JPS5960206A - 試験装置用電子試験ヘツド位置決め装置 - Google Patents

試験装置用電子試験ヘツド位置決め装置

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JPS5960206A
JPS5960206A JP58154237A JP15423783A JPS5960206A JP S5960206 A JPS5960206 A JP S5960206A JP 58154237 A JP58154237 A JP 58154237A JP 15423783 A JP15423783 A JP 15423783A JP S5960206 A JPS5960206 A JP S5960206A
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    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、電子試験ヘッド位置決め装置に関する。
（背景技術） 集積回路（ＩＣ）や他の電子ディバイスの自動試験では
、これらのディバイスを試験する位置に設置するための
特別のディバイスハンドラが用いられている。電気的な
試験そのものは、ディバイスハンドラに接続しかつドッ
キングすることが要求される試験ヘッドを含む大規模か
つ高価な自動試験装置により行なわれる。このような装
置では、試験ヘッドは通常重さが３４〜１３６ｋｇ（７
５〜３００ポンド）と極めて重い。このように重い理由
は、試験ヘッドは高速電気タイミング信号を用い、この
結果電子回路を試験下にあるディバイスにできるだけ近
接するように位置決めしなければならないことにある。
従って、試験ヘッドは、複雑化したディバイスの高速試
験を行なうために、電子回路か密にパッケージ化されて
いる。
従来技術では、ディバイスハンドラ機構に対して重い試
験ヘッドを所定の位置に正確にかつ容易に動かすための
移動装置又は位置決め装置を備えておくことが多く望ま
れている。ある従来の位置決め装置では、各々移動可能
なリードスクリュと回転及びスライドする機構により、
一度に位置決めされる。これらの従来装置では、ハンド
ラに容易にかつ正確にドッキングするために必要なすべ
ての方向の自由度を備えていないので、利用者は重いデ
ィバイスハンドラ又は重い位置決め装置自体を動かさね
ばならなかった。別の従来の移動装置は、リードスクリ
ューを上又は下方向に駆動するためのモータを用いてい
る。このようにリードスクリューをモータで駆動するか
あるいは手動で駆動することにより、試験ヘッドソケッ
ト接続あるいは過度の応力によるディバイスハンドラ上
の接続に、損傷を与える可能性がある。
従来装置の他の欠点は、これらは大規模であり試験施設
において額面以上の床のスペースを考慮しなければなら
ないということにある。大規摸な従来装置の更に別の問
題点は、試験装置を試験ヘッドに接続するための通常短
かく邪魔で弱いケーブルを有することにある。従って、
これらの大きさと構造のために、従来装置を試験装置に
十分に近接して動かすことはできなかった。
調査の結果、興味あるものとしては次の米国特許がある
。
米国特許番号　　　　　　　　　　　　　　発明者４，
１９９，２９４　　ストレック（Ｓｔｒｅｃｋ）外４，
０６２，４５５　　カール　フラトー（Ｃａｒｌ　Ｆｌ
ａｔａｕ）４，１３２，３１８　　ウォング（Ｗａｎｇ
）外３，８７３，１４８　　ロバート　ケニキット（Ｒ
ｏｂｅｒｔ　Ｋｅｎｎｉｃｕｉｔ）４，０７６，１３１
　　ダルストーム（Ｄａｈｌｓｔｒｏｍ）外４，１８８
，１６６　　モリュー（Ｍｏｒｅａｕ）外４，２７３，
５０６　　トムソン（Ｔｈｏｍｓｏｎ）外４，２９９，
５２９　　イナバ（Ｉｎａｂａ）外４，２６４，２６６
　　ハンス　トレクセル（Ｈａｎｓ　Ｔｒｅｃｈｓｅｌ
