JP2006058077A - バーンイン装置およびバーンイン試験方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 被評価物の良否判定が容易であり、汎用性があり、構成が簡単なバーンイン装置１０を提供する。
【解決手段】 被評価物を良否判定するためのバーンイン装置１０には、ＬＤ１５を収納可能な複数のバーンイン槽１１を備え、測定部１３によってバーンイン槽１１に収納されるＬＤの特性を測定し、測定部１３によって得られる測定結果に基づいて、判定手段１４がＬＤ１５の良否を判定し、判定結果を求め、この判定結果をバーンイン槽１１に対して相対変位可能な報知部２０によってＬＤ１５と対応付けて報知する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、被評価物の良否判定を行うバーンイン装置およびバーンイン試験方法に関する。

半導体レーザ素子などの半導体の動作不良を判定するバーンイン試験を実施可能なバーンイン装置が実用に供されている。図１７は、第１の従来の技術のバーンイン装置１の構成を概略示すブロック図である。バーンイン装置１は、基板搬送機２によって、複数の半導体が実装される基板３を搬送する。搬送される基板３は、セット機４によって恒温槽であるバーンイン槽５にセットされる。バーンイン槽５とサーバ６とを協働させて、前記基板３に実装される半導体に対してバーンイン試験をする。このバーンイン試験によって、サーバ６は、半導体が良品であるか不良品であるかを判定する。この判定は、サーバ６の図示しない表示部によって半導体の実装位置と対応させて表示される。前記判定に基づいて、リセット機７は、基板３から不良品の半導体を選別し除去する（たとえば特許文献１参照）。

第２の従来の技術のバーンイン装置には、基板に実装される半導体の判定結果を表示する発光ダイオード（Light Emitting Diode：略称ＬＥＤ）などの表示部材が設けられる。これによって利用者は、バーンイン試験の判定結果を視認することができる（たとえば特許文献２参照）。

特開２００１−１６５９９５号公報（第４−６頁、第１−３図） 特開平１１−８３９３８号公報（第３−５頁、第１−６図）

第１の従来の技術のバーンイン装置１では、基板搬送機２、セット機４によって基板３を搬送してバーンイン槽５にセットし、リセット機７によって不良品の半導体を選別し除去しなければならない。したがって基板搬送機２、セット機４およびリセット機７などの構成部品が多くるだけでなく、特に基板搬送機４が必要となる分、バーンイン装置１自体が大形化する。これによって生産設備の費用が高くなる。換言すれば、生産コストが高くなる。このような搬送、基板３の取付および取外しが自動化されると、多品種少量の半導体を試験する場合、各種の基板３に対応する基板搬送機２、セット機４およびリセット機７を構成する必要がある。これによってバーンイン装置１の構成が複雑になり、装置の大形化および生産コストの増加につながる。サーバ６は、判定結果を被試験対象の半導体の実装位置に対応付けて表示させるけれども、実際に基板３に実装される半導体と判定結果を並べて表示させることができない。これによって多品種少量の半導体素子を選別するなど使用者自らが判定結果に基づいて半導体の選別除去をすることが必要な場合、記憶している半導体および判定結果との位置関係に基づいて不良品と良品とを選別するので、半導体と判定結果との対応付けを間違えて、不良品の半導体を良品の部類に選別する場合がある。このように使用者の記憶に頼るので、選別する際の確実性が使用者によってばらつきが生じる。このように第１の従来の技術のバーンイン装置１では、多品種少量の半導体をバーンイン試験するには適しておらず、汎用性に乏しい。

第２の従来の技術のバーンイン装置は、基板に表示部材が設けられているので、いずれの半導体が不良品であるかを目視によって容易に判断することができるけれども、基板自体に表示部材を設けなければならず、汎用性が低い。また全ての基板において、実装される半導体毎に表示部材を１つずつ設ける必要がある。このため大量の表示部材を必要とする。したがってバーンイン装置の構成部品が多くなり、構成が複雑になる。これによってバーンイン装置の生産コストが高くなる。

本発明の目的は、被評価物の良否判定が容易であり、汎用性があり、構成が簡単なバーンイン装置を提供することである。

本発明は、被評価物を良否判定するためのバーンイン装置であって、
被評価物を収納可能な複数のバーンイン槽と、
被評価物の特性を測定可能な測定手段と、
測定手段の測定結果に基づいて被評価物の良否を判定し、判定結果を求める判定手段と、
被評価物と判定結果とを対応付けて報知し、かつ各バーンイン槽に対して相対変位可能な報知手段とを有することを特徴とするバーンイン装置である。

本発明に従えば、被評価物を良否判定するためのバーンイン装置には、被評価物を収納可能な複数のバーンイン槽を備える。このバーンイン槽に収納される被評価物の特性を測定手段によって測定する。測定手段によって得られる測定結果に基づいて、判定手段が被評価物の良否を判定し、判定結果を求める。求められる判定結果は、バーンイン槽に対して相対変位可能な報知手段によって被評価物と対応付けて報知される。

また本発明は、被評価物を良否判定するためのバーンイン装置であって、
被評価物を実装可能な複数の基板と
複数の基板を収納可能であり、各基板を着脱可能な少なくとも１つのバーンイン槽と、
被評価物の特性を測定可能な測定手段と、
測定手段の測定結果に基づいて被評価物の良否を判定し、判定結果を求める判定手段と、
被評価物と判定結果とを対応付けて報知可能な報知手段とを有することを特徴とするバーンイン装置である。

本発明に従えば、バーンイン装置は、被評価物の良否判定をすることができ、少なくとも１つのバーンイン槽を備える。バーンイン槽は、被評価物を実装可能な複数の基板を収納可能であり、各基板を着脱可能に構成される。測定手段は、この基板に実装される被評価物の特性を測定し、測定結果を得ることができる。判定手段は、測定結果に基づいて被評価物の良否を判定し、判定結果を求める。求められる判定結果は、報知手段によって被評価物と対応付けて報知される。

また本発明は、前記判定手段は、測定結果および判定結果と、被評価物が実装される基板とを対応付けて記憶することを特徴とする。

本発明に従えば、判定手段は、測定結果および判定結果と、被評価物が実装される基板とを対応付けて記憶することができる。

また本発明は、前記判定手段は、測定結果および判定結果と、被評価物が収納されるバーンイン槽とを対応付けて記憶することを特徴とする。

本発明に従えば、判定手段は、測定結果および判定結果と、被評価物が収納されるバーンイン槽とを対応付けて記憶することができる。

また本発明は、前記判定手段は、測定手段に着脱可能であって、かつ電気的に接続可能であることを特徴とする。

本発明に従えば、判定手段は、測定手段に着脱することでき、かつ電気的に接続することができる。

また本発明は、判定手段は、報知手段の作動可能性を判定する機能を有することを特徴とする。

本発明に従えば、判定手段は、報知手段の作動可能性を判定する機能を有する。したがって判定手段は、報知手段の作動可能性を判定することができる。

また本発明は、バーンイン装置を用いて被評価物の良否を判定するバーンイン試験方法であって、
被評価物の特性を測定する測定工程と、
被評価物が収納されるバーンイン槽および実装される基板のうち少なくともいずれか一方を示す識別情報を取得し、識別情報と測定工程の測定結果とを対応付けて記憶する特性記憶工程と、
記憶される測定結果に基づいて被評価物の良否を判定し、判定結果を求める判定工程と、
前記識別情報と判定結果とを対応付けて記憶する判定結果記憶工程と、
前記識別情報を取得し、取得する識別情報に基づいて被評価物の判定結果を被評価物近傍に対応付けて報知する報知工程とを含むことを特徴とするバーンイン試験方法である。

本発明に従えば、測定工程で被評価物の特性を測定する。特性記憶工程では、被評価物が収納されるバーンイン槽および実装される基板のうち少なくともいずれか一方を示す識別情報を取得し、この識別情報と測定工程で得られる測定結果とを対応付けて記憶する。さらに記憶される測定結果に基づいて、判定工程で被評価物の良否を判定し、判定結果が求められる。この判定結果は、判定結果記憶工程で、識別情報と対応付けて記憶される。報知工程では、識別情報を取得すると、この識別情報に基づいて被評価物の判定結果を被評価物に隣接し、かつ対応付けて報知する。このようなバーンイン試験方法を用いて被評価物の良否を判定することができる。

本発明によれば、測定手段がバーンイン槽に収納される被評価物の特性を測定する。この測定結果に基づいて、判定手段が被評価物の良否を判定し、判定結果を求める。報知手段は、この判定結果を被評価物に対応付けて報知する。特に、報知手段は、バーンイン槽に対して相対変位可能に構成されているので、使用者は、報知手段をバーンイン槽に収納される被評価物の近傍に並べて配置することができる。このように報知手段が被評価物と判定結果とを対応付けて報知するうえ、報知手段をバーンイン槽に収納される被評価物の近傍に並べて配置できるので、被評価物と判定結果との対応付けを目視で確認することができる。これによって使用者は、前記対応付けを記憶して被評価物の良否を判断する場合に比べて、誤認識が少なく被評価物の良否を確実に判断することができる。したがって被評価物の良品および不良品を選別する際、誤選別を未然に防止することができるとともに、被評価物を容易かつ確実に良否選別することができる。それ故、本発明のような複数のバーンイン槽を備えるバーンイン装置であっても、被評価物の良否を確実に判断でき、被評価物の良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。このように誤選別を未然に防止することができると、被評価物が搭載される製品の不良品化を抑制することができ、前記製品の歩留まりをよくすることができる。さらにこのように使用者が被評価物と判定結果の対応付けを目視で確認して被評価物の良否選別が容易にできるので次のような効果を奏する。被評価物と判定結果の対応付けに基づいて被評価物の良否選別するための装置を新たに設ける必要がなく、バーンイン装置の構成を従来技術のものより簡単化することができ、これによってバーンイン装置の小形化を図ることができるうえ、生産設備費用、つまり生産コストを低減することができる。

また複数のバーンイン槽を備えるので、各バーンイン槽をそれぞれ異なる種類の被評価物を収納可能、すなわち多品種の被評価物を収納可能に構成することができる。このように多品種の被評価物が収納される場合であっても、被評価物毎に被評価物の特性を測定および測定結果に基づく良否判定が行われ、被評価物と判定結果とを対応付けて報知する。したがって多品種の被評価物が収納される場合であっても、判定結果の報知ができ、さらに使用者が被評価物の良否を確実に判断でき、被評価物の不良品の誤選別を未然に防止することができる。使用者が被評価物と判定結果の対応付けを目視で確認して被評価物の良否選別ができるので、各品種に対応する被評価物の良否選別するための装置を設けることなく、多品種の被評価物の良否選別ができる。それ故、バーンイン装置の構造を簡単化できるとともに、各品種の被評価物の良否選別に対応すべく良否選別装置を増設することが必要なく、生産コストを低減することができる。このように多品種の被評価物に対して使用することができるので、汎用性が高く、使用者の判定結果の誤認識および良品および不良品の誤選別を防止することができる。

