JPH08327696A

JPH08327696A - 試験装置

Info

Publication number: JPH08327696A
Application number: JP7130185A
Authority: JP
Inventors: Kouichi Sodeki; 浩一袖木
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1995-05-29
Filing date: 1995-05-29
Publication date: 1996-12-13
Anticipated expiration: 2016-07-03
Also published as: JP3181192B2

Abstract

(57)【要約】【目的】簡単な動作で、真空チャンバ内の試料搭載台
に搭載されている複数の試料を交換する。【構成】真空チャンバ内に在る可動型試料搭載台４６
は、２つの試料が搭載されると共に、ガイド棒５３をガ
イド溝６１に挿通して試料搭載台収納部４５内に収納さ
れる。そして、試料搭載台駆動部５０によって駆動棒４
９を介して水平方向に移動されて、Ｖ字形のガイド溝６
１に案内されて垂直方向にも移動される。こうして、可
動型試料搭載台４６が最上位に位置する場合には、試料
４８a,４８bの一方が試験位置に在ってＬＳＩテスタヘ
ッドと電気的に接続され、可動型試料搭載台４６が最下
位に在る場合には何れの試料も試験位置に無くてＬＳＩ
テスタヘッドと離間する。つまり、可動型試料搭載台４
６を水平方向に移動させるだけで、試料４８aと試料４
８bとの交換を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、真空チャンバ内にお
いて被試験体を順次試験する試験装置であって、特にＬ
ＳＩ(大規模集積回路)ディバイスの回路動作の試験を行
う電子ビームテスタに関する。

【０００２】

【従来の技術】最近のＬＳＩディバイスの試験において
は、高集積度化に伴って、チップ素子内部のパターンは
線幅１μm以下の超微細寸法になっていることから、機
械的な探針法によるプロービングでは素子内のパターン
を破壊する危険性がある。そのために、直接ＬＳＩディ
バイスに接触せずにパターンにプローブして、回路動作
を試験できる電子ビームテスタが実用化されている。

【０００３】従来、上記電子ビームテスタとして、図１
０に示すようなものがある(特開昭６２−８８３３２号
公報)。この電子ビームテスタは、試料(ＬＳＩディバイ
ス)を高真空中にセットし、ＬＳＩテスタからのＬＳＩ
制御用の信号の供給を受けながらＬＳＩに電子ビームを
照射して、発生する二次電子のエネルギーが配線の電位
によって変化することを利用して回路動作状態を表す各
種のパラメータを測定するものである。

【０００４】すなわち、図１０(a)において、電子ビー
ム照射装置１は、後述するＬＳＩディバイス２に電子ビ
ームを照射する。真空チャンバ３は、後述する台４に対
して移動可能なケース５と、このケース５と台４との間
におけるケース５側に設けられてケース５内の気密を保
つ真空シール部材６とを有している。上記ＬＳＩディバ
イス２は被試験体の１つであって、電子ビームが照射さ
れて性能試験が行われるものである。

【０００５】ソケット搭載台１０上に搭載されたソケッ
ト７には、上記ＬＳＩディバイス２の端子が挿入されて
ＬＳＩディバイス２が電気的に接続される。テストヘッ
ド８は、移動装置(図示せず)によって台４に対して上下
動可能であり、電線９およびソケット７を介してＬＳＩ
２に駆動信号を入力してその駆動信号に対するＬＳＩデ
ィバイス２からの出力を監視し、ＬＳＩディバイス２の
良否を評価するのである。

【０００６】上記台４は、Ｘ−Ｙ駆動装置(図示せず)に
接続されて水平移動可能に設けられており、ＬＳＩディ
バイス２上における電子ビームの照射位置を順次移動す
る。テストヘッド８とソケット７とを接続する電線９は
収納ケース１１内に収納される。この収納ケース１１は
テストヘッド８上に固定されており、ソケット搭載台１
０をテストヘッド８に対して固定すると共に、台４に密
着して台４との隙間を無くして真空チャンバ３の気密を
保持する。真空シール１２は収納ケース１１内の電線９
を真空状態に保持する。

