにより、プレ
ート４０ａは壁１３１に対してしっかりと固着される。
【００２１】試験ヘッド位置決め装置１０はＸ，Ｙ，
Ｚ，φX ，φY ，φZ の６つの方向に同時に位置決めさ
れるということが理解されるであろう。図６に示すよう
に、試験コネクタ１１ａを例えば１５ａのような試験さ
れるディバイスに対して正確にかつ容易に位置決めする
ために、６つの自由度を有するということは、試験ヘッ
ド１１を適切にドッキングさせるためには重要である。
Ｙ方向が垂直すなわち上下方向であると考えるならば、
シャフト５０に関して垂直方向のアセンブリ３２の動き
はＹ方向の自由度を与える。Ｙ軸を中心とする回転を示
す自由度φY は、垂直軸５０，９８及び１２２を中心と
するすべてのジョイントの同時に起こる回転により与え
られる。Ｘが左から右の方向であるとすれば、自由度φ
Y と同じようにピボット５０，９８及び１２２によって
与えられる。自由度φX は肩ねじ１３７により与えられ
る。出たり入ったりする動きとして考えられるＺ方向の
動きに対して、このような自由度はφY と同じようにピ
ボットシャフト５０，９８及び１２２により与えられ、
φZ はシャフト３００がピボットすることにより与えら
れる。
【００２２】図４には、通常のくさびロック装置を有す
るメインアームアセンブリロック５５が示されている。
特に、２つのくさび１５０と１５２はシャフト５０のい
ずれかの側に与えられている。ロックハンドル１５３を
時計方向に回すことにより、くさび部材１５０と１５２
は近づきシャフト５０上に圧力を与える。この方法はブ
ロック９１のシャフト５０を中心とする回転を阻止し、
更にブロック９１とアセンブリ３０全体の垂直方向の動
きを阻止する。同様のロックアセンブリが前部アームロ
ックアセンブリ１０６、リスト連結ロックアセンブリ１
１０及びクレードルロックアセンブリ３０６−これらは
それぞれ回転アーム１０６ａ，１１０ａ，３０６ａを有
する−に対して与えられている。
【００２３】図５Ｂ，Ｃには機構プレート１７と試験ヘ
ッド１１の詳細が示されている。特に、機構プレート１
７はハンドラ後部プレート１７ａとドッキングガセット
アセンブリ１７ｂとを有する。プレート１７ａは、この
背面に固定されたオスのコネクタ１５ｂに可動性の接点
を介して電気的に接続された試験されるディバイス１５
ａを支持する。アセンブリ１７ｂはコネクタ１５ｂにア
クセスできるように開口部２００を有し、アセンブリ１
７をプレート１７ａの背面にボルトで締めることによ
り、ガセット又はブロック２０２ａ，ｂを背面に与え
る。同様のガセットは、他の実施例では背面に直接据え
付けられているということが理解されるであろう。
【００２４】ガセット２０２ａ，ｂの各々は中心に位置
決めされたガイド開口部２０４ａ，ｂを有し、試験ヘッ
ド１１のガイドすなわち位置決め用ピン１１ｂを収容す
るように適合されている。特に、試験ヘッド１１はドッ
キングアセンブリ２０５と試験ヘッド面プレート２０６
上に設けられた試験コネクタ１１ａとを有する。ガイド
ピン１１ｂはコネクタ１１ａをハンドラコネクタ１５ｂ
に正確に位置決めする。
【００２５】コネクタ１１ａ，１５ｂは極めてもろく、
損傷を避けるために極めて正確に一致させなければなら
ないということが理解されるであろう。これは、特に試
験ヘッド１５の重さすなわち質量の見地からの問題であ
る。従って、心合せを確立しコネクタ１１ａと１５ｂの
完全に正確な接続を確立するガイド開口部２０４ａ，ｂ
にピン１１ｂが実際に収容されるまで、ガイドピン１１
ｂとブロック２０２ａ，ｂはコネクタ１１ａ，１５ｂを
互いに分離させておく作用をする。ピン１１ｂが開口部
に心合せされたとき、コネクタ１１ａ，１５ｂを互いに
引き寄せることが必要である。これは、ブロック２０２
ａ，ｂから外側に伸長しているカム従動ピン２０６ａ，
ｂを支えるプレート２０６上に設けられたカムアセンブ
リ２１０により行なわれる。アセンブリ２１０は、循環
ケーブル２１４により同時に動作する一組の円筒状カム
２１２ａ，ｂを有する。各々のカム２１２ａ，ｂは、図
示のように滑車２１４ａ−ｄを介してカム間を連結する
緊張したケーブル２１４を支持する低い溝を有する。各
々のカム２１２ａ，ｂは、各ハンドルの回転により同時
に両方のカムを動作させるために、外側に伸長するハン
ドル２１５ａ，ｂを有する。
【００２６】カム２１２ａ，ｂの各々は、ピン１１ｂが
開口部２０４ａ，ｂ内にあるときにピン２０６ａ，ｂを
各々収容するための上部面上に上部カットアウトを有す
る側部ら線状溝２１６ａ，ｂを有する。ハンドル２１５
ａ，ｂの１つを回転させると、カムは試験ヘッドをハン
ドラ機構プレート１７内に引き寄せるように同時に動作
し、これによってコネクタ１１ａ，１５ｂどうしを接続
関係にする。接続後、多数のディバイス１５ａはハンド
ラシステムにより試験される。試験の形態を変えるため
に、コネクタ１１ａ，１５ｂを分離させハンドラを試験
ヘッドから移動させる必要がある。従って、ハンドルの
１つをプレート１７ａをプレート２０６から引っ張るよ
うに動作させる。
【００２７】ガイドピン１１ｂの各々はキャリブレイト
可能であり、ガイドピン据付け体２０７を収容する内部
チャンバを有する外部ピンハウジング２０３を有する。
据付け体２０７は、実質的に遊隙を提供する開口部を介
して伸長するキャップねじ２０９を収容するための内部
チャンバを有する。従って、ねじ２０９を、ハウジング
２０３がプレート２０６上に正確に配列されるように、
ゆるめることができる。
【００２８】図７Ａには、試験装置の試験キャビネット
１１ｃに隣接する床に直接ボルト締めされた基体２２ｂ
が示されている。
【００２９】図７Ｂに示す他の実施例では、基体２２ｃ
