JP2003057291A - バーンイン試験装置システム - Google Patents
バーンイン試験装置システムInfo
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- JP2003057291A JP2003057291A JP2001249368A JP2001249368A JP2003057291A JP 2003057291 A JP2003057291 A JP 2003057291A JP 2001249368 A JP2001249368 A JP 2001249368A JP 2001249368 A JP2001249368 A JP 2001249368A JP 2003057291 A JP2003057291 A JP 2003057291A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 バーンイン試験において、複数台からの作業
者呼出を一箇所で集中的に監視することが可能なバーン
イン試験装置を提供する。 【解決手段】 ネットワーク６０に接続されたバーンイ
ン試験装置３０〜３２の状態を表すファイルをサーバ２
０の記憶部２１に、各バーンイン試験装置の識別番号に
対応させて作成する。作業者呼出装置１０〜１２では、
サーバ２０の記憶部２１にあるバーンイン試験装置毎の
状態を表すファイルを読み込んで、作業者の呼出が必要
な場合、表示装置とブザーで作業者を呼び出す。
者呼出を一箇所で集中的に監視することが可能なバーン
イン試験装置を提供する。 【解決手段】 ネットワーク６０に接続されたバーンイ
ン試験装置３０〜３２の状態を表すファイルをサーバ２
０の記憶部２１に、各バーンイン試験装置の識別番号に
対応させて作成する。作業者呼出装置１０〜１２では、
サーバ２０の記憶部２１にあるバーンイン試験装置毎の
状態を表すファイルを読み込んで、作業者の呼出が必要
な場合、表示装置とブザーで作業者を呼び出す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
バーンイン試験において半導体集積回路の不良及び試験
装置自身の異常を検出した場合に、作業者に対して異常
表示を行い、作業者を呼び出すバーンイン試験装置シス
テムに関する。
バーンイン試験において半導体集積回路の不良及び試験
装置自身の異常を検出した場合に、作業者に対して異常
表示を行い、作業者を呼び出すバーンイン試験装置シス
テムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、様々な電子機器に使用されるＩＣ
（Integrated Circuit：半導体集積回路）やＬＳＩ（La
rge Scale Integrated circuit：大規模集積回路）にお
ける回路は、抵抗，コンデンサ，トランジスタ等の各素
子を、露光によるパターンニング，不純物の拡散，薄膜
の蒸着等の半導体プロセスにより形成する。上記各素子
は、プロセス工程の条件などの変動により、大量生産さ
れる製品間に、多少の電気的特性のバラツキが生じる。
（Integrated Circuit：半導体集積回路）やＬＳＩ（La
rge Scale Integrated circuit：大規模集積回路）にお
ける回路は、抵抗，コンデンサ，トランジスタ等の各素
子を、露光によるパターンニング，不純物の拡散，薄膜
の蒸着等の半導体プロセスにより形成する。上記各素子
は、プロセス工程の条件などの変動により、大量生産さ
れる製品間に、多少の電気的特性のバラツキが生じる。
【０００３】このため、半導体集積回路の特性が規格を
満たしているか否かを試験して半導体集積回路の良否判
定を行うことにより、半導体集積回路の信頼性を確保す
る必要がある。この半導体集積回路の試験すなわちＩＣ
試験は、電気的特性及び動作試験等を行うＩＣ試験シス
テムにより行われる。このＩＣ試験の一形態として半導
体集積回路を、恒温槽の炉の中に入れ、その炉内の半導
体集積回路に外部から電源電圧や試験パターン信号を印
加して試験するバーンイン試験がある。
満たしているか否かを試験して半導体集積回路の良否判
定を行うことにより、半導体集積回路の信頼性を確保す
る必要がある。この半導体集積回路の試験すなわちＩＣ
試験は、電気的特性及び動作試験等を行うＩＣ試験シス
テムにより行われる。このＩＣ試験の一形態として半導
体集積回路を、恒温槽の炉の中に入れ、その炉内の半導
体集積回路に外部から電源電圧や試験パターン信号を印
加して試験するバーンイン試験がある。
【０００４】このバーンイン試験においては、恒温槽内
の炉の温度を高温に設定し、半導体集積回路に長時間に