）３，７９１，０５２　　コルネリー　バン　デル　レ
リ（Ｃｏｒｎｅｌｉｓ　Ｖａｎ　ＤｅｒＬｅｌｙ） ３，８２６，３８３　　ハンス　リクタ（Ｈａｎｓ　Ｒ
ｉｃｈｔｅｒ）４，３０３，３６８　　デント（Ｄｅｎ
ｔ）外（発明の目的） 従って本発明の目的は、６つの自由度をもち、容易にか
つ正確に試験ヘッドをディバイスハンドラに連結させ又
は切り離すために、手で動かすことができる試験ヘッド
に実質上重さのない状態を与える電子試験ヘッド位置決
め装置を提供することにある。
本発明はシャフト手段を含むハウジングを有する。位置
決めアセンブリはシャフト手段に沿って垂直に動き、６
つの自由度をもって水平面で実質上展開可能な動きを与
える。位置決めアセンブリは、試験ヘッドを取り付ける
ための手段を含む。
平衡手段は、試験ヘッドが取り付けられた位置決めアセ
ンブリに実質上重さがない状態を与えるために、位置決
めアセンブリに接続されている。
（発明の構成及び作用） 第５図Ａには、本発明による試験ヘッド位置決め装置１
０が示されている。図示のように、位置決め装置１０は
集積回路ハンドラ１５の機構プレート１７とドッキング
させるために、試験装置のための試験ヘッド１１を支持
する。他の電子ディバイスはトランジスタ、チップ又は
ダイス等のようなディバイスハンドラによって操作され
るということが理解されるであろう。動作において、位
置決め装置１０は重い試験ヘッド１１を正確に寸分違う
ことなく動かしかつ機構プレート１７にドッキングさせ
るために、実質上重さのない状態で手動で動かされる。
ドッキングにおいて、位置選定ピン１１ｂはプレート１
７の対応する開口部に挿入され、試験コネクタ１１ａは
試験されるディバイス１５ａに対するコネクタに接続さ
れる。試験ヘッド１１の位置は、あらゆる位置にある他
の機構プレートとドッキングさせるために、水平面内の
実質上拡張可能な６つの自由度をもって、他の位置に実
質上重さのない状態で正確に動かすことができる。例え
ば、プローバ又はハンドラに対する機構プレートは水平
面から垂直面までのいかなる位置をとることができる。
位置決め装置１０の詳細は第１図ないし第３図に示され
ている。これらの図において、Ｈ型の梁は垂直の柱１２
を形成する。柱１２は対向する壁１２ａ、１２ｂを有し
、フランジ１２ｃはこれらの壁を接続する。柱１２は基
体２２と外側に拡がっている脚２４ａ−ｅを有するアセ
ンブリ２０によって底部で支持されている。
試験ヘッド１１は、メインシャフト５０上を垂直方向に
動く位置決めアームアセンブリ３０により支持され、連
結した状態で動く。アセンブリ３０は、メインアームア
センブリ３２、前部アムアセンブリ３４、リスト連結ア
センブリ３６、クレドールアセンブリ３８及び試験ヘッ
ドアダプタプレート４０ａ、ｂを有する。メインシャフ
ト５０は対向する軸受けブロック５２、５３によりしっ
かりと固着されている。
位置決めアームアセンブリ３０は、柱１２の後部領域内
の垂直方向のいずれかに動くウェイトキャリッジ６２を
有するカウンタウェイトアセンブリ６０により、メイン
シャフト５０上の垂直方向で停止するようにつり合いが
とられている。キャリッジ６２はこれらに固定された垂
直方向に伸びているキャリッジシャフト６５ａ、ｂを有
し、移動可能なウェイト６２ａ−ｃを支持する。ウェイ
ト６２ａ−ｃは、アセンブリ３０と試験ヘッド４の重さ
に対して正確につり合いをとる。この結果、これらは実
質上重さがない状態となる。
シャフト６５ａ、ｂの上端部は部材６７ａ、ｂをささえ
る。シャフト７４は滑車７２ａ、ｂを回転させる。シャ
フト７４は柱１２の上端部領域でささえられている。ケ
ーブル６８ａ、ｂは伸びており、メインアームアセンブ
リ３２の下に位置するリフトブロック８０にスエッジ部
材により締め付けられている。ブロック８０はシャフト