【０００７】図１０(b)は、図１０(a)におけるＡ−Ａ矢
視断面図である。図１０(b)において、上記収納ケース
１１は円形断面である。そして、電線９はソケット７の
端子に接続し易いように配列されている。また、収納ケ
ース１１と真空シール１２は、真空チャンバ３内に空気
が侵入することを阻止する構成になっている。

【０００８】ところが、上記電子ビームテスタでは、試
料搭載台である台４上に１度に１つの試料しかセットで
きない。したがって、ＬＳＩデバイス評価解析を複数の
試料に対して行う場合には、試料搭載台への試料の取り
付け(つまりは、真空チャンバの大気開放)を複数回行わ
ねばならず、真空チャンバ３の真空状態の回復に時間が
掛かり多大の時間ロスを強いられるという欠点がある。

【０００９】そこで、上述のような欠点を解消するため
に、試料搭載台に複数の試料を搭載可能な電子ビームテ
スタがシュルンベルジェ社で開発されている。図１１
は、上記複数の試料が搭載可能な電子ビームテスタの構
成図である。但し、図１１(a)は縦断面図であり、図１
１(b)は図１１(a)におけるＢ−Ｂ矢視断面図である。

【００１０】図１１において、２１はＬＳＩテスタヘッ
ド、２２は電子銃、２３は試料搭載台駆動部、２４は回
転軸、２５はプーリ、２６は回転型試料搭載台、２７は
回転力伝達用のワイヤ、２８は試料チャンバ、２９はＬ
ＳＩテスタヘッド２１と試料３０b(ＬＳＩテバイス)と
のコネクタ部、３１は試料搭載台側回転軸である。

【００１１】上記電子ビームテスタにおいては、大気中
に在る試料搭載台駆動部２３によってプーリ２５を回転
することによって、試料チャンバ２８を大気開放するこ
となく試料３０bを試料３０aと交換するのである。尚、
２つの試料３０a,３０bの試験を終了した際には、試料
チャンバ２８を大気開放し、試料チャンバ２８の上部を
取り外して両試料３０a,３０bを新たな試料と交換する
のである。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記２
つの試料を試料搭載台に搭載可能な電子ビームテスタに
おいては、上述の如く試料搭載台駆動部２３によってプ
ーリ２５を回転することによって試料３０bを試料３０a
と交換するのであるが、その前にコネクタ部２９を一旦
上方に移動して試料３０bとＬＳＩテスタヘッド２１と
の電気的接続を断つ必要がある。さらに、試料３０bと
試料３０aとの位置を入れ換えた後に、コネクタ部２９
を下方に移動して試料３０aとＬＳＩテスタヘッド２１
とを電気的に接続する必要がある。したがって、上記試
料チャンバ２８を大気開放することなく可動型試料搭載
台２６を回転して搭載されている試料相互を交換する際
の操作が非常に煩わしいという問題がある。

【００１３】また、上記２つの試料３０a,３０bが搭載
される回転型試料搭載台２６はプーリ２５にワイヤ２７
で連結されているので、試料チャンバ２８から簡単に取
り外すことができない。したがって、上記２つの試料３
０a,３０bを新たな２つの試料と交換する作業も、非常
に煩わしいという問題がある。

【００１４】そこで、この発明の目的は、簡単な動作
で、真空チャンバ内の試料搭載台に搭載された複数の被
試験体を容易に交換できる試験装置を提供することにあ
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係る発明は、真空チャンバ内において複
数の被試験体を順次試験する試験装置であって、上記被
試験体の夫々と電気的に接続されて,この接続された被
試験体の試験結果を得る試験部と、上記真空チャンバ内
に着脱可能に設置されて,複数の被試験体が水平方向に
並設されて載置されると共に,上下に屈曲または湾曲し
た経路に沿って移動して,上記経路の上下の一方の端に
位置する度に個々の被試験体を順次上記試験部に電気的
に接続する一方,上記経路の上下の他方の端に位置する
度に総ての被試験体と上記試験部とを離間する試料搭載
台と、上記試料搭載台を,上記経路に沿って移動するよ
うに駆動する試料搭載台駆動部を備えたことを特徴とし
ている。

