JPH05264650A - バーンインボード試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はバーイン装置に使用されるバーンイ
ンボード試験装置に関し、時間と労力の軽減による試験
効率の向上を図ることを目的とする。 【構成】 バーンインボード２１に複数の端子２２ａを
集合させた端子部２２を設ける。また、各端子２２ａに
一括して接触する対応する数の接触ピン２４を備えたプ
ローブ部２３を、該端子部２２に係合させる。そして、
プローブ部２３からの信号を切換回路部２５により分配
して観測部２６により信号波形を出力表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、バーンイン装置に使用
されるバーンインボード試験装置に関する。

【０００２】半導体デバイスの製造プロセスにおいて、
故障に結びつく要因が多く存在し、これらの故障に対し
てスクリーニングがあり、バーンイン試験が行われる。
バーンイン試験を行う場合、半導体デバイスをバーンイ
ンボードに搭載し、バーンイン炉で高温に加熱してバイ
アスを印加して行う。

【０００３】このためには、バーンインボードが正常で
なければならないことから、該バーンインボードの試験
を行っており、効率よくバーンインボードの試験をでき
ることが望まれている。

【０００４】

【従来の技術】従来、バーンインボードを試験する場
合、バーンイン装置よりバーンインボードに供給される
電源等の波形を観測して行う。

【０００５】図３に、従来のバーンインボードの測定を
説明するための図を示す。図３において、バーンイン装
置（図示せず）にセットされたバーンインボード１１
に、装置側より電源等が供給される。バーンインボード
１１には、測定のための最低５個のチェックピン１２が
設けられる。

【０００６】このバーンインボード１１の試験は、該チ
ェックピン１２のそれぞれにプローブ１３を当て、波形
観測器１４により波形を観測して、良、不良の判定を行
うものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、バーンインボ
ード１１の試験は、作業者がチェックピン１２の各ピン
毎にプローブを当てて行うことから、多大な時間と労力
を要する。例えば、バーンイン装置に４８枚のバーンイ
ンボード１１が設置される場合、各５個のチェックピン
で総計240 個のチェックピンをそれぞれに行わなければ
ならない。

【０００８】従って、時間と労力の増加がバーンイン工
程に悪影響を及ぼすと共に、自動化等による効率化を図
ることができないという問題がある。

【０００９】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、時間と労力の軽減による試験効率の向上を図る
バーンインボード試験装置を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題は、被測定物を
バーンイン装置内でバーンイン試験を行うためのバーン
インボード試験装置において、前記被測定物を搭載し、
所定数の端子を集合させた端子部が設けられ、前記バー
ンイン装置内に設置される所定数のバーンインボード
と、該バーンインボードの端子部に係合し、該端子部の
各端子のそれぞれに一括して接触される所定数の接触ピ
ンを有するプローブ部と、該プローブ部からの信号を分
配する切換回路部と、該切換回路部からの信号波形の出
力表示を行う観測部と、で構成することにより解決され
る。

【００１１】

【作用】上述のように、バーンインボードに端子を集合
させた端子部が設けられる。そして、この端子部にプロ
ーブ部を係合させて、それぞれの端子と接触ピンを一括
して一度のコンタクト動作で接触させる。

【００１２】この場合、プローブ部からの出力波形は総
ての接触ピンからの出力であることから、これらの信号
を切換回路部により分配する。そして、観測部が信号波
形の出力表示を行う。

【００１３】このように、一度のコンタクト動作で総て
の端子の波形観測が可能となり、時間と労力の軽減によ
る試験効率の向上を図ることが可能となる。

【００１４】

【実施例】図１に、本発明の一実施例の構成図を示す。
図１において、バーンインボード２１は、図示しないが
半導体装置等の被測定物を搭載してバーンイン装置内で
バーンイン試験を行うためのものであり、そのために試
験パターンが形成される。

【００１５】この試験パターンにそれぞれ電気的に接続
される端子（例えば５個）２２ａが集合された端子部２
２が、バーンインボードの一端に設けられる。

【００１６】このようなバーンインボード２１は、バー
ンイン装置（図２参照）内に複数枚設置されたときに、
バーンイン装置より電源等が供給され、供給状態が端子
部２２の端子２２ａで確認するものである。

