JP2581657Y2 - Ｅｂテスタ用マニュピレータ構造 - Google Patents
Ｅｂテスタ用マニュピレータ構造Info
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- JP2581657Y2 JP2581657Y2 JP1993060688U JP6068893U JP2581657Y2 JP 2581657 Y2 JP2581657 Y2 JP 2581657Y2 JP 1993060688 U JP1993060688 U JP 1993060688U JP 6068893 U JP6068893 U JP 6068893U JP 2581657 Y2 JP2581657 Y2 JP 2581657Y2
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- Japan
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- electron beam
- tester
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、１台のマニュピレー
タで、複数のテストヘッドに移動させるとき、移動時の
安定確保と、マニュピレータの設置空間の無駄を少なく
する構造に関する。
タで、複数のテストヘッドに移動させるとき、移動時の
安定確保と、マニュピレータの設置空間の無駄を少なく
する構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】まず、図６のマニュピレータとテストヘ
ッドとの配置例と、図７の従来のマニュピレータの回転
移動を示す図を示して、従来の概要を説明する。まず、
マニュピレータ３１とは、半導体検査装置の一つである
ＥＢテスタに使用し、電子ビーム・カラム３３を移動
し、保持し、テストヘッド２１に接続する機構を有する
ものである。また、テストヘッドとは、ＩＣテスタ側か
ら、このテストヘッド内にＤＵＴ（表面パッケージを露
出させた被試験デバイスや、シリコン・チップそのも
の）を収容し電気接続し、試験パターンを印加して各種
の試験、評価測定に供するものである。
ッドとの配置例と、図７の従来のマニュピレータの回転
移動を示す図を示して、従来の概要を説明する。まず、
マニュピレータ３１とは、半導体検査装置の一つである
ＥＢテスタに使用し、電子ビーム・カラム３３を移動
し、保持し、テストヘッド２１に接続する機構を有する
ものである。また、テストヘッドとは、ＩＣテスタ側か
ら、このテストヘッド内にＤＵＴ（表面パッケージを露
出させた被試験デバイスや、シリコン・チップそのも
の）を収容し電気接続し、試験パターンを印加して各種
の試験、評価測定に供するものである。
【０００３】また、ＥＢテスタ用のテストヘッド２１に
は、真空にする為の真空チャンバー構造を有していて、
相手方の電子ビーム・カラム３３と接続した後、真空引
きされる。電子ビーム・カラム３３には、外部及び内蔵
の複数の真空ポンプ（ロータリー・ポンプ、ターボ・モ
レキュラ・ポンプ、イオン・ゲッタ・ポンプ）により真
空にした後、電子ビームを被試験デバイスに与えて各種
検査を実施するものである。また、高圧の電子ビームの
偏向発生制御回路等も搭載されている為に、かなりの重
量になり、例えば８０Ｋｇにもなる。これを保持移動す
る為のマニュピレータ本体の重量は、例えば５００Ｋｇ
にもなる。
は、真空にする為の真空チャンバー構造を有していて、
相手方の電子ビーム・カラム３３と接続した後、真空引
きされる。電子ビーム・カラム３３には、外部及び内蔵
の複数の真空ポンプ（ロータリー・ポンプ、ターボ・モ
レキュラ・ポンプ、イオン・ゲッタ・ポンプ）により真
空にした後、電子ビームを被試験デバイスに与えて各種
検査を実施するものである。また、高圧の電子ビームの
偏向発生制御回路等も搭載されている為に、かなりの重
量になり、例えば８０Ｋｇにもなる。これを保持移動す
る為のマニュピレータ本体の重量は、例えば５００Ｋｇ
にもなる。
【０００４】複数台のテストヘッド２１をマニュピレー
タの回りに配置した状態において、電子ビーム・カラム
３３を各テストヘッド上に移動する動作について説明す
る。図６において、電子ビーム・カラム３３をテストヘ
ッドから切り放すために上に移動し、次に、図７の移動
例のように、アーム３２を＋９０度（又は−９０度）回
転移動して、次の別のテストヘッド上まで移動（３３