本発明によれば、測定手段が基板に実装される被評価物の特性を測定する。この測定結果に基づいて、判定手段が被評価物の良否を判定し、判定結果を求める。報知手段は、この判定結果を被評価物に対応付けて報知する。特に基板がバーンイン槽に着脱可能であるので、基板を報知手段の近傍に配置することができる。このように報知手段が被評価物と判定結果とを対応付けて報知するうえ、報知手段を基板に実装される被評価物の近傍に並べて配置できるので、使用者は、被評価物と判定結果との対応付けを目視で確認することができる。これによって使用者は、前記対応付けを記憶して被評価物の良否を判断する場合に比べて、被評価物と判定結果との対応付けの誤認識が少なく被評価物の良否を確実に判断をすることができる。したがって被評価物の良品および不良品を選別する際、誤選別を未然に防止することができるとともに、被評価物を容易かつ確実に良否選別することができる。それ故、本発明のような複数の基板を備えるバーンイン装置であっても、被評価物の良否を確実に判断でき、被評価物の良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。このように誤選別を未然に防止することができると、被評価物が搭載される製品の不良品化を抑制することができ、前記製品の歩留まりをよくすることができる。さらにこのように使用者が被評価物と判定結果の対応付けを目視で確認して被評価物の良否選別を容易にできるので、次のような効果を奏する。被評価物と判定結果の対応付けに基づいて被評価物の良否選別するための装置を新たに設ける必要がなく、バーンイン装置の構成を従来技術より簡単化することができる。これによってバーンイン装置の小形化を図ることができるうえ、生産コストを低減することができる。

また複数の基板がバーンイン槽に収納されているので、各基板にそれぞれ異なる種類の被評価物を実装可能、すなわち多品種の被評価物を実装可能に構成することができる。このように各基板を各種の被評価物を実装可能に構成することによって、簡単な構造で多品種の被評価物を良否判定可能に構成できる。これによって多品種の被評価物の良否判定可能なバーンイン装置の生産コストを低減することができる。また多品種の被評価物を実装可能に構成することによって、被評価物が多品種であっても、被評価物の特性を測定および測定結果に基づく良否判定を行うことができ、被評価物と判定結果とを対応付けて報知することができる。それ故、使用者は、多品種であっても被評価物の良否を確実に判断でき、被評価物の良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。さらに使用者が被評価物と判定結果の対応付けを目視で確認して被評価物の良否選別ができるので、各品種に対応する被評価物の良否選別するための装置を設けることなく、多品種の被評価物の良否選別ができる。それ故、バーンイン装置の構造を簡単化できるとともに、各品種の被評価物の良否選別に対応すべく良否選別装置を増設する必要がなく、生産コストを低減することができる。このように多品種の被評価物に対して使用することができるので、汎用性が高く、使用者の判定結果の誤認識および良品および不良品の誤選別を防止することができ。さらに複数の基板を備えるので、一度に測定および判定可能な被評価物の数量が多く、従来のバーンイン装置より作業効率が高い。

本発明によれば、判定手段は、測定結果および判定結果と被評価物が実装される基板とが対応付けて記憶される。これによって判定手段は、基板毎に実装される被評価物の判定結果を報知手段によって報知させることができる。これによって複数の被評価物が基板に実装されるバーンイン装置において、一度に複数の被評価物の判定結果を報知することができ、１つ１つ被評価物の判定結果を報知するバーンイン装置に比べて、良否選別する際の作業効率を向上させることができる。また測定結果と判定結果とが基板に対応付けて記憶されるので、測定結果および判定結果に基づいて、これらに対応付けられる基板の良否を判定させることができる。これによって被評価物の良否を確実に判定することができ、判定結果の誤認識および良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。これによって被評価物の良品を確実に選別することができ、被評価物が搭載される製品の歩留まりをよくすることができる。

本発明によれば、判定手段は、測定結果および判定結果と被評価物が収納されるバーンイン槽とが対応付けて記憶される。これによって判定手段は、バーンイン槽毎に実装される被評価物の判定結果を報知手段によって報知させることができる。これによって複数の被評価物がバーンイン槽に収納されるバーンイン装置において、一度に複数の被評価物の判定結果を報知することができ、１つ１つ被評価物の判定結果を報知するバーンイン装置に比べて、良否選別する際の作業効率を向上させることができる。また測定結果と判定結果とがバーンイン槽に対応付けて記憶されるので、測定結果および判定結果に基づいて、これらに対応付けられるバーンイン槽の良否を判定させることができる。これによって被評価物の良否を確実に判定することができ、判定結果の誤認識および良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。これによって被評価物の良品を確実に選別することができ、被評価物が搭載される製品の歩留まりをよくすることができる。

本発明によれば、判定手段は、測定手段に着脱可能であり、電気的に接続可能に構成される。これによって判定手段は、測定手段に装着される状態で測定結果に基づいて被評価物の判定結果を求めることができ、測定手段から離脱する状態で搬送できる。また判定手段が被評価物の良否を判定するための手段であり、バーンイン槽より小形化が可能であるので、従来のように基板を基板搬送機で搬送する場合に比べて、判定手段を搬送する方が容易である。これによって複数のバーンイン槽の被評価物を良否判定する際、バーンイン槽を搬送する必要がなく、判定手段を着脱するだけの容易な操作で被評価物の良否判定ができ、良否判定が容易となり、使用者の労力を軽減することができる。基板搬送機を備える必要がないので、バーンイン装置の構成を従来技術より簡略化することができる。バーンイン装置の小形化を図ることができるうえ、生産設備費用、つまり生産コストを低減することができる。

本発明によれば、判定手段は、報知手段の作動可能性を判定することができるので、報知手段が不所望な状態で報知手段が被評価物の判定結果を報知することを防止する。これによって被評価物の判定結果を、報知手段によって正確に報知することができ、報知手段の不所望な状態に基づく、使用者の判定結果の誤認識および良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。これによって被評価物が搭載される製品の不良品化を抑制し、歩留まりをよくすることができる。

本発明によれば、被評価物の測定結果に基づいて判定される判定結果を、被評価物近傍に対応付けて報知する。これによって使用者は、被評価物と判定結果との対応付けを目視で確認することができ、前記対応付けを記憶して被評価物の良否判定をする場合に比べて、誤認識が少なく被評価物の良否を確実に判定をすることができる。被評価物の良否が確実に判定できるので、被評価物の良否および不良品を選別する際、誤選別を未然に防止することができ、被評価物の良否選別が容易かつ確実にできる。このように誤選別を未然に防止することができると、被評価物が搭載される製品の不良品化を抑制することができ、前記製品の歩留まりをよくすることができる。

図１は、本発明の実施の第１の形態であるバーンイン装置１０の電気的構成を示すブロック図である。図２は、バーンイン装置１０を簡略化して示す図である。図３は、バーンイン装置１０を用いて被評価物の不良品を選別する際の状態を簡略化して示す図である。図４は、判定手段に備えられる表示部に表示される情報を示す図である。図５は、ＬＤの特性の時間変化を示すをグラフである。図５は、縦軸がＬＤの特性であるＬＤ電流を示し、横軸が最初のＬＤ電流測定からの経過時間を示し、時間軸に示す数字は、ＬＤ電流の測定回数を示す。バーンイン装置１０は、恒温下における被評価物の特性を測定し、被評価物が不良品であるか否かを判定するバーンイン試験を実施可能な装置である。バーンイン装置１０は、複数の被評価物のうち不良品を選別する際に用いられる。バーンイン装置１０には、複数のバーンイン槽１１と、モニタ部１２と、測定部１３と、判定手段１４と、報知部２０とが含まれる（本実施の形態では、９つのバーンイン槽１１、モニタ部１２および測定部１３が含まれる）。９つのバーンイン槽１１は、それぞれ第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７、第８および第９バーンイン槽１１と称する場合がある。第１〜第９バーンイン槽１１の構成は、同一である。したがってバーンイン槽１１の１つの構成を説明し、第１〜第９バーンイン槽１１の構成ついては、同一の符号を付して説明を省略する。モニタ部１２および測定部１３も、それぞれ９つとも構成が同一である。これについてもモニタ部１２および測定部１３の構成について説明し、第１〜第９バーンイン槽１１に備えられるモニタ部１２および測定部１３は、同一の符号を付して説明を省略する。本実施の形態では、９つのバーンイン槽１１が設けられているけれども、９つに限定されるものでない。バーンイン槽１１の個数は、１つ以上８つ以下であってもよく、また１０以上であってもよい。

バーンイン槽１１は、被評価物の半導体素子（Device under test：略称ＤＵＴ）を、複数収納可能（本実施の形態では、５つのＤＵＴを収納可能）であって、恒温維持可能に構成される恒温槽である。具体的には、バーンイン槽１１には、図示しないバーンインラックが形成される。バーンインラックは、複数のＤＵＴを実装可能に構成され、測定部１３と電気的に接続される。本実施の形態では、バーンインラックに実装されるＤＵＴは、半導体レーザ素子１４（Laser Diode：略称ＬＤ）であり、バーンインラックは、５つのＬＤ１５が実装可能に構成される。ただし半導体レーザ素子に限定するものではなく、フォトダイオードなどであってもよく半導体素子であればよい。またバーンインラックに実装可能なＬＤも５つに限定されず、１つ以上４つ以下および６つ以上であってもよい。バーンイン槽１１には、モニタ部１２が設けられる。モニタ部１２は、バーンイン槽１１の温度を計測し、バーンイン槽１１の異常を検出可能に構成される。モニタ部１２は、測定部１３に電気的に接続される。バーンイン槽１１は、モニタ部１２によって取得する情報に基づいて、制御部１８によってバーンイン槽１１内の温度が制御され、恒温維持可能に構成される。バーンイン槽１１は、バーンインラックに実装されるＬＤ１５を発光可能に構成される。前記ＬＤ１５の発光および発光停止は、バーンイン槽１１に備えられるスイッチによって切替可能に構成される。

測定部１３は、バーンイン槽１１に設けられ、バーンインラックを介して、バーンイン槽１１内に収納されるＬＤ１５と電気的に接続可能に構成される。測定部１３は、ＬＤ１５を発光可能に構成され、この発光の際のＬＤの特性を測定可能に構成される。ＬＤの特性とは、発光時のＬＤ１５の電流値、すなわちＬＤ電流と同義である。具体的には、測定部１３は、図示しないフォトダイオードが設けられ、フォトダイオードの出力電圧を検出する。測定部１３は、ＬＤ１５を発光させ、フォトダイオードが検出する電圧が所定の電圧になるまでＬＤ１５の電流値を増加させる。測定部１３は、フォトダイオードが所定の電圧を検出すると、その際にＬＤ１５に流れるＬＤ電流を測定する。このように測定されるＬＤ電流が、ＬＤの特性として測定される。測定部１３は、さらに第１接続部１６を備える。第１接続部１６は、判定手段１４を着脱可能、かつ電気的に接続可能に構成される。測定部１３は、第１接続部１６を備えることによって判定手段１４と電気的に接続可能に構成される。測定部１３は、測定されるＬＤの特性を測定結果として、前記ＬＤ１５のアドレスとともに測定部１３から判定手段１４へ伝送する。アドレスは、ＬＤ１５がバーンインラックのＬＤ１５が実装可能な位置（以下では、単に「実装位置」と称する場合がある。）のうちいずれの実装位置に実装されているかを示す位置情報である。また測定部１３は、第１バーンイン槽１１の槽識別情報を前記測定結果とアドレスとともに判定手段１４に伝送可能に構成される。槽識別情報とは、各バーンイン槽１１を識別するための情報であり、各バーンイン槽１１固有の識別情報である。本実施の形態では、測定部１３が各バーンイン槽１１に割り振られるＩＤ（Identity）番号を判定手段１４に伝送可能に構成される。

