JPH06281701A - 試験用取付具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 試験用プリント回路基板のための回路内試験
用取付具を提供する。 【構成】 固定プローブ板と可動上部板２８との間に真
空域１９６を有する。軸受８８ａが真空域１９６の外側
となるように真空シール３６が設けられる。上部板２８
が真空で引かれて下方に移動すると、ばねで付勢された
テストプローブ３０は上部板２８の孔を介して回路基板
８０に接触する。基板８０を固定した上部板２８を動か
してプローブ板と基板８０とのずれを補正し、急速ロッ
クで補正位置を保持する。基準マーク２３２を光学ファ
イバーで遠隔処理ユニットに転送し、軸部１９０と係合
した光学的整合機構が基板８０とプローブ３０を極めて
高精度で配列する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は一般に、プリント回路基
板のための回路内試験装置に関し、特に、試験中の回路
基板との安定な接触を実現するために改良された配置と
真空シールシステムとを有する回路内試験用取付具に関
する。

【０００２】

【従来の技術】プリント回路基板を検査するための自動
試験装置は、試験中に回路基板が取付られた「爪付きベ
ッド」（"bed of nails"）式試験用取付具を長い間使用
してきた。この試験用取付具は、試験中の基板上の指定
された試験点をスプリング圧により電気的に接触するた
めに配置された多数の爪状スプリング付きテストプロー
ブで構成される。あるプリント回路基板に配置される特
別の回路はどれでも、他の回路と異なるのが通常であ
る、したがって、特別な基板中の試験点と接触をするた
めの爪付きベッド装置は、そのような回路に合わせて特
別に作る必要がある。試験すべき回路が設計されると
き、それをチェックするのに使用されるパターンまたは
試験点が選択されるので、テストプローブの対応する配
列が試験用取付具に形成される。即ち、通常は、テスト
プローブの、特別に注文された配列に合わせてプローブ
板に穴のパターンを正確に穴明けし、それから、そのテ
ストプローブがプローブ板上に設けられた穴に取付られ
るのである。さらに、回路基板は、取付具に装着され、
テストプローブの配列に重ねられる。試験の間、スプリ
ング付きテストプローブは、試験中の基板上の各試験点
とスプリング接触をする。さらに、基板上の回路におい
て各点間の導通または導通不良の検出をする高速度電子
検査分析装置と接続するために、電気的試験信号が基板
からテストプローブに送られ、さらに、取付具の外部に
送られる。

【０００３】回路内の試験にたいし、テストプローブと
回路基板との圧接については過去において各種の方法が
採用されてきた。これらの取付具のうち一種は、配線試
験用取付具であって、各テストプローブが配線によりプ
ローブから外部試験分析装置に試験信号を伝達するのに
使用するためのインターフェース接触をそれぞれ分離す
るものである。これらの配線試験用取付具はしばしば、
「真空試験用取付具」と称される。なんとなれば、試験
中の試験用取付具ハウジングの内部に真空が加えられ回
路をテストプローブと接触させるからである。可動の上
部板は静止プローブ板上に取り付けられ、上部板とプロ
ーブ板との間は真空シールされる。その上部板の上方に
は第２の真空シールが行われる、これにより、基板の下
側に配列するために上部板に開けられたアクセスホール
を通じ突出するスプリングプローブの上方にプリント回
路基板を保持するにの充分な高さが得られる。使用中に
は、プローブ板と上部板の間の領域に加えられた真空は
又、基板の下側にも加えられる。これにより、両真空シ
ールを圧縮し、基板を下方に引き入れ、テストプローブ
と電気的に接触させる。真空シールをを維持することに
より、プローブは、基板の試験中に、基板上の試験点と
のスプリング圧による接触を保つ。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】回路基板の指定された
試験点と接触を行うプローブにたいして、底部静止プロ
ーブ板と、基板を支持する可動の上部板とは並行関係に
維持され、その位置をプローブの活動域にたいし垂直に
保ちつつ基板平面を保持する必要がある。信頼性のある
真空封止もまた必要となる。

【０００５】従来技術の回路内試験用取付具には各種の
問題があった。ダグラスほか（Douglas et al.）に付与
された米国特許第4,538,104 号は、上述のタイプの回路
内試験用取付具を開示している。この特許はその背景
が、そのような回路内試験用取付具を製造し使用するこ
とにおける各種の技術的問題に関係している。一つの問
題は、テストプローブを基板に垂直でかつ並行な配列に
維持しつつ、上部板と静止プローブ板との間で互いに並
行な配列を安定して維持しなければならないことであ
る。基板が上下に移動するにしたがって、プローブの活
動域にたいし上部板を配置する直線状軸受および／また
は案内ピンの上の静止プローブ板に向かってまたはそれ
より離れて上部板が移動する。テストプローブはプロー
ブ板に、および上部板に設けられた穴のパターンに整合
するように配置される。プローブは並行な配列に維持す
る必要があり、上部板は試験用取付具の各配置にいかな
る結合をも生ずることなく、常に、軸受上のプローブ板
と並行な配列を維持する必要がある。

【０００６】真空シールシステムは、真空漏洩と、試験
中においてスプリングプローブと回路基板の間の電気的
接触不良とを防止する必要がある。

【０００７】上部板と基板とがテストプローブと機械的
問題なく正確に配列する必要性と、効率的な真空シール
システムの必要性とに加えて、試験用取付具は又、最終
顧客による繰り返し試験条件のもとで容易に使用できる
よう構成されなければならない。また、取付具は、その
構成部品が、てごろなコストで製造され組み立て可能で
あるように設計する必要がある。

【０００８】本発明は、ダグラスほかに付与された米国
特許第4,538,104 号に示される回路内試験用取付具の方
式に関する改良をしようとするものである。例えば、そ
の特許の取付具の４つの隅の内側に手回しできるねじを
備えており、移動する上部板の下側表面に固定された細
長い堅固な案内軸にねじ込まれる。これらの長い案内軸
はプローブ板の４個の隅部で直線状軸受の中心を通じて
はめ込まれている。手回しできるねじは、取付具の底部
の内側で進むことから始まり、上部板が上昇され切って
手回しねじを外すまでアクセスしなければならないの
で、この上部板を取り除くことは困難である。さらに、
上部板の隅にある４個の案内軸は、使用者が手動で上部
板を取り除くときに結びつく可能がある。多数の複雑な
配線がある取付具の底部においてアクセスから取付具を
開放することは使用者にとって望ましいことではないの
で、移動する上部板をプローブ板に接続するシステムは
改良しなければならない。しかし、上部板の除去が必要
なのは、テストプローブが取り替えのときのように保守
または診断の要求からであり、上部板はできるだけ容易
に除去できることが要望されている。

【０００９】ダグラスほかの米国特許第4,538,104 号の
取付具の各隅に位置する封入直線状軸受構造は、軸受の
組み立てのための部品の数および行程の点から複雑であ
り価格も高くなる。本発明は高度に改良された軸受シス
テムを提供できるものである。

【００１０】ダグラスほかの米国特許第4,538,104 号は
又、移動上部板の外縁を囲む内部密閉封入を開示してい
る。この上部板の封入は連続二重凹部シールである。上
部板の下側は、外縁部の封入を行う深凹部に挿入密着さ
れる外周フランジを有する。本発明においては、実質的
にさらに低いコストで製造されるさらに安定性の高い真
空シールを提供することができる。このシールの構造
は、上部板の「浮遊」（”floating”）を可能にするも
のであり、その上部板は、試験のもとで基板上の試験点
にたいするテストプローブの配列を適切にしさらに有用
な上部板の多軸方向の自由な動きを可能にしている。本
発明の封入構造は又、高価な封入軸受を避けており、し
たがって、実質的に、製造および行程上のコストを低減
している。

【００１１】上部板が解放される間、必要なときは、配
列の目的にたいして異なる方向に偏位できるように、上
部板がプローブの活動域にたいして偏位することなく上
部板をプローブ板にたいし確実に固定できる直線状軸受
構造を提供する必要がある。そのような軸受支持システ
ムは、てごろなコストで製造が可能であるとともに、最
終顧客に容易に使用され得るものでなければならない。

【００１２】

【課題を解決するための手段】簡単に述べると、この発
明の一実施例は、試験用プリント回路基板のための回路
内試験用取付具を提供するものである。この取付具は静
止プローブ板と可動上部板との間に真空室を有する。取
付具の各象限に位置する分離調整可能の直線状軸受は、
移動上部板とプローブ板との間を並行配列とする。プロ
ーブ板と上部板との間に位置する連続密閉真空シールは
軸受をバイパスし、したがって、軸受は真空部分の外側
となる。プローブ板内のスプリング付きテストプローブ
は、上部板の上方の第２の真空シールに支えられた回路
基板にアクセスするために上部板内の穴を通じて延在し
ている。上部板の底部に加えられた真空のもとで上部板
がプローブの方向に移動下降するとき、プローブは、ス
プリングを偏位させ基板と電気的に接触する。上部板
は、直線状軸受を通じ延在する分離急速解放ラッチによ
りプローブ板に固定される。軸受にたいするラッチ接続
を解放することにより、上部板は、試験中の基板をプロ
ーブ活動域に正確に配列するのに使用するときの上部板
の平面と一致した平面を移動する。一実施例では、上部
板を支える軸受は配列処理に間に上部板とともに移動可
能である。各軸受中の着脱可能なラッチコネクターの接
続によって結果的に、基板と垂直に正確に配列されたプ
ローブの活動域が得られ、同時に、プローブ板と並行に
配列された上部板が確実に得られる。

【００１３】調整可能な直線状軸受により、基板はプロ
ーブ活動域にたいする円滑で正確な垂直移動を行い、同
時にプローブは全ての試験点へ正確かつ確実に接触す
る。上部板が、基板とプローブ活動域との正確な配列を
得るために移動しつつ、基板を定位置に保持するため
に、この軸受システムは上部板作業ピンを使用する。こ
のことにより、しばしば製造の総量の間で経験するプリ
ント回路基板のふるい分け技術「転換」（"shift" ）が
補償される。それは又、回路基板と試験用取付具製造装
置固有の加工精度により生ずる公差の積み重ねを補償す
る。一実施例において、浮遊上部板上を移動する可動作
業ピンにより、プローブ活動域に対する回路基板のいか
なる移動方向においても約±0.060 インチ（約±1.5mm
）に達する正確な寸法合わせ調整を行うことができ
る。

【００１４】直線状軸受は、封入軸受の必要性を避ける
と言うことも含めて、その軸受の製造時間およびコスト
を低減するような部品の組合せから構成される、即ち、
上部板は、真空域の外側に位置することのできる軸受に
より支持されている。急速解放ラッチシステムにより、
取付具に上部板が固定され、保守／診断の要求により上
部板を除去するために容易にラッチ解放を行うことがで
きる。急速解放ラッチはプローブ板に上部板を固定し、
上部板の偏位を防止し、プローブの先端対試験の目標寸
法値合わせと言う問題を解決している。