ａ、３３ｂ）する。その後、アーム３２を下げて別のテ
ストヘッドに接続する。
タの回りに配置した状態において、電子ビーム・カラム
３３を各テストヘッド上に移動する動作について説明す
る。図６において、電子ビーム・カラム３３をテストヘ
ッドから切り放すために上に移動し、次に、図７の移動
例のように、アーム３２を＋９０度（又は−９０度）回
転移動して、次の別のテストヘッド上まで移動（３３
ａ、３３ｂ）する。その後、アーム３２を下げて別のテ
ストヘッドに接続する。
【０００５】ところで、本マニュピレータ装置は、一般
に床（フロア）にアンカー・ボルト等にて固定すること
は行われない。本装置には、電子ビーム・カラム３３の
中心４１を相手のテストヘッド２１の中心とを合わせる
為に、アーム３２はかなり張り出している。この為に、
これらの重量とバランスをとる必要があり、カウンタ・
ウエイト３４をマニュピレータ３１の後部下側に設けて
いる。このカウンタ・ウエイトは、搭載する電子ビーム
・カラム３３の重量に応じて変えられるように、単位重
量錘（例えば１０Ｋｇ単位）を増減して調節できる。
に床（フロア）にアンカー・ボルト等にて固定すること
は行われない。本装置には、電子ビーム・カラム３３の
中心４１を相手のテストヘッド２１の中心とを合わせる
為に、アーム３２はかなり張り出している。この為に、
これらの重量とバランスをとる必要があり、カウンタ・
ウエイト３４をマニュピレータ３１の後部下側に設けて
いる。このカウンタ・ウエイトは、搭載する電子ビーム
・カラム３３の重量に応じて変えられるように、単位重
量錘（例えば１０Ｋｇ単位）を増減して調節できる。
【０００６】一方、このカウンタ・ウエイト３４は、固
定された位置にある。この為、電子ビーム・カラム３３
が左右９０度移動した状態でも同様に倒れないようにす
る為に、かなりの重り（例えば２００Ｋｇ）を必要とし
ている。また、このカウンタ・ウエイト３４とともに、
スタンド３６の張り出しを長く（３６ａ）、幅広く（３
６ｂ、３６ｃ）している。これによって、重心位置のず
れに対して、マニュピレータ３１の転倒を防止対策した
構造にしている。
定された位置にある。この為、電子ビーム・カラム３３
が左右９０度移動した状態でも同様に倒れないようにす
る為に、かなりの重り（例えば２００Ｋｇ）を必要とし
ている。また、このカウンタ・ウエイト３４とともに、
スタンド３６の張り出しを長く（３６ａ）、幅広く（３
６ｂ、３６ｃ）している。これによって、重心位置のず
れに対して、マニュピレータ３１の転倒を防止対策した
構造にしている。
【０００７】しかし、上記説明の構造の結果、長いスタ
ンド３６が邪魔して、マニュピレータ３１とテストヘッ
ド２１の距離（図６の４２）が離れてしまう。このこと
は、更にアーム３２の張りだしを長くする必要があり、
さらにバランスが悪くなり、結果として、さらに多くの
錘をカウンタ・ウエイト３４に搭載する必要ともなって
いる。
ンド３６が邪魔して、マニュピレータ３１とテストヘッ
ド２１の距離（図６の４２）が離れてしまう。このこと
は、更にアーム３２の張りだしを長くする必要があり、
さらにバランスが悪くなり、結果として、さらに多くの
錘をカウンタ・ウエイト３４に搭載する必要ともなって
いる。
【０００８】
【考案が解決しようとする課題】上記の説明のように、
従来では、長く幅広く張りだしたスタンド３６構造が必
要であり、これが邪魔して、結果として設置面積を広く
必要としている状況にあった。また、電子ビーム・カラ
ム３３の重量とバランスを取る重りの重量を間違えて軽
くした場合では、アーム３２の回転時や地震等で転倒し
かねないことにもなりかねない。この為、安全の為に、
余裕をもった多くの錘を積載している。この為装置全体
の重量がかなり重くなってしまう。
従来では、長く幅広く張りだしたスタンド３６構造が必
要であり、これが邪魔して、結果として設置面積を広く
必要としている状況にあった。また、電子ビーム・カラ
ム３３の重量とバランスを取る重りの重量を間違えて軽
くした場合では、アーム３２の回転時や地震等で転倒し
かねないことにもなりかねない。この為、安全の為に、
余裕をもった多くの錘を積載している。この為装置全体
の重量がかなり重くなってしまう。
【０００９】そこで、本考案が解決しようとする課題
は、電子ビーム・カラム３３の重量とバランスを取るカ
ウンタ・ウエイトを、同様に移動する構造にして、常に
バランス状態を保った状態で移動させて、重心位置が安
定なような構造にすることを目的とする。また、スタン