わたり試験パターン信号を印加しつつ、熱ストレスを加
えて、初期不良の検出を行っている。また、バーンイン
試験においては、半導体集積回路の１個当たりの試験時
間が長いため、炉の中に数千個から一万個の半導体集積
回路を入れて、試験時間を短縮させ、試験にかかる経費
を削減している。この恒温槽における試験時間が、通
常、数時間から数十時間となるため、常にバーンイン試
験装置の監視を行う訳にはいかないため、バーンイン試
験の終了や装置異常の監視を、一定時間毎に、複数のバ
ーンイン試験装置を作業員が見回って行っている。
の炉の温度を高温に設定し、半導体集積回路に長時間に
わたり試験パターン信号を印加しつつ、熱ストレスを加
えて、初期不良の検出を行っている。また、バーンイン
試験においては、半導体集積回路の１個当たりの試験時
間が長いため、炉の中に数千個から一万個の半導体集積
回路を入れて、試験時間を短縮させ、試験にかかる経費
を削減している。この恒温槽における試験時間が、通
常、数時間から数十時間となるため、常にバーンイン試
験装置の監視を行う訳にはいかないため、バーンイン試
験の終了や装置異常の監視を、一定時間毎に、複数のバ
ーンイン試験装置を作業員が見回って行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ここで、上述した従来
のバーンイン試験装置には、半導体集積回路が不良とな
ったときや、装置自身が異常となったときに、作業者を
呼び出す呼出装置が装備されている。しかしながら、従
来のバーンイン試験装置には、半導体集積回路が不良と
なったときや、装置自身が異常となったときに、呼出装
置が起動しても、複数の装置を見回る必要があるため、
他の装置を見回っていて近傍に作業員がいない場合、作
業員がこれらを検出するまでに時間がかかる欠点があ
る。
のバーンイン試験装置には、半導体集積回路が不良とな
ったときや、装置自身が異常となったときに、作業者を
呼び出す呼出装置が装備されている。しかしながら、従
来のバーンイン試験装置には、半導体集積回路が不良と
なったときや、装置自身が異常となったときに、呼出装
置が起動しても、複数の装置を見回る必要があるため、
他の装置を見回っていて近傍に作業員がいない場合、作
業員がこれらを検出するまでに時間がかかる欠点があ
る。
【０００６】このため、従来のバーンイン試験装置に
は、上述したように、正確に、半導体集積回路の不良が
検出された時間、及び装置が異常となったか時間が判ら
ず、試験結果の信頼性がなくなり、試験自体が無駄とな
り、半導体集積回路の生産性が低下してしまう問題があ
る。本発明はこのような背景の下になされたもので、作
業者がバーンイン試験装置を見回らなくとも、作業者呼
出をバーンイン試験装置とは別の場所で、複数のバーン
イン試験装置からの呼出を一元的に表示する機能を有す
るバーンイン試験装置システムを提供する。
は、上述したように、正確に、半導体集積回路の不良が
検出された時間、及び装置が異常となったか時間が判ら
ず、試験結果の信頼性がなくなり、試験自体が無駄とな
り、半導体集積回路の生産性が低下してしまう問題があ
る。本発明はこのような背景の下になされたもので、作
業者がバーンイン試験装置を見回らなくとも、作業者呼
出をバーンイン試験装置とは別の場所で、複数のバーン
イン試験装置からの呼出を一元的に表示する機能を有す
るバーンイン試験装置システムを提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のバーンイン試験
装置システムは、恒温槽内のバーンインボードに実装さ
れた半導体集積回路を試験するバーンイン試験装置の管
理を行うバーンイン試験装置システムであって、前記バ
ーンイン試験装置の試験状態を示すファイルを記憶部に
格納するサーバと、前記ファイルを読み込み、前記半導
体集積回路の不良または前記バーンイン装置の異常を検
出した場合、作業者へ通知する作業者呼出装置とを具備
し、前記バーンイン装置，前記サーバ及び前記作業者呼
出装置がネットワークで接続されていることを特徴とす
る。
装置システムは、恒温槽内のバーンインボードに実装さ
れた半導体集積回路を試験するバーンイン試験装置の管
理を行うバーンイン試験装置システムであって、前記バ
ーンイン試験装置の試験状態を示すファイルを記憶部に
格納するサーバと、前記ファイルを読み込み、前記半導
体集積回路の不良または前記バーンイン装置の異常を検
出した場合、作業者へ通知する作業者呼出装置とを具備
し、前記バーンイン装置，前記サーバ及び前記作業者呼
出装置がネットワークで接続されていることを特徴とす
る。
【０００８】本発明のバーンイン試験装置システムは、