【００１５】本発明の一実施例は、調整可能な軸受シス
テムを使用しテストプローブにうよる試験のもとで基板
の急速かつ正確な配列を可能とする光学的整合機構を提
供する。本実施例は、試験中の基板を移動上部板の固定
位置に支持できる作業ピンを保持する可動上部板を備え
た試験用取付具を配列するのに利用価値の高いものであ
る。移動上部板は、その上部板の下方の固定プローブ板
内に取付られたテストプローブに向かって上部板の縦上
下方向に通常案内する軸受システムにより取付具の基盤
に支持される。一実施例において、各軸受は、上部板上
に保持され、対応する直線状軸受のスリーブ内の縦方向
の滑動にたいして位置する固定案内柱部を備えている。
軸受スリーブは、前記柱部を、その軸受スリーブとその
軸受ブロックにたいして上部板とともに自由に移動させ
ることのできる第１の位置に調整可能な、対応する軸受
ブロック上で保持されている。各軸受ブロックは又、対
応する固定軸受スリーブ内の各柱部の縦方向の滑動を案
内するための取付具の基盤にたいし対応する軸受プロー
ブが保持される第２の位置に調整可能である。配列処理
において、上部板がプローブ板上にプローブの活動域に
たいする自由な移動を可能にする第１の位置に、軸受ブ
ロックを調整することができる。前記の移動の自由を与
えることができる第１の位置に軸受があるとき、光学的
整合機構が、プローブ活動域にたいして試験中の基板を
配列するために使用される。この光学的整合機構は、基
板上の基準マークの位置を感知し、かつ、プローブの活
動域にたいする基板上の回路の如何なる誤配列も指摘可
能な光学的読みだしを行う手段を備えている。ビデオス
クリーン上に目盛られた固定基準点にたいし基準マーク
の光学的像を表示するビデオカメラシステムに接続され
る光学的プローブに関し、上部板を移動させ基板と基準
マークをその上に配列する。上部板を移動させかつスク
リーン上の光学的像を観察することにより、基準マーク
の像を移動させて、プローブ活動域に関し基板上の回路
の正しい配列を指摘する固定基準点との配列に加えるこ
とができる。軸受システムの第１の位置を調整すると、
光学的配列工程の間に上部板は自由に移動をすることが
できる。プローブ活動域にたいする基板の正しい配列に
したがって、軸受ブロックをそれらの第２の固定位置に
調整して、試験の間、プローブにたいし基板を縦方向に
移動案内する固定手段を提供することができる。

【００１６】本発明の前記およびそれ以外による利益は
以下の詳細な記述と添付図面とを参照することによりさ
らによく理解されよう。

【００１７】

【実施例】図１および図２は本発明の原理に基づく回路
内試験用取付具２０の一実施例を説明する斜視図であ
る。この取付具は、底部基盤２２および基盤の上方に取
り付けられた真空源の部分組立体２４とを備える長方形
の真空ハウジングを具備する。この真空源の部分組立体
は取付部の外縁まわりに延在する直立長方形壁２５によ
り形成された長方形真空源を備える。真空源の底部は、
外側壁２５の内側に設けられた静止状態で長方形の堅固
なプローブ板２６により形成されている。部分組立体は
又、真空源の壁２５の内側のガスケットシール上に設置
された平面で長方形の可動上部板２８を備えている。上
部板はプローブ板２６の平面の上方でその平面に並行に
延在している。複数のスプリング付きテストプローブ３
０がプローブ板２６内の固定位置に取り付けられる。テ
ストプローブは、図１および図２に概略示したように、
先行技術でよく知られた従来型のスプリング付きテスト
プローブである。テストプローブはプローブ板に正確に
設けられた穴３１に固定される。テストプローブはプロ
ーブ板の穴から上方に延在し、上部板２８に正確に設け
られた、対応するパターンアクセス穴３２を経て突出す
る。穴３１と３２は、簡略のために寸法を強調して示し
た。各プローブのたいする穴のパターンはそれぞれ一致
しており、各プローブにたいして対応する穴は、各プロ
ーブがグループとして互いに並行に、かつ、可動上部板
２８の平面に垂直に延びるように配列されている。

【００１８】従来技術でよく知られた回路内試験装置の
いくつかの特徴をここでは図示しない。これらには、可
動上部板８と静止プローブ板２６の間の真空室のスペー
スに真空を導入するための取付具の内側への真空導入も
含まれている。試験に供されている回路基板も図１およ
び図２に示されてない。基板は、プローブ活動域を囲み
かつテストプローブの先端の上方でその先端から間隔を
おいた基板を正常に支持するように、可動上部板の頂上
に固定された真空シール（図示されない）上に設置され
る。この基板と上部板の配置を図６に示し、さらにその
詳細は以下に述べる。可動上部板の底部は、プローブ板
と接触することにより最大移動時に２個の板の間の距離
を制御することのできる停止部（図示しない）を備える
ことができる。一実施例において、厚さ0.030 インチ
（0.762mm ）の停止部が使用される。プローブは基板上
の回路内の試験点と接触するために配列され、真空が真
空室内に形成されるとき、その真空は又、基板の下部お
よび上部板の上方のスペースに形成される。それによっ
て、基板を、下方に圧縮し、かつ、回路の導通試験を行
うためにテストプローブと電気的に接触させる。プロー
ブ板内のプローブは、それぞれ接続され、プローブ板の
下方の取付具ハウジング内のインターフェース接続（図
示しない）を分離する。これらのインターフェース接続
は、よく知られた方法で基板上の回路内試験を行うため
の外部電子式試験分析装置（図示しない）に結合されて
いる。

【００１９】図１および図２おいて、移動上部板２８と
静止プローブ板２６とを備えた真空源部分組立体は、人
間工学的設計により操作者の疲労を低減すべく改良され
たアクセスが可能な傾斜角をもって延在している。試験
用取付具のそれら部品は正常な水平平面について、ある
角度をもって延びているが、互いに並行に延びている上
部板とプローブ板との平面にたいしてテストプローブ３
０が垂直に延在するように、試験用取付具が配置されて
いる。図中の本発明の構成部品についての他の説明は、
簡単のため通常の水平および縦の方向で示してある。一
方、もし試験システムがある角度上にあるとすれば、試
験用取付具の上部は取付具の底部に並行とすることがで
きる。

【００２０】図２において、上部板２８は、直立の直線
状軸受３４のシステム上にあるプローブ板２６に向かう
動きとそれから離れる動きができるように支持されてい
る。軸受は試験用取付具の外縁からあるスペースをおい
て４象限位置に設けるのがよい。最適な配置において
は、軸受はプローブ板２６の４隅部に設置する。本発明
は、以下に詳細に述べるように直線状軸受組立体につい
ていくつかの実施例を有している。直線状軸受３４は、
上部板に支持された回路基板がプローブの活動域にたい
して正確に配列されるように、プローブ板２６にたいす
る固定位置に上部板２８を固定している。各直線状軸受
組立体は、取付具から上部板を除去するための急速解放
ラッチ組立体３４（その組立体の上部外側部分は図１に
示す）を備えている。これにより、真空源の内側にアク
セスが可能である。

【００２１】真空源組立体の内部には、一般にプローブ
板２６の外縁のまわりに延在する連続一体型環状圧縮式
真空シール３６を具備する。真空シール３６はプローブ
板２６の隅部に封入された直線状軸受３４の内側に延び
る角度付き隅部３８を有する。これにより、軸受組立体
３４は真空シール３６の内側のスペース内の取付具の内
部に形成された真空域の外側に確実に位置することとな
る。したがって、試験中に真空室の内部（密閉型シール
３６の内部）に加えられたた真空から、漏洩に対抗して
軸受を封入するために、各直線状軸受にたいして追加の
真空シールを供給する必要がなくなる。真空シールおよ
び直線状軸受組立体はさらに詳細に以下に説明する。

【００２２】図２はさらに本発明の構成部品を示し、移
動上部板２８の下側を弾性支持するための圧縮スプリン
グ４２（図６参照）を保持するためのプローブ板２６の
上部表面の円形凹部４０を含む。プローブ板内の１個以
上の真空出入口４４が真空シール３６により封入された
真空領域内に設けられる。真空出入口４４はプローブ板
の全深さにわたって延びており、プローブ板２６の下側
から真空出入口４４を経てシール３６内のスペース内部
に導入される真空を通わせる手段を供給する。真空は、
上部板のアクセス穴３２を経て移動上部板２８上のプロ
ーブ３０の上方に支持される試験中の基板の下側へ導入
される。このように、真空出入口４４を経て真空源組立
体の内側に導入された真空は、上部板２８を下方に移動
させて、基板の下側にアクセスするために上部板を経て
延びるテストプローブ３０の先端と接触するように基板
を圧縮する。

【００２３】図３および図４は移動上部板２８の下側を
支える真空シール３６と結合した直線状軸受組立体３４
の一実施例を示す。本実施例において、各直線状軸受組
立体は、硬質プラスチックからできている長方形直立型
円筒開放端付き管状軸受スリーブ４６により構成され
る。軸受スリーブを作る材料は軸受スリーブを通じて均
一な直径の潤滑された円形開放部４８を自然に形成す
る。この直線状軸受スリーブ４６は、真空室５４からプ
ローブ板を経てプローブ板の下側に延びる円形状開放端
付き通路５２の下方のプローブ板２６の下側に調整可能
に取付けられる軸受ブロック５０により保持される。軸
受ブロック５０は、プローブ板の平らな底部表面５７に
対抗して平らに横たわる平らな上面５６を有する。直線
状軸受スリーブの底部は軸受ブロック５０に堅固に固定
されている。軸受スリーブ４６は、軸受ブロックの上面
５６から上方に突き出ており、プローブ板を通じ通路５
２中に至る。通路５２の直径は、軸受けスリーブが、ま
わりの通路５２の内部で３６０度全体にわたるシフトが
でき完全に自由に動き得るよう軸受スリーブ４６の外径
にたいし特大の寸法としてある。