ド３６の張りだしを最小限に押さえて、設置面積を最小
にし、かつ、必要以上の錘の搭載をなくして、装置全体
の軽量化を実現することを解決目的とする。
は、電子ビーム・カラム３３の重量とバランスを取るカ
ウンタ・ウエイトを、同様に移動する構造にして、常に
バランス状態を保った状態で移動させて、重心位置が安
定なような構造にすることを目的とする。また、スタン
ド３６の張りだしを最小限に押さえて、設置面積を最小
にし、かつ、必要以上の錘の搭載をなくして、装置全体
の軽量化を実現することを解決目的とする。
【００１０】
【課題を解決する為の手段】（請求項１の解決手段） 上記課題を解決するために、本考案の構成では、図１の
ように、電子ビーム・カラム１３をマニュピレータ１１
上に収容する横回転機構１６を設ける。そして、回転移
動するマニュピレータ１１には、当該電子ビーム・カラ
ムの重力をバランスする為のカウンタ・ウエイト１５を
設けて、どの方向に移動しても、常に、電子ビーム・カ
ラム１３との重力バランス関係を保つ構造としている。
ように、電子ビーム・カラム１３をマニュピレータ１１
上に収容する横回転機構１６を設ける。そして、回転移
動するマニュピレータ１１には、当該電子ビーム・カラ
ムの重力をバランスする為のカウンタ・ウエイト１５を
設けて、どの方向に移動しても、常に、電子ビーム・カ
ラム１３との重力バランス関係を保つ構造としている。
【００１１】（請求項２の解決手段） また、上記構造の横回転機構１６の代わりに、図３のよ
うに、縦回転機構１７を設けて、電子ビーム・カラム１
３を収容する構造として、同様に重力バランス関係を保
ったマニュピレータ構造がある。
うに、縦回転機構１７を設けて、電子ビーム・カラム１
３を収容する構造として、同様に重力バランス関係を保
ったマニュピレータ構造がある。
【００１２】
【００１３】（請求項３の解決手段） また、上記構造の横回転機構１６の代わりに、図５のよ
うに、パンタグラフ１９を設けて、電子ビーム・カラム
１３を収容する構造として、同様に重力バランス関係を
保ったマニュピレータ構造がある。
うに、パンタグラフ１９を設けて、電子ビーム・カラム
１３を収容する構造として、同様に重力バランス関係を
保ったマニュピレータ構造がある。
【００１４】
【作用】バランス用のカウンタ・ウエイト１５を移動す
るマニュピレータ１１に内蔵する構造としたことで、常
に、電子ビーム・カラム１３との重力バランスを維持す
る作用がある。電子ビーム・カラム１３を収容する機構
を設けたことで、移動中の、重心安定性を容易にする働
きがある。
るマニュピレータ１１に内蔵する構造としたことで、常
に、電子ビーム・カラム１３との重力バランスを維持す
る作用がある。電子ビーム・カラム１３を収容する機構
を設けたことで、移動中の、重心安定性を容易にする働
きがある。
【００１５】
【実施例】（実施例１） 本考案の実施例について、図１の本考案の横回転機構に
よるマニュピレータ構造図と、図２の本考案の横回転機
構による電子ビーム・カラムの移動説明図、を参照して
説明する。本実施例の、実施概要を説明する。本実施例
は、電子ビーム・カラム１３をマニュピレータ１１上に
横回転機構１６で横回転移動させて、重心位置をマニュ
ピレータ上に移動させて安定な状態にし、次に、マニュ
ピレータ１１全体を所要の方向に回転させる。最後に収
容していた電子ビーム・カラム１３を横回転機構１６
で、もとに出す手順で移動を実施する。そして、カウン
タ・ウエイト１５は、マニュピレータ１１下部に内蔵し
ているので、同様に移動する。これにより、常に電子ビ
ーム・カラム１３とバランスする位置にカウンタ・ウエ
イト１５も移動する構造としている。
よるマニュピレータ構造図と、図２の本考案の横回転機
構による電子ビーム・カラムの移動説明図、を参照して
説明する。本実施例の、実施概要を説明する。本実施例
は、電子ビーム・カラム１３をマニュピレータ１１上に
横回転機構１６で横回転移動させて、重心位置をマニュ
ピレータ上に移動させて安定な状態にし、次に、マニュ
ピレータ１１全体を所要の方向に回転させる。最後に収
容していた電子ビーム・カラム１３を横回転機構１６
で、もとに出す手順で移動を実施する。そして、カウン
タ・ウエイト１５は、マニュピレータ１１下部に内蔵し
ているので、同様に移動する。これにより、常に電子ビ
ーム・カラム１３とバランスする位置にカウンタ・ウエ
イト１５も移動する構造としている。
【００１６】これについて、図１と図２を示して具体的
に順次説明する。まず、マニュピレータ本体を、上部の