前記作業者呼出装置が、一定時間毎に前記ファイルをサ
ーバの記憶部から読み出すことを特徴とする。本発明の
バーンイン試験装置システムは、前記作業者呼出装置
が、バーンイン試験が終了したとき、作業者に通知する
ことを特徴とする。本発明のバーンイン試験装置システ
ムは、前記サーバが複数のバーンイン試験装置の試験状
態を検出することを特徴とする。
前記作業者呼出装置が、一定時間毎に前記ファイルをサ
ーバの記憶部から読み出すことを特徴とする。本発明の
バーンイン試験装置システムは、前記作業者呼出装置
が、バーンイン試験が終了したとき、作業者に通知する
ことを特徴とする。本発明のバーンイン試験装置システ
ムは、前記サーバが複数のバーンイン試験装置の試験状
態を検出することを特徴とする。
【０００９】本発明のバーンイン試験装置システムは、
前記作業者呼出装置が、前記記憶部に格納されるファイ
ルが一定時間毎に更新されていないことを検出した場
合、前記バーンイン試験装置に異常が起こったとして、
バーンイン試験装置装置の異常を示すデータを表示装置
に表示することを特徴とする。本発明のバーンイン試験
装置システムは、前記作業者呼出装置が前記複数のバー
ンイン試験装置毎に設けられていることを特徴とする。
前記作業者呼出装置が、前記記憶部に格納されるファイ
ルが一定時間毎に更新されていないことを検出した場
合、前記バーンイン試験装置に異常が起こったとして、
バーンイン試験装置装置の異常を示すデータを表示装置
に表示することを特徴とする。本発明のバーンイン試験
装置システムは、前記作業者呼出装置が前記複数のバー
ンイン試験装置毎に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態に
よるバーンイン試験装置システムの構成例を示すブロッ
ク図である。この図において、サーバ２０，作業者呼出
装置１０〜１２，バーンイン試験装置３０〜３２は、各
々ネットワーク６０を介して接続されている。バーンイ
ン試験装置３０〜３２は、内部の恒温槽内のバーンイン
ボードに実装した半導体集積回路に対して、熱ストレス
を加えつつ、試験パターン（テストパターン）を与え
て、出力を期待値と比較して動作が正常か否か、すなわ
ち不良か否かの判定結果を、識別番号とともにサーバ２
０へ出力する。
施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態に
よるバーンイン試験装置システムの構成例を示すブロッ
ク図である。この図において、サーバ２０，作業者呼出
装置１０〜１２，バーンイン試験装置３０〜３２は、各
々ネットワーク６０を介して接続されている。バーンイ
ン試験装置３０〜３２は、内部の恒温槽内のバーンイン
ボードに実装した半導体集積回路に対して、熱ストレス
を加えつつ、試験パターン（テストパターン）を与え
て、出力を期待値と比較して動作が正常か否か、すなわ
ち不良か否かの判定結果を、識別番号とともにサーバ２
０へ出力する。
【００１１】また、バーンイン試験装置３０〜３２は、
恒温槽の温度制御異常や動作試験判定を行う回路等の異
常検出を行い、異常を検出した場合に、異常検出信号を
識別信号とともにサーバ２０へ出力する。さらに、バー
ンイン試験装置３０〜３２は、バーンイン試験が終了し
たことを示す試験終了信号を、識別番号とともにサーバ
２０へ出力する。サーバ２０は、記憶部２１へ、各バー
ンイン試験装置（バーンイン試験装置３０〜３２）の識
別番号に対応させて、上記判定結果，上記異常検出信号
のデータ及び試験終了信号のデータをファイルとして書
き込む。
恒温槽の温度制御異常や動作試験判定を行う回路等の異
常検出を行い、異常を検出した場合に、異常検出信号を
識別信号とともにサーバ２０へ出力する。さらに、バー
ンイン試験装置３０〜３２は、バーンイン試験が終了し
たことを示す試験終了信号を、識別番号とともにサーバ
２０へ出力する。サーバ２０は、記憶部２１へ、各バー
ンイン試験装置（バーンイン試験装置３０〜３２）の識
別番号に対応させて、上記判定結果，上記異常検出信号
のデータ及び試験終了信号のデータをファイルとして書
き込む。
【００１２】作業者呼出装置１０〜１２は、バーンイン
試験装置３０，３１，３２に各々対応して設けられてい
る。すなわち、作業者呼出装置１０は、１カ所にまとめ
て（集中して）、バーンイン試験装置３０に対応して設
けられており、サーバ２０内の記憶部２１から一定時間
毎に、バーンイン試験装置３０の識別番号に対応したフ
ァイルを読み出す。他の作業者呼出装置１１，１２は、
各々バーンイン試験装置３１，３２の識別番号に対応し
たファイルを読み出す。
試験装置３０，３１，３２に各々対応して設けられてい