【００２４】移動上部板の各隅にある急速解放ラッチ３
４′は上部板にしっかりと固定された静止スリーブ６０
を通じて下方に延びる固定１／４回転柱部５８を備えて
いる。そのスリーブ６０は上部板の上面から直線状軸受
スリーブ４６の内部を通じ延在する。スリーブ６０は上
部板を通ずる取手と保持クリップ６１とにより上部板に
堅固に保持される。スリーブ６０は直線状軸受スリーブ
４６の内部に密着状態でかつ縦方向に滑動可能に填めこ
まれる。軸受スリーブの潤滑した内径は、硬質プラスチ
ックの直線状軸受４６のスリーブ６０が縦方向に滑動す
るのを支援する。１／４回転柱部５８は螺旋カム６３が
その内部に加工された底部６２を有する。軸受ブロック
５０の環状底部６４は直線状軸受４６の下に延びてい
る。軸受ブロックのこの部分６４は柱部５８の螺旋カム
６３と係合しそれに載置された横断ロックピン６５を保
持する。長手のスロット６６は前記カム６３の上方の柱
部に沿って延びている。その柱部は、柱部の底部を軸受
ブロックの受け部中に締め付け、または、柱部を軸受ブ
ロック中の受け部との嵌合から緩めて、１／４回転でき
る急速解放頭部７０を有する。柱部が１／４回転してロ
ック位置に移動すると、上部板とガスケットシール３６
の下のスプリングが圧縮されるが、その間ピン６５は螺
旋カムに沿って下降し、螺旋カムの端部の回り止めにロ
ックされる。軸受ブロックのピン６５はスロット６６内
を自由に上下に移動することができる。ピンは、取付具
の内部が真空となり、または、真空から解放されると
き、上部板とともに上下に移動する。図５は、ロック用
柱部がそのロック状態あるかまたは開放状態にあるかを
示す急速解放頭部７０の反対側からの突起部７１を示す
上面図である。４隅の柱部が緩められると、基板は、テ
ストプローブの先端の上方にスペースをもって固定位置
に保持される。柱部が締め付けられると、上部板はガス
ケットシールの頂上に対抗してしっかりと保持される、
この間、プローブは基板の下側にスペースを維持した状
態のままである。柱部が締め付けられかつ真空が導入さ
れると、それが圧縮環状ガスケット３６に対抗して移動
上部板の周辺底部を圧縮する。これにより、移動上部板
の底部外縁のまわりに気密真空シールが形成される。さ
らに、これにより、基板は圧縮されてテストプローブと
接触する。各柱部は、直線状軸受から柱部を取り除くた
めに緩めることができる。上部板の４隅部の４個の柱部
を除去することにより、上部板を取り除くことができ
る。

【００２５】図３は、上部板の動きがボックスｘおよび
ｙ両方向に可能な真空源の４個の縁に沿って狭い寸法を
現わしている狭い寸法ｘおよびｙを示す。上部板は又、
ｘおよびｙの動きを結合することによりｚ方向に回転す
ることができる。これらの動きにより、以下に述べるよ
うに、真空が試験の間において導入される前に、基板が
プローブの活動域に配列される。上部板の各隅の柱部が
直線状軸受の決められた位置にラッチされつつ、上部板
はｘ、ｙ、およびｚ方向に移動することができる（この
移動は上部板の平面内で行われる）。

【００２６】軸受ブロック５０と直線状軸受４６とはプ
ローブ板２６の底面５７にたいし一体となり移動可能で
ある。軸受ブロックは、プローブ板の底面内の対応する
内部ねじ山付き受け部７４にねじ込みする固定部７２に
よりプローブ板の底部に固定される。その固定部は、軸
受ブロックの底部側に向かって下方に面している穴７６
を経てアクセスされる。（これらの穴は、段つき穴ぐり
であることを示し、一方、各固定部は軸受ブロックの底
面において露出とすることができる。）プローブ板にた
いし全ての方向に軸受ブロックを移動または「浮
遊」（"float" ）させつつ、軸受ブロックをプローブ板
の底部に保持するという緩められた条件で、固定部は最
初に受け部７４にねじ込み固定される。これにより、軸
受ブロックにより保持される直線状軸受にたいし、プロ
ーブ板を通じ特大通路５２内で完全な自由な移動を与え
ている。したがって、軸受ブロックにより保持される直
線状軸受がプローブ板を経て特大の通路５２内の完全に
自由な動きができるようになる。試験中の基板が初期的
に移動上部板に固定された作業ピン（図示しない）上に
位置するとき、基板は上部板にたいし固定位置に保持さ
れる。そこで基板の位置は、基板がプローブの活動域と
列ぶように調整可能である。急速解放ラッチ柱部は、緩
和位置に保持された軸受に嵌合される。各軸受の急速解
放ラッチは締め付けてある。図３に示すように、可動軸
受であるため、上部板は、プローブ板にたいし自由に移
動することができる（ｘまたはｙ方向に、または、それ
らとの組み合わせでｚ方向に）。特大寸法通路５２内に
浮遊することができる軸受スリーブとともに一体として
上部板と軸受ブロックとを移動することにより、基板を
テストプローブの配列に列べる。ひとたび基板をテスト
プローブへ特定の配列をすると、軸受ブロックの基盤か
らアクセスを経てねじを締め付けることにより、取付具
の基盤に軸受ブロックを堅固に固定することができる。

【００２７】この配置により、プローブ活動域について
基盤の位置や方向を正確に調整する急速手段が可能とな
り、特定の配列を確実にする位置に直線状軸受を固定す
ることができる。急速解放ラッチは、ひとたび嵌合する
と、真空動作の間に直線状軸受スリーブの内側のラッチ
スリーブの縦方向に案内された滑めらかな移動が可能と
なる。さらに、プローブ板の隅部の４個の直線状軸受は
真空域の外側となっている。こことは、Ｏリングシール
等が軸受レベルにおいて真空を維持するための軸受組立
体の一部である必要すらもないという点で、軸受組立を
簡単化している。

【００２８】図２ないし図４に示すガスケットシール３
６は、好ましくは、固体直方体セル状断面を有する圧縮
ガスケットであるのがよい。このガスケットは、切断片
等を一緒に接着（膠接着）するよりはむしろ１個の連続
片がよい。好ましいガスケット材料は、開放マイクロセ
ル型（細胞型、独立気泡型）ウレタンエラストマーであ
る、即ち、現在好ましいガスケット材料としては、ロジ
ャーズ社（Rogers Corporation）による製品名ポロン
（Poron ）で市場で求められるセル型ウレタンがある。
このガスケット材料は圧縮永久歪にたいして高いエネル
ギー吸収と優れた抵抗値とを有する。例えば、それは、
水流ジェットカッティングにより必要な形状に容易にダ
イカットされる。これにより、シール製造の際の工程上
のコストを低減する。寸法上の安定性から、このガスケ
ットは真空源の外縁の深いモールド状溝または刳貫かれ
た溝を設ける必要がない。図４に示す浅い凹部７８はガ
スケットの座位に適している。好ましくは、ガスケット
は、その断面の高さの大部分がプローブ板の基盤２６の
上方に延在するように真空源の凹部に配置されるのがよ
い。ガスケットの寸法上の安定性により、上部板がガス
ケットシールにたいし浮遊移動できるように、移動上部
板の底部周辺部が支持されている。これにより、シール
と下方に設けられた真空源にたいし浮遊上部板が位置調
整される場合に、移動上部板の底部表面は、ガスケット
シールに載置されかつシールの全周のまわりに連続ガス
ケットシールの平らな上部表面にわたり滑らかに前後に
滑動する。図は移動上部板上の連続する平らな底部表面
を示す、即ち、代替の実施例において、連続0.030 イン
チ（0.762mm ）の周囲の段階が上部板の外側周辺から下
方に延在している。

【００２９】図６は本発明の別の態様を示す。本図は、
真空源およびプローブ板２６の周囲周辺に延長する周辺
ガスケットシール３６上に設けられた試験用取付具上部
板２８を示す。回路基板８０は移動上部板の上部の連続
圧縮周辺ガスケット８２上に取り付けられる。そのガス
ケットは真空シール３６と同様な圧縮セル状エラストマ
ーから構成される。８４は作業ピンを略記したもので、
上部板上の固定位置に基板を保持するために基板内に正
確に設けられた作業ピン穴に嵌合する。プローブ板内に
設けられたスプリング付きテストプローブ（図示しな
い）の配列は試験中の基板の下側と接触するために上部
板のアクセス穴を経て延びている。直線状軸受組立体８
６は取付具の４隅部に位置し、さきに述べたように、軸
受組立体３４とおなじように真空動作の間に、プローブ
板に向かい先導された動きとおよびそれから離隔する動
きを与えるために移動上部板を支えている。簡単のため
に、直線状軸受組立体８６の内の１個のみを図６に示
す。軸受組立体の本実施例において、直線状軸受スリー
ブ８８が軸受ブロック９０に設けられている。軸受スリ
ーブ８８は、さきに述べた自然潤滑性の内径を有する同
じ硬質プラスチック合成材料から作られる。軸受ブロッ
クは、プローブ板の基盤内の対応する内部ねじ山付き穴
９６にねじ込まれる固定部９４を受けるためにその基盤
のアクセス穴９２を備えている。テフロンスペーサー９
８はプローブ板２４の軸受ブロック９０と底部表面５７
との間のインターフェースにある。直線状軸受が特大の
穴１００内で３６０度にわたる自由な回転を軸受ブロッ
クと一体で移動できるように、直線状軸受スリーブ８８
が、軸受ブロックからプローブ板内の特大穴１００に向
かって上方に延びている。ねじ付き固定部９４がプルー
ブ板内の穴９６にねじ込まれるとき、それらは軸受ブロ
ック内部の肩部１０４を載置する平らな座がね１０２に
ねじ込まれている。固定部９４が肩部１０４にたいして
締め付けられると、軸受ブロックと直線状軸受スリーブ
８８とはプローブ板にたいし堅固に固定した位置に保持
される。もし固定部９４がわずかに緩められると、それ
らは軸受ブロックを取付具の基盤に保持し、軸受スリー
ブ８８を特大穴１００の内部の固定位置に保持する、し
かし、穴１００にたいし軸受ブロックとスリーブの移動
および「浮遊」の少々の自由度は可能である。ラッチピ
ン１０６は、軸受８８の内部を通ずる円形縦型の通路に
その概略を示す。このラッチピン１０６は、移動上部板
２８を直線状軸受組立体に固定するためのラッチピン
（以下に説明する）の各種の形状を代表的に示してい
る。軸受ブロックが緩められると、上部板、ラッチピ
ン、軸受、および軸受ブロックが、プローブ板にたいし
一体として動き得るようになる。これにより、試験中の
基板は移されて、テストプローブをもって基板上に試験
点を正確に列べることができる。基板が列べられると
（いくつかの例では、軸受ブロックは試験のとき決めら
れた位置にピンをつける必要がない。それらは緩められ
たままである）軸受ブロックは決められた位置に締め付
けられる。試験中に真空が導入されると、上部板とシー
ルの軸受案内の縦方向の動きは圧縮されて、真空を上部
板のすぐ下部に保持する。軸受は真空室内で真空から絶
縁されている。