判定手段１４は、ＬＤ１５のＬＤの特性に基づいてＬＤ１５の良否を判定し、判定結果を求めることができるように構成される。判定手段１４は、信号変換部１７と制御部１８と図示しない表示部とを含んで構成され、報知部２０に電気的に接続される。信号変換部１７は、アナログ信号をディジタル信号に変換およびディジタル信号をアナログ信号に変換可能に構成される。信号変換部１７は、たとえばアナログ／ディジタル変換器およびディジタル／アナログ変換器によって構成される。信号変換部１７は、第２接続部１９を備える。第２接続部１９は、第１接続部１６に着脱可能、かつ電気的に接続可能に構成される。これによって、測定部１３と信号変換部１７との電気的かつ機械的な接続状態を切換え可能に構成される。第１および第２接続部１６，１９は、たとえばコネクタであり、いずれか一方が雄型のコネクタであり、他方が雌型のコネクタである。第１および第２接続部１６，１９は、雄型および雌型のコネクタを互いに結合させて機械的かつ電気的に接続状態にし、互いに離脱させることによって機械的かつ電気的に非接続状態にする。このようにして第１および第２接続部１６，１９が互いに着脱可能に構成されるので、判定手段１４が第１〜第９バーンイン槽１１にそれぞれ設けられる測定部１３に着脱可能に構成される。これによって判定手段１４は、各バーンイン槽１１に対して相対変位可能に構成される。信号変換部１７は、制御部１８と電気的に接続可能に構成される。表示部は、制御部で演算される演算結果を表示可能に構成される。

報知部２０は、制御部１８と電気的に接続可能に構成される。報知部２０は、制御部１８から伝送される情報を、ＬＤ１５毎に利用者に報知可能に構成される。本実施の形態では、報知部２０は、たとえば図２および３に示すように、複数の発光ダイオード２１
（Light Emitting Diode：略称ＬＥＤ）によって構成される。各ＬＥＤ２１は、バーンインラックに形成される実装位置１つに対して１つのＬＥＤ２１が対応するように配設される。具体的に説明すると、バーンインラックには、実装位置が５つあり、これらの実装位置が略直列に配置されている。報知部２０は、図に示すように、実装位置に対応するように５つのＬＥＤ２１を略直列に配置して構成される。さらに詳細に説明すると、５つのＬＥＤ２１は、一番左の第１実装位置に対応する第１ＬＥＤ２１ａを報知部２０の一番左に配置し、左から２番目の第２実装位置に対応する第２ＬＥＤ２１ｂを左から２番目に配置し、左から３番目の第３実装位置に対応する第３ＬＥＤ２１ｃを左から３番目に配置し、左から４番目の第４実装位置に対応する第４ＬＥＤ２１ｄを左から４番目に配置し、左から５番目の第５実装位置に対応する第５ＬＥＤ２１ｅを左から５番目に配置する。ここで左とは、紙面に向かって左と同義である。このように各ＬＥＤ２１は配置され、対応する実装位置に実装されるＬＤ１５の情報を１対１で示して、いずれの半導体の情報であるかを目視で確認できるように構成される。また報知部２０は、制御部１８および各バーンイン槽１１に対して相対的に変位可能に構成される。換言すると、報知部２０は、バーンイン装置１０に実装される被評価物のＬＤ１５に対して相対的に変位可能に構成され、図３に示すように、前記ＬＤ１５と並べて表示させることができる。報知部２０と制御部１８とは、たとえばコードを介して電気的に接続され、制御部１８に対して報知部２０が変位可能に構成される。ただし判定手段１４を測定部１３から離脱させることによって、バーンイン槽１１に相対変位できるので、制御部１８に対して報知部２０が変位可能な構成に必ずしも限定されない。本実施の形態では、報知部２０は、ＬＥＤ２１によって構成されているけれども、必ずしもこのような構成に限定されない。たとえば報知部２０は、液晶ディスプレイによって情報を報知可能に構成されてもよく、使用者に情報を報知可能であれば、どのような構成であってもよい。

制御部１８には、バス２２、入出力インターフェイス２３（Input/Output Interface：略称Ｉ／Ｏ）、中央演算処理部２４（Central Processing Unit:略称ＣＰＵ）、リードオンリーメモリー２５（Read Only Memory：略称ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ２６（Random Access Memory：略称ＲＡＭ）および駆動部２７とが含まれる。バス２２は、Ｉ／Ｏ２３、ＣＰＵ２４、ＲＯＭ２５およびＲＡＭ２６と電気的に接続されている。Ｉ／Ｏ２３は、信号変換部１７、駆動部２７と電気的に接続されている。Ｉ／Ｏ２３は、各構成部から伝送される信号を、バス２２を介してＣＰＵ２４およびＲＡＭ２６に伝送するための入出力インターフェイスである。ＣＰＵ２４は、ＲＯＭ２５に記憶されるプログラムおよび各構成部から伝送される信号に基づいて演算処理し、各構成部を制御可能に構成される。ＲＯＭ２５は、ＣＰＵ２４が演算処理および各構成部を制御のうち少なくとも一方を行う際に実行すべきプログラムを記憶可能に構成される。ＲＡＭ２６は、ＣＰＵ２４の演算結果および伝送される信号を記憶可能に構成される。駆動部２７は、ＣＰＵ２４から伝送される信号に基づいて報知部２０を駆動可能に構成される。

具体的に説明すると、ＣＰＵ２４は、測定部１３から伝送されるＬＤ１５毎の測定結果を、前記ＬＤ１５が収納されるバーンイン槽１１の槽識別情報および前記ＬＤ１５のアドレスに対応付けてＲＡＭ２６に記憶させる。ＲＡＭ２６は、複数の測定結果を前記槽識別番号およびアドレスに対応付けて記憶することができる。換言すると、複数回測定が行われても、全ての測定結果を前記槽識別番号およびアドレスに対応付けて記憶可能に構成される。これら対応付けて記憶される少なくとも１つ以上の測定結果、槽識別情報およびアドレスを含む情報をＬＤ測定情報と称する。ＲＡＭ２６は、ＬＤ電流を測定すべきバーンイン槽１１の個数を記憶可能に構成される。またＲＡＭ２６は、測定部１３でＬＤ１５を測定した測定回数を記憶可能に構成される。測定回数は、ＬＤ電流の測定を開始してからＲＡＭ２６に記憶される槽識別番号に対応付けられる測定結果が伝送される回数に基づいてＣＰＵ２４が求める。ただし、このような求め方に限定されるものではない。さらにＲＡＭ２６は、図示しない判定手段に備えられる操作部によって入力される指定測定回数および測定時間間隔を記憶可能に構成される。指定測定回数とは、各バーンイン槽において、発光試験ＬＤ電流を測定すべき回数と同義であり、本実施の形態では、９回である。測定時間間隔とは、各バーンイン槽において、ＬＤ電流を複数回測定する際、次の測定までにあけるべき時間間隔と同義である。ＲＡＭ２６は、図示しない判定手段に備えられる操作部によって入力されるＬＤ電流下限値、ＬＤ電流上限値およびＬＤ電流変化量上限値を記憶可能に構成される。ＬＤ電流下限値は、ＬＤ電流が満たすべき下限値であり、この値以下のＬＤ電流である場合、ＬＤが不良品であると判定される。ＬＤ電流上限値は、ＬＤ電流が満たすべき上限値であり、この値以上のＬＤ電流である場合、ＬＤが不良であると判定される。ＬＤ電流変化量上限値は、単位時間あたりのＬＤ電流の変化量であり、前記変化量がこの上限値以上である場合、ＬＤが不良であると判定される。ＲＡＭ２６は、ＬＤ電流下限値、ＬＤ電流上限値、ＬＤ電流変化量上限値、バーンイン時間およびＬＤ電流の変化量を測定するための時間などのパラメータをファイル名に対応付けてパラメータファイルとして記憶する。バーンイン時間は、第１回目のＬＤ電流の測定開始から指定測定回数（本実施では、９回目）の測定が終了するまでの時間である。ただし指定測定回数は、９回に限定されない。ＬＤ電流の変化量を測定するための時間は、いずれの時刻からどの時刻までの変化量を計算すべきかを示す情報である。このようなパラメータファイルは、ＲＡＭ２６に複数記憶される。ＣＰＵ２４は、指定測定回数の測定が実行されているか否かを判定可能に構成される。

ＣＰＵ２４は、測定部１３にＬＤの特性を測定するように命令可能に構成され、測定部１３からＬＤ１５の測定結果を取得すると、ＲＡＭ２６に記憶される測定時間間隔に基づいて、次にＬＤ１５を測定すべき時刻である測定実施時刻を演算可能に構成される。ＣＰＵ２４は、この測定実施時刻経過後に判定手段１４と前記ＬＤ１５を収納するバーンイン槽１１に設けられる測定部１３とが接続されていると、測定部１３を駆動させて前記ＬＤ１５のＬＤ電流の測定を行わせる。「測定実施時刻経過後」は、測定実施時刻も含む。ＣＰＵ２４は、表示部によってバーンイン槽の識別番号（図４では、バーンイン槽ＩＤと称する）と、この識別番号に対応付けてロット番号とパラメータと測定回数（図４では、回数と称する）と測定実施時刻とが、図４に示すように表示させて、使用者に報知する。パラメータは、前記パラメータファイルのファイル名を示す情報であり、このパラメータファイルに対応付けられるＬＤ電流上限値などに基づいて良否判定などを行う。ＣＰＵ２４は、測定すべき時刻が経過している場合および測定回数が０である場合のうち少なくともどちらか一方である場合、「測定実施時刻」で「測定してください」と表示し、使用者に測定すべきことを促すように構成される。