５０を収容するための開口部を有する。ブロックはフラ
ンジ１２ｃに沿ってスライドし、シャフト５０のまわり
を回転することはない。
第３図及び第８図に図示するように、メインアームアセ
ンブリ３２は上部ベアリングブロック８６とブロック８
０により支持された下部ベアリングブロック８７とを有
する。ブロック８６、８７はそれぞれ、下に伸びている
領域８６ａと上に伸びている領域８７ａとを有する。特
に、■型の梁９０の前壁９０ａはブロック８６、８７の
前面に固着されており、一方■ビーム９０の後部領域９
０ｂは領域８６ａ、８７ａに固着されている。
ロック５５は、アセンブリ３２の垂直方向の動き及び回
転する動きを、アセンブリがいかなる位置にあっても、
一方的にロックすることができる。
シャフト５０と同一中心のスリーブ２２６は、これをシ
ャフト５０上で上方向あるいは下方向に動かすことがで
きるように、内部に設けられた線状ベアリング２２８を
有するブロック８７と９１の間に固着されている。この
方法により、シャフト５０上で垂直方向の動き及び回転
する動き（垂直軸を中心とする）が可能な単一のメイン
アームアセンブリ３２が形成される。
アセンブリ３２に速度に応答する内部からの制動を与え
るために、流体シリンダ２２０は軸受けブロック５２に
一端が固定され、他端がスリーブ２２６の外部表面に固
着された板２３０に固定されている。シリンダ２２０は
アームアセンブリ３０の迅速な垂直方向の動きを阻止し
、ハンドラと試験ヘッドに損傷を与えないようにする。
一組の軸受けブロック９５、９６は、Ｉ型の梁９０の前
面９０ａに固着されている。垂直シャフト９８は軸受け
ブロック９５、９６を介して伸長をしている。前部アー
ムアセンブリ３４は、更に後部領域１０１を有する前部
アーム１００を有する。
シャフト９８は領域１０１にある垂直方向の開口部１０
７を介して伸長している。前部アセンブリ３４は、前部
アームロックアセンブリ１０６により垂直軸を中心とす
る回転領域において、一時的に固定可能である。
前部ブームアセンブリ３４は事実上１８０°回転可能で
あり、一方他のすべての素子をこれらの当初の位置に維
持することができるということは理解されるであろう。
前部アーム１００は、リスト連結アセンブリ３６の取り
付け部材１２０を回転可能な状態で支持する前部が“Ｃ
”型状の領域を有する。部材１２０は、垂直方向の上部
及び下部ピボットピン１２２により前部アーム１００に
対して回転する。
部材１２０は、ブロック１１２内に形成されたリスト連
結ロックアセンブリ１１０により、アセンブリ３４に対
する回転を一時的に固定することができる。
部材１２０は、垂直方向に伸長しているシャフト３００
を収容するための縦方向開口部を有する。
外部端におけるシャフト３００は、クレードルアセンブ
リ３８の後部プレート１３０を固着するためにキャップ
ねじ３１２を収容するための接続ハブ３１０に連結され
ている。
クレードルアセンブリ３８は接合された３つの壁１３０
−１３２により形成され、これらは試験ヘッドに対する
Ｕ字型のホールダを形成する。シャフト３００は水平軸
を中心としてアセンブリ３８を回転させるものであり、
アセンブリ３８はクレードルロックアセンブリ３０６を
締め付けることによって固着される。
壁１３１、１３２は試験ヘッドアダプタプレート４０ａ
、ｂを支持し、これらのプレートを壁に対して回転させ
そしてしっかりと固定することができる。アーム１３１
はその端部領域に円形状の溝１３５と肩ねじ１３７を収
容するための開口部１３６とを有する。ロックノブ１４
０はプレート４０ａ内を通り、通常の方法で円形状の溝
１３５に沿って動く。この方法によれば、ロックノブ１
４０をしっかりと締めることにより、プレート４０ａは
壁１３１に対してしっかりと固着される。
試験ヘッド位置決め装置１０はＸ、Ｙ、Ｚ、φ＿Ｘ、φ