【００３０】図６の実施例は試験中のおいて試験プロー
ブを基板と正確に列べるための技術を示す、ここで、上
部板は概略が１０８で示される外部モータ駆動によりプ
ローブ板と真空シールとにたいし移動する。この配置に
おいては、基板上の対応する索引作成マークが配列され
て取付具内の対応するスプリングプローブと基板上の回
路の試験点を正確に列べるための基準点を設定するため
に、外部整合機構が使用される。上部板は移動されて、
外部整合機構内の固定基準点をもって索引作業マークを
基板上に配列するように基板を移動する。基板上の索引
作業マークは、基板上の印刷された回路配列にたいし基
板上の知られた固定位置における正確に印刷された従来
の基準マークである。この配置とともに使用されるその
ような一整合機構は、ＰＣＴ出願ＵＳ９１／０３６８
８，１９９１年１２月１２日公告、公告番号ＷＯ９１／
１９３９２、発明の名称「試験用取付具位置合わせ装
置」（"Test Fixture Alignment System" ）に開示され
ており、本発明の被譲渡者に譲渡されるものであり、こ
こに記載した名称を、以下この明細書に記載する。上部
板は直交するｘまたはｙ軸方向、または、ｚ軸回転方向
（ｘおよびｙ軸移動の結合）において自由に移動可動で
ある。ラッチピン１０６は初期的に直線状軸受８８にラ
ッチされ、移動上部板を軸受ブロックにより保持される
直線状軸受に固定する。したがって、軸受ブロック、直
線状軸受およびラッチ１０６は、上部板とともに、配列
の間に一体として移動する。各直線状軸受組立体のクリ
アランス穴１００は、各軸受８８の外部周辺に３６０度
のクリアランスを供給し、索引作業マークと基準点との
間の必要な配列を作るのに要求されているその中の全て
の位置にたいしてクリアランス穴の範囲内で軸受の動き
を可能にしており、プローブを基板上の回路に自動的に
配列する。特定の方向の力を自動的に加えて上部板を移
動する移動上部板に固定された堅固なアーム１０９に接
続する外部コンピュータ制御のモータ駆動１０８によ
り、上部板は移動される。プローブ板にたいし上部板が
移動する間に、プローブ板の基盤の固定部９４とねじ付
きの受け部９６との間の接続を緩めることにより、各軸
受組立体内の軸受ブロック９０は、プローブ板にたいし
緩められる。これらの接続は、配列が行われている間お
よび試験用取付具が真空作動の間いつも緩められた状態
のままである、おなじように、各基板は、各基板の自由
度を通じて光学的整合機構により独立に列べられ、プロ
ーブの活動域にたいし移動する。固定アーム１０９とそ
の駆動システムにたいする接続とにより、上部板が配列
された後、上部板を決められた位置に堅固に保持する。
直線状軸受は、軸受スリーブ中を結びつくことなしに縦
方向に移動している間（真空作動の間）にラッチピン１
０６を案内するための手段を提供する。

【００３１】光学的配列処理の間に上部板を移動するた
めの配置の概略を図６に示す。図２４ないし図３２は、
後述のように、光学的整合機構により発生する検知され
た配列情報に応答してプローブの活動域に上部板を自動
的に配列するための最適なモータ駆動システムの詳細を
示す。

【００３２】図７は、代替の直線状軸受システムと、軸
受ブロック９０ａに取付具へのピン付けをする手段を示
す。図７に示すシステムにおいて、軸受ブロック９０ａ
は直線状軸受８８ａを保持する。概略が１０６ａで示さ
れるその軸は、先に述べた実施例のように軸受８８ａ内
を縦方向に滑動する。固定部９４ａは軸受ブロックを保
持するが嵌合部９６ａにおいて緩められた状態のままで
あり、調整された位置への移動の自由を可能にしてい
る。テフロン滑動シート９８ａは、移動上部板にたいし
軸受ブロックの移動の自由度を支援する。直線状軸受は
特大の寸法の穴１００ａに配置され、固定部９４ａは特
大寸法９４ｂ内にある。軸受ブロックは分離基盤９０ｂ
およびセルフロッキングナット９４ｃにより保持され
る。本実施例において、分離ねじ山付きピン１１０が、
各急速解放ラッチ機構（概略が３４ａに示される）の近
傍の各軸受ブロックに設けられる。光学的整合機構が使
用されないと、軸受ブロックはピン１１０をもって取付
具にピンを設けることができる。一方、光学的整合機構
が使用され光学的配列駆動が移動上部板から撤去された
後に、各軸受ブロックはピン１１０をもって取付具の基
盤にピンを設けることができ、配列を保持する。最適配
置において、各ピン１１０は、各ラッチ機構３４ａの近
傍の上部板２８に位置する分離アクセス穴１１１を通じ
アクセスされる。そのアクセス穴を図１に示す。各アク
セス穴は、ピン１１０のねじ頭１１０ａを回すために工
具を通すことができる。ピンは、上部板２８が正しい位
置に（光学的整合機構により）シフトされる間は、緩め
られた状態のままである。ピンは、穴１１１を通ずるア
クセスから締められ、軸受ブロックを固定位置に堅固に
ピン付けする。ピンは、それらが上方から締め付けられ
たときピン１１０をロックするセルフロッキングナット
１１０ｂを備えている。このように、軸受ブロック９０
ａをピン付けするアクセスは全体的に取付具の上方側か
ら行われる。これにより、上部板が光学的整合機構によ
り配列された後に、軸受の位置を設定する取付具の開放
は除かれる。

【００３３】本発明の別の態様において、光学的整合機
構が使用されないか、または、光学的整合機構が使用さ
れて上部板がプローブの活動域に配列された後かのいづ
れかの例において、軸受ブロックそれ自体はプローブ板
にピン付けされる。（光学的整合機構を使用するとき、
軸受ブロックは永久的にはピン付けされることはない、
それらは配列処理の間は緩められる。）ロッキングピン
へのアクセス穴１１１が取付具の上部側から妨害されこ
とがないので、図７に示したピン付けのシステムは光学
的配列方法として好ましいものである。

【００３４】図８は、各直線状軸受組立体とともに使用
される急速解放ラッチシステムの実施例を示す。この実
施例は、移動上部板２８、圧縮ガスケットシール３６、
プローブ板２６、および直線状軸受１１４を載置する軸
受ブロック１１２を概略的に示す。好ましくは、直線状
軸受は先に述べた直線状軸受と同様な硬質プラスチック
のスリーブであるのがよい。直立型案内柱部１１６は軸
受の内径の内側に堅固に固定される。手回しねじ１１８
を案内柱部の基礎にねじ込み、手回しねじ頭部１１９は
直線状軸受ブロックの底部にたいして締め付けられ、案
内柱部上の軸受と肩部の間の案内柱部の係留部を保持す
る。案内柱部の上部は上部板に固定される。ブッシング
は上部板に堅固に固着し案内柱部にたいし上部板の横方
向の動きを防止する。鋼製ブッシングは、案内柱部の外
側に回りに除去可能に露出された貫通穴を有する。環状
の金属ブッシング１２０は移動上部板のレベルにおいて
案内柱部の上部を囲む。環状の鋼製シム１２２と環状の
ゴムブッシング１２４とは鋼製ブッシングの上方の案内
柱部の上部に固定される。シムはゴムブッシング上に設
けられる。ゴムブッシングは通常、案内柱部にたいする
上部板の僅かな上下の動きとともに少量の緩みを与え
る。復帰スプリング１２６は軸受の頂部と金属ブッシン
グ１２０の下側との間の案内柱部の上部を囲む。上部板
の上方の案内柱部の頂部は、環状の凹部１３０の上方に
拡大頭部１２８を備え、上部板の上部表面の上方にスペ
ースをもった位置にしっかりと固定された環状肩部１３
２を形成する。復帰スプリングはガスケットシールの上
方に上部板を保持する。

【００３５】図９および図１０は移動上部板２８を案内
柱部１１６の上部に堅固に接続するためのラッチ機構を
示す。このラッチ機構の実施例において、Ｕ字形の案内
フレーム１３４は上部板の上方で案内柱部の頭部１２８
を囲む。スプリング付きラッチ１３６はＵ字形案内１３
４の中を滑動する。ラッチ１３６は圧縮スプリングの偏
位に対抗して手動で外側に引き込むことができる、図１
０に示すように、上部板２８を案内柱部の上部から解放
するのに使用するためである。スプリングの偏位はラッ
チを動かし、案内柱部の頭部１２８の肩部１３２のすぐ
下に形成された環状スロット１３０と嵌合させる。スプ
リングで偏位したラッチと案内柱部の凹部を有する領域
１３０との間の前記嵌合により上部板は案内柱部に着脱
可能にロックされる。このように柱部へラッチされたこ
とにより、下方に向けて圧力が生じてゴムブッシングを
圧縮し、上部板と案内柱部の間の緩みをすべて取り上げ
てしまう。これにより、案内柱部上の固定位置に上部板
が保持される。真空が移動上部板のすぐ下部から導入さ
れると、上部板は下方に引かれ、スプリング１２６を圧
縮し、ガスケットシール３６に対抗して上部板の底部を
圧縮する。案内柱部は、プローブ板と移動上部板の各隅
部に滑らかに案内された縦方向の動きを生じさせる。本
実施例において、直線状軸受案内柱部とラッチへのアク
セスは単に移動上部板の上方からのものである。上部板
は、ラッチを解放し上部板を案内柱部から滑り落ちるよ
うにすることにより除去できる。したがって、上部板を
プローブ板から解放するのに軸受ブロックの下側にアク
セスする必要はない。

【００３６】図１１および図１２は、図９および図１０
のスプリング偏位したラッチの代替の形状を示す。図１
１および図１２に示した実施例において、案内柱部１１
６の頭部１２８は柱部頭部に面するＵ字形溝１４２を有
するスプリング偏位ラッチ板１４０により上部板２８に
ラッチされる。Ｕ字形溝１４２の内部で内方向に突出し
たＵ字形肩部１４４はラッチ復帰スプリングの圧力のも
とで柱部内の環状溝１３０に嵌合する。図１１はラッチ
された位置を示す。図１２は、内部復帰スプリングの偏
位に抗してそのラッチが案内柱部から手動で引かれて離
れてゆく解放位置を示す。上部板から上方に突出する一
対のねじ山付き柱部１４６は、ロック位置とロック解放
位置との間のラッチの移動を案内するためにラッチ内の
長手方向の並行案内スロット１４８において案内部とし
て作用する。