ＣＰＵ２４は、ＲＡＭ２６からＬＤ測定情報を取得し、前記測定結果に基づいてＬＤ１５の良否を判定し、判定結果を求めることができるように構成される。具体的には、ＣＰＵ２４は、複数個の測定結果に基づいて、前記測定結果が所定の範囲内であるか否かによってＬＤの良否を判定する。つまりＣＰＵ２４は、ＬＤ１５の測定結果である測定されるＬＤ１５の電流値全てが、図５に示すような指定されるパラメータファイルに基づくＬＤ電流下限値以上ＬＤ電流上限値以上であるか否かを判定する。さらにＣＰＵ２４は、複数回測定されたＬＤ１５の電流値のうち、２つの指定される回数目のＬＤ１５の電流値の変化量を、パラメータファイルに含まれる情報および測定結果に基づいて数値計算する。たとえば、図５に示すように３回目の電流値から９回目の電流値への電流値の変化量に基づいて単位時間あたりの電流値の変化量を演算する。電流値のＣＰＵ２４は、この演算結果がパラメータファイルに含まれるＬＤ変化量上限値以下であるか否かを判定する。これら２つの条件を充足する場合、「良」と判定し、少なくとも１つの条件を充足しない場合、「不良」と判定する。このようにＣＰＵ２４は、ＬＤ１５の良否を判定する。この判定されるＬＤ１５の良否を示す情報を判定結果と称する。本実施の形態では、判定結果が「良」の場合、ＬＤ１５が正常に駆動可能であることを示し、判定結果が「不良」の場合、ＬＤ１５が異常であることを示す。ＬＤ１５が正常とは、所定の電流を印加すると、所望の光出力が得られることと同義であり、ＬＤ１５が異常とは、正常な状態をのぞく状態である。ただし、判定結果は、このような判定に限定されず、ＬＤ１５の出力に応じて段階的に評価するものであってもよく、判定方法は限定されない。具体的には、判定結果について、「Ａ」、「Ｂ」および「Ｃ」などの評価を設けて、第１基準値以上の出力であれば「Ａ」、第１基準値以下第２基準値以上の出力であれば「Ｂ」、第２基準値以下の出力であれば「Ｃ」とする判定方法に基づいて決定してもよい。ＣＰＵ２４は、判定結果を求めると、ＬＤ測定情報とともに判定結果をＲＡＭ２６に伝送する。ＲＡＭ２６は、判定結果をＬＤ１５が実装されるバーンイン槽１１の槽識別情報およびアドレスに対応付けて記憶する。ＲＡＭ２６は、ＬＤ測定情報にさらに判定結果を加えるＬＤ情報をＬＤ１５毎に記憶する。またＲＡＭ２６は、ＣＰＵ２４の命令に応じて、記憶されるＬＤ情報を各構成部に伝送可能に構成される。

ＣＰＵ２４は、ＬＤの良否判定後、測定部１３から槽識別情報を取得すると、この槽識別情報に対応付けて記憶される全ての判定結果を、この判定結果に対応付けられるアドレスとともにＲＡＭ２６から、バス２２およびＩ／Ｏ２３を介して駆動部２７に伝送可能に構成される。駆動部２７は、取得する判定結果とアドレスとに基づいて報知部２０を駆動させる。詳細に説明すると、駆動部２７は、ＬＤ１５のアドレスに対応するＬＥＤ２１を、その判定結果に基づいて駆動させる。ＬＥＤ２１は、対応するアドレスに実装されるＬＤ１５の判定結果が「良」の場合、発光してＬＤ１５が正常であることを報知する。ＬＥＤ２１は、対応するアドレスに実装されるＬＤ１５の判定結果が「不良」の場合、発光せずＬＤ１５が異常であることを報知する。このように駆動部２７は、ＣＰＵ２４によって制御されて報知部２０を駆動させて利用者に被評価物のＬＤ１５の判定結果を報知可能に構成される。

さらにＣＰＵ２４は、報知部２０によってＬＤ１５の判定結果を報知させる前に、駆動部２７を制御して報知部２０の作動可能性を報知可能に構成される。作動可能性とは、報知部２０のＬＥＤ２１が正常に作動可能か否かを示す情報と同義である。正常に作動可能とは、ＬＥＤ２１が発光可能であることと同義である。詳細に説明すると、報知部２０は、ＣＰＵ２４によって駆動部２７を介して報知部２０の全てのＬＥＤ２１の点灯試験可能に構成される。点灯試験とは、報知部２０に電流を流し、ＬＥＤ２１を発光させる試験である。点灯試験において、ＬＥＤ２１が点灯することによってＬＥＤ２１が正常に作動することを報知する、すなわちＬＥＤ２１の作動可能性が「作動可能」であることを報知することができる。また点灯試験において、ＬＥＤ２１が点灯しないことによってＬＥＤ２１が故障などして作動不可能であることを報知する、すなわちＬＥＤ２１の作動可能性が「作動不可能」であることを報知することができる。このようにＣＰＵ２４は、駆動部２７および報知部２０を制御して、報知部２０の作動可能性を報知可能に構成される。このようにして構成されるバーンイン装置１０を用いて行うバーンイン試験方法について説明する。

図６は、バーンイン装置１０を用いてバーンイン試験方法を行い、ＬＤ１５の良品および不良品を選別する手順を概略示すフローチャートである。図７は、ＬＤ収納工程の具体的な手順を示すフローチャートである。図８は、良否判定工程の具体的な手順を示すフローチャートである。図９は、良否選別工程の具体的な手順を示すフローチャートである。良品および不良品を選別する方法には、ＬＤ収納工程と、良否判定工程と、良否選別工程とが含まれる。良品および不良品を選別する方法では、良否選別すべき複数のＬＤ１５が準備されると、ステップａ０からステップａ１ヘ移行する。

ＬＤ収納工程であるステップａ１では、良否判定をすべき全てのＬＤ１５を、複数のバーンイン槽１１のうちいずれかのバーンイン槽１１のバーンインラックの実装位置に実装する。全てのＬＤ１５がいずれかのバーンイン槽１１に収納される、またはバーンインラックの全ての実装位置にＬＤ１５が実装されると、ステップａ１からステップａ２へ移行する。良否判定工程であるステップａ２では、バーンイン槽１１に収納されるＬＤ１５にＬＤ電流の測定を行う、すなわちＬＤの特性を測定する。ＣＰＵ２４は、測定部１３からＬＤ１５毎の測定結果を取得し、ＬＤ測定情報をＲＡＭ２６に記憶させる。ＣＰＵ２４は、記憶されるＬＤ測定情報に基づいて、各ＬＤ１５の良否判定をし、ＬＤ情報をＲＡＭ２６に記憶させる。このようにしてＬＤ情報が記憶されると、ステップａ２からステップａ３へ移行する。良否選別工程であるステップａ３では、ＣＰＵ２４が、判定結果を報知すべきＬＤ１５が収納されるバーンイン槽１１の槽識別情報を取得すると、前記槽識別情報が含まれるＬＤ情報をＲＡＭ２６から取得する。ＣＰＵ２４は、取得するＬＤ情報に基づいて、駆動部２７を介して報知部２０を駆動させて、前記ＬＤ１５の判定結果を報知する。このとき報知部２０がバーンイン槽１１に対して変位可能に構成されるので、判定結果を報知すべきＬＤ１５の近傍に報知部２０を並べて配置する。使用者は、このようにして並べて配置されるＬＤ１５と報知部２０とを対比させて、ＬＤ１５の判定結果を目視確認する。この判定結果に基づいて、使用者は、実装されるＬＤ１５が良品であるか不良品であるかを選別する。ＬＤ１５の良否選別が終了すると、ステップａ３からステップａ４ヘ移行し手順が終了する。

良品および不良品を選別する方法について、具体的に説明すると、良否選別すべきＬＤ１５が準備されると、ステップａ０からステップａ１ヘ移行する。ステップａ１ヘ移行すると、図７に示すＬＤ収納工程のフローチャートが開始する。本フローチャートが開始すると、ステップｂ０からステップｂ１ヘ移行する。ＬＤ実装工程であるステップｂ１では、使用者が良否選別すべきＬＤ１５を所望のバーンイン槽１１に形成されるバーンインラックのＬＤ１５が実装されていない実装位置（以下「空実装位置」と称する場合がある）に実装する。ＬＤ１５を所望バーンイン槽１１に実装すると、ステップｂ１からステップｂ２ヘ移行する。ステップｂ２では、使用者が、良否選別すべきＬＤ１５全てがバーンインラックに実装されているか判定する。全てのＬＤ１５が実装されている判定すると、ステップｂ２からステップｂ３ヘ移行してＬＤ収納工程の手順が終了し、ステップａ１からステップａ２ヘ移行する。ステップｂ２で、全てのＬＤ１５が実装されていないと判定すると、ステップｂ２からステップｂ４ヘ移行する。

ステップｂ４では、使用者が前記所望のバーンイン槽１１に形成されるバーンインラックに空実装位置がある否かを判定する。空実装位置がない場合、ステップｂ４からステップｂ５ヘ移行し、空実装位置がある場合、ステップｂ４からステップｂ１へ戻る。ステップｂ５では、使用者がステップｂ１でＬＤ１５を収納したバーンイン槽１１と異なるバーンイン槽１１に空実装位置があるか否かを判別する。ステップｂ１でＬＤ１５を収納したバーンイン槽１１と異なるバーンイン槽１１に空実装位置がないと判定すると、ステップｂ５からステップｂ３ヘ移行してＬＤ収納工程の手順が終了し、ステップａ１からステップａ２ヘ移行する。ステップｂ１でＬＤ１５を収納したバーンイン槽１１と異なるバーンイン槽１１に空実装位置があると判定すると、ステップｂ５からステップｂ６ヘ移行する。ステップｂ６では、残りのＬＤ１５を実装するバーンイン槽１１を、バーンインラックに空実装位置があるバーンイン槽１１に移行する。残りのＬＤ１５を実装するバーンイン槽１１を移行すると、ステップｂ６からステップｂ１へ戻る。

このようにしてＬＤ収納工程で全てのＬＤ１５を実装する、または全てのバーンイン槽１１の空実装位置がなくなる状態までＬＤ１５の実装を行い、バーンイン槽１１にＬＤ１５を収納すると、ステップａ１からステップａ２ヘ移行する。ステップａ２ヘ移行すると、図８に示す良否判定工程のフローチャートが開始する。本フローチャートが開始すると、ステップｃ０からステップｃ１ヘ移行する。ステップｃ１では、使用者が判定手段１４に備えられる第２接続部１９を、良否判定すべきＬＤ１５が収納されるバーンイン槽１１に設けられる測定部１３の第１接続部１６に機械的かつ電気的に接続する。以下では、第１接続部１６に第２接続部１９が接続される測定部１３を「被接続測定部１３」と称する場合があり、被接続測定部１３が設けられるバーンイン槽１１を「被接続バーンイン槽１１」と称する場合がある。第２接続部１９が第１接続部１６に接続されると、ステップｃ１からステップｃ２ヘ移行する。槽識別情報取得工程であるステップｃ２では、ＣＰＵ２４が被接続測定部１３から被接続バーンイン槽１１の槽識別情報を取得する。ＣＰＵ２４が被接続バーンイン槽１１の槽識別情報を取得すると、ステップｃ２からステップｃ３へ移行する。

測定工程であるステップｃ３では、バーンイン槽１１に備えられるスイッチを操作することによって、ＬＤ１５を発光させる。ＣＰＵ２４は、被接続測定部１３にＬＤ電流の測定を行わせる。被接続測定部１３は、被接続バーンイン槽１１に収納されるＬＤ１５の測定結果およびアドレスを取得する。具体的には、ＣＰＵ２４が被接続測定部１３にＬＤ電流の測定を行わせると、被接続測定部１３は、被接続バーンイン槽１１に収納されるＬＤ１５に電流を流しＬＤ電流の測定、すなわちＬＤの特性の測定を行う。さらに接続測定部１３は、このＬＤの特性とともに、測定されるＬＤ１５のアドレスを取得する。このようにして接続測定部１３は、ＬＤの特性およびアドレスを取得する、すなわち測定結果およびアドレスを取得すると、ステップｃ３からステップｃ４ヘ移行する。