＿Ｙ、φ＿Ｚの６つの方向に同時に位置決めされるとい
うことが理解されるであろう。第６図に示すように、試
験コネクタ１１ａを例えば１５ａのような試験されるデ
ィバイスに対して正確にかつ容易に位置決めするために
、６つの自由度を有するということは、試験ヘッド１１
を適切にドッキングさせるためには重要である。Ｙ方向
が垂直すなわち上下方向であると考えるならば、シャフ
ト５０に対して垂直方向のアセンブリ３２の動きはＹ方
向の自由度を与える。Ｙ軸を中心とする回転を示す自由
度φ＿Ｙは、垂直軸５０、９８及び１２２を中心とする
すべてのジョイントの同時に起こる回転により与えられ
る。Ｘが左から右の方向であるとすれば、自由度φ＿Ｙ
と同じようにピボット５０、９８及び１２２によって与
えられる。自由度φ＿Ｘは肩ねじ１３７により与えられ
る。出たり入ったりする動きとして考えられるＺ方向の
動きに対して、このような自由度はφ＿Ｙと同じように
ピボットシャフト５０、９８及び１２２により与えられ
、φ＿Ｚはシャフト３００がピボットすることにより与
えられる。
第４図には、通常のくさびロック装置を有するメインア
ームアセンブリロック５５が示されている。特に、２つ
のくさび１５０と１５２はシャフト５０のいずれかの側
に与えられている。ロックハンドル１５３を時計方向に
回すことにより、くさび部材１５０と１５２は近づきシ
ャフト５０上に圧力を与える。この方法はブロック９１
のシャフト５０を中心とする回転を阻止し、更にブロッ
ク９１とアセンブリ３０全体の垂直方向の動きを阻止す
る。同様のロックアセンブリが前部アームロックアセン
ブリ１０６、リスト連結ロックアセンブリ１１０及びク
レードルロックアセンブリ３０６−これらはそれぞれ回
転アーム１０６ａ、１１０ａ、３０６ａを有する−に対
して与えられている。
第５図Ｂ、Ｃには機構プレート１７と試験ヘッド１１の
詳細が示されている。特に、機構プレート１７はハンド
ラ後部プレート１７ａとドッキングガセットアセンブリ
１７ｂとを有する。プレート１７ａは、この背面に固定
されたオスのコネクタ１５ｂに可動性の接点を介して電
気的に接続された試験されるディバイス１５ａを支持す
る。アセンブリ１７ｂはコネクタ１５ｂにアクセスでき
るように開口部２００を有し、アセンブリ１７をプレー
ト１７ａの背面にボルトで締めることにより、ガセット
又はブロック２０２ａ、ｂを背面に与える。同様のガセ
ットは、他の実施例では背面に直接据え付けられている
ということが理解されるであろう。
ガセット２０２ａ、ｂの各々は中心に位置決めされたガ
イド開口部２０４ａ、ｂを有し、試験ヘッド１１のガイ
ドすなわち位置決め用ピン１１ｂを収容するように適合
されている。特に、試験ヘッド１１はドッキングアセン
ブリ２０５と試験ヘッド面プレート２０６上に設けられ
た試験コネクタ１１ａとを有する。ガイドピン１１ｂは
コネクタ１１ａをハンドラコネクタ１５ｂに正確に位置
決めする。
コネクタ１１ａ、１５ｂは極めてもろく、損傷を避ける
ために極めて正確に一致させなければならないというこ
とが理解されるであろう。これは、特に試験ヘッド１５
の重さすなわち質量の見地からの問題である。従って、
心合せを確立しコネクタ１１ａと１５ｂの完全に正確な
接続を確立するガイド開口部２０４ａ、ｂにピン１１ｂ
が実際に収容されるまで、ガイドピン１１ｂとブロック
２０２ａ、ｂはコネクタ１１ａ、１５ｂを互いに分離さ
せておく作用をする。ピン１１ｂが開口部に心合せされ
たとき、コネクタ１１ａ、１５ｂを互いに引き寄せるこ
とが必要である。これは、ブロック２０２ａ、ｂから外
側に伸長しているカム従動ピン２０６ａ、ｂを支えるプ
レート２０６上に設けられたカムアセンブリ２１０によ
り行なわれる。アセンブリ２１０は、循環ケーブル２１
４により同時に動作する一組の円筒状カム２１２ａ、ｂ
を有する。各々のカム２１２ａ、ｂは、図示のように滑