る。すなわち、作業者呼出装置１０は、１カ所にまとめ
て（集中して）、バーンイン試験装置３０に対応して設
けられており、サーバ２０内の記憶部２１から一定時間
毎に、バーンイン試験装置３０の識別番号に対応したフ
ァイルを読み出す。他の作業者呼出装置１１，１２は、
各々バーンイン試験装置３１，３２の識別番号に対応し
たファイルを読み出す。
【００１３】また、作業者呼出装置１０、１１，１２
は、各々ファイルにおいて判定結果，異常検出信号のデ
ータ及び試験終了信号のデータを検索し、いずれかが検
出され、作業者呼出が必要な場合、表示装置を作業者呼
出のための表示色に変更、例えば青から赤に変更すると
ともに、ブザーを鳴らして、作業者の呼出を行う。さら
に、作業者呼出装置３０、３１，３２は、上記表示装置
において、判定結果，異常検出信号のデータ及び試験終
了信号のデータのいずれが検出されたのかの表示を行
う。
は、各々ファイルにおいて判定結果，異常検出信号のデ
ータ及び試験終了信号のデータを検索し、いずれかが検
出され、作業者呼出が必要な場合、表示装置を作業者呼
出のための表示色に変更、例えば青から赤に変更すると
ともに、ブザーを鳴らして、作業者の呼出を行う。さら
に、作業者呼出装置３０、３１，３２は、上記表示装置
において、判定結果，異常検出信号のデータ及び試験終
了信号のデータのいずれが検出されたのかの表示を行
う。
【００１４】また、作業者呼出装置１０、１１，１２
は、一定時間毎に記憶部２１における、バーンイン試験
装置３０〜３２の各々の識別番号に対応するファイルを
読み出し、バーンイン試験装置の識別番号に対応したフ
ァイルが、書き換えられていない場合（ファイルの更新
がされていない場合）に、各バーンイン試験装置との通
信が途絶えた、すなわちバーンイン試験に異常が発生し
たことを検出する。このとき、対応する作業者読出装置
は、異常を示すデータを表示装置に表示し、作業者に対
して、バーンイン試験装置の異常を通知する。
は、一定時間毎に記憶部２１における、バーンイン試験
装置３０〜３２の各々の識別番号に対応するファイルを
読み出し、バーンイン試験装置の識別番号に対応したフ
ァイルが、書き換えられていない場合（ファイルの更新
がされていない場合）に、各バーンイン試験装置との通
信が途絶えた、すなわちバーンイン試験に異常が発生し
たことを検出する。このとき、対応する作業者読出装置
は、異常を示すデータを表示装置に表示し、作業者に対
して、バーンイン試験装置の異常を通知する。
【００１５】次に、図１及び図２を参照し、一実施形態
の動作例を説明する。図２は、図１のバーンイン試験装
置システムの動作例を示すフローチャートである。例え
ば、バーンイン試験装置３０〜３２の動作を示す左側の
フローチャートにおいて、以下バーンイン試験装置３０
を代表として説明するが、他のバーンイン試験装置３
１，３２も同様の処理が行われる。ステップＳ７０にお
いて、バーンイン試験装置３０は、停止状態、すなわち
試験が開始されていない状態をサーバ２０の記憶部２１
へ、識別番号の示すファイルへ書き込む。
の動作例を説明する。図２は、図１のバーンイン試験装
置システムの動作例を示すフローチャートである。例え
ば、バーンイン試験装置３０〜３２の動作を示す左側の
フローチャートにおいて、以下バーンイン試験装置３０
を代表として説明するが、他のバーンイン試験装置３
１，３２も同様の処理が行われる。ステップＳ７０にお
いて、バーンイン試験装置３０は、停止状態、すなわち
試験が開始されていない状態をサーバ２０の記憶部２１
へ、識別番号の示すファイルへ書き込む。
【００１６】次に、ステップＳ７１において、バーンイ
ン試験装置３０は、作業者が、バーンインボードに実装
された半導体集積回路の試験を開始したか否か、例えば
試験の開始を示すスイッチを入力したか否かの判定を行
う。このとき、バーンイン試験装置３０は、試験が開始
されたことを検知すると、処理をステップＳ７２へ進め
る。そして、ステップＳ７２において、バーンイン試験
装置３０は、記憶部２１の自身の識別番号の示すファイ
ルに試験の開始状態を示すデータを書き込む（ファイル
の更新）とともに、バーンイン試験を開始し、所定の熱
ストレスを印加し、動作試験を開始し、処理をステップ
Ｓ７３へ進める。
ン試験装置３０は、作業者が、バーンインボードに実装
された半導体集積回路の試験を開始したか否か、例えば
試験の開始を示すスイッチを入力したか否かの判定を行
う。このとき、バーンイン試験装置３０は、試験が開始
されたことを検知すると、処理をステップＳ７２へ進め
る。そして、ステップＳ７２において、バーンイン試験
装置３０は、記憶部２１の自身の識別番号の示すファイ