測定結果記憶工程であるステップｃ４では、接続測定部１３はステップｃ３で取得した測定結果およびアドレスをＣＰＵ２４へ伝送する。ＣＰＵ２４は、取得する測定結果とアドレスとを対応付けてＲＡＭ２６に記憶させ、さらにステップｃ２で取得した被接続バーンイン槽１１の槽識別情報と前記測定結果とを対応付けてＲＡＭ２６に記憶させる、すなわちＬＤ測定情報をＲＡＭ２６に記憶させる。このときＣＰＵ２４は、測定部１３から測定結果が伝送される回数を判定し、その測定回数をＲＡＭ２６に記憶する。さらに被接続バーンイン槽１１の槽識別情報に他の測定結果が対応付けて記憶されている場合、新たに対応付けて記憶させる測定結果を前記他の測定結果とともに槽識別情報に対応付けて記憶させる、すなわち複数の測定結果を含むＬＤ測定情報をＲＡＭ２６に記憶させる。これによって槽識別情報に複数の測定結果が対応付けて記憶される。ステップｃ２の槽識別情報記憶工程およびステップｃ４の測定結果記憶工程を含んで、特性記憶工程を構成する。ＲＡＭ２６に槽識別情報と測定結果とが対応付けて記憶されると、ステップｃ４からステップｃ５ヘ移行する。ステップｃ５では、使用者が接続測定部１３の第１接続部１６に装着される第２接続部１９を離脱させる。第２接続部１９を第１接続部１６から離脱させると、ステップｃ５からステップｃ６ヘ移行する。

ステップｃ６では、ＣＰＵ２４が全てのバーンイン槽１１において、ＬＤ電流の測定が一通り行われたか否かを判断する。ＣＰＵ２４が測定回数に基づいて、記憶されている全てのバーンイン槽で測定が完了しているかを判断する。具体的には、ＣＰＵ２４は、測定回数が０であるバーンイン槽があるか否かを判定する。ただしこのような判定に限定されず、記憶されるバーンイン槽の識別情報の個数と予め記憶されるバーンイン槽の個数とが一致するか否によって判定してもよい。全てのバーンイン槽１１において、ＬＤ１５の測定が一通り行われたと判断する場合、すなわち全てのバーンイン槽１１において測定回数が１以上である場合、ステップｃ６からステップｃ７ヘ移行する。ステップｃ７では、ＣＰＵ２４が全てのバーンイン槽１１において指定測定回数の測定が行われているかを判断する。ＣＰＵ２４は、ＲＡＭ２４に記憶される全てのＬＤ測定情報の測定回数が指定測定回数以上であるかを判断する。ＣＰＵ２４が指定測定回数の測定が完了していると判定すると、ＣＰＵ２４が表示部によって指定測定回数の測定が完了していること報知し、バーンイン槽１１に備えられるスイッチを操作して、発光するＬＤ１５に流れる電流を止めて発光を停止し、ステップｃ７からステップｃ８ヘ移行する。

判定工程であるステップｃ８は、使用者が、判定手段１４に設けられる操作部を操作することによって、ＣＰＵ２４に良否判定を行わせる。操作部が操作されると、ＣＰＵ２４は、ＲＡＭ２６に記憶されるＬＤ測定情報を取得し、このＬＤ測定情報に含まれる測定結果に基づいてＬＤ１５の良否を判定し、判定結果を求める。判定結果が求められると、ステップｃ８からステップｃ９へ移行する。判定結果記憶工程であるステップｃ９では、ＣＰＵ２４がステップｃ８で求められた判定結果とＬＤ測定情報とをＲＡＭ２６に伝送し記憶させる。このときＣＰＵ２４は、判定結果をＬＤ測定情報に含まれる槽識別情報およびアドレスに対応付けてＲＡＭ２６に記憶させる、すなわちＬＤ情報をＲＡＭ２６に記憶させる。ＣＰＵ２４は、ＬＤ測定情報に基づいて、ＲＡＭ２６に記憶される全てのＬＤ１５の判定結果を求め、ＬＤ情報としてＲＡＭ２６に記憶させる。これによって各バーンイン槽１１に実装される全てのＬＤ１５のＬＤ情報がＬＤ１５毎にＲＡＭ２６に記憶される。ＲＡＭ２６に全てのＬＤ１５のＬＤ情報が記憶されると、ステップｃ９からステップｃ１０ヘ移行して良否判定工程の手順が終了し、ステップａ２からステップａ３ヘ移行する。

ステップｃ６において、ＣＰＵ２４が全てのバーンイン槽１１の測定が一通り完了してないと判断すると、ステップｃ６からステップｃ１１ヘ移行する。ステップｃ１１では、測定が終了していないバーンイン槽１１に移行し、すなわち判定手段１４を前記測定が終了していないバーンイン槽１１まで搬送し、ステップｃ１へ戻る。ステップｃ７において指定測定回数の測定が完了していないと判定すると、ＣＰＵ２４が表示部によってステップｃ７からステップ１２へ移行する。ステップｃ１２では、ＣＰＵ２４が表示部によって報知する測定実施時刻が経過するのを待ってから、測定回数が指定測定回数に到達していないバーンイン槽１１に移行し、すなわち判定手段１４を前記バーンイン槽１１まで搬送し、ステップｃ１へ戻る。

良否判定工程では、バーンイン槽１１に収納される全てのＬＤ１５について良否判定し、判定結果を含むＬＤ情報をＲＡＭに記憶させると、ステップａ２からステップａ３ヘ移行する。ステップａ３ヘ移行すると、図９に示す良否選別工程のフローチャートが開始する。本フローチャートが開始すると、ステップｄ０からステップｄ１ヘ移行する。ステップｄ１では、使用者が、判定手段１４の第２接続部１９を、良否選別すべきＬＤ１５が収納される接続バーンイン槽１１に設けられる接続測定部１３の第１接続部１６に接続する。第１および第２接続部１６，１９が接続されると、ステップｄ１からステップｄ２ヘ移行する。槽識別情報取得工程であるステップｄ２では、ＣＰＵ２４が被接続測定部１３から被接続バーンイン槽１１の槽識別情報を取得する。ＣＰＵ２４が被接続バーンイン槽１１の槽識別情報を取得すると、ステップｄ２からステップｄ３へ移行する。

判定結果検索工程であるステップｄ３では、ＣＰＵ２４が、ステップｄ２で取得した接続バーンイン槽１１の槽識別情報に対応付けられる判定結果をＲＡＭ２６から検出する。ＣＰＵ２４は、検出される判定結果を含むＬＤ情報から、判定結果およびアドレスを取得する。ＣＰＵ２４が判定結果およびアドレスを取得すると、ステップｄ３からステップｄ４へ移行する。報知部作動確認工程であるステップｄ４では、ＣＰＵ２４が、駆動部２７を介して報知部２０の全てのＬＥＤ２１の点灯試験を行い、報知部２０を構成するＬＥＤ２１の作動可能性を報知させる。報知部２０の全てのＬＥＤ２１の作動可能性を確認した後、ステップｄ４からステップｄ５へ移行する。

報知工程であるステップｄ５では、ＣＰＵ２４がステップｄ３で取得した判定結果およびアドレスに基づいて、駆動部２７によって報知部２０を駆動させて、接続バーンイン槽１１に収納されるＬＤ１５の判定結果を前記ＬＤ１５に対応付けて報知する。具体的には、アドレスが第１実装位置であり、これに対応付けられる判定結果が「良」である場合、ＣＰＵ２４は、図３に示すように、駆動部２７によって第１ＬＥＤ２１ａを発光させて、第１実装位置に実装されるＬＤ１５が良品であることを使用者に報知する。同様にアドレスが第２実装位置であり、これに対応付けられる判定結果が「不良」である場合、ＣＰＵ２４は、図３に示すように、駆動部２７が第２ＬＥＤ２１ｂを非発光させ、第２実装位置に実装されるＬＤ１５が不良品であることを使用者に報知する。同様にして、ＣＰＵ２４は、第３、第４および第５実装位置に実装されるＬＤ１５の判定結果を、駆動部２７によって第３、第４および第５ＬＥＤ２１ｃ，２１ｄ，２１ｅを駆動させて報知する。報知部２０がバーンイン槽１１に対して相対変位可能であるので、使用者は、報知部２０を良否選別すべきＬＤ１５の近傍に並べて配置することができる。これによってバーンイン槽１１に収納されるＬＤ１５と前記ＬＤ１５の判定結果とをＬＤ１５の近傍に対応付けて報知することができる。このようにして報知すると、ステップｄ５からステップｄ６ヘ移行する。

選別工程であるステップｄ６は、使用者が、ＬＤ１５の近傍に対応付けて報知する各ＬＤ１５の判定結果に基づいて、ＬＤ１５の良品および不良品を選別する。使用者は、非発光のＬＥＤ２１に対応する実装位置に実装されるＬＤ１５を、不良品として選別し除去する。また使用者は、発光するＬＥＤ２１に対応する実装位置に実装されるＬＤ１５を、良品として選別する。このようにして使用者が良品および不良品を選別すると、ステップｄ６からステップｄ７ヘ移行する。ステップｄ７では、使用者が接続測定部１３の第１接続部１６に装着される第２接続部１９を離脱させる。第２接続部１９を第１接続部１６から離脱させると、ステップｄ７からステップｄ８ヘ移行する。ステップｄ８では、使用者が全てのバーンイン槽１１において選別が終了したか否かを判断する。使用者が終了したと判断すると、ステップｄ８からステップｄ９ヘ移行し良否選別工程が終了し、ステップａ３からステップａ４へ移行して手順が終了する。

ステップｄ８において、使用者が終了していないと判断すると、ステップｄ１０ヘ移行する。ステップ１０では、選別が終了していないバーンイン槽１１に移行し、すなわち判定手段１４を前記バーンイン槽１１まで搬送し、ステップｄ１０からステップｄ１へ戻る。

本実施の形態において、特性記憶工程と判定工程と判定結果記憶工程と報知工程とを含んでバーンイン試験方法を構成する。

本実施の形態のバーンイン装置１０によれば、測定部１３がバーンイン槽１１に収納されるＬＤの特性を測定する。この測定結果に基づいて、判定手段１４がＬＤ１５の良否を判定し、判定結果を求める。報知部２０は、この判定結果をＬＤ１５に対応付けて報知する。特に、報知部２０は、バーンイン槽１１に対して相対変位可能に構成されているので、使用者は、報知部２０をバーンイン槽１１に収納されるＬＤ１５の近傍に並べて配置することができる。このように報知部２０がＬＤ１５と判定結果とを対応付けて報知するうえ、報知部２０をバーンイン槽１１に収納されるＬＤ１５の近傍に並べて配置できるので、ＬＤ１５と判定結果との対応付けを目視で確認することができる。これによって使用者は、前記対応付けを記憶してＬＤ１５の良否を判断する場合に比べて、誤認識が少なくＬＤ１５の良否を確実に判断することができる。したがってＬＤ１５の良品および不良品を選別する際、誤選別を未然に防止することができるとともに、ＬＤ１５を容易かつ確実に良否選別することができる。それ故、本発明のような複数のバーンイン槽１１を備えるバーンイン装置１０であっても、ＬＤ１５の良否を確実に判断でき、ＬＤ１５の良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。このように誤選別を未然に防止することができると、ＬＤ１５が搭載される製品の不良品化を抑制することができ、前記製品の歩留まりをよくすることができる。さらにこのように使用者がＬＤ１５と判定結果の対応付けを目視で確認してＬＤ１５の良否選別が容易にできるので次のような効果を奏する。ＬＤ１５と判定結果の対応付けに基づいてＬＤ１５の良否選別するための装置を新たに設ける必要がなく、バーンイン装置１０の構成を従来技術のものより簡単化することができ、これによってバーンイン装置１０の小形化を図ることができるうえ、生産設備費用、つまり生産コストを低減することができる。