車２１４ａ−ｄを介してカム間を連結する緊張したケー
ブル２１４を支持する低い溝を有する。各々のカム２１
２ａ、ｂは、各ハンドルの回転により同時に両方のカム
を動作させるために、外側に伸長するハンドル２１５ａ
、ｂを有する。
カム２１２ａ、ｂの各々は、ピン１１ｂが開口部２０４
ａ、ｂ内のあるときにピン２０６ａ、ｂを各々収容する
ための上部面上に上部カットアウトを有する側部ら線状
溝２１６ａ、ｂを有する。
ハンドル２１５ａ、ｂの１つを回転させると、カムは試
験ヘッドをハンドラ機構プレート１７内に引き寄せるよ
うに同時に動作し、これによってコネクタ１１ａ、１５
ｂどうしを接続関係にする。
接続後、多数のディバイス１５ａはハンドラシステムに
より試験される。試験の形態を変えるために、コネクタ
１１ａ、１５ｂを分離させハンドラを試験ヘッドから移
動させる必要がある。従って、ハンドルの１つをプレー
ト１７ａをプレート２０６から引っ張るように動作させ
る。
ガイドピン１１ｂの各々はキャリブレイト可能であり、
ガイドピン据付け体２０７を収容する内部チャンバを有
する外部ピンハウジング２０３を有する。据付け体２０
７は、実質的に遊隙を提供する開口部を介して伸長する
キャップねじ２０９を収容するための内部チャンバを有
する。従って、ねじ２０９を、ハウジング２０３がプレ
ート２０６上に正確に配列されるように、ゆるめること
ができる。
第７図Ａには、試験装置の試験キャビネット１１ｃに隣
接する床に直接ボルト締めされた基体２２ｂが示されて
いる。
第７図Ｂに示す他の実施例では、基体２２ｃは一方の側
部に沿った低部表面に水平に設けられた固いロッド又は
脚１６０により据付けられている。
別の脚１６５はキャビネット１１ｃと柱１２の壁１２ａ
に固定されている。この方法によれば、柱１２はキャビ
ネット１１ｃに近接して固定される。
第７図Ｃの実施例では、基体２２ｄは試験キャビネット
１１ｃの近接する側壁に接続され、基体の低部表面に設
けられた垂直の脚１７０、１７１に接続されている。キ
ャビネット１１ｃにボルトで締める代わりに、ロッド１
７０、１７１は第７図Ｄに示すロッド１７０ａ、１７０
ｂのようにキャビネット１１ｃの端からはみ出させても
よい。これらのロッドは互いにボルトで締め付けられ、
また２つの補助的なロッド１７３、１７５にボルトで締
め付けられている。
本発明の更に別な実施例を第９図に示す。同図において
、装置２５０は装置１０のウェイト６０及びケーブルア
センブリ６８ａ、ｂをピストン２５２を有する加圧シリ
ンダ２５１で置き換えたものである。シリンダ２５１は
、アセンブリ３０ａの実際の位置にかかわらず重力と反
対方向にアームアセンブリ３０ａ（試験ヘッド１１を含
む）上に一定の力を作用させる点において、ウェイトア
センブリ６０と同一の機能を効果的に与える。アセンブ
リ３０ａの異なる重さのバランスをとることは、ポンプ
２５７により与えられるレギュレータ２５８により、シ
リンダ２５１内に一定値の圧力を維持することで行なわ
れる。
シリンダ２５１は第１図の柱１２の中央にある板１２ｃ
′にしっかりと固着されている。ピストン２５２は上部
方向に伸びており、板１２ｃ′内に形成されたスロット
２５６を介して伸びている水平アーム２５４に固定され
て接続されている。他端には、第１図及び第８図に示す
ようにスリーブ２２６に固定されて接続されている。他
のすべての部分に関しては、装置１０と実質上同一であ
る。
第１０図及び第１１図には、装置１０において垂直に設
けられた柱１２を装置４００にあっては垂直に設けられ
た円筒状の支持チューブ４０３で置き換えた他の実施例
が示されている。チューブ４０３はシリンダとシール４
１４ａ、４１４ｂを有するはめ込み式のロッド４０２に
対してシリンダを形成する。装置１０と２５０における
ように、支持チューブ４０３は伸長している脚２４ａを