【００１６】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
係る発明の試験装置において、上記試料搭載台駆動部は
上記試料搭載台を水平方向に駆動し、上記真空チャンバ
は上記経路に沿ったガイド溝を有し、上記試料搭載台
は,上記真空チャンバのガイド溝に挿入されて上記ガイ
ド溝内を案内されて移動するガイド部材を有することを
特徴としている。

【００１７】また、請求項３に係る発明は、請求項２に
係る発明の試験装置において、上記真空チャンバは、上
記ガイド溝に連続すると共に,上記試料搭載台のガイド
部材を上記ガイド溝に上方から導き入れる垂直溝を有す
ることを特徴としている。

【００１８】

【作用】請求項１に係る発明では、試料搭載台駆動部に
よって、真空チャンバ内に設置されている試料搭載台が
駆動されて上下に屈曲または湾曲した経路に沿って移動
する。そして、上記試料搭載台が上記経路の上下の一方
の端に位置する度に、水平方向に並設されて載置されて
いる被試験体の夫々が順次試験部に電気的に接続され
る。一方、上記経路の上下の他方の端に位置する度に、
総ての被試験体と上記試験部との接続が遮断される。こ
うして、上記試料搭載台駆動部によって上記試料搭載台
を駆動するという一動作によって、上記試験部に電気的
に接続される被試験体の切り換え、および、被試験体と
試験部との電気的な接続と離間が行われて、上記試験部
によって複数の被試験体の試験結果が順次得られる。

【００１９】さらに、上記試料搭載台に搭載された総て
の被試験体に対する試験が終了した際には、上記試料搭
載台が上記真空チャンバから取り外されて、試験済みの
被試験体が作業性良く新たな被試験体と交換される。

【００２０】また、請求項２に係る発明では、試料搭載
台駆動部によって、真空チャンバ内に設置さている試料
搭載台が水平方向に駆動される。そうすると、上記試料
搭載台は、ガイド部材が上記真空チャンバに形成された
ガイド溝に案内されて上記経路に沿って移動する。こう
して、上記試料搭載台が上記経路の上下の一方の端に位
置する度に、水平方向に並設されて載置されている被試
験体の夫々が順次試験部に電気的に接続される。一方、
上記経路の上下の他方の端に位置する度に、総ての被試
験体と上記試験部との接続が遮断される。

【００２１】また、請求項３に係る発明では、上記真空
チャンバのガイド溝に上記試料搭載台のガイド部材を挿
入するに際しては、上記ガイド部材は、上記ガイド溝に
連続する垂直溝に導かれて上方から挿入される。また、
こうして上記ガイド溝に挿入された上記ガイド部材は、
上記垂直溝に導かれて上記ガイド溝から上方へ脱出す
る。こうして、上記試料搭載台が、上記真空チャンバに
対して上記垂直溝を介して容易に着脱される。

【００２２】

【実施例】以下、この発明を図示の実施例により詳細に
説明する。図１は本実施例における試験装置の構成図で
あり、図２は図１に示す試験装置が搭載された電子ビー
ムテスタの構成図である。

【００２３】図２において、４１はＬＳＩテスタ,４２
はＬＳＩテスタヘッド,４３は真空チャンバ,４４はコン
ピュータ部である。尚、ＬＳＩテスタヘッド４２は、図
１０に示す電子ビームテスタにおけるテストヘッド８、
あるいは、図１１に示す電子ビームテスタにおけるＬＳ
Ｉテスタヘッド２１と同じであるが、その取り付け方向
が図１１と同様に図１０とは逆になっている。