本実施の形態のバーンイン装置１０によれば、判定手段１４は、測定結果および判定結果とＬＤ１５が収納されるバーンイン槽１１とが対応付けて記憶される。これによって判定手段１４は、バーンイン槽１１毎に実装されるＬＤ１５の判定結果を報知部２０によって報知させることができる。これによって複数のＬＤ１５がバーンイン槽１１に収納されるバーンイン装置１０において、一度に複数のＬＤ１５の判定結果を報知することができ、１つ１つＬＤ１５の判定結果を報知するバーンイン装置に比べて、良否選別する際の作業効率を向上させることができる。

本実施の形態のバーンイン装置１０によれば、判定手段１４は、測定部１３に着脱可能であり、電気的に接続可能に構成される。これによって判定手段１４は、測定部１３に装着される状態で測定結果に基づいてＬＤ１５の判定結果を求めることができ、測定部１３から離脱する状態で搬送、すなわち他のバーンイン槽１１に移行することができる。また判定手段１４がＬＤ１５の良否を判定するための手段であり、バーンイン槽１１より小形化が可能であるので、従来のようにバーンイン槽１１を搬送機で搬送する場合に比べて、判定手段１４を搬送する方が容易である。これによって複数のバーンイン槽１１のＬＤ１５を良否判定する際、バーンイン槽１１を搬送する必要がなく、判定手段１４を着脱するだけの容易な操作でＬＤ１５の良否判定ができ、良否判定が容易となり、使用者の労力を軽減することができる。搬送機を備える必要がないので、バーンイン装置１０の構成を従来技術より簡略化することができる。さらにバーンイン槽１１毎に判定手段１４を設ける必要がなく、構成を少なくすることもできる。このようにバーンイン装置１０の小形化を図ることができるうえ、生産設備費用、つまり生産コストを低減することができる。

本発明によれば、判定手段１４は、報知部２０の作動可能性を判定し報知することができるので、報知部２０が不所望な状態で報知部２０がＬＤ１５の判定結果を報知することを防止する。これによってＬＤ１５の判定結果を、報知部２０によって正確に報知することができ、報知部２０の不所望な状態に基づく、使用者の判定結果の誤認識および良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。これによってＬＤ１５が搭載される製品の不良品化を抑制し、歩留まりをよくすることができる。

本実施のバーンイン試験方法によれば、ＬＤ１５の測定結果に基づいて判定される判定結果を、ＬＤ１５近傍に対応付けて報知する。これによって使用者は、ＬＤ１５と判定結果との対応付けを目視で確認することができ、前記対応付けを記憶してＬＤ１５の良否判定をする場合に比べて、誤認識が少なくＬＤ１５の良否を確実に判定をすることができる。ＬＤ１５の良否が確実に判定できるので、ＬＤ１５の良否および不良品を選別する際、誤選別を未然に防止することができ、ＬＤ１５の良否選別が容易かつ確実にできる。このように誤選別を未然に防止することができると、ＬＤ１５が搭載される製品の不良品化を抑制することができ、前記製品の歩留まりをよくすることができる。

図１０は、本発明の実施の第２の形態であるバーンイン装置１０Ａの電気的構成を示すブロック図である。図１１は、バーンイン装置１０Ａを簡略化して示す図である。図１２は、バーンイン装置１０Ａを用いて不良品を選別する際の状態を簡略化して示す図である。バーンイン装置１０Ａは、実施の第１の形態のバーンイン装置１０と構成が類似しており、異なる点についてだけ説明し、同様の構成については同位置の符号を付して説明を省略する。バーンイン槽１１Ａは、複数のバーンインボード２８（本実施の形態では、１０個のバーンインボード２８）が着脱可能に収納するように構成され、モニタ部１２によってバーンイン槽１１Ａの温度を計測し、バーンイン槽１１Ａの異常を検出可能に構成される。１０個のバーンインボード２８は、それぞれ第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７、第８、第９および第１０バーンインボード２８と称する。基板である各バーンインボード２８は、複数の実装位置が形成され、前記実装位置にＬＤ１５（本実施の形態では、５つのＬＤ１５）を実装可能に構成され、バーンイン槽１１Ａに収納される状態で測定部１３Ａに電気的に接続される。本実施の形態において、バーンインボード２８の実装位置は、バーンインラックと同様に、紙面左から順に第１、第２、第３、第４、および第５実装位置とする。各バーンインボード２８には、基板識別情報が記憶される。基板識別情報とは、各バーンインボード２８を識別するための情報であり、各バーンインボード２８固有の識別情報である。本実施の形態では、バーインボードが各バーンインボード２８に割り振られるＩＤ番号を記憶可能に構成される。測定部１３Ａは、各バーンインボード２８に実装されるＬＤ１５についてＬＤ電流を測定可能に構成され、ＬＤの特性をＣＰＵ２４に伝送可能に構成される。測定部１３Ａおよび信号変換部１７Ａは、着脱不可能に構成される。換言すれば、測定部１３Ａと判定手段１４とが常時接続されて構成される。制御部１８は、測定結果を基板識別情報およびアドレスと対応付けてＲＡＭ２６に記憶する。本実施の形態においてアドレスは、ＬＤ１５がバーンインボード２８の実装位置のうちいずれの実装位置に実装されているかを示す位置情報である。本実施の形態では、対応付けられる記憶される測定結果、基板識別情報とアドレスとを含んでＬＤ測定情報と称する場合がある。制御部１８は、ＣＰＵ２４によってＬＤ測定情報に基づいてＬＤ情報を作成し、ＲＡＭ２６に記憶可能に構成される。本実施の形態では、ＬＤ情報は、測定結果と判定結果とが基板識別情報とアドレスとに対応付けて記憶される情報である。バーンイン装置１０Ａには、さらに基板識別情報取得部２９が設けられる。基板識別情報取得部２９は、バーンインボード２８を着脱可能および電気的に接続可能に構成される。基板識別情報取得部２９は、図１２に示すようにバーンインボード２８が装着されると、バーンインボード２８に記憶される基板識別情報を取得し、前記基板識別情報を制御部１８へ伝送する。制御部１８は、基板識別情報を取得すると、ＣＰＵ２４によってＲＡＭ２６から基板識別情報を含むＬＤ情報を検出する。制御部１８は、検出されるＬＤ情報に基づいて、報知部２０を駆動させて判定結果を使用者に報知可能に構成される。報知部２０は、図１０に示すように、基板識別情報取得部２９の近傍に配置可能に構成される。具体的には、報知部２０が制御部１８に対して相対変位に可能に構成されるので、報知部２０を変位させることによって基板識別情報取得部２９の近傍に配置する。ＣＰＵ２４は、バーンイン槽１１Ａに収納される全てのＬＤ１５を発光可能に構成される。ＣＰＵ２４は、ＬＤ電流の測定回数が指定測定回数未満である場合、ＬＤ１５を発光させ、ＬＤ電流の測定が指定測定回数以上であると、発光するＬＤ１５の発光停止するように構成される。本実施の形態では、ＣＰＵ２４は、ＬＤ電流の測定開始時（第１回目の測定時）にＬＤ１５を発光させ、指定回数（第９回目の測定時）にＬＤ１５の発光を停止する。以下では、このような構成を有するバーンイン装置１０Ａを用いるバーンイン試験方法について説明する。

図１３は、バーンイン装置１０Ａを用いてバーンイン試験方法を行い、ＬＤ１５の良品および不良品を選別する手順を概略示すフローチャートである。図１４は、ＬＤ収納工程の具体的な手順を示すフローチャートである。図１５は、良否判定工程の具体的な手順を示すフローチャートである。図１６は、良否選別工程の具体的な手順を示すフローチャートである。良品および不良品を選別する方法には、ＬＤ収納工程と、良否判定工程と、良否選別工程とが含まれる。良品および不良品を選別する方法では、良否選別すべき複数のＬＤ１５が準備されると、ステップｅ０からステップｅ１ヘ移行する。

ＬＤ収納工程であるステップｅ１では、良否判定をすべき全てのＬＤ１５を、複数のバーンインボード２８のうちいずれかバーンインボード２８に実装位置に実装する。全てのＬＤ１５がいずれかのバーンインボード２８に収納される状態、または各バーンインボード２８の全ての実装位置にＬＤ１５が実装される状態になると、ステップｅ１からステップｅ２へ移行する。良否判定工程であるステップｅ２では、バーンインボード２８に実装されるＬＤ１５のＬＤ電流の測定を行い、ＬＤの特性を測定する。ＣＰＵ２４は、測定部１３ＡからＬＤ１５毎の測定結果を取得し、ＬＤ測定情報をＲＡＭ２６に記憶させる。ＣＰＵ２４は、記憶されるＬＤ情報に基づいて、各ＬＤ１５を良否判定し、測定結果の判定結果を含むＬＤ情報をＲＡＭ２６に記憶させる。このようにしてＬＤ情報が記憶されると、ステップｅ２からステップｅ３へ移行する。良否選別工程であるステップｅ３では、バーンインボード２８をバーンイン槽１１Ａから離脱させて基板識別情報取得部２９に装着する。バーンインボード２８を基板識別情報取得部２９に装着すると、ＣＰＵ２４は、判定結果を報知すべきＬＤ１５が実装されるバーンインボード２８の基板識別情報を取得するとともに、前記基板識別情報が含まれるＬＤ情報をＲＡＭ２６から取得する。ＣＰＵ２４は、取得するＬＤ情報に基づいて、駆動部２７を介して報知部２０を駆動させて、前記ＬＤ１５の判定結果を報知部によって報知する。このとき報知部２０が基板識別情報取得部２９の近傍に配置可能に構成されるので、判定結果を報知すべきＬＤ１５の近傍に報知部２０を並べて配置することができる。使用者は、このようにして並べて配置されるＬＤ１５と報知部２０とを対比させて、ＬＤ１５の判定結果を目視確認する。この判定結果に基づいて、使用者は、実装されるＬＤ１５が良品であるか不良品であるかを選別する。ＬＤ１５の良否選別が終了すると、ステップｅ３からステップｅ４ヘ移行し手順が終了する。

良品および不良品を選別する方法について、具体的に説明すると、良否選別すべきＬＤ１５が準備されると、ステップｅ０からステップｅ１ヘ移行する。ステップｅ１ヘ移行すると、図１４に示すＬＤ収納工程のフローチャートが開始する。本フローチャートが開始すると、ステップｆ０からステップｆ１ヘ移行する。ＬＤ実装工程であるステップｆ１では、使用者が良否選別すべきＬＤ１５を所望のバーンインボード２８の空実装位置に実装する。ＬＤ１５を所望のバーンインボード２８に実装すると、ステップｆ１からステップｆ２ヘ移行する。ステップｆ２では、使用者が良否選別すべきＬＤ１５が全てバーンインラックに実装されているか判定する。全てのＬＤ１５が実装されている判定すると、ステップｆ２からステップｆ３ヘ移行する。ステップｆ３では、ＬＤ１５が実装される全てのバーンインボード２８をバーンイン槽１１Ａに装着して収納する。前記バーンインボード２８をバーンイン槽１１Ａに収納すると、ステップｆ３からステップｆ４ヘ移行してＬＤ収納工程の手順が終了し、ステップｅ１からステップｅ２ヘ移行する。