は一方の側部に沿った低部表面に水平に設けられた固い
ロッド又は脚１６０により据付けられている。別の脚１
６５はキャビネット１１ｃと柱１２の壁１２ａに固定さ
れている。この方法によれば、柱１２はキャビネット１
１ｃに近接して固定される。図７Ｃの実施例では、基体
２２ｄは試験キャビネット１１ｃの近接する側壁に接続
され、基体の低部表面に設けられた垂直の脚１７０，１
７１に接続されている。キャビネット１１ｃにボルトで
締める代わりに、ロッド１７０，１７１は図７Ｄに示す
ロッド１７０ａ，１７０ｂのようにキャビネット１１ｃ
の端からはみ出させてもよい。これらのロッドは互いに
ボルトで締め付けられ、また２つの補助的なロッド１７
３，１７５にボルトで締め付けられている。
【００３０】本発明の更に別な実施例を図９に示す。同
図において、装置２５０は装置１０のウェイト６０及び
ケーブルアセンブリ６８ａ，ｂをピストン２５２を有す
る加圧シリンダ２５１で置き換えたものである。シリン
ダ２５１は、アセンブリ３０ａの実際の位置にかかわら
ず重力と反対方向にアームアセンブリ３０ａ（試験ヘッ
ド１１を含む）上に一定の力を作用させる点において、
ウェイトアセンブリ６０と同一の機能を効果的に与え
る。アセンブリ３０ａの異なる重さのバランスをとるこ
とは、ポンプ２５７により与えられるレギュレータ２５
８により、シリンダ２５１内に一定値の圧力を維持する
ことで行なわれる。
【００３１】シリンダ２５１は図１の柱１２の中央にあ
る板１２ｃ′にしっかりと固着されている。ピストン２
５２は上部方向に伸びており、板１２ｃ′内に形成され
たスロット２５６を介して伸びている水平アーム２５４
に固定されて接続されている。他端には、図１及び図８
に示すようにスリーブ２２６に固定されて接続されてい
る。他のすべての部分に関しては、装置１０と実質上同
一である。
【００３２】図１０及び図１１には、装置１０において
垂直に設けられた柱１２を装置４００にあっては垂直に
設けられた円筒状の支持チューブ４０３で置き換えた他
の実施例が示されている。チューブ４０３はシリンダと
シール４１４ａ，４１４ｂを有するはめ込み式のロッド
４０２に対してシリンダを形成する。装置１０と２５０
におけるように、支持チューブ４０３は伸長している脚
２４ａ−ｅを有する基体アセンブリ２０ｂにより、装置
の底部で支持されている。チューブ４０３とピストン４
０２は、チューブ２５１とピストン２５２と同様の動作
をする。
【００３３】特に、流体キャビティ４１２はピストンと
シリンダとの間に形成される。加圧下にある流体は、接
続された流体供給源からライン４０７によりレギュレー
タ４０４と圧力ゲージ４０６を介してキャビティ４１２
内に流れ込みあるいは逆に流れ出す。通常の方法によれ
ばレギュレータは、圧力がレギュレータのセッティング
４０４ｂを越えたときにキャビティ４１２からの圧力を
放出させるための大気に対する開口部４０４ａを有す
る。好ましい実施例によれば、流体は１７５７７〜７０
３０８kg/m2 （単位平方インチ当り２５〜１００ポン
ド）の圧力下にある空気である。これにより、試験ヘッ
ド−その重さは３４〜１３６kg（７５〜３００ポンド）
−を含むアームアセンブリ４０５の全重量を支持でき
る。この方法によれば、一定圧力の“気体スプリング”
が形成され、この結果位置決めアームアセンブリ４０５
は事実上重さのない状態となる。アセンブリ４０５の位
置を上又は下のいずれか一方に手動で動かそうとすると
き、圧力レギュレータ４０４により迅速に補償されるキ
ャビティ４１２内の流体体積は変化する。アセンブリ４
０５は３８．１〜５０．８cm（１５〜２０インチ）の間
を移動できることが好ましい。
【００３４】ピストン４０２内には、図１及び図８に示
されているものと同一の制動ロッド２２２ａを有するダ
ンパ２２０ａが配置されている。ダンパ２２０ａの上部
端は、アームアセンブリ４０５の上部プレート４２４に
接続されたベアリング４１８内の軸の首部である。この
方法によれば、ダンパ２２０ａはアセンブリ４０５を制
動させることができ、一方アセンブリはロッド２２２ａ
を逆方向に回転させない。
【００３５】アセンブリ４０５はアセンブリ３０と同様
であるが、更に簡素化されている。特にロッド４０２の
回転と垂直方向の動きを、図示するロックアセンブリ４
１６によりロックすることができる。ピストン４０２の
上部領域は、ベアリング据付けプレート４２８，４３０
が固着されている据付けブロック４２６にしっかりと固
着されている。プレート４２８はベアリングブロックの
外側表面４２８ａ，ｂに固着されており、同様にプレー
ト４３０もベアリングブロックの外側表面４３０ａ，ｂ
に固着されている。これらのブロックはそれぞれ、水平
シャフト４３２，４３４を支持するための直線状のベア
リングを有する。プレート４２８に設けられたロックブ
ロック４３７はシャフト４３２を支持し、ロックされた
ときにこれらの動きを阻止する。シャフト４３２，４３
４はこれらの左側端部で、アセンブリ１１０と同様のロ
ックアセンブリ４４３を有するリストベアリングブロッ
ク４４２を固定した状態で支持するリスト据付けプレー
ト４４０に接続されている。ロック４４２はこの内部領
域に、装置１０のアセンブリ３６，３８と同様のクレー
ドルアセンブリ３８ａを支持するリスト連結アセンブリ
３６ａを固定する。
【００３６】動作は装置１０のように、位置決め装置４
００のすべてのロックが開いており、従ってクレードル
アセンブリ３８ａを所望の位置に動かす。すなわち、ア
センブリ４０５はシリンダ４０３のまわりを回転し、シ
ャフト４３２，４３４により水平に回転し、そしてアセ
ンブリ４４２，３６ａ及び３８ａにより決定される他の