マニュピレータ１１と下部のマニュピレータ（１２）と
に２分割している。そして、上部のマニュピレータＡに
は、カウンタ・ウエイト１５を内蔵して、一緒に回転移
動できる構造としていて、移動後においても常に、電子
ビーム・カラム１３との重力バランスを保つことができ
る構造に改善されている。他方、マニュピレータＢは、
回転機構の固定台としている。
に順次説明する。まず、マニュピレータ本体を、上部の
マニュピレータ１１と下部のマニュピレータ（１２）と
に２分割している。そして、上部のマニュピレータＡに
は、カウンタ・ウエイト１５を内蔵して、一緒に回転移
動できる構造としていて、移動後においても常に、電子
ビーム・カラム１３との重力バランスを保つことができ
る構造に改善されている。他方、マニュピレータＢは、
回転機構の固定台としている。
【００１７】次に、移動時には、垂直移動６０で持ち上
げてテストヘッド２１から外した後、電子ビーム・カラ
ム１３を横回転機構１６により、回転軸１４を中心にし
て横回転移動６１させて、マニュピレータ上に収容して
重心位置を安定な状態にする。（図２ａ参照）次に、マ
ニュピレータ１１全体を所要の方向に回転５２させる。
（図２ｂ参照）最後に、収容していた電子ビーム・カラ
ム１３を横回転機構１６でもとに戻して移動完了する。
（図２ｃ参照）この移動結果においても、カウンタ・ウ
エイト１５は、マニュピレータ１１に内蔵しているの
で、同様に移動され、常に電子ビーム・カラム１３とバ
ランスする位置に存在し、バランスを保って安定状態に
ある。
げてテストヘッド２１から外した後、電子ビーム・カラ
ム１３を横回転機構１６により、回転軸１４を中心にし
て横回転移動６１させて、マニュピレータ上に収容して
重心位置を安定な状態にする。（図２ａ参照）次に、マ
ニュピレータ１１全体を所要の方向に回転５２させる。
（図２ｂ参照）最後に、収容していた電子ビーム・カラ
ム１３を横回転機構１６でもとに戻して移動完了する。
（図２ｃ参照）この移動結果においても、カウンタ・ウ
エイト１５は、マニュピレータ１１に内蔵しているの
で、同様に移動され、常に電子ビーム・カラム１３とバ
ランスする位置に存在し、バランスを保って安定状態に
ある。
【００１８】この結果、移動中、移動後においても、重
心位置はマニュピレータの中心近辺から外れることがな
く安定となる。結果として、従来のように、大きく張り
だしたスタンド３６が不要となり、マニュピレータ本体
底辺の設置面積を小さくできることとなる。このこと
は、テストヘッド２１との距離を狭くできることにもな
り、従来よりも一段とアーム３２が短くできることとな
り、電子ビーム・カラム１３がマニュピレータＡに近ず
いて、バランス用のカウンタ・ウエイト１５の重量錘の
使用量も少なくて済むことにもなる。
心位置はマニュピレータの中心近辺から外れることがな
く安定となる。結果として、従来のように、大きく張り
だしたスタンド３６が不要となり、マニュピレータ本体
底辺の設置面積を小さくできることとなる。このこと
は、テストヘッド２１との距離を狭くできることにもな
り、従来よりも一段とアーム３２が短くできることとな
り、電子ビーム・カラム１３がマニュピレータＡに近ず
いて、バランス用のカウンタ・ウエイト１５の重量錘の
使用量も少なくて済むことにもなる。
【００１９】（実施例２） 図３が本実施例である。実施例１と異なる部分は、横回
転機構１６の代わりに縦回転機構１７を設けた構成とし
たものである。収納方法は、回転軸７１を中心にして上
方向に回転６２持ち上げる構造である。他のマニュピレ
ータ１１、１２や垂直移動７２やカウンタ・ウエイト１
５については、実施例１と同様である。
転機構１６の代わりに縦回転機構１７を設けた構成とし
たものである。収納方法は、回転軸７１を中心にして上
方向に回転６２持ち上げる構造である。他のマニュピレ
ータ１１、１２や垂直移動７２やカウンタ・ウエイト１
５については、実施例１と同様である。
【００２０】（実施例３） 図４が本実施例である。実施例１と異なる部分は、横回
転機構１６の代わりにスライド・レール１８を設けた構
成としたものである。収納方法は、垂直移動７３でテス
トヘッド２１から外した後、電子ビーム・カラム１３を
マニュピレータ方向に水平移動６３して収容する構造で
ある。他のマニュピレータ１１、１２やカウンタ・ウエ
イト１５については、実施例１と同様である。
転機構１６の代わりにスライド・レール１８を設けた構
成としたものである。収納方法は、垂直移動７３でテス
トヘッド２１から外した後、電子ビーム・カラム１３を