【００２４】図１において、４５は試料搭載台収納部,
４６は可動型試料搭載台,４７は電子銃である。上記可
動型試料搭載台４６は、上記真空チャンバ４３の上部に
取り付けられている試料搭載台収納部４５内に収納され
ると共に、下面に２つの試料(ＬＳＩデバイス)４８a,４
８bが平行して搭載されて固定手段(図示せず)で固定さ
れる。そして、可動型試料搭載台４６における一端面に
は水平方向に延在する駆動棒４９の一端が取り付けられ
ており、駆動棒４９の他端側にはラックが形成されて固
定治具５１によって試料搭載台駆動部５０の回転軸先端
に設けられたピニオン７５に歯合している。そして、試
料搭載台駆動部５０によって駆動棒４９が水平方向に移
動されることによって可動型試料搭載台４６が水平方向
に駆動される。こうして、上記可動型試料搭載台４６が
試料搭載台駆動部５０から最も離れた位置に在る場合に
は、試料４８bが電子銃４７による電子ビームの照射位
置に在る。一方、可動型試料搭載台４６が試料搭載台駆
動部５０に最も近い位置に在る場合には、試料４８aが
電子ビームの照射位置に在ることになる。

【００２５】また、上記真空チャンバ４３における上面
であって、電子銃４７の上方には、略矩形の段付穴４３
aが設けられ、この段付穴４３aにはロードモジュール６
５が嵌合される。このロードモジュール６５は、真空チ
ャンバ４３内の真空と大気とを仕切ると共に、ＬＳＩテ
スタヘッド４２からの試料４８a,４８bへの制御信号を
伝達する。

【００２６】図３は、上記可動型試料搭載台４６の平面
図(図３(a)),側面図(図３(b))および正面図(図３(c))で
ある。可動型試料搭載台４６は概略平板状を成し、中央
２箇所には試料４８a,４８bを嵌合する試料搭載用穴５
２a,５２bが穿たれており、両側面５４,５４夫々の両端
部には合計４個の上記ガイド部材としてのガイド棒５３
を水平方向に突出させて設けている。また、可動型試料
搭載台４６の一端面５５の中央には、縦長長方形の駆動
棒係合孔５６を穿ち、内部には駆動棒係合孔５６に連通
する正方形の駆動棒係合溝５７を設けている。

【００２７】図４は、上記試料搭載台収納部４５の側面
図(図４(a))と平面図(図４(b))である。試料搭載台収納
部４５は、並設された２枚の側板５８と両側板５８,５
８の一端同士を連結する連結部材５９で概略構成され
る。また、一方の側板５８の他端に設けられた取付部材
６０には、上記試料搭載台駆動部５０が取り付けられて
いる。上記両側板５８には、Ｖ字形のガイド溝６１,６
１が設けられ、さらにガイド溝６１,６１夫々の最下部
を側板５８の上縁に開放する２つの垂直溝６２,６２が
設けられている。そして、ガイド溝６１および垂直溝６
２の幅は、可動型試料搭載台４６におけるガイド棒５３
の直径に略等しく、両垂直溝６２,６２間の間隔は可動
型試料搭載台４６における両ガイド棒５３,５３の間隔
に等しくなっている。上記構成の可動型試料搭載台４６
と試料搭載台収納部４５は、以下のようにして着脱可能
に結合される。