位置に動く。シャフト４３２，４３４により水平方向の
動きを与えることによって、前部アームシャフト９８の
必要性を除去し、なおかつ上述した６つの自由度のある
動きが可能である。所望の位置が得られたとき、各ロッ
ク４１６，４３７，４４３，３０６ｂ及びクレードル３
８ａのロックは所望の位置を維持するように駆動され
る。
【００３７】位置決め装置４００の変形例として、図１
２に位置決め装置４５０を示す。位置決め装置４５０
は、比較的軽い重量の試験ヘッドに適している。これ
は、ブロック４２９ａ，ｂ及び４５２に水平方向にジャ
ーナルされた単一のシャフト４３２ａを有する簡素な構
成となっている。ブロック４２９ａ，ｂ及び４５２は、
ピストン４０２により支持されている据付けブロック４
２６ａに支持され固着されている。シャフト４３２ａの
水平方向及び回転する動きは、ブロック４５２内の前述
したくさびロック装置５５ａによりロックされる。更
に、シャフト４３２ａの端はリストベアリングブロック
４４０ａにしっかりと固着されている。ブロック４４０
ａは、クレードルアセンブリ３８ｂを支持する簡単なリ
スト連結アセンブリ４６０を支持する。ロックは前述し
た方法によりブロック４４０ａ，４６０及びアセンブリ
３８ｂ内に与えられるのが適当である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による試験ヘッド位置決め装置の斜視図
である。
【図２】本発明による試験ヘッド位置決め装置の斜視図
である。
【図３】本発明による試験ヘッド位置決め装置の斜視図
である。
【図４】図３の断面図である。
【図５Ａ】ハンドラの機構プレートと試験ヘッドのドッ
キングを示す図１ないし図３の概略図である。
【図５Ｂ】機構プレートと試験ヘッドの詳細な構造の斜
視図である。
【図５Ｃ】機構プレートと試験ヘッドの詳細な構造の断
面図である。
【図６】図１ないし図３に示す装置の６つの自在性を示
す図である。
【図７】試験装置に横付けされた位置決め装置の取り付
けに関する本発明の他の実施例を示す図である。
【図８】図３の一部切り欠き斜視図である。
【図９】加圧されるシリンダが用いられる本発明の他の
実施例を示す図である。
【図１０】図１ないし図３の垂直柱が垂直シリンダ支持
チューブにより置き換えられた本発明の他の実施例の斜
視図である。
【図１１】図１ないし図３の垂直柱が垂直シリンダ支持
チューブにより置き換えられた本発明の他の実施例の斜
視図である。
【図１２】図１０及び図１１に示す垂直柱を持つ本発明
による他の実施例の斜視図である。
【符号の説明】
１０ 試験ヘッド位置決め装置 １１ 試験ヘッド １１ａ 試験コネクタ １１ｂ ガイドピン １５ 集積回路ハンドラ １５ａ ディバイス １７ 機構プレート ３０ 位置決めアームアセンブリ ３２ メインアームアセンブリ ３４ 前部アームアセンブリ ３６ リスト連結アセンブリ ３８ クレードルアセンブリ ４０ａ，ｂ 試験ヘッドアダプタプレート ５０ メインシャフト ５２，５３ 軸受けブロック ５５ ロック ６０ カウンタウェイトアセンブリ ６２ ウェイトキャリッジ ６５ａ，ｂ キャリッジシャフト ６８ａ，ｂ ケーブル ７２ａ，ｂ 滑車 ７４ シャフト ８０ リフトブロック ８６ 上部ベアリングブロック ８７ 下部ベアリングブロック ９５，９６ 軸受けブロック ９８ 垂直シャフト １００ 前部アーム １０６ 前部アームロックアセンブリ １１０ リスト連結ロックアセンブリ １２２ 下部ピボットピン １３１ アーム １３７ 肩ねじ １５０，１５２ くさび １５３ ロックハンドル ２０２ａ，ｂ ガセット ２０３ ピンハウジング ２０５ ドッキングアセンブリ ２０６ａ，ｂ カム従動ピン ２０７ ガイドピン据付け体 ２１０ カムアセンブリ ２１２ａ，ｂ 円筒状カム ２１４ 循環ケーブル ２１５ａ，ｂ ハンドル ２１６ａ，ｂ 側部ら線状溝 ２２２ａ 制動ロッド ２２６ スリーブ ２５１ 加圧シリンダ ２５２ ピストン ２５６ スロット ２５７ ポンプ ２５８ レギュレータ ３００ シャフト ３１０ 接続ハブ ４０４ レギュレータ ４０５ 位置決めアームアセンブリ ４０６ 圧力ゲージ ４１２ 流体キャビティ ４１６ ロックアセンブリ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 次の構成を有し、電子試験ヘッド（１
    １）と電子装置ハンドラ（１５）を、両者の電気接触手
    段（１１ａ、１５ｂ）が相互に合致するように、取付け
    又は取外す電子試験ヘッドと電子装置ハンドラとの取付
    け取外し装置；第１の電気接触手段（１１ａ）の少なく
    とも一方の側で装置ハンドラ（１５）に固定される少な
    くとも第１及び第２のガイドピン（１１ｂ、１１ｂ）、 第２の電気接触手段（１５ｂ）の少なくとも一方の側で
    試験ヘッド（１１）に固定され、第１及び第２のガイド
    開口（２０４ａ、ｂ）を有する少なくとも第１及び第２
    のブロック（２０２ａ、ｂ）、 第１及び第２のガイドピンに関し選択的に間隔をもつ少
    なくとも第１及び第２の配列構造（２１０、２１０）、 第１及び第２のガイド開口（２０４ａ、ｂ）は第１及び
    第２のガイドピン（１１ｂ、１１ｂ）に関して正確に配
    列されて、第１及び第２の電気接触手段（１１ａ、１５
    ｂ）の正確な合致を保証し、 電子試験ヘッド（１１）が装置ハンドラ（１５）に合体
    するために、ブロックを配列構造とガイドピンの間に正
    確に配列するように、第１及び第２のガイドピンが各々
    第１及び第２のガイド開口に受容されるまで、電子試験