有する基体アセンブリ２０ｂにより、装置の底部で支持
されている。チューブ４０３とピストン４０２は、チュ
ーブ２５１とピストン２５２と同様の動作をする。
特に、流体キャビティ４１２はピストンとシリンダとの
間に形成される。加圧下にある流体は、接続された流体
供給源からライン４０７によりレギュレータ４０４と圧
力ゲージ４０６を介してキャビティ４１２内に流れ込み
あるいは逆に流れ出ず。通常の方法によればレギュレー
タは、圧力がレギュレータのセッティング４０４ｂを越
えたときにキャビティ４１２からの圧力を放出させるた
めの大気に対する開口部４０４ａを有する。好ましい実
施例によれば、流体は１７５７７〜７０３０８ｋｇ／ｍ
＾２（単位平方インチ当り２５〜１００ポンド）の圧力
下にある空気である。これにより、試験ヘッド−その重
さは３４〜１３６ｋｇ（７５〜３００ポンド）−を含む
アームアセンブリ４０５の全重量を支持できる。この方
法によれば、一定圧力の“気体スプリング”が形成され
、この結果位置決めアームアセンブリ４０５は事実上重
さのない状態となる。アセンブリ４０５の位置を上又は
下のいずれか一方に手動で動かそうとするとき、圧力レ
ギュレータ４０４により迅速に補償されるキャビティ４
１２内の流体体積は変化する。アセンブリ４０５は３８
．１〜５０．８ｃｍ（１５〜２０インチ）の間を移動で
きることが好ましい。
ピストン４０２内には、第１図及び第８図に示されてい
るものと同一の制動ロッド２２２ａを有するダンパ２２
０ａが配置されている。ダンパ２２０ａの上部端は、ア
ームアセンブリ４０５の上部プレート４２４に接続され
たベアリング４１８内の軸の首部である。この方法によ
れば、ダンパ２２０ａはアセンブリ４０５を制動させる
ことができ、一方アセンブリはロッド２２２ａを逆方向
に回転させない。
アセンブリ４０５はアセンブリ３０と同様であるか、更
に簡素化されている。特にロッド４０２の回転と垂直方
向の動きを、図示するロックアセンブリ４１６によりロ
ックすることができる。ピストン４０２の上部領域は、
ベアリング据付けプレート４２８、４３０が固着されて
いる据付けブロック４２６にしっかりと固着されている
。プレート４２８はベアリングブロックの外側表面４２
８ａ、ｂに固着されており、同様にプレート４３０もベ
アリングブロックの外側表面４３０ａ、ｂに固着されて
いる。これらのブロックはそれぞれ、水平シャフト４３
２、４３１を支持するための直線状のベアリングを有す
る。プレート４２８に設けられたロックブロック４３７
はシャフト４３２を支持し、ロックされたときにこれら
の動きを阻止する。シャフト４３２、４３４はこれらの
左側端部て、アセンブリ１１０と同様のロックアセンブ
リ４４３を有するリストベアリングブロック４４２を固
定した状態で支持するリスト据え付けプレート４４０に
接続されている。ロック４４２はこの内部領域に、装置
１０のアセンブリ３６、３８と同様のクレードルアセン
ブリ３８ａを支持するリスト連結アセンブリ３６ａを固
定する。
動作は装置１０のように、位置決め装置４００のすべて
のロックが開いており、従ってクレードルアセンブリ３
８ａを所望の位置に動かす。すなわち、アセンブリ４０
５はシリンダ４０３のまわりを回転し、シャフト４３２
、４３４により水平に回転し、そしてアセンブリ４４２
、３６ａ及び３８ａにより決定される他の位置に動く。
シャフト４３２、４３４により水平方向の動きを与える
ことによって、前部アームシャフト９８の必要性を除去
し、なおかつ上述した６つの自由度のある動きが可能で
ある。所望の位置が得られたとき、各ロック４１６、４
３７、４４３、３０６ｂ及びクレードル３８ａのロック
は所望の位置を維持するように駆動される。
位置決め装置４００の変形例として、第１２図に位置決
め装置４５０を示す。位置決め装置４５０は、比較的軽