ステップｆ２で、全てのＬＤ１５が実装されていないと判定すると、ステップｆ２からステップｆ４ヘ移行する。ステップｆ４では、使用者が前記所望のバーンインボード２８に空実装位置がある否かを判定する。空実装位置がない場合、ステップｆ４からステップｆ５ヘ移行する。ステップｆ５では、使用者がステップｆ１でＬＤ１５を収納したバーンインボード２８と異なるバーンインボード２８に空実装位置があるか否かを判別する。前記バーンインラックに空実装位置がないと判定すると、ステップｆ５からステップｆ３ヘ移行する。

ステップｆ４において空実装位置があると判断した場合、ステップｂ４からステップｂ１へ戻る。ステップｆ５において、ステップｆ１でＬＤ１５を収納したバーンインボード２８と異なるバーンインボード２８に空実装位置があると判定すると、ステップｆ５からステップｆ６ヘ移行する。ステップｆ６では、残りのＬＤ１５を実装するバーンインボード２８を、空実装位置があるバーンインボード２８うち所望のバーンインボード２８に移行する。残りのＬＤ１５を実装するバーンインボード２８を移行すると、ステップｆ６からステップｆ１へ戻る。

このようにしてＬＤ収納工程で全てのＬＤ１５が実装される、または全てのバーンインボード２８の空実装位置がなくなるまでＬＤ１５の実装を行い、バーンインボード２８にＬＤ１５を実装し前記バーンインボード２８をバーンイン槽１１Ａに収納するとステップｅ１からステップｅ２ヘ移行する。ステップｅ２ヘ移行すると、図１５に示す良否判定工程のフローチャートが開始する。本フローチャートが開始すると、ステップｇ０からステップｇ１ヘ移行する。測定工程であるステップｇ１では、制御部１８によってＬＤ１５を発光させ、ＣＰＵ２４が測定部１３ＡにＬＤ電流の測定を行わせ、測定部１３Ａが各基板に実装されるＬＤ１５のＬＤの特性、すなわち測定結果を取得する。測定部１３Ａは、各ＬＤ１５のＬＤの特性を取得するとともに、実装される各ＬＤ１５の基板識別情報およびアドレスを取得する。測定部１３Ａは、測定結果、基板識別情報およびアドレスが取得すると、ステップｇ１からステップｇ２ヘ移行する。

特性記憶工程であり、測定結果記憶工程であるステップｇ２では、ＣＰＵ２４が測定部１３Ａからステップｇ１で取得する測定結果、基板識別情報およびアドレスを取得する。ＣＰＵ２４は、取得する測定結果と基板識別情報とアドレスとを対応付けてＲＡＭ２６に記憶させる、すなわちＬＤ測定情報を記憶させる。このとき基板識別情報に他の測定結果が対応付けて記憶されている場合、新たに対応付けて記憶させる測定結果を他の測定結果とともに基板識別情報に対応付けて記憶させる、すなわち複数の測定結果を含むＬＤ測定情報を記憶させる。これによって基板識別情報に複数の測定結果が対応付けて記憶される。ＲＡＭ２６に槽識別情報と測定結果とが対応付けて記憶されると、ステップｇ２からステップｇ３ヘ移行する。ステップｇ３では、ＣＰＵ２４が全てのバーンインボード２８において、指定測定回数の測定が行われたか否かを判断する。ＣＰＵ２４は、ＲＡＭ２４に記憶される全てのＬＤ測定情報の測定回数が指定測定回数以上であるかを判断する。ＣＰＵ２４が指定測定回数の測定が完了していると判定すると、発光するＬＤ１５に流れる電流を止めて発光を停止し、ステップｇ３からステップｇ４ヘ移行する。

判定工程であるステップｇ４は、ＣＰＵ２４が、ＲＡＭ２６に記憶されるＬＤ測定情報を取得し、このＬＤ測定情報に含まれる測定結果に基づいてＬＤ１５の良否を判定し、判定結果を求める。判定結果が求められると、ステップｇ４からステップｇ５へ移行する。判定結果記憶工程であるステップｇ５では、ＣＰＵ２４がステップｇ４で求められた判定結果とＬＤ測定情報とをＲＡＭ２６に伝送し記憶させる。このときＣＰＵ２４は、判定結果をＬＤ測定情報に含まれる基板識別情報およびアドレスに対応付けてＲＡＭ２６に記憶させる、すなわちＬＤ情報をＲＡＭ２６に記憶させる。ＣＰＵ２４は、ＲＡＭ２６に記憶される全てのＬＤ１５について、ＬＤ測定情報に基づいて判定結果を求め、ＬＤ情報をＲＡＭ２６に記憶させる。これによって各バーンインボード２８に実装される全てのＬＤ１５のＬＤ情報がＬＤ１５毎にＲＡＭ２６に記憶される。ＲＡＭ２６に全てのＬＤ１５のＬＤ情報が記憶されると、ステップｇ５からステップｇ６ヘ移行して良否判定工程の手順が終了し、ステップｅ２からステップｅ３ヘ移行する。

ステップｇ３において、ＣＰＵ２４が指定測定回数の測定が行われていないと判断すると、ステップｇ３からステップｇ７ヘ移行する。ステップｇ７では、ＣＰＵ２４が測定実施時刻が経過しているかを判断し、経過したと判断すると、ステップｃ１へ戻る。ＣＰＵ２４は、ステップｃ１に戻ると、測定回数が指定測定回数に到達していないバーンインボード２８に実装されるＬＤ１５のＬＤ電流の測定を開始する。

良否判定工程では、バーンインボード２８に実装される全てのＬＤ１５について良否判定し、判定結果を含むＬＤ情報を記憶させると、ステップｅ２からステップｅ３ヘ移行する。ステップｅ３ヘ移行すると、図１６に示す良否選別工程のフローチャートが開始する。本フローチャートが開始すると、ステップｈ０からステップｈ１ヘ移行する。ステップｈ１では、使用者が、基板識別情報取得部２９に、良否選別すべきＬＤ１５が実装されるバーンインボード２８（以下「装着バーンインボード２８」と称する場合がある）を装着する。たとえば図１２に示すように、第１０バーンインボード２８が基板識別取得部に装着される。装着バーンインボード２８が装着されると、ステップｈ１からステップｈ２ヘ移行する。基板識別情報取得工程であるステップｈ２では、ＣＰＵ２４が基板識別情報取得部２９から装着バーンインボード２８の基板識別情報を取得する。ＣＰＵ２４が装着バーンインボード２８の基板識別情報を取得すると、ステップｈ２からステップｈ３へ移行する。

判定結果検索工程であるステップｈ３では、ＣＰＵ２４が、ステップｈ２で取得した装着バーンインボード２８の基板識別情報に対応付けられる判定結果をＲＡＭ２６から検出する。ＣＰＵ２４は、ＲＡＭ２６から検出される判定結果を含むＬＤ情報から判定結果およびアドレスを取得する。ＣＰＵ２４が判定結果およびアドレスを取得すると、ステップｈ３からステップｈ４へ移行する。報知部作動確認工程であるステップｈ４では、ＣＰＵ２４が、駆動部２７を介して報知部２０の全てのＬＥＤ２１の点灯試験を行い、報知部２０を構成するＬＥＤ２１の作動可能性を報知させる。報知部２０の全てのＬＥＤ２１の作動可能性を確認した後、ステップｈ４からステップｈ５へ移行する。

報知工程であるステップｈ５では、ＣＰＵ２４がステップｈ３で取得した判定結果およびアドレスに基づいて、駆動部２７によって報知部２０を駆動させて、装着バーンインボード２８に実装されるＬＤ１５の判定結果を前記ＬＤ１５に対応付けて報知する。具体的には、アドレスが第１実装位置であり、これに対応付けられる判定結果が「良」である場合、ＣＰＵ２４は、図３に示すように、駆動部２７によって第１ＬＥＤ２１ａを発光させて、第１実装位置に実装されるＬＤ１５が良品であることを使用者に報知する。同様にアドレスが第５実装位置であり、これに対応付けられる判定結果が「不良」である場合、ＣＰＵ２４は、図１２に示すように、駆動部２７が第５ＬＥＤ２１ｅを発光を禁止させ（以下、発光を禁止することを「非発光」と称する場合がある）、第２実装位置に実装されるＬＤ１５が不良品であることを使用者に報知する。同様にして、ＣＰＵ２４は、第２、第３および第４実装位置に実装されるＬＤ１５の判定結果を、駆動部２７によって第２、第３および第４ＬＥＤ２１ｂ，２１ｃ，２１ｄを駆動させて報知する。報知部２０が基板識別情報取得部２９近傍に配置可能であるので、装着バーンインボード２８の近傍に配置することができる。したがって使用者は、報知部２０を良否選別すべきＬＤ１５の近傍に並べて配置することができる。これによって装着バーンインボード２８に実装されるＬＤ１５と各ＬＤ１５の判定結果とをＬＤ１５近傍で対応付けて報知することができる。このようにして報知すると、ステップｈ５からステップｈ６ヘ移行する。

選別工程であるステップｈ６は、使用者が、ＬＤ１５の近傍に対応付けて報知する各ＬＤ１５の判定結果に基づいて、ＬＤ１５の良品および不良品を選別する。使用者は、非発光のＬＥＤ２１に対応する実装位置に実装されるＬＤ１５を、不良品として選別し除去する。また使用者は、発光するＬＥＤ２１に対応する実装位置に実装されるＬＤ１５を、良品として選別する。このようにして使用者が良品および不良品を選別すると、ステップｈ６からステップｈ７ヘ移行する。ステップｈ７では、使用者が装着バーンインボード２８を基板情報識別取得部から離脱させる。装着バーンインボード２８を基板識別情報取得部２９から離脱させると、ステップｈ７からステップｈ８ヘ移行する。ステップｈ８では、使用者が全てのバーンインボード２８において選別が終了したか否かを判断する。使用者が終了したと判断すると、ステップｈ８からステップｈ９ヘ移行し良否選別工程が終了し、ステップｅ３からステップｅ４へ移行して手順が終了する。ステップｈ８において、使用者が終了していないと判断すると、ステップｈ１０ヘ移行する。ステップｈ１０では、選別が終了していないバーンインボード２８に移行し、ステップｈ１０からステップｈ１へ戻る。