    ヘッド（１１）が装置ハンドラ（１５）に関し移動する
    とき、第１及び第２のブロックに関し両者が接触するよ
    うに、第１及び第２の配列構造及び第１及び第２のガイ
    ドピンが位置決めされ、よって、電子試験ヘッド（１
    １）と装置ハンドラ（１５）との取付け及び第１及び第
    ２の接触手段（１１ａ、１５ｂ）と合致が行なわれ、 第１及び第２の配列構造の高さと第１及び第２のガイド
    ピンの高さは、第１接触手段と第２接触手段が前記精密
    配列が達成されるまでぶつかることを防止する高さであ
    り、第１及び第２の接触手段（１１ａ、１５ｂ）がこわ
    れるのが防止されることを特徴とする、電子試験ヘッド
    と電子装置ハンドラとの取付け取外し装置。
  2. 【請求項２】 次の構成を有し、電子試験ヘッド（１
    １）と電子装置ハンドラ（１５）を、両者の電気接触手
    段（１１ａ、１５ｂ）が相互に合致するように、取付け
    又は取外す電子試験ヘッドと電子装置ハンドラとの取付
    け取外し装置；第１の電気接触手段（１１ａ）の少なく
    とも一方の側で装置ハンドラ（１５）に固定され、第１
    及び第２のガイド開口（２０４ａ、ｂ）を有する、少な
    くとも第１及び第２のブロック（２０２ａ、ｂ）、 第２の電気接触手段（１５ｂ）の少なくとも一方の側で
    試験ヘッド（１１）に固定される、少なくとも第１及び
    第２のガイドピン（１１ｂ、１１ｂ）、 第１及び第２のガイドピンに関し選択的に間隔をもつ少
    なくとも第１及び第２の配列構造（２１０、２１０）、 第１及び第２のガイド開口（２０４ａ、ｂ）は第１及び
    第２のガイドピン（１１ｂ、１１ｂ）に関して正確に配
    列されて、第１及び第２の電気接触手段（１１ａ、１５
    ｂ）の正確な合致を保証し、 電子試験ヘッド（１１）が装置ハンドラ（１５）に合体
    するために、ブロックを配列構造とガイドピンの間に正
    確に配列するように、第１及び第２のガイドピンが各々
    第１及び第２のガイド開口に受容されるまで、電子試験
    ヘッド（１１）が装置ハンドラ（１５）に関し移動する
    とき、第１及び第２のブロックに関し両者が接触するよ
    うに、第１及び第２の配列構造及び第１及び第２のガイ
    ドピンが位置決めされ、よって、電子試験ヘッド（１
    １）と装置ハンドラ（１５）との取付け及び第１及び第
    ２の接触手段（１１ａ、１５ｂ）と合致が行なわれ、 第１及び第２の配列構造の高さと第１及び第２のガイド
    ピンの高さは、第１接触手段と第２接触手段が前記精密
    配列が達成されるまでぶつかることを防止する高さであ
    り、第１及び第２の接触手段（１１ａ、１５ｂ）がこわ
    れるのが防止されることを特徴とする、電子試験ヘッド
    と電子装置ハンドラとの取付け取外し装置。
  3. 【請求項３】 第１及び第２のブロック（２０２ａ、
    ｂ）が各々外側の細長の側表面を有し、 第１のガイドピン（１１ｂ）は第１のカムアセンブリ
    （２１２ａ）から離間して、その間の近接した空間に、
    対応する側表面と第１のガイド開口の間の第１のブロッ
    ク（２０２ａ）を受容し、 第２のガイドピン（１１ｂ）は第２のカムアセンブリ
    （２１２ｂ）から離間して、その間の近接した空間に、
    対応する側表面と第２のガイド開口の間の第２のブロッ
    ク（２０２ｂ）を受容し、 第１及び第２のガイドピン（１１ｂ）の高さと、対応す
    る第１及び第２のカムアセンブリ（２１２ａ、ｂ）の上
    部表面の高さとは、ほぼ同じであることを特徴とする、
    特許請求の範囲第１項又は第２項記載の電子試験ヘッド
    と電子装置ハンドラとの取付け取外し装置。
  4. 【請求項４】 第１及び第２の配列構造（２１０、２１
    ０）が、ヘッド（１１）とハンドラ（１５）を引きよせ
    押しはなすカム集合体（２１０、２１０）を有し、該カ
    ム集合体が、試験ヘッド又はハンドラの一方に回転可能
    に結合し、試験ヘッド又はハンドラの他方に固定される
    カムフォロアピン（２０６ａ、ｂ）を受容する、少なく
    とも２つのカム（２１２ａ、ｂ）をふくむことを特徴と
    する、特許請求の範囲第１項又は第２項記載の電子試験
    ヘッドと電子装置ハンドラとの取付け取外し装置。
  5. 【請求項５】 下記の場所で発生する誤配列からの保護
    が行なわれることを特徴とする特許請求の範囲第１項又
    は第２項記載の電子試験ヘッドと電子装置ハンドラとの
    取付け取外し装置； （ａ）第１のブロックと第２のブロック（２０２ａ、
    ｂ）の一方の幅、 （ｂ）第１及び第２のガイドピン（１１ｂ、１１ｂ）の
    一方の直径、 （ｃ）第１及び第２の配列構造（２１０、２１０）の一
    方の幅又は直径、 （ｄ）第１の配列ピン（１１ｂ）と第１の配列構造（２
    １０）の間の距離、又は、第２の配列ピン（１１ｂ）と
    第２の配列構造（２１０）の間の距離。
JP14519191A 1982-08-25 1991-05-22 電子試験ヘッドと電子装置ハンドラとの取付け取外し装置 Expired - Lifetime JP2513362B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/411,311 US4527942A (en) 1982-08-25 1982-08-25 Electronic test head positioner for test systems
US411311 1999-10-04