ルに試験の開始状態を示すデータを書き込む（ファイル
の更新）とともに、バーンイン試験を開始し、所定の熱
ストレスを印加し、動作試験を開始し、処理をステップ
Ｓ７３へ進める。
【００１７】また、ステップＳ７１において、バーンイ
ン試験装置３０は、試験の開始が検知されない場合、処
理をステップＳ７３へ進める。次に、ステップＳ７３に
おいて、バーンイン試験装置３０は、作業者が、バーン
インボードに実装された半導体集積回路の試験を終了さ
せたか否か、例えば試験の終了を示すスイッチを入力し
たか否かの判定を行う。
ン試験装置３０は、試験の開始が検知されない場合、処
理をステップＳ７３へ進める。次に、ステップＳ７３に
おいて、バーンイン試験装置３０は、作業者が、バーン
インボードに実装された半導体集積回路の試験を終了さ
せたか否か、例えば試験の終了を示すスイッチを入力し
たか否かの判定を行う。
【００１８】このとき、バーンイン試験装置３０は、試
験が終了されたことを検知すると、処理をステップＳ７
４へ進める。そして、ステップＳ７４において、バーン
イン試験装置３０は、記憶部２１の自身の識別番号の示
すファイルに試験の終了状態を示すデータを書き込む
（ファイルの更新）とともに、バーンイン試験を終了
し、処理をステップ７５へ進める。また、ステップＳ７
３において、バーンイン試験装置３０は、試験の終了が
検知されない場合、処理をステップＳ７５へ進める。
験が終了されたことを検知すると、処理をステップＳ７
４へ進める。そして、ステップＳ７４において、バーン
イン試験装置３０は、記憶部２１の自身の識別番号の示
すファイルに試験の終了状態を示すデータを書き込む
（ファイルの更新）とともに、バーンイン試験を終了
し、処理をステップ７５へ進める。また、ステップＳ７
３において、バーンイン試験装置３０は、試験の終了が
検知されない場合、処理をステップＳ７５へ進める。
【００１９】次に、ステップＳ７５において、バーンイ
ン試験装置３０は、バーンインボードに実装された半導
体集積回路に不良が発生したか否かの判定を行い、半導
体集積回路のいずれかに不良が発生したことを検出した
場合、処理をステップＳ７６へ進める。そして、ステッ
プＳ７６において、バーンイン試験装置３０は、記憶部
２１の自身の識別番号の示すファイルに、不良の発生し
た半導体集積回路の番号と、この集積回路で発生した不
良の種類を示すデータとを書き込む（ファイルの更
新）、すなわちアラーム（警報）状態の書き込み、処理
をステップ７７へ進める。また、ステップＳ７５におい
て、バーンイン試験装置３０は、アラームが検知されな
い場合、処理をステップＳ７７へ進める。
ン試験装置３０は、バーンインボードに実装された半導
体集積回路に不良が発生したか否かの判定を行い、半導
体集積回路のいずれかに不良が発生したことを検出した
場合、処理をステップＳ７６へ進める。そして、ステッ
プＳ７６において、バーンイン試験装置３０は、記憶部
２１の自身の識別番号の示すファイルに、不良の発生し
た半導体集積回路の番号と、この集積回路で発生した不
良の種類を示すデータとを書き込む（ファイルの更
新）、すなわちアラーム（警報）状態の書き込み、処理
をステップ７７へ進める。また、ステップＳ７５におい
て、バーンイン試験装置３０は、アラームが検知されな
い場合、処理をステップＳ７７へ進める。
【００２０】次に、ステップＳ７７において、バーンイ
ン試験装置３０は、試験を開始してから一定時間経った
か否か、または直前のファイルの更新から一定時間経っ
たか否かの判定を行う。このとき、バーンイン試験装置
３０は、記憶部２１の自身の識別番号の示すファイル
に、一定時間を経過してファイルの更新を示すデータを
書き込む（ファイルの更新）、すなわちネットワーク６
０を介して、サーバ２０及び作業者呼出装置１０との通
信が正常に行われていることを示すデータ（現在の状態
を示すデータ）を書き込み、処理をステップＳ７１へ進
める。また、ステップＳ７７において、バーンイン試験
装置３０は、一定時間経過が検知されない場合、処理を
ステップＳ７１へ進める。
ン試験装置３０は、試験を開始してから一定時間経った
か否か、または直前のファイルの更新から一定時間経っ
たか否かの判定を行う。このとき、バーンイン試験装置
３０は、記憶部２１の自身の識別番号の示すファイル
に、一定時間を経過してファイルの更新を示すデータを
書き込む（ファイルの更新）、すなわちネットワーク６
０を介して、サーバ２０及び作業者呼出装置１０との通
信が正常に行われていることを示すデータ（現在の状態
を示すデータ）を書き込み、処理をステップＳ７１へ進
める。また、ステップＳ７７において、バーンイン試験