マニュピレータ方向に水平移動６３して収容する構造で
ある。他のマニュピレータ１１、１２やカウンタ・ウエ
イト１５については、実施例１と同様である。
【００２１】（実施例４） 図５が本実施例である。実施例１と異なる部分は、横回
転機構１６の代わりにパンタグラフ１９を設けた構成と
したものである。収納方法は、垂直移動７４でテストヘ
ッド２１から外した後、電子ビーム・カラム１３をパン
タグラフ１９により楕円移動６４して収容する構造であ
る。他のマニュピレータ１１、１２やカウンタ・ウエイ
ト１５については、実施例１と同様である。
転機構１６の代わりにパンタグラフ１９を設けた構成と
したものである。収納方法は、垂直移動７４でテストヘ
ッド２１から外した後、電子ビーム・カラム１３をパン
タグラフ１９により楕円移動６４して収容する構造であ
る。他のマニュピレータ１１、１２やカウンタ・ウエイ
ト１５については、実施例１と同様である。
【００２２】
【考案の効果】本考案は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。バ
ランス用のカウンタ・ウエイト１５を移動するマニュピ
レータ１１に内蔵する構造としたことで、常に、電子ビ
ーム・カラム１３との重心バランス維持を実現できる効
果が得られる。電子ビーム・カラム１３を収容する機構
を設けたことで、移動中の、重心位置が安定する効果が
得られる。
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。バ
ランス用のカウンタ・ウエイト１５を移動するマニュピ
レータ１１に内蔵する構造としたことで、常に、電子ビ
ーム・カラム１３との重心バランス維持を実現できる効
果が得られる。電子ビーム・カラム１３を収容する機構
を設けたことで、移動中の、重心位置が安定する効果が
得られる。
【００２３】この結果、従来のように、大きく張りだし
たスタンド３６が不要となり、マニュピレータ本体底辺
の設置面積を小さくできる結果、ＥＢ試験システムであ
るマニュピレータの占有設置空間の無駄を少なくできる
効果も得られる。また、スタンド３６の張りだしが無く
なった結果、テストヘッド２１と接近させることがで
き、この結果、電子ビーム・カラム１３マニュピレータ
と近ずくこととなり、バランス用のカウンタ・ウエイト
１５の重量錘の使用量も少なくて済む効果も得られる。
たスタンド３６が不要となり、マニュピレータ本体底辺
の設置面積を小さくできる結果、ＥＢ試験システムであ
るマニュピレータの占有設置空間の無駄を少なくできる
効果も得られる。また、スタンド３６の張りだしが無く
なった結果、テストヘッド２１と接近させることがで
き、この結果、電子ビーム・カラム１３マニュピレータ
と近ずくこととなり、バランス用のカウンタ・ウエイト
１５の重量錘の使用量も少なくて済む効果も得られる。
【００２４】
【図１】本考案の横回転機構によるマニュピレータ構造
図である。
図である。
【図２】本考案の横回転機構による電子ビーム・カラム
の移動説明図である。
の移動説明図である。
【図３】本考案の回縦転機構によるマニュピレータ構造
図である。
図である。
【図４】本考案のスライド・レール機構によるマニュピ
レータ構造図である。
レータ構造図である。
【図５】本考案のパンタグラフ機構によるマニュピレー
タ構造図である。
タ構造図である。
【図６】従来のマニュピレータとテストヘッドとの配置
例を示す図である。
例を示す図である。
【図７】従来のマニュピレータの回転移動を示す図であ
る。
る。
１１ マニュピレータ １２ マニュピレータ １３、３３ 電子ビーム・カラム １４、７１ 回転軸 １５、３４ カウンタ・ウエイト １６ 横回転機構 １７ 縦回転機構 １８ スラード・レール １９ パンタグラフ ２１ テストヘッド ３１ マニュピレータ ３２ アーム ３６ スタンド ６０、７２、７３、７４ 垂直移動
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B25J 19/00 B25J 9/00
Claims (3)
- 【請求項１】 ＥＢテスタ用マニュピレータ構造におい
て、 電子ビーム・カラム（１３）を取り付けた、横回転移動
を可能とする回転軸（１４）と、 当該回転軸の垂直移動を可能とする垂直移動手段（６
０）と、 当該垂直移動手段を有し、自身が 回転移動可能な上部マ
ニュピレータ（１１）と、 当該上部マニュピレータの固定台機能を有する下部マニ