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58154237A Division JPS5960206A (ja) 1982-08-25 1983-08-25 試験装置用電子試験ヘツド位置決め装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05126903A true JPH05126903A (ja) 1993-05-25
JP2513362B2 JP2513362B2 (ja) 1996-07-03

Family

ID=23628432

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58154237A Granted JPS5960206A (ja) 1982-08-25 1983-08-25 試験装置用電子試験ヘツド位置決め装置
JP14519091A Expired - Lifetime JPH06100634B2 (ja) 1982-08-25 1991-05-22 試験装置用電子試験ヘッド位置決め装置
JP14519191A Expired - Lifetime JP2513362B2 (ja) 1982-08-25 1991-05-22 電子試験ヘッドと電子装置ハンドラとの取付け取外し装置

Family Applications Before (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58154237A Granted JPS5960206A (ja) 1982-08-25 1983-08-25 試験装置用電子試験ヘツド位置決め装置
JP14519091A Expired - Lifetime JPH06100634B2 (ja) 1982-08-25 1991-05-22 試験装置用電子試験ヘッド位置決め装置

Country Status (3)

Country Link
US (2) US4527942A (ja)
JP (3) JPS5960206A (ja)
KR (1) KR870001754B1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011528124A (ja) * 2008-07-14 2011-11-10 インテスト コーポレイション テストヘッド結合システムおよび結合方法