装置３０は、一定時間経過が検知されない場合、処理を
ステップＳ７１へ進める。
【００２１】例えば、作業者呼出装置１０〜１２の動作
を示す図２の右側のフローチャートにおいて、以下作業
者呼出装置１０を代表として説明するが、他の作業者呼
出験装置１１，１２も同様の処理が行われる。ステップ
Ｓ８０において、作業者呼出装置１０は、一定時間毎
（バーンイン試験装置３０のファイルの更新後に直ぐに
記憶部２１から読み出すわけにはいかないので、バーン
イン試験装置３０の一定時間に対して、若干の余裕時間
を加算した時間が経過した後）に、記憶部２１に記憶さ
れている自身の識別番号に対応するファイルを読み出
し、このファイルが更新されているか否かの判定を行
う。
を示す図２の右側のフローチャートにおいて、以下作業
者呼出装置１０を代表として説明するが、他の作業者呼
出験装置１１，１２も同様の処理が行われる。ステップ
Ｓ８０において、作業者呼出装置１０は、一定時間毎
（バーンイン試験装置３０のファイルの更新後に直ぐに
記憶部２１から読み出すわけにはいかないので、バーン
イン試験装置３０の一定時間に対して、若干の余裕時間
を加算した時間が経過した後）に、記憶部２１に記憶さ
れている自身の識別番号に対応するファイルを読み出
し、このファイルが更新されているか否かの判定を行
う。
【００２２】ここで、作業者呼出装置１０は、ファイル
が更新されていないことを検出すると、処理をステップ
Ｓ８１へ進める。そして、ステップＳ８１において、作
業者呼出装置１０は、表示装置に、ブザーを鳴らして作
業員に呼出を通知するとともに、ネットワークの通信に
異常が発生したことを示すアラーム（通信断警報）を表
示し、作業者にこの異常を通知する。また、ステップＳ
８０において、作業者呼出装置１０は、、ファイルの更
新が検知された場合、処理をステップＳ８２へ進める。
が更新されていないことを検出すると、処理をステップ
Ｓ８１へ進める。そして、ステップＳ８１において、作
業者呼出装置１０は、表示装置に、ブザーを鳴らして作
業員に呼出を通知するとともに、ネットワークの通信に
異常が発生したことを示すアラーム（通信断警報）を表
示し、作業者にこの異常を通知する。また、ステップＳ
８０において、作業者呼出装置１０は、、ファイルの更
新が検知された場合、処理をステップＳ８２へ進める。
【００２３】次に、ステップＳ８２において、作業者呼
出装置１０は、このファイルに、試験の終了状態を示す
データが書き込まれているか否かの判定を行う。ここ
で、作業者呼出装置１０は、このファイルに、試験の終
了状態を示すデータが書き込まれていることを検出した
場合、処理をステップＳ８３へ進める。ステップＳ８３
において、作業者呼出装置１０は、ブザーを鳴らして作
業員に呼出を通知するとともに、表示装置に試験が終了
したことを示す画像データを表示する。また、ステップ
Ｓ８２において、作業者呼出装置１０は、、ファイルで
試験の終了状態を示すデータが書き込まれていないこと
を検出した場合、処理をステップＳ８４へ進める。
出装置１０は、このファイルに、試験の終了状態を示す
データが書き込まれているか否かの判定を行う。ここ
で、作業者呼出装置１０は、このファイルに、試験の終
了状態を示すデータが書き込まれていることを検出した
場合、処理をステップＳ８３へ進める。ステップＳ８３
において、作業者呼出装置１０は、ブザーを鳴らして作
業員に呼出を通知するとともに、表示装置に試験が終了
したことを示す画像データを表示する。また、ステップ
Ｓ８２において、作業者呼出装置１０は、、ファイルで
試験の終了状態を示すデータが書き込まれていないこと
を検出した場合、処理をステップＳ８４へ進める。
【００２４】次に、ステップＳ８４において、作業者呼
出装置１０は、このファイルに、試験のアラーム状態を
示すデータが書き込まれているか否かの判定を行う。こ
こで、作業者呼出装置１０は、このファイルに、試験の
アラーム状態（半導体集積回路の試験結果）を示すデー
タが書き込まれていることを検出した場合、処理をステ
ップＳ８５へ進める。次に、ステップＳ８５において、
作業者呼出装置１０は、ブザーを鳴らして作業員に呼出
を通知するとともに、表示装置に不良が発生した半導体
集積回路の番号及び不良の種類を表示する。また、ステ
ップＳ８４において、作業者呼出装置１０は、、ファイ
ルで試験のアラーム状態を示すデータが書き込まれてい
ないことを検出した場合、処理をステップＳ８０へ進め
る。
出装置１０は、このファイルに、試験のアラーム状態を
示すデータが書き込まれているか否かの判定を行う。こ
こで、作業者呼出装置１０は、このファイルに、試験の
アラーム状態（半導体集積回路の試験結果）を示すデー