本実施の形態において、測定結果記憶工程と判定工程と判定結果記憶工程と報知工程とを含んでバーンイン試験方法を構成する。

本実施のバーンイン装置１０Ａによれば、測定部１３Ａがバーンインボード２８に実装されるＬＤの特性を測定する。この測定結果に基づいて、判定手段１４がＬＤ１５の良否を判定し、判定結果を求める。報知部２０は、この判定結果をＬＤ１５に対応付けて報知する。特にバーンインボード２８がバーンイン槽１１Ａに着脱可能であるので、バーンインボード２８を報知部２０の近傍に配置することができる。このように報知部２０がＬＤ１５と判定結果とを対応付けて報知するうえ、報知部２０をバーンインボード２８に実装されるＬＤ１５の近傍に並べて配置できるので、使用者は、ＬＤ１５と判定結果との対応付けを目視で確認することができる。これによって使用者は、前記対応付けを記憶してＬＤ１５の良否を判断する場合に比べて、ＬＤ１５と判定結果との対応付けの誤認識が少なくＬＤ１５の良否を確実に判断をすることができる。したがってＬＤ１５の良品および不良品を選別する際、誤選別を未然に防止することができるとともに、ＬＤ１５を容易かつ確実に良否選別することができる。それ故、本発明のような複数のバーンインボード２８を備えるバーンイン装置１０Ａであっても、ＬＤ１５の良否を確実に判断でき、ＬＤ１５の良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。このように誤選別を未然に防止することができると、ＬＤ１５が搭載される製品の不良品化を抑制することができ、前記製品の歩留まりをよくすることができる。さらにこのように使用者がＬＤ１５と判定結果の対応付けを目視で確認してＬＤ１５の良否選別を容易にできるので、次のような効果を奏する。ＬＤ１５と判定結果の対応付けに基づいてＬＤ１５の良否選別するための装置を新たに設ける必要がなく、バーンイン装置１０Ａの構成を従来技術より簡単化することができる。これによってバーンイン装置１０Ａの小形化を図ることができるうえ、生産コストを低減することができる。さらに複数のバーンインボード２８を備えるので、一度に測定および判定可能なＬＤ１５の数量が多く、従来のバーンイン装置より作業効率が高い。

本実施のバーンイン装置１０Ａによれば、判定手段１４は、測定結果および判定結果とＬＤ１５が実装されるバーンインボード２８とが対応付けて記憶する。これによって判定手段１４は、バーンインボード２８毎に実装されるＬＤ１５の判定結果を報知部２０によって報知させることができる。これによって複数のＬＤ１５がバーンインボード２８に実装されるバーンイン装置１０Ａにおいて、一度に複数のＬＤ１５の判定結果を報知することができ、１つ１つＬＤ１５の判定結果を報知するバーンイン装置に比べて、良否選別する際の作業効率を向上させることができる。

実施の第２の形態では、１つのバーンイン槽１１Ａだけが設けられているけれども、複数のバーンイン槽１１Ａが設けられてもいい。これによってバーンイン装置１０Ａより多くのバーンインボード２８を設けることができ、作業時間の低減を図ることができる。またこのとき測定部１３Ａと信号変換部１７Ａとが着脱可能に構成し、制御部１８が槽識別情報を所得し記憶可能に構成することによって、実施の第１の形態のバーンイン装置１０と同様の効果を奏するバーンイン装置１０Ａを構成することができる。

本実施の形態では、単品種大量のＬＤ１５のバーンイン装置１０であるけれども、複数のバーンイン槽１１を備えるので、各バーンイン槽１１をそれぞれ異なる種類のＬＤ１５を収納可能、すなわち多品種のＬＤ１５を収納可能に構成してもよい。このように多品種のＬＤ１５が収納される場合、ＬＤ１５毎にＬＤの特性を測定および測定結果に基づく良否判定が行われ、ＬＤ１５と判定結果とを対応付けて報知する。したがって各ＬＤ１５の判定結果の報知ができるので、使用者がＬＤ１５の良否を確実に判断でき、ＬＤ１５の不良品の誤選別を未然に防止することができる。使用者がＬＤ１５と各判定結果の対応付けを目視で確認してＬＤ１５の良否選別ができるので、各品種に対応するＬＤ１５の良否選別するための装置を設けることなく、多品種のＬＤ１５の良否選別ができる。それ故、バーンイン装置１０の構造を簡単化できるとともに、各品種のＬＤ１５の良否選別に対応すべく良否選別装置を増設することが必要なく、生産コストを低減することができる。このように多品種のＬＤ１５に対して使用することができるので、汎用性が高く、使用者の判定結果の誤認識および良品および不良品の誤選別を防止することができる。

同様に、複数のバーンインボード２８を備えるので、各バーンインボード２８をそれぞれ異なる種類のＬＤ１５を実装可能、すなわち多品種のＬＤ１５を実装可能に構成してもよい。このように多品種のＬＤ１５が実装される場合、ＬＤ１５毎にＬＤの特性を測定および測定結果に基づく良否判定が行われ、ＬＤ１５と判定結果とを対応付けて報知する。したがって各ＬＤ１５の判定結果の報知ができるので、使用者がＬＤ１５の良否を確実に判断でき、ＬＤ１５の不良品の誤選別を未然に防止することができる。使用者がＬＤ１５と各判定結果の対応付けを目視で確認してＬＤ１５の良否選別ができるので、各品種に対応するＬＤ１５の良否選別するための装置を設けることなく、多品種のＬＤ１５の良否選別ができる。それ故、バーンイン装置１０Ａの構造を簡単化できるとともに、各品種のＬＤ１５の良否選別に対応すべく良否選別装置を増設することが必要なく、生産コストを低減することができる。このように多品種のＬＤ１５に対して使用することができるので、汎用性が高く、使用者の判定結果の誤認識および良品および不良品の誤選別を防止することができる。

本実施の形態では、測定結果と判定結果とがバーンイン槽１１またはバーンインボード２８に対応付けて記憶されるので、ＣＰＵ２４は、測定結果および判定結果に基づいて、これらに対応付けられた槽識別情報を有するバーンイン槽１１または基板識別情報を有するバーンインボード２８の良否を判定可能に構成してもよい。具体的には、ＣＰＵ２４が、槽識別情報または基板識別情報およびこれらに対応付けられる判定結果に基づいて、各バーンイン槽１１または各バーンインボード２８毎に収納されるＬＤ１５の判定結果を集計し、その集計に基づいて判定結果の発生頻度、すなわち不良品発生率を求める。判定手段１４は、この不良発生率を表示部で報知可能に構成され、さらにこの不良品発生率に基づいて、ＣＰＵ２４は、各バーンイン槽１１または各基板に異常がないか否かの良否判定をする。詳細に説明すると、ＣＰＵ２４は、求められる不良品発生率に基づいて、所定の発生率以上であると、「異常」であると判定し、所定の発生率未満であると、「良好」と判定する。このようにして良否判定に基づいて、ＣＰＵ２４は、各バーンイン槽１１または各バーンインボード２８が良品であるか不良品であるかを報知する。このようにＣＰＵ２４を構成することによって以下のような効果を奏する。これによって各バーンイン槽１１または各基板が不所望な状態でＬＤ１５の良否判定が行われることを防止できる。したがってＬＤ１５の良否を確実に判定することができ、各バーンイン槽１１または各バーンインボードが不所望な状態であることに伴う、判定結果の誤認識および良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。これによってＬＤ１５の良品を確実に選別することができ、ＬＤ１５が搭載される製品の歩留まりをよくすることができる。さらに実装位置毎に不良品発生率を求めることによって、いずれの実装位置が異常であるかを判定することも可能である。これによって実装位置単位で不所望な状態での判定か否かを判断することができる。これによって不所望な状態であることに伴う、判定結果の誤認識および良品および不良品の誤選別を未然に防止することができる。これによってＬＤ１５の良品を確実に選別することができ、ＬＤ１５が搭載される製品の歩留まりをよくすることができる。

本発明の実施の第１の形態であるバーンイン装置１０の電気的構成を示すブロック図である。 バーンイン装置１０を簡略化して示す図である。 バーンイン装置１０を用いて被評価物の不良品を選別する際の状態を簡略化して示す図である。 判定手段に備えられる表示部に表示される情報を示す図である。 ＬＤの特性の時間変化を示すグラフである。 バーンイン装置１０を用いてバーンイン試験方法を行い、ＬＤ１５の良品および不良品を選別する手順を概略示すフローチャートである。 ＬＤ収納工程の具体的な手順を示すフローチャートである。 良否判定工程の具体的な手順を示すフローチャートである。 良否選別工程の具体的な手順を示すフローチャートである。 本発明の実施の第２の形態であるバーンイン装置１０Ａの電気的構成を示すブロック図である。 バーンイン装置１０Ａを簡略化して示す図である。 バーンイン装置１０Ａを用いて不良品を選別する際の状態を簡略化して示す図である。 バーンイン装置１０Ａを用いてバーンイン試験方法を行い、ＬＤ１５の良品および不良品を選別する手順を概略示すフローチャートである。 ＬＤ収納工程の具体的な手順を示すフローチャートである。 良否判定工程の具体的な手順を示すフローチャートである。 良否選別工程の具体的な手順を示すフローチャートである。 第１の従来の技術のバーンイン装置１の構成を概略示すブロック図である。

符号の説明

１０ バーンイン装置
１１ バーンイン槽
１３ 測定部
１４ 判定手段
２０ 報知部
２８ バーンインボード

Claims (7)

1. 被評価物を良否判定するためのバーンイン装置であって、
   被評価物を収納可能な複数のバーンイン槽と、
   被評価物の特性を測定可能な測定手段と、
   測定手段の測定結果に基づいて被評価物の良否を判定し、判定結果を求める判定手段と、
   被評価物と判定結果とを対応付けて報知し、かつ各バーンイン槽に対して相対変位可能な報知手段とを有することを特徴とするバーンイン装置。
2. 被評価物を良否判定するためのバーンイン装置であって、
   被評価物を実装可能な複数の基板と
   複数の基板を収納可能であり、各基板を着脱可能な少なくとも１つのバーンイン槽と、
   被評価物の特性を測定可能な測定手段と、
   測定手段の測定結果に基づいて被評価物の良否を判定し、判定結果を求める判定手段と、
   被評価物と判定結果とを対応付けて報知可能な報知手段とを有することを特徴とするバーンイン装置。
3. 前記判定手段は、測定結果および判定結果と、被評価物が実装される基板とを対応付けて記憶することを特徴とする請求項２に記載のバーンイン装置。
4. 前記判定手段は、測定結果および判定結果と、被評価物が収納されるバーンイン槽とを対応付けて記憶することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のバーンイン装置。
5. 前記判定手段は、測定手段に着脱可能であって、かつ電気的に接続可能であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のバーンイン装置。
6. 判定手段は、報知手段の作動可能性を判定する機能を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のバーンイン装置。
7. バーンイン装置を用いて被評価物の良否を判定するバーンイン試験方法であって、
   被評価物の特性を測定する測定工程と、
   被評価物が収納されるバーンイン槽および実装される基板のうち少なくともいずれか一方を示す識別情報を取得し、識別情報と測定工程の測定結果とを対応付けて記憶する特性記憶工程と、
   記憶される測定結果に基づいて被評価物の良否を判定し、判定結果を求める判定工程と、
   前記識別情報と判定結果とを対応付けて記憶する判定結果記憶工程と、
   前記識別情報を取得し、取得する識別情報に基づいて被評価物の判定結果を被評価物近傍に対応付けて報知する報知工程とを含むことを特徴とするバーンイン試験方法。

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