【００３７】図１３ないし図１５は、直立ピン１５２を
通ずる軸を中心に回転する円筒形モールドプラスチック
キャップ１５０を有する急速解放ラッチの実施例を示
す。そのピンは移動上部板２８の頂部面に固定され、か
つ、その上方に延びている。先に述べた案内柱部１１６
は上部板の頂部表面の上方に突出し、かつ、ピン１５２
の軸からスペースを有するキャップの横の位置内の正確
な開放スロット１５４中に突き出ている。そのスロット
は、頭部１２８のすぐ下の環状凹部１３０に嵌合する両
方の側において内部に突出する湾曲した肩部１５６を備
える。内部に突出した肩部１５６は、スロットの殆どの
長さにわたって、かつその両方の側に延在するが、スロ
ットの一方の端部におけるクリアランス部分１５８では
省略してある。図１３はスロットのクリアランス領域１
５８を経て延びる案内柱部頭部１２８を示す、この位置
において、キャップは、上部板の除去に使うために案内
柱部から解放することが出来る。上部板をプローブ板に
ラッチするために、キャップは案内柱部のロッキングヘ
ッド１２８の上に設けられ、スロット１５４に嵌合す
る。キャップは，図１３に示すような方向にピン１５２
を通る軸のまわりに回転させることができる。これによ
り、正確なスロット上にロック用肩部１５６はロッキン
グヘッド１２８の下側に嵌合する。図１５に示すロック
位置にたいしラッチを完全に回転をさせることにより、
案内柱部１１６の頭部１２８のすぐ下の凹部領域１３０
に保持されたロック用肩部１５６で急速解放ラッチをそ
のロック位置に確実に固定する。この位置において、ラ
ッチはゴムブッシングの圧縮により上部板上に圧力を保
持する。案内柱部は管状軸受と嵌合し、真空動作中に上
部板を滑らかに案内し縦方向に移動させる。キャップを
除去し、上部板を解放し案内柱部から取り除く。

【００３８】図１６および図１７は、着脱式の円筒形モ
ールドプラスチックキャップ１６０が案内柱部１１６上
のロック用柱部１２８にラッチされる急速解放ラッチの
代替の形状を示す。図１６はラッチのロッキングヘッド
１２８のまわりに嵌合する拡大されたスロット付き開放
部１６２を有するキャップを示す。内部に向けて突出す
る肩部１６４はスロット１６２のすぐ下にある狭いチャ
ンネルの反対側にある。キャップ１６０は、図１６に示
すように、全体的にロッキングヘッド１２８から着脱可
能であり、ロッキングヘッド上を滑動可能し案内柱部を
プローブ板上にロック位置に保持可能である。本実施例
において、案内チャンネル１６４はロッキングヘッド１
２８のすぐ下の小直径凹部１３０に嵌合し、案内柱部を
ブロック板に保持する。

【００３９】図１８および図１９は移動上部板２８をロ
ックおよびロック解除するするための代替の配置を示
す。この実施例において、ロッキングピン１６５は上部
板２８に固定されたスリーブ６０を経て延在する。その
スリーブは既に述べたように直線状軸受４６を載持する
軸受ブロック５０に固定される。ロッキングピン１６５
の頂部はスリーブ頭部の段部と嵌合するカム１６７を有
するレバー１６６を備える。そのカムレバーは軸１６６
ａのまわりを回転する。ピンの底部は、スリーブの底部
とピンの底部に固定された取付部１６９との間に位置す
る圧縮環状ガスケット１６８を保持する。レバーが図１
８に示したように直立でアンロック位置にあるとき、ガ
スケット１６８は圧縮されてなく、ピンは軸受４６を通
して自由に移動できる。レバーが図１９に示すようなロ
ック位置に回転するときは、カムは、ピンの実効長さを
短縮しかつスリーブの底部と取付部との間のガスケット
を圧縮する段部との嵌合をするに至る。これにより、取
付具上の着脱可能のロック位置に上部板が保持される。

【００４０】図２０はタブロックピンと称される代替の
カム操作のロッキングラッチを示す。本実施例におい
て、軸３６０は、縦方向ピン３６３を通る軸３６２を中
心に回転する上部カム３６１を保持する。回転可能ピン
の底部において、オフセットタブ３６４がその軸の側か
らオフセットされた位置に突き出ている。ガスケットま
たはスプリング３６５はタブと軸の底部との間に位置す
る。軸の上部のロッキングピン３６６はピン３６３の軸
からオフセットされている。ロッキングピン３６６は上
部カム３６１の下側の回り止めと嵌合し、回転に抗して
カムをロックする。図２０（Ａ）および図２０（Ｂ）
は、ともに上部板とプローブ板とをロックするラッチの
ロック位置を示す。そのラッチは、上部カム上に引き上
げることにより解放され、図２０（Ｃ）および図２０
（Ｄ）に示すように、それをロッキングピンを越えて回
転させる。これにより、軸を有する線にタブを移動させ
て、軸は直線状軸受を経て自由に移動できる。ガスケッ
トまたはスプリング３６５は、ラッチがそのラッチを解
放された位置に回転するとき、圧縮される。

【００４１】図２１および図２２は試験用取付具内の真
空領域の部分を絶縁するのに使用する環状の第２次シー
ル１７０を示す。例えば、図２１はプローブ板２４の複
数のテストプローブアクセス穴３１′を示す。そのアク
セス穴は試験中の基板のある領域に接触するテストプロ
ーブ１７４に使用される。穴３１′内の試験プローブ
が、試験中に実質的な真空圧を受けてはならない表面実
装装置、または他の回路装置のような集積回路装置と接
触する状況においては、第２次真空シールは、第２次シ
ールを囲む真空源の内側の環状スペース１７２に加えら
れた真空から、シール１７０内のスペース１７１を絶縁
する。この真空域１７２は、スペース１７１内のテスト
プローブが真空から絶縁される一方で、移動上部板を試
験中のプローブと機械的に接触させるのに使用される。
シール１７０はガスケットシール３４と同様なセル構造
の材料、好ましくはポロン材料から作られるのがよい。
２次的シールは浅く作りまれた凹部１７６に設けること
ができる。（さらに「双シール」（"twin seal" ）配置
を図２４に示し、以下にさらに詳細に述べる。）

【００４２】図２３は、蝶番を有する真空源組立体が不
注意による障害を使用者に与えることを防止するスプリ
ング付き安全留め金を示す。プローブ板２４と移動上部
板２８とを備えた真空源組立体は蝶番を備えて基盤２２
の上方において開放位置に回転する。これにより、プロ
ーブ板の下側のテストプローブにアクセスが行われる。
安全留め金は、バーを基盤の前部低位置に回転可能に固
定するための基盤上の蝶番（ヒンジ）ピン１８２を有す
る堅固な金属バー１８０を具備する。ヒンジピンは剛性
であり、バーの反対側端部の軸圧力に抵抗する。バーの
前面上を保持されるアクセスピン１８４は基盤の前面上
の湾曲スロット１８６を経て突出する。アクセスピン
は、細線（点線）で示した設置位置と実線で示した直立
の動作位置との間でバー１８０を手動回転させるのに使
用される。安全留め金バーは、符号１８７で略示した復
帰トーションスプリングを有し、通常安全バーを直立の
位置に保持するために使用される。ヒンジ付きの真空源
組立体がその開放位置に回転すると、安全留め金バー１
８０は、真空源組立体の低縁部１８８の上方に充分なス
ペースをおいて位置するバーの頂縁部とともにスプリン
グ１８７の力のもとで直立方向の作動位置に回転する。
真空源は通常、スプリング圧によりその全開放位置に保
持される、しかし、不注意による下方むけの力により、
組立体を急に下方に回転させ、使用者の指を打ってしま
う可能性がある。安全留め金バー１８０はこの問題を避
けるものである。その作動位置において、それは真空源
組立体の下方への動きに抵抗し、真空源を部分的にヒン
ジ開放位置に保持する。ヒンジ付き真空源組立体がその
閉成位置に回転すると、安全留め金バー１８０は下方に
回転しその休止位置に至る。

【００４３】一実施例において、取付具の頂部蓋は１個
または２個以上のガススプリング（図示しない）により
固定角度の開放位置に保持される。取付具が開放される
と、ガススプリングは、頂部の蓋の行動を約６０度未満
に制限する。付属部品（抑制ゲートのような）が頂部の
蓋に加えられると、もし蓋が回転して角度９０度に開く
とするとそれらは重心位置が変わってしまう。ガススプ
リングは重力の中心の偏位を避ける。

【００４４】図２４ないし図３２は、試験中の基板上の
回路がプローブ３０と正しく配列できるように、取付具
上のプローブ活動域との正しい配列関係が得られるよう
に上部板２８を自動偏位するためのｘ−ｙ軸モータ駆動
システムの一実施例を示す。プローブ活動域にたいし基
板の誤配列があれば、上述したように、ＰＣＴ公告番号
ＷＯ９１／１９３９２に開示されたような光学的整合機
構により検知される。図２４ないし図２６は、光学的整
合機構の実施例との協動に使用される試験用取付具と直
線状軸受システムの一実施例の概略を示す。説明の目的
で示した軸受システムは先に図７に基づき述べたものと
同じようなものである。この軸受システムは、取付具の
４隅に可動の軸受ブロックを備えている。各軸受ブロッ
クは、光学的整合機構の使用中に上部板２８が偏位され
る間に、緩められて軸受ブロックの自由な移動を可能に
する直線状軸受スリーブ８８ａと固定部９４ａとを備え
ている。各軸受ブロックは又、上部板が移動され試験中
の基板が光学的整合機構により正しくプローブ活動域に
配列された後において、軸受ブロックにピンを与えその
配列を保持するために使用するロッキングピン１１０と
ともに示されている。

【００４５】簡単には、取付具は、その取付具の裏面隅
部に軸受ブロック９０ａを備える。これらの軸受ブロッ
クは図７により先に述べたものと同様である。取付具の
前方隅部の分離した一対の軸受ブロック１９０は、変形
されて、上部板を以下に述べる配列に自動移動するのに
使用する分離駆動モータに結合する延長アーム１９２を
具備する。軸受ブロック１９０は、上部板について軸受
ブロックの自由な動きを可能にする固定部９４ａを備え
る裏側軸受ブロック９０ａと、むしろ同様である、即
ち、それらは又、光学的配列が完成したとき、前側の軸
受ブロックをピン作業するのに使用したピン１１０と同
様に、先に述べたように、直線状軸受８８ａと軸１０６
ａとを備えている。

【００４６】図２４に示すシステムは又、移動上部板２
８の下側とプローブ板２６の頂部との間に外部シールを
供給する環状外部ガスケット３６を備えている。先に述
べたように、この真空シールは真空域を、真空域の外側
である移動可能の軸受ブロックからの絶縁している。図
２４に示した実施例において、上部板２６の頂部に取り
付けたプリント回路基板８０は真空域からその全体を絶
縁している。本実施例において、シール３６と同じ材料
から作られる真空シール１９４は移動上部板の下側に固
定される。シール１９４の底部は、プローブ板の上部表
面の形状に整合する浅い凹部に嵌合する。真空が導入さ
れると、試験中の回路基板が真空域から完全に絶縁され
るように、環状の真空域１９６はシール１９４とシール
３８との間に形成される。