タが書き込まれていることを検出した場合、処理をステ
ップＳ８５へ進める。次に、ステップＳ８５において、
作業者呼出装置１０は、ブザーを鳴らして作業員に呼出
を通知するとともに、表示装置に不良が発生した半導体
集積回路の番号及び不良の種類を表示する。また、ステ
ップＳ８４において、作業者呼出装置１０は、、ファイ
ルで試験のアラーム状態を示すデータが書き込まれてい
ないことを検出した場合、処理をステップＳ８０へ進め
る。
【００２５】上述したように、本願発明のバーンイン試
験装置システムは、各バーンイン試験装置３０〜３２を
ネットワーク６０を介して、サーバ２０，作業者読出装
置１０〜３２に接続されており、この作業者読出装置１
０〜１２が１カ所にまとめられていることにより、バー
ンイン試験装置３０〜３２のいずれかが半導体集積回路
の不良を検出した場合に、作業者が各バーンイン試験装
置を見回り確認することに比較し、リアルタイムに作業
員がこの不良の発生を確認することができ、正確な時間
が確認でき、試験の信頼性が向上する。
験装置システムは、各バーンイン試験装置３０〜３２を
ネットワーク６０を介して、サーバ２０，作業者読出装
置１０〜３２に接続されており、この作業者読出装置１
０〜１２が１カ所にまとめられていることにより、バー
ンイン試験装置３０〜３２のいずれかが半導体集積回路
の不良を検出した場合に、作業者が各バーンイン試験装
置を見回り確認することに比較し、リアルタイムに作業
員がこの不良の発生を確認することができ、正確な時間
が確認でき、試験の信頼性が向上する。
【００２６】また、上述したように、本願発明のバーン
イン試験装置システムは、各バーンイン試験装置３０〜
３２をネットワーク６０を介して、サーバ２０，作業者
読出装置１０〜３２に接続されており、この作業者読出
装置１０〜１２が１カ所にまとめられていることによ
り、作業員が各バーンイン試験装置を見回る必要が無く
なり、作業者の負担を削減し、試験の効率化が図られ、
半導体集積回路の生産性の向上を実現することができ
る。
イン試験装置システムは、各バーンイン試験装置３０〜
３２をネットワーク６０を介して、サーバ２０，作業者
読出装置１０〜３２に接続されており、この作業者読出
装置１０〜１２が１カ所にまとめられていることによ
り、作業員が各バーンイン試験装置を見回る必要が無く
なり、作業者の負担を削減し、試験の効率化が図られ、
半導体集積回路の生産性の向上を実現することができ
る。
【００２７】以上、本発明の一実施形態を図面を参照し
て詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限ら
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設
計変更等があっても本発明に含まれる。例えば、作業者
呼出装置をバーンイン試験装置毎に設けたが、複数のバ
ーンイン試験装置に対して、１つの作業者呼出装置を設
けるようにしても良い。この場合、作業者呼出装置は、
ブザーを鳴らすと共に、表示画面上に作業者呼出の要求
を出したバーンイン試験装置を示す識別番号を表示す
る。
て詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限ら
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設
計変更等があっても本発明に含まれる。例えば、作業者
呼出装置をバーンイン試験装置毎に設けたが、複数のバ
ーンイン試験装置に対して、１つの作業者呼出装置を設
けるようにしても良い。この場合、作業者呼出装置は、
ブザーを鳴らすと共に、表示画面上に作業者呼出の要求
を出したバーンイン試験装置を示す識別番号を表示す
る。
【００２８】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明のバーン
イン試験装置システムを用いれば、作業者が各バーンイ
ン試験装置の表示を確認する必要がなく、複数台のバー
ンイン試験装置で発生している作業者呼出を、一箇所で
集中的に監視することができ、作業者の負担を削減し、
試験の効率化が図られ、半導体集積回路の生産性の向上
を実現することが可能である。
イン試験装置システムを用いれば、作業者が各バーンイ
ン試験装置の表示を確認する必要がなく、複数台のバー
ンイン試験装置で発生している作業者呼出を、一箇所で
集中的に監視することができ、作業者の負担を削減し、
試験の効率化が図られ、半導体集積回路の生産性の向上
を実現することが可能である。
【図１】 本発明の一実施形態によるバーンイン試験装
置システムの構成例を示すブロック図である。
置システムの構成例を示すブロック図である。