Families Citing this family (91)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60193407U (ja) * 1984-06-02 1985-12-23 東陶機器株式会社 直角測定器
US4715574A (en) * 1985-11-12 1987-12-29 Intest Corporation Safety lock for materials handling system
DE3615941A1 (de) * 1986-05-12 1987-11-19 Willberg Hans Heinrich Geraet zum pruefen von elektronischen bauelementen, insbesondere ic's
DE3638430A1 (de) * 1986-11-11 1988-05-19 Multitest Elektronische Syst Vorrichtung zum testen und sortieren von elektronischen bauelementen, insbesondere ic's
DE3638991A1 (de) * 1986-11-14 1988-05-19 Focke & Co Foerdereinrichtung, insbesondere palettierer
US4884938A (en) * 1986-12-01 1989-12-05 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Apparatus for handling large-sized articles
US4840366A (en) * 1987-08-27 1989-06-20 Graham Engineering Corporation In-mold labeling apparatus and method
ES2016967B3 (es) * 1987-11-30 1990-12-16 Magcon Beheer B V Sistema de almacenaje para paletas
US4893074A (en) * 1988-05-13 1990-01-09 Intest Corporation Electronic device testing system
DE3912589A1 (de) * 1989-04-17 1990-10-25 Ekkehard Ueberreiter Einrichtung zum testen von elektronischen bauelementen mit einer ladestation, einer teststation und eine entladestation fuer die bauelemente
DE4007011C2 (de) * 1990-03-06 1999-11-18 Helmuth Heigl Positioniervorrichtung
US5030869A (en) * 1990-07-25 1991-07-09 Intest Corporation Device testing system with cable pivot
US5123803A (en) * 1990-09-11 1992-06-23 Crabtree George F Stern drive handling device
US5241870A (en) * 1991-07-22 1993-09-07 Intest Corporation Test head manipulator
US5321453A (en) * 1991-08-03 1994-06-14 Tokyo Electron Limited Probe apparatus for probing an object held above the probe card
US5600258A (en) * 1993-09-15 1997-02-04 Intest Corporation Method and apparatus for automated docking of a test head to a device handler
US6057695A (en) * 1993-09-15 2000-05-02 Intest Corporation Method and apparatus for automated docking of a test head to a device handler
US5440943A (en) * 1993-09-15 1995-08-15 Intest Corporation Electronic test head manipulator
US5744974A (en) * 1993-09-17 1998-04-28 Xilinx, Inc. Test head interface with vacuum-activated interconnection components
US5379646A (en) * 1993-09-20 1995-01-10 General Motors Corporation Seatback load applying device
US5561386A (en) * 1994-02-23 1996-10-01 Fujitsu Limited Chip tester with improvements in handling efficiency and measurement precision
US5982182A (en) * 1994-09-01 1999-11-09 Chiu; Michael A. Interface apparatus for automatic test equipment with positioning modules incorporating kinematic surfaces
US5664932A (en) * 1994-09-20 1997-09-09 Long-Airdox Company Pivoted lifting device
KR960019641A (ko) * 1994-11-24 1996-06-17 오우라 히로시 테스트·헤드 접속 장치를 장비한 반도체 시험 장치
ATE205303T1 (de) * 1995-02-23 2001-09-15 Aesop Inc Manipulator für einen testkopf einer automatischen testanlage
US5912555A (en) 1995-04-10 1999-06-15 Tokyo Electron Limited Probe apparatus
US5608334A (en) * 1995-04-20 1997-03-04 Intest Corporation Device testing system with cable pivot and method of installation
DE19517330C2 (de) * 1995-05-11 2002-06-13 Helmuth Heigl Handhabungsvorrichtung
US5606262A (en) * 1995-06-07 1997-02-25 Teradyne, Inc. Manipulator for automatic test equipment test head
US5656942A (en) * 1995-07-21 1997-08-12 Electroglas, Inc. Prober and tester with contact interface for integrated circuits-containing wafer held docked in a vertical plane
US5765273A (en) * 1995-09-22 1998-06-16 Black & Decker Inc. Drill press having pivotable table
US5654631A (en) * 1995-11-15 1997-08-05 Xilinx, Inc. Vacuum lock handler and tester interface for semiconductor devices
US6023173A (en) * 1997-04-30 2000-02-08 Credence Systems Corporation Manipulator with expanded range of motion
DE19718398B4 (de) * 1997-04-30 2006-02-02 Heigl, Helmuth, Dr.-Ing. Handhabungsvorrichtung
DE29709122U1 (de) * 1997-05-23 1998-09-24 Upat Max Langensiepen Kg Vorrichtung zum Einschrauben von Befestigungselementen
JP3754540B2 (ja) * 1997-10-17 2006-03-15 蛇の目ミシン工業株式会社 多関節ロボットにおけるｚ方向機台のバネバランス調整装置
US6271658B1 (en) 1998-10-19 2001-08-07 St Assembly Test Services Pte, Ltd. Universal Docking System
MY138984A (en) * 2000-03-01 2009-08-28 Intest Corp Vertical counter balanced test head manipulator
US6396257B1 (en) * 2000-04-26 2002-05-28 Credence Systems Corporation Test head manipulator for semiconductor tester with manual assist for vertical test head movement
US6408500B1 (en) * 2000-09-15 2002-06-25 James Orsillo Method of retrofitting a probe station
EP1712923B1 (en) 2000-09-22 2013-05-15 inTEST Corporation Apparatus and method for balancing and for providing a compliant range to a test head
MY127154A (en) * 2000-09-22 2006-11-30 Intest Corp Apparatus and method for balancing and for providing a compliant range to a test head