【００２８】図５は、上記試料搭載台収納部４５内に可
動型試料搭載台４６を収納する手順の説明図である。図
５(a)に示すように、上記可動型試料搭載台４６の４本
のガイド棒５３を試料搭載台収納部４５の４個の垂直溝
６２に上側から挿通させて、可動型試料搭載台４６を試
料搭載台収納部４５内に収納する。そして、図５(b)に
示すように、各垂直溝６２に、この垂直溝６２と同幅を
有してＴ字形を有する閉鎖治具６４を挿入して垂直溝６
２を閉鎖する。そうした後、上記固定治具５１の穴に挿
入された駆動棒４９の上記一端に直角方向に設けられて
Ｔ字形の横棒を形成する係合部材６３が、可動型試料搭
載台４６の一端面５５に穿たれた駆動棒係合孔５６から
駆動棒係合溝５７内に挿入される。そして更に、駆動棒
４９の係合部材６３が駆動棒係合溝５７内で９０度回転
される(つまり、係合部材６３を水平方向に位置させ
る)。そうすると、駆動棒係合孔５６は縦長の長方形を
有しているので、図５(c)に示すように、駆動棒４９の
係合部材６３が駆動棒係合孔５６によって駆動棒係合溝
５７内に係止されるのである。その後、上記固定治具５
１が試料搭載台駆動部５０の回転軸先端に挿入されるこ
とによって、駆動棒４９のラックが試料搭載台駆動部５
０のピニオン７５に歯合される。

【００２９】尚、こうして上記試料搭載台収納部４５内
に収納されて結合された可動型試料搭載台４６は、上述
の逆の過程を辿ることによって、試料搭載台収納部４５
から容易に取り外すことができる。したがって、可動型
試料搭載台４６上に搭載された２つの試料４８a,４８b
に対する試験が終了した際には、可動型試料搭載台４６
を試料搭載台収納部４５から取り外して両試料４８a,４
８bを新たな２つの試料に作業性良く交換できるのであ
る。

【００３０】上述のようにして、上記試料搭載台収納部
４５内に収納された可動型試料搭載台４６は、その４本
のガイド棒５３が試料搭載台収納部４５のガイド溝６１
内で移動可能になっている。したがって、試料搭載台駆
動部５０によって駆動棒４９が水平方向に駆動される
と、それに伴って可動型試料搭載台５４もガイド棒５３
がガイド溝６１によって案内されて水平方向に移動す
る。その際に、ガイド溝６１はＶ字形を成しているの
で、可動型試料搭載台５４は、水平方向に移動すると同
時に垂直方向にのみ往復動するのである。

【００３１】図６は、上記真空チャンバ４３の上面に穿
たれるロードモジュール嵌合用の段付穴４３aと試料搭
載台収納部４５との水平方向での位置関係を示す。図か
ら分かるように、段付穴４３aは、その中心が試料搭載
台収納部４５の中心に位置するように穿たれている。ま
た、図７は、上記真空チャンバ４３の段付穴４３aに嵌
合されるロードモジュール６５の平面図(図７(a))およ
び側面図(図７(b))を示す。ロードモジュール６５を真
空チャンバ４３に装着した際に電子銃４７の真上に位置
するロードモジュール６５の箇所には、ＬＳＩテスタヘ
ッド４２からの制御信号を試料４８a,４８bへ伝達する
ための伸縮機能付きのコンタクトピンであるコンタクト
プローブ６６が貫通して植え込まれたピン貫通部材６７
が嵌合される。尚、上記段付穴４３aとロードモジュー
ル６５との接合面およびロードモジュール６５とピン貫
通部材６７との接合面は、真空チャンバ４３内の真空度
低下が起こらないように完全にシールドされている。

【００３２】上述のように可動型試料搭載台４６を収納
した試料搭載台収納部４５を有する試験装置は、図８に
示すように動作する。図８(a)は、上記試料搭載台駆動
部５０によって駆動棒４９が試料搭載台駆動部５０から
離れる方向に移動されて、可動型試料搭載台４６のガイ
ド棒５３が試料搭載台収納部４５のガイド溝６１におけ
る試料搭載台駆動部５０から最も離れた位置に在る状態
を示す。この場合には、可動型試料搭載台４６に搭載さ
れている試料４８a,４８bのうち試料４８bの方が電子銃
４７の真上(すなわち、試験位置)に位置している。その
際に、可動型試料搭載台４６のガイド棒５３がガイド溝
６１における最上位に在るために、可動型試料搭載台４
６も最上位に在る。その結果、試料４８bのコンタクト
プローブ６８bが試料搭載台収納部４５の上端から突出
し、ロードモジュール６５のコンタクトプローブ６６
(両側端に位置する２本で代表して記載)に接続されるの
である。そして、上記ＬＳＩテスタヘッド４２からの制
御信号がロードモジュール６５のコンタクトプローブ６
６を介して試料４８bに供給される一方、上記制御信号
に対する試料４８bからの出力がロードモジュール６５
のコンタクトプローブ６６を介してＬＳＩテスタヘッド
４２に供給される。