【００１７】一方、端子部２２に係合するプローブ部２
３に、端子２２ａに対応する接触ピン２４が配され、そ
れぞれの接触ピン２４は、切換回路部２５に接続され
る。切換回路部２５は、プローブ部２３からの信号を分
配して、信号波形の出力表示を行う観測部２６に送出す
る。なお、プローブ部２３には、端子部２２との係合を
確実にするために、ガイド２３ａを設けてもよい。

【００１８】このようなバーンインボード試験装置は、
バーンインボード２１の端子部２２にプローブ部２３を
係合させて、端子２２ａと接触ピン２４を接触させる
と、切換回路部２５に総ての端子２２ａからの信号が入
力される。切換回路部２５は、これらの信号を切換えて
一端子２２ａ毎に観測部２６に出力する。観測部２６は
一端子２２ａ毎の信号波形を出力表示するものである。

【００１９】このように一度のコンタクト動作で総ての
端子２２ａの出力波形を観測できることにより、作業が
簡略化、容易化されると共に、時間、労力が軽減され、
試験効率が向上される。

【００２０】次に、図２に、本発明の一適用例の構成図
を示す。図２において、バーンイン装置３１内に半導体
装置等の被測定物を搭載したバーンインボード２１を所
望の枚数設置する。この場合、バーンインボード２１の
端子部２２は、バーンイン装置３１の開口側に位置され
る。

【００２１】一方、バーンイン装置３１の開口側方向に
移動可能なロボット３２上の箱体３３内に、前述の切換
回路部２５及び観測部２６が設置される。このロボット
３２の前方端にはフレーム３４が設けられ、このフレー
ム３４内にＸＹ駆動部３５が設けられる。ロボット３２
及びＸＹ駆動部３５により移動機構部を構成する。そし
て、ＸＹ駆動部３５にプローブ部２３が取り付けられる
ものである。

【００２２】従って、プローブ部２３は、ＸＹ駆動部３
５及びロボット３２により三次元で移動可能となる。こ
れにより、バーンイン装置３１内に設置された複数枚の
バーンインボード２１の端子部２２に自動的にプローブ
部２３を係合させることができ、それぞれのバーンイン
ボード２１の試験を一度のコンタクト動作で、しかも自
動で行うことができる。このことは、バーンインボード
２１の波形観測の時間を大幅に短縮することができると
共に、バーンイン工程の工数削減を図ることができる。

【００２３】なお、ロボット３２上に、上述の観測部２
６等以外に、記憶装置や出力装置等を装備させ、波形観
測データの記憶や出力を行うようにしてもよい。

【００２４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、バーンイ
ンボードに端子を集合させた端子部を設け、該端子部に
プローブ部を係合させて、それぞれの端子と接触ピンを
一括して接触させることにより、バーンインボード試験
の時間と労力を軽減することができ、試験効率を向上さ
せることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成図である。

【図２】本発明の一適用例の構成図である。

【図３】従来のバーンインボードの測定を説明するため
の図である。

【符号の説明】

２１ バーンインボード ２２ 端子部 ２２ａ 端子 ２３ プローブ部 ２４ 接触ピン ２５ 切換回路部 ２６ 観測部 ３１ バーンイン装置 ３２ ロボット ３５ ＸＹ駆動部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物をバーンイン装置（３１）内で
   バーンイン試験を行うためのバーンインボード試験装置
   において、 前記被測定物を搭載し、所定数の端子（２２ａ）を集合
   させた端子部（２２）が設けられ、前記バーンイン装置
   （３１）内に設置される所定数のバーンインボード（２
   １）と、 該バーンインボード（２１）の端子部（２２）に係合
   し、該端子部（２２）の各端子（２２ａ）のそれぞれに
   一括して接触される所定数の接触ピン（２４）を有する
   プローブ部（２３）と、 該プローブ部（２３）からの信号を分配する切換回路部
   （２５）と、 該切換回路部（２５）からの信号波形の出力表示を行う
   観測部（２６）と、 を有することを特徴とするバーンインボード試験装置。
2. 【請求項２】 前記プローブ部（２３）を、前記バーン
   イン装置（３１）に設置される所定数の前記バーンイン
   ボード（２１）の前記端子部（２２）に、それぞれ位置
   決めして係合させる移動機構部（３２，３５）に取着す
   ることを特徴とする請求項１記載のバーンインボード試
   験装置。