【００４７】いま、光学的整合機構、とくに、図２４お
よび図２５を参照すると、一対の携帯駆動モータが、取
付具の基盤上において、テストプローブについて上部板
の配列を自動偏位するのに使用する取付具の前方隅部に
ある軸受ブロック１９０の延長アーム１９２に装着され
る。前方軸受ブロック１９０は、プローブ板２６の下の
取付具の前に跨って横方向に延びる剛性の横断バー１９
７に固定される。軸受ブロック１９０はテフロン滑動シ
ートの間に設けられる、したがって、前方軸受ブロック
１９０と横断バーと１９７とはともに堅固なユニットと
して結ばれ上部板にたいし一体となって動く。取付具基
盤へ軸受ブロックの取り付けで、上部板のみの平面にお
いて上部板の縦方向の滑動を可能し、この間、上部板の
縦揺れ、即ちロッキングの動きは防止される。先に述べ
たように、移動上部板の底部に固定された軸１０６ａ
は、前部軸受ブロックの如何なる動きも上部板を自動移
動させるように、直線状軸受８８ａに配列される。取付
具の裏面隅部の軸受ブロック９０ａは光学的配列の間に
は緩和条件のままであり、裏側軸受ブロックの直線状軸
受と嵌合する移動上部板上の軸１０６ａは、使用される
ことなく、光学的配列駆動システムにより前側軸受ブロ
ック上に誘導された動きに従う。前側軸受ブロックの延
長アーム１９２は、配列処理の間において、ｙ軸駆動モ
ータ２００に協動してｘ軸、ｙ軸駆動モータ１９８によ
り駆動される。各モータは、光学的配列処理に先だっ
て、取付具の前側隅部に着脱自在に接続されるように成
された分離携帯ハウジング内に内蔵される。各前側の軸
受ブロックからの狭い延長アーム１９２はプローブ板に
しっかりと固定された一対の固定外部延長アーム２０２
の間に延在する。外部固定アーム２０２は、各外部延長
アーム２０２の間のスペースに延びる前側軸受ブロック
上の可動アーム１９２と並行に延在する。配列処理の間
において、取付具の前側隅部の固定位置にモータを保持
する取付具上の対応する受け部に接続するための駆動モ
ータ上に、外部固定延長アームは、縦方向に延長する固
定ピン２０４（以下に説明する）を具備する。駆動モー
タ上の固定ピン２０４は、モータを取付具の前側隅部か
ら取り除くとき、これらの受け部から除去される。可動
の前側軸受ブロックの延長アーム１９２は、駆動モータ
１９８および２００のｘ−ｙ軸の駆動軸により肘された
可動のキャリッジ（以下に説明する）上の受け部に接続
する一対の縦方向に延びる可動ピン２０６に接続され
る。駆動モータを使用する配列の処理についてはさらに
詳細に以下に述べる。

【００４８】図２４に示した駆動モータ１９８および２
００の概略の説明図について、ｘ軸、ｙ軸駆動モータ１
９８は、ｙ軸モータ２０８が駆動されるとき、その軸を
中心に回転する内部ねじ山付きの駆動ナット２１０を有
するｙ軸モータ２０８を備えている。駆動ナット２１０
は、取付具の前側左隅部に示された軸受ブロックの延長
アーム１９２に確実に固定された外部ねじ山付きの固定
ｙ軸の軸２１２に嵌合する。ｙ軸モータが駆動されると
き、駆動ナット２１０により、ｙ軸の軸２１２は図２４
に符号２１４で示したｙ軸の方向に移動する。駆動ユニ
ット１９８は又、ｙ軸の軸と直角をなして符号２１８で
示されるｘ軸上に配列された出力軸を有するｘ軸モータ
２１６を備えている。ｘ軸モータは、ｘ軸モータが駆動
ナット２２０を駆動するとき、ｘ軸に沿って適当な方向
に上部板を偏位させる内部歯車装置（以下に説明する）
を通じて接続するｘ軸固定軸２２２と嵌合し、かつ、内
部にねじ山を有する駆動ナット２２０を備える。

【００４９】ｙ軸駆動ユニット２００は、取付具の前側
右隅部に示した軸受ブロックに固定した固定ｙ軸の軸２
２８に接続したｙ軸駆動ナット２２６を駆動するための
ｙ軸モータ２２４を備える。

【００５０】光学的整合機構の作動中において、以下に
さらに詳細に述べるが、上部板は、ｘ軸、ｙ軸に移動可
能であり、または、ｚ軸に回転することができる。取付
具の前側左隅部に示す軸受ブロックの前側延長アーム１
９２を移動するｘ軸モータ２１６を動作することによ
り、ｘ軸の如何なる配列も生ずることができる。ｘ軸モ
ータのためのコントローラへの入力信号が上部板をｘ軸
に沿って左右に駆動できるように、全上部板は固定ユニ
ットとしてｘ軸駆動に固定される。ｙ軸モータ２０８お
よび２２４を一体として動作し上部板をｙ軸２１４に沿
って前方または後方に向かって移動させることにより、
ｙ軸の移動を行う。１個のｙ軸モータを一方向に回転す
るか、あるいは、他のｙ軸モータを反対方向に回転させ
るかにより、ｙ軸駆動モータ２０８および２２４を動作
させて上部板のｚ軸（回転）の動きを生じさせることが
できる。ｙ軸モータへの対応する入力信号は、単にｙ軸
に沿っての前後の動きに加え、上部板の反時計式または
時計式の回転を得ることができる。

【００５１】図２６について、最適な形状における光学
的整合機構は狭い直径の内径鏡２３０を備えている（図
２６には概略を、図２５には取付具内の位置で示す）。
その内径鏡は基板上の基準マーク２３２の像を遠隔処理
ユニットに転送するための光学ファイバー像案内を備え
ている。内径鏡は又、基準マークが光るように、遠隔光
源から基準マークの近傍に光を転送するための光学ファ
イバーを具備する。これは光学ファイバー像案内により
転送された基準マークの像を強調する。内径鏡のプロー
ブ端部は可動上部板２８のすぐ下のプローブ板２４上の
固定位置に取り付けられる。そのプローブは上部板２８
内の開放穴２３１を経て基準マークにいたるアクセスを
もっている。実際には、２個の内径鏡を使用する、分離
したものは各基準マーク２３２の像を作るためのもの
で、取付具の対角線上で反対側隅部にある。寸法の小さ
い直径の受け部は、好ましくは標準0.080 インチ（2.0m
m ）のコネクターで、各内径鏡をプローブ板に取り付け
る。移動上部板は、試験中の基板の対角線上反対側の隅
部の作業ピン穴に挿入された固定作業ピン８４を備えて
いる。各作業ピンは上部板に堅固に固定され、それらは
基板を上部板の上方の固定位置に保持する。

【００５２】使用について、内径鏡は、モニター２３６
のスクリーン上の２３４に示したように、各基準マーク
の位置を検知し、既知の０基準点にたいし各基準マーク
の如何なる誤配列をも示す光学的読みを可能にする。好
ましくは、各内径鏡により転送された像は、試験用取付
具から遠隔的に位置する分離小型ビデオカメラ２３８に
入力される。ビデオカメラレンズシステムは、基準マー
クの転送された像の焦点を、各遠隔ビデオカメラユニッ
ト中の２４０に位置する電荷結合素子（ＣＣＤ）チップ
上に結ぶ。その（ＣＣＤ）は、ビデオレンズシステムか
らの像を、コントローラ２４２のカメラコントローラユ
ニット（ＣＣＵ）を含むビデオディスプレイシステムに
より処理されるデジタル信号２４１に変換する。同軸の
ビデオケーブル２４３はビデオ信号をＴＶモニター２３
６に転送する。基準マークの拡大された像はビデオモニ
ターのスクリーンに映し出される。２個のスクリーン部
Ｖ１およびＶ２が十字線発生器２４４により発生した対
応する固定基準点２３４と比較して各基準マーク２３２
を表示するように、前記スクリーンを分割する。光学的
整合機構のＰＣＴ公告番号ＷＯ９１／１９３９２は固定
基準点を設定する目盛り方法を述べている。電子式十字
線発生器２４４の出力はビデオケーブルに電子的に結合
され、さらに、固定基準点としてスクリーン上にディス
プレイされる。基板の動くと、基準マークの像はそれら
の対応する固定基準点にたいしスクリーン上で変化す
る。プローブの活動域にたいする基板の如何なる動き
も、それらの固定基準点について基準マークの誤配列と
して表示される。プローブ板にたいし（したがって、内
径鏡にたいして）基板を移動させることにより、基準マ
ークの像は固定基準点とともに配列される。これによ
り、プローブ活動域をもつ基板は自動的に配列される。
この実施例において、上部板の作業ピン８４は固定した
状態のままであり、それらは、基板および上部板にした
がって、プローブ板と内径鏡とにたいし一体となって動
く。

【００５３】先に述べたように、本発明の直線状軸受
は、光学的配列処理の間において３６０度の自由な動き
で上部板２８を偏位させる手段を提供する。直線状軸受
は光学的配列処理の間にそれらの緩められた位置に保持
される。本発明の最適形状において、移動上部板は、ｘ
−ｙ軸モータ駆動ユニット１９８およびｙ軸モータ駆動
ユニット２００により偏位される。各駆動ユニットは、
コンピュータ制御し、上部板をプローブ活動域との正し
い配列に自動的に移動させる。使用中については、整合
機構の操作者は固定基準点２３４にたいす基準マーク２
３２の比較的配列を観察し、基準マークとそれらの対応
する基準点とが整列するまで、モータ駆動ユニット１９
８および２００を操作して上部板を動かす。モータ駆動
ユニット１９８および２００は、それぞれコントローラ
２４２の出力である制御信号２４５と２４６とにより駆
動される。各モータ駆動ユニットの１個または両方は制
御ユニット２５０に入力されたモータ駆動コマンド２４
６と２４８に応答して駆動される。モータ駆動システム
については引続き述べる。

【００５４】図２７および図２８はｘ軸ギャーモータ２
５０とｙ軸ギャーモータ２５２とを備えたｘ−ｙ軸駆動
ユニット１９８を示す。ｘ軸ギャーモータはｘ軸駆動ナ
ット２２０を回転させる。０クリアランスに調整された
スラストベアリング２５４はその軸を中心に回転するに
つれて、固定位置に駆動ナット２２０を保持する。ねじ
山付きｘ軸の軸２２２は回転することなしに固定位置に
保持される。可撓駆動カプラー２５６はスタート時と停
止時のショックを吸収する。ｘ軸駆動ナットの回転は、
ｘ軸の軸２２２をｘ軸に沿って前後に動かす。

【００５５】ｙ軸ギャーモータ２５２は直角ギャー２５
８と２６０とを経てｙ軸駆動ナット２１０に結合され
る。ｙ軸の可撓駆動カプラーを２６２に示す。ギャー２
６０は、０クリアランスラジアル軸受２６４により支持
されるｙ軸駆動ナットに結合された出力軸を有する。ｙ
軸駆動ナットの回転により、ｙ軸の軸２１２がｙ軸に沿
って反対方向に駆動ナットに向いまたはそれから離れて
移動する。バックラッシュ防止セグメント２６６がｘ軸
およびｙ軸駆動ナットのねじ山付き軸のそれぞれに載置
される。