DE20114544U1 (de) * 2000-12-04 2002-02-21 Cascade Microtech Inc Wafersonde
DE10122049B4 (de) * 2001-05-07 2004-08-19 Heigl, Helmuth, Dr.-Ing. Vorrichtung zum Verriegeln von zwei miteinander zu koppelnden Einrichtungen, insbesondere eines Testkopfs und einer Prüfeinrichtung
AU2002355083A1 (en) * 2001-07-16 2003-03-03 Intest Ip Corp. Test head docking system and method
US6766996B1 (en) 2001-07-16 2004-07-27 Reid-Ashman Manufacturing, Inc. Manipulator
US6897645B2 (en) 2001-12-29 2005-05-24 Vincent Hing Chung So Docking system and method for docking in automated testing systems
US6646431B1 (en) 2002-01-22 2003-11-11 Elite E/M, Inc. Test head manipulator
US6688838B2 (en) * 2002-03-04 2004-02-10 Applied Materials, Inc. Cleanroom lift having an articulated arm
CN1646925A (zh) 2002-04-15 2005-07-27 因泰斯特Ip公司 测试头定位器系统
KR100864916B1 (ko) * 2002-05-23 2008-10-22 캐스케이드 마이크로테크 인코포레이티드 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 프로브
JP4511354B2 (ja) * 2002-10-02 2010-07-28 インテスト コーポレイション テストヘッドを位置決めするための位置決め装置、テストヘッドを位置決めする方法、および電子テストシステムのテストヘッドのための位置決め装置
JP4791350B2 (ja) * 2003-01-28 2011-10-12 インテスト コーポレイション テストヘッドの位置決め用リストジョイント
US6833696B2 (en) * 2003-03-04 2004-12-21 Xandex, Inc. Methods and apparatus for creating a high speed connection between a device under test and automatic test equipment
US7057404B2 (en) 2003-05-23 2006-06-06 Sharp Laboratories Of America, Inc. Shielded probe for testing a device under test
EP1947466B1 (en) 2003-08-06 2012-07-04 inTEST Corporation Test head positioning system
KR20060057603A (ko) * 2003-08-06 2006-05-26 인테스트 코포레이션 테스트 헤드 위치지정 시스템
DE20317541U1 (de) * 2003-10-08 2005-02-17 Rotwerk Elektrowerkzeuge Und Handelsmarketing Beteiligungsgesellschaft Mbh Klemmer
KR100960496B1 (ko) * 2003-10-31 2010-06-01 엘지디스플레이 주식회사 액정표시소자의 러빙방법
US7427868B2 (en) 2003-12-24 2008-09-23 Cascade Microtech, Inc. Active wafer probe
JP2008512680A (ja) 2004-09-13 2008-04-24 カスケード マイクロテック インコーポレイテッド 両面プロービング構造体
WO2006132938A2 (en) 2005-06-03 2006-12-14 Steel Case Development Corporation Support arm assembly
US7312604B2 (en) * 2005-07-29 2007-12-25 Nextest Systems Corporation Portable manipulator for stackable semiconductor test system
US8607935B2 (en) 2005-12-20 2013-12-17 Intuitive Surgical Operations, Inc. Guide systems for laminated spring assemblies
JP2007184374A (ja) * 2006-01-05 2007-07-19 King Yuan Electronics Co Ltd 自動昇降操作装置
US20070176615A1 (en) * 2006-01-27 2007-08-02 Xandex, Inc. Active probe contact array management
US20070234549A1 (en) * 2006-03-17 2007-10-11 General Electric Company Braze/weld manipulator and method of manipulating nozzles
US7723999B2 (en) 2006-06-12 2010-05-25 Cascade Microtech, Inc. Calibration structures for differential signal probing
US7403028B2 (en) * 2006-06-12 2008-07-22 Cascade Microtech, Inc. Test structure and probe for differential signals
US7764072B2 (en) 2006-06-12 2010-07-27 Cascade Microtech, Inc. Differential signal probing system
TWI439709B (zh) * 2006-12-29 2014-06-01 Intest Corp 用於使負載沿平移軸線平移之操縱器與負載定位系統
EP2104862B1 (en) * 2006-12-29 2012-08-08 inTEST Corporation Test head positioning system and method
SG178722A1 (en) * 2007-02-23 2012-03-29 Intest Corp Test head manipulator
US7876114B2 (en) 2007-08-08 2011-01-25 Cascade Microtech, Inc. Differential waveguide probe
US7847570B2 (en) * 2007-10-19 2010-12-07 Teradyne, Inc. Laser targeting mechanism
US7733081B2 (en) * 2007-10-19 2010-06-08 Teradyne, Inc. Automated test equipment interface
US8212578B1 (en) 2008-03-17 2012-07-03 Intest Corporation Test head positioner system
US8191487B2 (en) * 2009-02-25 2012-06-05 Humanscale Corporation Wall-mounted accessory holder
US8099184B2 (en) * 2009-04-13 2012-01-17 Rimrock Automation, Inc. Load compensation for robotic applications
US8981807B2 (en) * 2010-07-27 2015-03-17 Intest Corporation Positioner system and method of positioning
CN102147270A (zh) * 2010-12-22 2011-08-10 苏州新长光热能科技有限公司 工业用光电传感器安装支架
WO2013009817A1 (en) 2011-07-12 2013-01-17 Intest Corporation Method and apparatus for docking a test head with a peripheral
US8702049B2 (en) * 2012-09-10 2014-04-22 Benedict Vieira Ergonomic space-saving customizable workstation
CN102853949A (zh) * 2012-09-21 2013-01-02 陕西科技大学 一种金属件剪切力测量装置
CN103624776A (zh) * 2013-12-23 2014-03-12 镇江艾科半导体有限公司 控制测试头在xy平面内精确运动定位的机械手臂
US10094854B2 (en) * 2015-10-23 2018-10-09 Teradyne, Inc. Manipulator in automatic test equipment
CA2923047C (en) * 2016-03-08 2023-06-27 Darcy Goossen Device for handling tires
FR3049040B1 (fr) * 2016-03-18 2019-01-25 Erard Systeme support pour ecran plat et procede de mise en oeuvre
CN106429960B (zh) * 2016-11-09 2019-06-07 上海卫星装备研究所 一种新型六自由度卫星侧板安装设备
CN107718037B (zh) * 2017-09-28 2021-05-04 南京双京电博特种机器人产业研究院有限公司 一种关节机器人的平衡装置
US10751888B2 (en) * 2018-10-04 2020-08-25 Advanced Intelligent Systems Inc. Manipulator apparatus for operating on articles