【００３３】図８(b)は、上記試料搭載台駆動部５０に
よって駆動棒４９が図８(a)の位置から試料搭載台駆動
部５０に近づく方向に移動されて、ガイド棒５３がＶ字
形のガイド溝６１における中間位置に在る状態を示す。
この場合には、ガイド棒５３がガイド溝６１における最
下位に在るために、可動型試料搭載台４６も最下位に在
る。その結果、試料４８bのコンタクトプローブ６８bが
ロードモジュール６５のコンタクトプローブ６６から離
間するのである。

【００３４】図８(c)は、上記試料搭載台駆動部５０に
よって駆動棒４９が図８(b)の位置から試料搭載台駆動
部５０に更に近づく方向に移動されて、ガイド棒５３が
ガイド溝６１における試料搭載台駆動部５０に最も近づ
いた位置に在る状態を示す。この場合には、試料４８a
の方が試験位置に位置している。その際に、ガイド棒５
３がガイド溝６１における最上位に在るために、試料４
８aのコンタクトプローブ６８aが試料搭載台収納部４５
の上端から突出してロードモジュール６５のコンタクト
プローブ６６に接続される。そして、上記ＬＳＩテスタ
ヘッド４２からの制御信号がロードモジュール６５のコ
ンタクトプローブ６６を介して試料４８aに供給される
一方、上記制御信号に対する試料４８aからの出力がロ
ードモジュール６５のコンタクトプローブ６６を介して
ＬＳＩテスタヘッド４２に供給される。

【００３５】上記試料４８a,４８bの相互交換に際して
移動型試料搭載台４６は上下動するために、駆動棒４９
の上記一端の係合部材６３の位置も試料搭載台収納部４
５に対して上下動する。これに対して、試料搭載台駆動
部５０の試料搭載台収納部４５に対する垂直方向の位置
は変動しない。そこで、本実施例においては、上記駆動
棒４９を試料搭載台駆動部５０の固定治具５１で揺動可
能にしている。したがって、図８(a)および図８(c)に示
すように可動型試料搭載台４６が上方に位置する場合に
は駆動棒４９は図中左下がりに傾斜する一方、図８(b)
に示すように可動型試料搭載台４６が下方に位置する場
合には駆動棒４９は大略水平方向になって、可動型試料
搭載台４６は容易に上下動できるのである。

【００３６】上述のように、本実施例においては、ＬＳ
Ｉディバイス等の試料を２つ並設して搭載して水平方向
に移動可能な可動型試料搭載台４６を試料搭載台収納部
４５内に収納する。その際に、試料搭載台収納部４５の
両側板５８に設けられたＶ字形のガイド溝６１に可動型
試料搭載台４６のガイド棒５３を挿入させて、試料搭載
台駆動部５０によって駆動棒４９を介して可動型試料搭
載台４６を水平方向に移動させるに際して、可動型試料
搭載台４６はガイド溝６１に案内されて水平方向に移動
すると同時に垂直方向にのみ往復動するようにしてい
る。