【００５６】固定の取付ブラケット２６８は，ｙ軸の軸
２１２の反対側に距離をおいて位置する。この固定ブラ
ケットは駆動ユニットハウジング２７０にしっかりと固
定され、これらの取付ブラケットは先に述べた固定ピン
２０４を保持している。これらのピン２０４は駆動ユニ
ット１９８を取付具の前側隅部に固定するのに使用され
る。可動ピン取付ブラケット２７２は２個の固定取付ブ
ラケット２６８の間のｙ軸の軸２１２の端部に載置され
る。ｘ軸の軸がｙ軸の沿って移動し出入りし、可動ブラ
ケット２７２は軸２１２の動きとともに直線的に移動す
る。可動ブラケット２７２は、先に述べたように、取付
部の前側隅部の軸受ブロックに接続された移動ピン２０
６を載置する。

【００５７】ｘ軸の軸２２２は、ｘ軸の軸２２２の変換
の間においてｙ軸の軸をｘ軸方向に横に変換するための
キャリッジ２７４に堅固に固定される。キャリッジ２７
４は移動ピンブロック２７２をｘ軸のみの動きに抑制す
るありみぞ滑動部２７５を備える。２７６におけるクリ
アランスは、ｘ軸に沿って配列の調整をする間にｙ軸の
軸２１２とその移動ピンブラケット２７２との変換を可
能にする。移動ピンブラケット２７２および固定ピンブ
ラケット２６８との間の２７８におけるクリアランスも
又、ｘ軸に沿って移動することを可能にする。

【００５８】図２９および図３０について、ｙ軸駆動モ
ータ２２４は直角ギャー２８２と２８４の介在によりｙ
軸駆動ナット２２６に結合される出力軸を有するｙ軸ギ
ャーモータ２８０を具備する。駆動ユニットは又、先に
述べたように、０クリアランスラジアル軸受２８６、可
撓駆動カプラー２８８、およびバックラッシュ防止セグ
メント２９０を具備する。ｙ軸駆動軸２２８は、移動ピ
ンブロック２９４がｘ軸方向に駆動されるときｙ軸の移
動を抑制しつつｘ軸の自由な動きを可能とするダブテー
ル滑動部２９２上に載置される。ｙ軸駆動のためにハウ
ジング２９８に固定された固定ピンブロック２９６は固
定取付ピン２０４を保持する。可動ピンブロック２９４
は取付具の右前側隅部の軸受ブロックに接続するための
ピン２０６を保持する。

【００５９】モータ駆動において、各駆動ユニットは取
付具の前側隅部の軸受ブロック上の対応する延長アーム
に装着される。図３１および図３２は各駆動ユニットを
軸受ブロックに着脱可能に装着するための手段を示す。
先に述べたように、固定ピン取付ブラケット２６８の固
定ピン２０４は、取付具基盤の前部に堅固に固定された
固定取付ブロック２０２中の対応する受け部２９０に挿
入される。これにより、各駆動ユニットと、取付具にた
いし固定位置に保持する。駆動ユニットは又、駆動ユニ
ットによりｘ軸またはｙ軸において駆動される可動のピ
ンホルダー２７２上に保持される可動ピン２０６を備え
る。ピン２０６は、取付具の隅部にある軸受ブロックの
延長アーム２７２中の細長い受け部２９４に挿入され
る。全ての４個のピン２０４、２０６は、それぞれ同時
に、それらの対応する受け部２９０、２９４に挿入され
る。このように、駆動ユニットが取付具の前側隅部に取
付されると、その駆動ユニットは外部ピン２０４により
取付具にたいして固定位置に保持される、一方その間
に、駆動ユニットは、取付具の前側隅部において軸受ブ
ロックに装着されたピン２０６によりｘ軸，ｙ軸，また
はｚ方向に上部板を移動させることができる。

【００６０】配列処理行程においては、駆動モータは取
付具の前側隅部に装着され、光学的整合機構はプローブ
の活動域にたいして基板の如何なる誤配列も観察するた
めに使用され、そして、光学的整合機構が特定の配列を
明示するに至るまで、上部板を偏位させるべく駆動モー
タを作動させることによりこの処理行程が続けられる。
移動上部板にたいして固定位置の取付具の４隅部におけ
る直線状軸受を保持するためにロッキングピン１１０の
調整の結果により、駆動ユニットは取付具から除去する
ことができる。そこで取付具は、回路基板の試験を行う
ために直ちに真空を生成する体制となっている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理にかかる回路内真空試験用取付具
の外部を説明する上面斜視図である。

【図２】上部板を取り除いた図１の取付具を示す上面斜
視図である。

【図３】取付具のプローブ板部分の一隅部における直線
状軸受と真空シールを示す部分的概略平面図である。

【図４】図３に示した直線状軸受と真空シールの部分断
面図である。

【図５】図４の線５−５の部分平面図である。

【図６】代替の直線状軸受システムと浮遊上部板を示す
概略断面図である。

【図７】軸受ブロックを取付具基盤にピン作業する方法
を示す部分概略断面図である。

【図８】直線状軸受システムの他の実施例を示す部分的
概略断面図である。

【図９】急速解放ラッチの一実施例を説明する部分上面
斜視図である。

【図１０】急速解放ラッチの一実施例を説明する部分上
面斜視図である。

【図１１】急速解放ラッチの他の実施例を説明する部分
上面斜視図である。

【図１２】急速解放ラッチの他の実施例を説明する部分
上面斜視図である。

【図１３】急速解放ラッチのさらに代替の実施例の平面
図である。

【図１４】図１３に示すラッチの部分的概略断面図であ
る。

【図１５】ロック位置にあるラッチを示す図１３と同様
な平面図である。

【図１６】急速解放ラッチのさらに他の実施例を説明す
る部分的上面斜視図である。

【図１７】急速解放ラッチのさらに他の実施例を説明す
る部分的上面斜視図である。

【図１８】ロック解放位置にあるカム操作ロッキングピ
ンを示す概略断面図である。

【図１９】ロック位置にある図１８のカム操作ロッキン
グピンを示す概略断面図である。

【図２０】（Ａ）はラッチ位置にあるタブロックピンを
示す側面図である。（Ｂ）は（Ａ）の線Ｂ−Ｂに沿って
示した平面図である。（Ｃ）はロック解除位置にあるタ
ブロックピンの側面図である。（Ｄ）は（Ｃ）の線Ｄ−
Ｄに沿って示した平面図である。

【図２１】プローブ活動域の部分を絶縁する二重真空シ
ールの配置を説明する概略平面図である。

【図２２】図２１に示す二重真空シール配置の部分的断
面図である。

【図２３】取付具ハウジングの外部の安全アーム支持部
を説明する部分的概略前面側面図である。

【図２４】光学的整合機構からの位置調整情報に応答し
た試験用取付具の上部板を配列するのに使用されるｘ−
ｙ軸モータ駆動を示す概略平面図である。

【図２５】図２４の線２５−２５に沿って示した概略断
面図である。

【図２６】試験用取付具配列結像システムと自動配列を
行うモータ駆動との電子部品を説明する概略機能ブロッ
ク図である。

【図２７】ｘ−ｙ軸モータ駆動ユニットの概略断面図で
ある。

【図２８】図２７の線２８−２８に沿って示したｘ−ｙ
軸モータ駆動ユニットの概略断面図である。

【図２９】ｙ軸モータ駆動ユニットを示す概略断面図で
ある。

【図３０】図２９の線３０−３０に沿って示したｙ軸モ
ータ駆動ユニットを部分的に破断して示した概略断面図
である。

【図３１】光学的配列行程中に上部板を偏位させるのに
使用する取付具の可動上部板にモータ駆動ユニットを装
着する手段を示す断面図である。

【図３２】図３１の線３１−３１に沿って示した断面図
である。

【符号の説明】

２０ 試験用取付具 ２２ 底部基盤 ２６ プローブ板 ２８ 上部板 ３０ テストプローブ ３４ 直線状軸受 ３４′ 急速解放ラッチ ３４ａ ラッチ機構 ３６ 真空シール（ガスケット） ４４ 真空出入口 ４６ 軸受スリーブ ５０ 軸受ブロック ５２ 通路 ５４ 真空室 ５８ 固定１／４回転柱部 ６０ 静止スリーブ ８０ 回路基板 ８２ ガスケット ８６ 直線状軸受組立体 ８８ スリーブ １９６ 真空域 １９７ 横断バー １９８ Ｘ−Ｙ軸駆動モータユニット ２００ Ｙ−軸駆動モータユニット ２３２ 基準マーク ２３８ ビデオカメラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ギャリー エフ．セント．オンジェ アメリカ合衆国，12019 ニューヨーク州, ボールストン レーク，メイプルウッド ドライブ 15 (72)発明者 チャールズ ジェイ．ジョンストン アメリカ合衆国，91789 カリフォルニア 州，ウォールナット，ロス ガトス 411 (72)発明者 マーク エイ．スワート アメリカ合衆国，91786 カリフォルニア 州，アップランド，ノース ユークリッド アベニュー 1459