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56102482U (ja) * 1979-12-29 1981-08-11
JPS575471A (en) * 1980-06-12 1982-01-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd Synchronism separator

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2697529A (en) * 1951-02-27 1954-12-21 John P Hubbell Apparatus for handling frangible articles by remote control
US3262593A (en) * 1963-07-10 1966-07-26 Gen Mills Inc Wall-mounted support structure
US3791052A (en) * 1970-01-26 1974-02-12 Lely Nv C Van Der Tractor comprising a pivotable driver seat
US3665148A (en) * 1971-04-07 1972-05-23 Gen Motors Corp Six-axis manipulator
DE2226407C3 (de) * 1972-05-31 1978-10-12 Industrie-Werke Karlsruhe Augsburg Ag, 7500 Karlsruhe Gerät zur maschinellen, durch veränderbare Programme steuerbaren Handreichung
US3873148A (en) * 1972-12-27 1975-03-25 Caterpillar Tractor Co Vehicle frame
JPS50120856A (ja) * 1974-03-09 1975-09-22
US3884365A (en) * 1974-03-19 1975-05-20 Thomson Ind Inc Workpiece manipulator
SE416452B (sv) * 1975-06-16 1981-01-05 Asea Ab Industrirobot
FR2352640A1 (fr) * 1976-05-24 1977-12-23 Bretagne Atel Chantiers Telemanipulateur a faible encombrement
DE2630857A1 (de) * 1976-07-09 1978-01-12 Volkswagenwerk Ag Handhabungsautomat
US4062455A (en) * 1976-11-22 1977-12-13 Flatau Carl R Remote manipulator
US4132318A (en) * 1976-12-30 1979-01-02 International Business Machines Corporation Asymmetric six-degree-of-freedom force-transducer system for a computer-controlled manipulator system
DE2861285D1 (en) * 1977-10-20 1982-01-14 Ici Plc An industrial manipulator for placing articles in close proximity to adjacent articles and a method of close packing articles therewith
JPS571116Y2 (ja) * 1978-01-31 1982-01-08
JPS6055003B2 (ja) * 1978-05-29 1985-12-03 大阪機工株式会社 三次元形状測定装置
US4303368A (en) * 1978-09-18 1981-12-01 Westinghouse Electric Corp. Remote docking apparatus
FR2451807A1 (fr) * 1979-03-22 1980-10-17 Renault Manipulateur six axes
US4264266A (en) * 1979-04-20 1981-04-28 Tl Systems Corporation Manipulator apparatus
US4317560A (en) * 1979-12-26 1982-03-02 Troyer Wade E Work manipulator
GB2074337B (en) * 1980-04-15 1983-11-16 Univ Technology Adjustable support for an optical or other instrument
JPS5773601A (en) * 1980-10-27 1982-05-08 Mitsutoyo Mfg Co Ltd Balance device of measuring machine
DE3048045C2 (de) * 1980-12-19 1984-12-06 Mora Fabrik für Meßgeräte Helmut Freund GmbH, 8750 Aschaffenburg Höhenmeß- und Anreißgerät mit einer von einem Gerätefuß aufragenden Gerätesäule
US4389155A (en) * 1981-05-11 1983-06-21 Absher Charles A Tractor scoop mechanism

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56102482U (ja) * 1979-12-29 1981-08-11
JPS575471A (en) * 1980-06-12 1982-01-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd Synchronism separator

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011528124A (ja) * 2008-07-14 2011-11-10 インテスト コーポレイション テストヘッド結合システムおよび結合方法
US8760182B2 (en) 2008-07-14 2014-06-24 Intest Corporation Test head docking system and method with sliding linkage

Also Published As

Publication number Publication date
US4589815A (en) 1986-05-20
JP2513362B2 (ja) 1996-07-03
KR840005699A (ko) 1984-11-15
JPS5960206A (ja) 1984-04-06
JPH06100634B2 (ja) 1994-12-12
JPH0461281B2 (ja) 1992-09-30
KR870001754B1 (ko) 1987-10-06
JPH05126902A (ja) 1993-05-25
US4527942A (en) 1985-07-09
US4589815B1 (en) 1998-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2513362B2 (ja) 電子試験ヘッドと電子装置ハンドラとの取付け取外し装置
US4705447A (en) Electronic test head positioner for test systems
US5149029A (en) Electronic test head positioner for test systems
KR100240476B1 (ko) 전자테스트헤드의위치조정장치
EP0102217B1 (en) Electronic test head positioner for test systems
US5606262A (en) Manipulator for automatic test equipment test head
US4588346A (en) Positioner for maintaining an object in a substantially weightless condition
EP0811167B1 (en) Manipulator for automatic test equipment test head
EP0237698A2 (en) Electronic test head positioner for test systems
CN102865887A (zh) 光电仪器全地形架设调校装置
CN108466280B (zh) 可调式设备夹持装置
EP0237697A2 (en) Electronic test head positioner for test systems
US20060156850A1 (en) Test head positioning apparatus
EP1216420B1 (en) Integrated test cell
US6722215B2 (en) Manipulator apparatus with low-cost compliance
JPH02163677A (ja) プローブカード装置
JP4443937B2 (ja) テスター位置決めについてコンプライアンスを有する自動試験システム及びそれを作動させる方法
KR0180610B1 (ko) 프로브카드 검사기
JPH02165075A (ja) テスタヘッド搭載スタンド
CN216206115U (zh) 一种用于安装仪表横梁检具的工装架
US20070213847A1 (en) Apparatus for, and method of, positioning an interface unit of an automatic test system
SU1456807A1 (ru) Стенд дл испытани объекта на комплексное воздействие поступательной и угловой вибрации
CN108827215A (zh) 一种电动泵泵壳内径尺寸检测设备
JPS61232630A (ja) 電子部品の検査装置
JPS6361971A (ja) テストヘツド架台

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19950207

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19960312