【図２】 図１のバーンイン試験装置システムの動作例
を示すフローチャートである。
を示すフローチャートである。
１０，１１，１２ 作業者呼出装置
２０ サーバ
２１ 記憶部
３０，３１，３２ バーンイン試験装置
６０ ネットワーク
Claims (6)
- 【請求項１】 恒温槽内のバーンインボードに実装され
た半導体集積回路を試験するバーンイン試験装置の管理
を行うバーンイン試験装置システムにおいて、 前記バーンイン試験装置の試験状態を示すファイルを記
憶部に格納するサーバと、 前記ファイルを読み込み、前記半導体集積回路の不良ま
たは前記バーンイン装置の異常を検出した場合、作業者
へ通知する作業者呼出装置とを具備し、 前記バーンイン装置，前記サーバ及び前記作業者呼出装
置がネットワークで接続されていることを特徴とするバ
ーンイン試験装置システム。 - 【請求項２】 前記作業者呼出装置が、一定時間毎に前
記ファイルをサーバの記憶部から読み出すことを特徴と
する請求項１記載のバーンイン試験装置システム。 - 【請求項３】 前記作業者呼出装置が、バーンイン試験
が終了したとき、作業者に通知することを特徴とする請
求項１または請求項２に記載のバーンイン試験装置シス
テム。 - 【請求項４】 前記サーバが複数のバーンイン試験装置
の試験状態を検出することを特徴とする請求項１から請
求項３のいずれかに記載のバーンイン試験装置システ
ム。 - 【請求項５】 前記作業者呼出装置が、前記記憶部に格
納されるファイルが一定時間毎に更新されていないこと
を検出した場合、前記バーンイン試験装置に異常が起こ
ったとして、バーンイン試験装置装置の異常を示すデー
タを表示装置に表示することを特徴とする請求項１から
請求項４のいずれかに記載のバーンイン試験装置システ
ム。 - 【請求項６】 前記作業者呼出装置が前記複数のバーン
イン試験装置毎に設けられていることを特徴とする請求
項１から請求項５のいずれかに記載のバーンイン試験装
置システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001249368A JP2003057291A (ja) | 2001-08-20 | 2001-08-20 | バーンイン試験装置システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001249368A JP2003057291A (ja) | 2001-08-20 | 2001-08-20 | バーンイン試験装置システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003057291A true JP2003057291A (ja) | 2003-02-26 |
Family
ID=19078381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001249368A Withdrawn JP2003057291A (ja) | 2001-08-20 | 2001-08-20 | バーンイン試験装置システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003057291A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005121625A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-05-12 | Sharp Corp | バーンイン装置 |
| JP2006058077A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Sharp Corp | バーンイン装置およびバーンイン試験方法 |
-
2001
- 2001-08-20 JP JP2001249368A patent/JP2003057291A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005121625A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-05-12 | Sharp Corp | バーンイン装置 |
| JP2006058077A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Sharp Corp | バーンイン装置およびバーンイン試験方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20081104 |