【００３７】したがって、上記可動型試料搭載台４６の
ガイド棒５３が試料搭載台収納部４５のガイド溝６１の
一端に在る場合には、２つの試料４８a,４８bの何れか
一方が試験位置に位置してその試料のコンタクトプロー
ブがロードモジュール６５のコンタクトプローブ６６に
接続される。また、ガイド棒５３がガイド溝６１の中央
に在る場合には、両試料４８a,４８b共試験位置に位置
せずにコンタクトプローブ６８a,６８bがロードモジュ
ール６５のコンタクトプローブ６６に接続されない。ま
た、ガイド棒５３がガイド溝６１の他端に在る場合に
は、２つの試料４８a,４８bの何れか他方が試験位置に
位置してその試料のコンタクトプローブがロードモジュ
ール６５のコンタクトプローブ６６に接続されるのであ
る。

【００３８】すなわち、本実施例によれば、試料搭載台
収納部４５の試料搭載台駆動部５０によって駆動棒４９
を水平方向に移動させるだけで、可動型試料搭載台４６
に搭載された２つの試料４８a,４８bの何れか一方とＬ
ＳＩテスタヘッド４２との電気的接続の切断、試料の移
動、何れか他方の試料とＬＳＩテスタヘッド４２との電
気的接続を連続的に且つ自動的にできるのである。した
がって、大気開放を行うことなく複数の試料の試験を行
うことができる。

【００３９】また、上記可動型試料搭載台４６上に搭載
された２つの試料４８a,４８bに対する試験が終了した
際には、閉鎖治具６４を上方に抜いて試料搭載台収納部
４５の垂直溝６２を通して可動型試料搭載台のガイド棒
５３を上方に引き上げることによって、可動型試料搭載
台４６を試料搭載台収納部４５から容易に取り外して両
試料４８a,４８bを新たな２つの試料に交換できる。

【００４０】尚、上記実施例においては、可動型試料搭
載台４６には２つの試料を並設して搭載可能になってい
る。しかしながら、この発明では、３つ以上の試料を並
設して搭載することも可能である。但し、その際には、
試料搭載台収納部４５に設けるガイド溝６１を試料数に
応じた個数だけＶ字形を連ねて形成する必要がある。ま
た、上記実施例においては、試料搭載台収納部４５に設
けるガイド溝６１の１単位をＶ字形に形成しているが、
この発明はこれに限定されるものではない。例えば、図
９に示すようにＵ字形に形成すれば、試料４８a,４８b
のコンタクトプローブをロードモジュール６５のコンタ
クトプローブ６６に着脱する際に各コンタクトプローブ
に対して曲げ応力が掛かるのを防止して、上記着脱をス
ムーズにできる。

【００４１】また、上記実施例においては、上記ＬＳＩ
テスタヘッド４２を試料搭載台収納部４５に対して上側
に設置しているが、図１０に示す従来例の如く下側に設
置しても何ら差し支えない。但し、その場合には、試料
搭載台収納部に設けるガイド溝の形状は上方に凸でなけ
ればならない。また、上記実施例においては、上記可動
型試料搭載台４６を収納した試料搭載台収納部４５を真
空チャンバ４３内に設けた試験装置を電子ビームテスタ
に搭載しているが、この発明はこれに限定されるもので
はない。

【００４２】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１に係
る発明の試験装置は、複数の被試験体の夫々と電気的に
接続されて試験結果を得る試験部と、上記被試験体が載
置されて上下に屈曲または湾曲した経路に沿って移動す
る試料搭載台と、上記試料搭載台を上記経路に沿って移
動するように駆動する試料搭載台駆動部を有するので、
上記試料搭載台駆動部によって上記経路に沿って駆動さ
れる上記試料搭載台が上記経路の上下の一方の端に位置
する度に個々の被試験体を順次上記試験部に電気的に接
続させる一方、上記経路の上下の他方の端に位置する度
に総ての被試験体と上記試験部とを離間させることがで
きる。したがって、この発明によれば、上記試料搭載台
を駆動するという一動作で、被試験体と上記試験部との
離間と、被試験体の移動と、次被試験体と上記試験部と
の電気的接続とを、真空チャンバを大気開放することな
く連続して行うことができる。