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 静止プローブ板と、試験中に基板を支持
   するための前記プローブ板の上方にスペースをもって位
   置する可動上部板とから成り、前記プローブ板は試験中
   に前記基板へのアクセスのために前記上部板を通じ延長
   するテストプローブの配列を支持し、前記上部板の下側
   と接触するために前記プローブ板の外縁の回りに延在す
   る環状ガスケットシールとから成り、前記上部板は前記
   プローブ板と前記上部板との間に形成される真空域に加
   えられた真空のもとで前記プローブ板に向かって移動可
   能でありかつ前記上部板を前記プローブ板に向かって移
   動しさらにこれにより前記ガスケットシールを圧縮し試
   験中に前記基板と接触する前記プローブを保持しつつ前
   記真空を維持し、前記ガスケットシールは前記真空が前
   記ガスケットシールの内部に形成した前記真空域に与え
   られて前記上部板を前記プローブ板に向かって移動させ
   るように前記真空域の外側周辺の境界のまわりに連続す
   る密閉気密のシールを形成し、前記連続ガスケットシー
   ルは前記真空域に向かって面する内側境界と前記真空域
   から離れて面する外側境界とを有し、前記プローブ板の
   外縁のまわりから離れてスペースをもった位置にありか
   つ前記試験用取付具の真空動作の間において前記プロー
   ブ板と前記ガスケットシールとに向かって又はそれらか
   ら離れて前記上部板の縦方向の移動を案内する前記上部
   板と嵌合する複数の直線状軸受組立体から成り、前記プ
   ローブ板に向かって又はそれらから離れて縦方向の動き
   を案内するために前記可動上部板を支持する前記直線状
   軸受は前記直線状軸受が前記真空域の外側にあって前記
   真空域に形成された前記真空に晒されることなく前記プ
   ローブ板に向かって前記上部板を移動させることができ
   るように前記シールの境界の内側に形成された前記真空
   域から反対側の前記ガスケットシールの外側境界の側の
   前記プローブ板に装着される、プリント回路基板の試験
   のための真空を利用した試験用取付具。
2. 【請求項２】 前記各直線状軸受組立体は前記プローブ
   板に装着されたプラスチック管状軸受スリーブと前記上
   部板により保持されかつ前記軸受スリーブの内側で縦方
   向の滑動するために位置決めされる固定案内柱部とを備
   える請求項１記載の試験用取付具。
3. 【請求項３】 前記案内柱部は前記上部板と嵌合し前記
   案内柱部の固定位置に前記上部板を保持するためのラッ
   チを備え、前記ラッチは前記案内柱部からかつ前記直線
   状軸受により供給されたその支持部から前記上部板を除
   去するために使用する前記可動上部板の上方から前記案
   内柱部より着脱可能である請求項２記載の試験用取付
   具。
4. 【請求項４】 静止プローブ板と、試験中に基板を支持
   するための前記プローブ板の上方にスペースをもって位
   置する可動上部板とから成り、前記プローブ板は前記基
   板へのアクセスのために前記上部板を通じ延長するテス
   トプローブの配列を支持し、前記上部板の下側と接触す
   るために前記プローブ板の外縁の回りに延在する環状ガ
   スケットシールとから成り、前記上部板は前記プローブ
   板と前記上部板との間の真空域に加えられた真空のもと
   で前記プローブ板に向かって引き込み可能でありかつ前
   記上部板を前記プローブ板に向かって移動しさらにこれ
   により前記真空シールを圧縮し試験中に前記基板と接触
   する前記プローブを保持しつつ前記真空を維持し、前記
   プローブ板の外縁のまわりから離れてスペースをもった
   位置にありかつ前記試験用取付具の真空動作の間におい
   て前記プローブ板と前記ガスケットシールとに向かって
   又はそれらから離れて前記上部板の縦方向の移動を案内
   する前記上部板と嵌合する複数の直線状軸受組立体から
   成り、前記直線状軸受組立体は前記プローブ板に装着さ
   れた管状軸受スリーブを備え、そして前記上部板により
   保持され前記軸受スリーブの内部に縦方向の滑動を案内
   するために位置決めされる固定案内柱部を備え、前記軸
   受スリーブは前記上部板から反対側の側の前記プローブ
   板の下方に保持される軸受ブロックに堅固に固定され、
   そして前記軸受ブロックから離れて突出する前記軸受ス
   リーブの上部を受けるための前記プローブ板内に通路を
   備え、前記通路内に配置された前記軸受スリーブの上部
   とともに前記プローブ板の下側に前記軸受ブロックを着
   脱可能に固定するための前記軸受ブロック上の手段から
   成り、前記通路は前記通路の内部の前記軸受スリーブの
   半径方向の自由な動きを可能にするために前記軸受スリ
   ーブの外径にたいして特大であり、そして前記案内柱部
   は前記上部板の下側に堅固に固定され前記プローブ板に
   たいし前記上部板の横方向の滑動が可動であり、前記案
   内柱部は前記軸受スリーブの内部で縦方向の滑動を行い
   前記プローブ板にたいして前記上部板を縦方向に移動案
   内するために配置されており、縦方向の移動を案内する
   ために前記軸受スリーブの内部で前記案内柱部を保持す
   る前記案内柱部に着脱可能に固定されかつ前記プローブ
   板にたいし固定位置に前記上部板を固定するラッチ手段
   から成り、前記ラッチ手段は着脱自在であって前記プロ
   ーブ板にたいし前記上部板の自由な滑動を可能にする、
   プリント回路基板の試験のための真空を利用した試験用
   取付具。
5. 【請求項５】 前記着脱自在のラッチは前記上部板を嵌
   合し前記案内柱部を前記上部板上の固定位置に保持す
   し、前記ラッチは前記案内柱部からおよび前記直線状軸
   受により供給されたその支持部から前記上部板を除去す
   るのに使用される前記可動上部板の上方から前記案内柱
   部より除去可能である請求項４記載の試験用取付具。
6. 【請求項６】 前記軸受組立体はさらに、前記テストプ
   ローブにたいし前記基板上の前記回路を配列するために
   前記基板の平面内で前記上部板が自由に横方向の滑動が
   できるように前記プローブ板にたいし前記柱部とスリー
   ブとが横方向に滑動可能である第１の位置を有する調整
   手段から成り、前記調整手段は前記プローブ板にたいし
   前記上部板の移動を案内するため前記上部板の前記横方
   向の偏位移動を防止するために前記柱部およびスリーブ
   とが互いにたいしかつ前記プローブ板にたいし固定位置
   に保持されるような第２の位置を有し、この場合前記基
   板上の前記回路は前記テストプローブと配列されてお
   り、前記基板上の固定索引作業マークの像を感知するた
   めに前記プローブ板に固定されたファイバー光学像案内
   を備えた光学的配列手段と、前記索引作業マークの表示
   に前記感知された像を変換するための手段と、前記テス
   トプローブにたいし前記基板上の前記回路の正しい配列
   を指摘する固定基準点の像を発生する手段と、前記感知
   した索引作業マークと前記固定基準点との前記像を配列
   に移動して前記テストプローブにたいし前記基板上の前
   記回路の正しい配列を自動的に指摘する手段とから成
   り、前記軸受組立体は前記第１の位置に保持され前記配
   列を可能にし、その後第２の位置に調整され前記テスト
   プローブの配列にたいし前記正しく配列された基板の前
   記案内された移動を可能にする、請求項４記載の試験用
   取付具。
7. 【請求項７】 前記軸受スリーブはプラスチック製であ
   る請求項４〜６のいずれか１項に記載の試験用取付具。
8. 【請求項８】 静止プローブ板と、試験中に基板を指示
   するための前記プローブ板の上方にスペースをもって位
   置する可動上部板とから成り、前記プローブ板は前記基
   板へのアクセスのために前記上部板を通じ延長するテス
   トプローブの配列を支持し、前記上部板の下側と接触す
   るために前記プローブ板の外縁の回りに延在する環状ガ
   スケットシールとから成り、前記上部板は前記プローブ
   板と前記上部板との間の真空域に加えられた真空のもと
   で前記プローブ板に向かって引き込み可能でありかつ前
   記上部板を前記プローブ板に向かって移動しさらにこれ
   により前記真空シールを圧縮し試験中に前記基板と接触
   する前記プローブを保持しつつ前記真空を維持し、前記
   プローブ板の外縁のまわりから離れてスペースをもった
   位置にありかつ前記試験用取付具の真空動作の間におい
   て前記プローブ板と前記ガスケットシールとに向かって
   又はそれらから離れて前記上部板の縦方向の移動を案内
   する前記上部板と嵌合する複数の直線状軸受組立体から
   成り、前記直線状軸受組立体は前記プローブ板に装着さ
   れた管状軸受スリーブと、前記上部板により保持され前
   記軸受スリーブの内部に縦方向の滑動を案内するために
   位置決めされる固定案内柱部とを備え、前記軸受スリー
   ブは前記上部板から反対側の側の前記プローブ板の下方
   に保持される軸受ブロックに堅固に固定され、そして前
   記軸受ブロックから離れて突出する前記軸受スリーブの
   上部を受けるための前記プローブ板内に通路を備え、前
   記通路内に配置された前記軸受スリーブの上部とともに
   前記プローブ板の下側に前記軸受ブロックを着脱可能に
   固定するための前記軸受ブロック上の手段から成り、前
   記通路は前記通路の内部の前記軸受スリーブの半径方向
   の自由な動きができるように前記軸受スリーブの外径に
   たいして特大であり、前記案内柱部は前記上部板の下側
   に堅固に固定され前記プローブ板にたいし前記上部板の
   横方向の滑動が可動であり、前記案内柱部は前記軸受ス
   リーブの内部で縦方向の滑動を行うために配置されてい
   る、プリント回路基板の試験のための真空を利用した試
   験用取付具。
9. 【請求項９】 前記軸受組立体はさらに、前記テストプ
   ローブにたいし前記基板上の前記回路を配列するために
   前記基板の平面内で前記上部板が自由に横方向の滑動が
   できるように前記プローブ板にたいし前記柱部とスリー
   ブとが横方向に滑動可能である第１の位置を有する調整
   手段から成り、前記調整手段は前記プローブ板にたいし
   前記上部板の移動を案内するため前記上部板の前記横方
   向の偏位移動を防止するために前記柱部およびスリーブ
   とが互いにたいしかつ前記プローブ板にたいし固定位置
   に保持されるような第２の位置を有すし、この場合前記
   基板上の前記回路は前記テストプローブと配列されてお
   り、前記基板上の固定索引作業マークの像を感知するた
   めに前記プローブ板に固定されたファイバー光学像案内
   を備えた光学的配列手段と、前記索引作業マークの表示
   に前記感知された像を変換するための手段と、前記テス
   トプローブにたいし前記基板上の前記回路の正しい配列
   を指摘する固定基準点の像を発生する手段と、前記感知
   した索引作業マークと前記固定基準点との前記像を配列
   に移動して前記テストプローブにたいし前記基板上の前
   記回路の正しい配列を自動的に指摘する手段とから成
   り、前記軸受組立体は前記第１の位置に保持され前記配
   列を可能にし、その後第２の位置に調整され前記テスト
   プローブの配列にたいし前記正しく配列された基板の前
   記案内された移動を可能にする、請求項８記載の試験用
   取付具。
10. 【請求項１０】 前記基板上の固定索引作業マークの像
    を感知するために前記プローブ板に固定された光ファイ
    バー像案内を有する光学的配列手段と、前記感知した像
    を前記索引作業マークの表示に変換する手段と、前記テ
    ストプローブにたいし前記基板上の前記回路の正しい配
    列を指摘する固定基準点の像を発生する手段と、前記テ
    ストプローブにたいし前記基板上の前記回路の正しい配
    列を自動的に指摘する配列に前記感知した索引作業マー
    クと前記固定基準点との前記像を移動する手段とから成
    り、前記軸受組立体は前記配列を可能にする第１の位置
    と前記テストプローブの配列にたいし前記正しく配列さ
    れた基盤の前記案内された移動を供給するようにその後
    調整される第２の位置との間で可動である、請求項８記
    載の試験用取付具。
11. 【請求項１１】 前記上部板は前記軸受組立体が前記第
    １の位置にあるとき横軸および長手方向軸の移動と結合
    して前記プローブ板にたいし前記上部板を滑動させるた
    めに外部モータ駆動により駆動された固定アームを備え
    ている請求項８〜１０のいずれか１項に記載の試験用取
    付具。
12. 【請求項１２】 前記管状軸受スリーブがプラスチック
    製である請求項８〜１０のいずれか１項に記載の試験用
    取付具。