ュピレータ（１２）と、 当該上部マニュピレータ内部に設け、 当該電子ビーム・
カラムの重力をバランスするカウンタ・ウエイト（１
５）と、 を 具備して、カウンタ・ウエイトの使用量を低減したこ
とを特徴とするＥＢテスタ用マニュピレータ構造。 - 【請求項２】 ＥＢテスタ用マニュピレータ構造におい
て、 電子ビーム・カラム（１３）を取り付けた、縦回転移動
を可能とする回転軸（７１）と、 当該回転軸の垂直移動を可能とする垂直移動手段（７
２）と、 当該垂直移動手段を有し、自身が回転移動可能な上部マ
ニュピレータ（１１）と、 当該上部マニュピレータの固定台機能を有する下部マニ
ュピレータ（１２）と、 当該上部マニュピレータ内部に設け、当該電子ビーム・
カラムの重力をバランスするカウンタ・ウエイト（１
５）と、 を具備して、カウンタ・ウエイトの使用量を低減したこ
とを特徴とするＥＢテスタ用マニュピレータ構造。 - 【請求項３】 ＥＢテスタ用マニュピレータ構造におい
て、 電子ビーム・カラム（１３）を取り付けた、楕円移動を
可能とするパンタグラフ機構（１９）と、 当該パンタグラフ機構の垂直移動を可能とする垂直移動
手段（７４）と、 当該垂直移動手段を有し、自身が回転移動可能な上部マ
ニュピレータ（１１）と、 当該上部マニュピレータの固定台機能を有する下部マニ
ュピレータ（１２）と、 当該上部マニュピレータ内部に設け、当該電子ビーム・
カラムの重力をバランスするカウンタ・ウエイト（１
５）と、 を具備して、カウンタ・ウエイトの使用量を低減したこ
とを特徴とするＥＢテスタ用マニュピレータ構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993060688U JP2581657Y2 (ja) | 1993-10-15 | 1993-10-15 | Ｅｂテスタ用マニュピレータ構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993060688U JP2581657Y2 (ja) | 1993-10-15 | 1993-10-15 | Ｅｂテスタ用マニュピレータ構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727790U JPH0727790U (ja) | 1995-05-23 |
| JP2581657Y2 true JP2581657Y2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=13149499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993060688U Expired - Fee Related JP2581657Y2 (ja) | 1993-10-15 | 1993-10-15 | Ｅｂテスタ用マニュピレータ構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2581657Y2 (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59161286A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-12 | 新明和工業株式会社 | 多関節ロボツト |
| JPS60222164A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-06 | Tokico Ltd | 工業用ロボツト |
| JPH0318153Y2 (ja) * | 1985-12-14 | 1991-04-17 | ||
| JPH085019B2 (ja) * | 1986-04-16 | 1996-01-24 | 学校法人早稲田大学 | プッシュアップシステムにおける柱搬送ロボット及び配筋ロボット |
| JPH0549209A (ja) * | 1991-08-14 | 1993-02-26 | Yokogawa Electric Corp | ロボツトの防振装置 |
-
1993
- 1993-10-15 JP JP1993060688U patent/JP2581657Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0727790U (ja) | 1995-05-23 |
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