【００４３】さらに、上記試料搭載台は上記真空チャン
バ内に着脱可能に設置されている。ので、上記試料搭載
台に搭載されている総ての被試験体に対する試験が終了
した際には、上記試料搭載台を真空チャンバから取り外
して、作業性良く試験済みの被試験体を新たな被試験体
と交換できる。

【００４４】また、請求項２に係る発明の試験装置にお
ける上記真空チャンバは上記経路に沿ったガイド溝を有
し、上記試料搭載台は上記ガイド溝内を案内されて移動
するガイド部材を有するので、上記試料搭載台駆動部に
よって上記試料搭載台を水平方向に駆動するという非常
に簡単な一動作で、被試験体と上記試験部との離間,被
試験体の移動,次被試験体と上記試験部との電気的接続
を真空チャンバを大気開放することなく連続して行うこ
とができる。

【００４５】また、請求項３に係る発明の試験装置にお
ける上記真空チャンバは、上記試料搭載台のガイド部材
を上方から上記ガイド溝に導き入れる垂直溝を有するの
で、この垂直溝を介して、上記試料搭載台を上記真空チ
ャンバに対して容易に着脱できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の試験装置の構成図である。

【図２】図１の試験装置が搭載された電子ビームテスタ
の構成図である。

【図３】図１における可動型試料搭載台の詳細図であ
る。

【図４】図１における試料搭載台収納部の詳細図であ
る。

【図５】図３に示す可動型試料搭載台を図４に示す試料
搭載台収納部内に一体に収納する際の手順を示す図であ
る。

【図６】図１における真空チャンバの段付穴と試料搭載
台収納部との位置関係を示す図である。

【図７】図１に示すロードモジュールの詳細図である。

【図８】図３に示す可動型試料搭載台の動作説明図であ
る。

【図９】図４とは異なる試料搭載台収納部を示す図であ
る。

【図１０】従来の電子ビームテスタの説明図である。

【図１１】図１０とは異なる電子ビームテスタの説明図
である。

【符号の説明】４２…ＬＳＩテスタヘッド、４３…真空チャン
バ、４５,７０…試料搭載台収納部、４６…可動型
試料搭載台、４７…電子銃、４８
…試料、４９…駆動棒、５０…試
料搭載台駆動部、５３…ガイド棒、
５６…駆動棒係合孔、５７…駆動棒係合溝、
６１,７１…ガイド溝、６３…係合部材、
６５…ロードモジュール。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空チャンバ内において複数の被試験体
を順次試験する試験装置であって、上記被試験体の夫々と電気的に接続されて、この接続さ
れた被試験体の試験結果を得る試験部と、上記真空チャンバ内に着脱可能に設置されて、複数の被
試験体が水平方向に並設されて載置されると共に、上下
に屈曲または湾曲した経路に沿って移動して、上記経路
の上下の一方の端に位置する度に個々の被試験体を順次
上記試験部に電気的に接続する一方、上記経路の上下の
他方の端に位置する度に総ての被試験体と上記試験部と
を離間する試料搭載台と、上記試料搭載台を、上記経路に沿って移動するように駆
動する試料搭載台駆動部を備えたことを特徴とする試験
装置。
【請求項２】請求項１に記載の試験装置において、上記試料搭載台駆動部は、上記試料搭載台を水平方向に
駆動し、上記真空チャンバは、上記経路に沿ったガイド溝を有
し、上記試料搭載台は、上記真空チャンバのガイド溝に挿入
されて上記ガイド溝内を案内されて移動するガイド部材
を有することを特徴とする試験装置。
【請求項３】請求項２に記載の試験装置において、上記真空チャンバは、上記ガイド溝に連続すると共に、
上記試料搭載台のガイド部材を上記ガイド溝に上方から
導き入れる垂直溝を有することを特徴とする試験装置。