い重量の試験ヘッドに適している。
これは、ブロック４２９ａ、ｂ及び４５２に水平方向に
ジャーナルされた単一のシャフト４３２ａを有する簡素
な構成となっている。ブロック４２９ａ、ｂ及び４５２
は、ピストン４０２により支持されている据付けブロッ
ク４２６ａに支持され固着されている。シャフト４３２
ａの水平方向及び回転する動きは、ブロック４５２内の
前述したくさびロック装置５５ａによりロックされる。
更に、シャフト４３２ａの端はリストベアリングブロッ
ク４４０ａにしっかりと固着されている。ブロック４４
０ａは、クレードルアセンブリ３８ｂを支持する簡単な
リスト連結アセンブリ４６０を支持する。ロックは前述
した方法によりブロック４４０ａ、４６０及びアセンブ
リ３８ｂ内に与えられるのが適当である。
【図面の簡単な説明】
第１図ないし第３図は本発明による試験ヘッド位置決め
装置の斜視図、第４図は第３図の断面図、第５図Ａはハ
ンドラの機構プレートと試験ヘッドのドッキングを示す
第１図ないし第３図の概略図、第５図Ｂ、Ｃはそれぞれ
機構プレートと試験ヘッドの詳細な構造の斜視図及び断
面図、第６図は第１図ないし第３図に示す装置の６つの
自在性を示す図、第７図ＡないしＤは試験装置に横付け
された位置決め装置の取り付けに関する本発明の他の実
施例を示す図、第８図は第３図の一部切り欠き斜視図、
第９図は加圧されるシリンダが用いられる本発明の他の
実施例を示す図、第１０図及び第１１図は第１図ないし
第３図の垂直柱が垂直シリンダ支持チューブにより置き
換えられた本発明の他の実施例の斜視図、及び第１２図
は第１０図及び第１１図に示す垂直柱を持つ本発明によ
る他の実施例の斜視図である。 １０・・・試験ヘッド位置決め装置、１１・・・試験ヘ
ッド、１１ａ・・・試験コネクタ、１１ｂ・・ガイドピ
ン、１５・・・集積回路ハンドラ、１５ａ・・・ディバ
イス、１７・・・機構プレート、３０・・・位置決めア
ームアセンブリ、３２・・・メインアームアセンブリ、
３４・・・前部アームアセンブリ、３６・・・リスト連
結アセンブリ、３８・・・クレードルアセンブリ、４０
ａ、ｂ・・・試験ヘッドアダプタプレート、５０・・・
メインシャフト、５２、５３・・・軸受けブロック、５
５・・・ロック、６０・・・カウンタウェイトアセンブ
リ、６２・・・ウェイトキャリッジ、６５ａ、ｂ・・・
キャリッジシャフト、６８ａ、ｂ・・・ケーブル、７２
ａ、ｂ・・・滑車、７４・・・シャフト、８０・・・リ
フトブロック、８６・・・上部ベアリングブロック、８
７・・・下部ベアリングブロック、９５、９６・・・軸
受けブロック、９８・・垂直シャフト、１００・・・前
部アーム、１０６前部アームロックアセンブリ、１１０
・・・リスト連結ロックアセンブリ、１２２・・・下部
ピボットピン、１３１・・・アーム、１３７・・・肩ね
じ、１５０、１５２・・・くさび、１５３・・・ロック
ハンドル、２０２ａ、ｂ・・・ガセット、２０３・・・
ピンハウジング、２０５・・・ドッキングアセンブリ、
２０６ａ、ｂ・・・カム従動ピン、２０７・・・ガイド
ピン据付け体、２１０・・・カムアセンブリ、２１２ａ
、ｂ・・・円筒状カム、２１４・・・循環ケーブル、２
１５ａ、ｂ・・・ハンドル、２１６ａ、ｂ・・・側部ら
線状溝、２２２ａ・・・制動ロッド、２２６・・・スリ
ーブ、２５１・・・加圧シリンダ、２５２・・・ピスト
ン、２５６・・・スロット、２５７・・・ポンプ、２５
８・・・レギュレータ、３００・・・シャフト、３１０
・・・接続ハブ、４０４・・・レギュレータ、４０５・
・・位置決めアームアセンブリ、４０６・・・圧力ゲー
ジ、４１２・・・流体キャビティ、４１６・・・ロック
アセンブリ。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）支持手段と、該支持手段に接続されかつこれに対
    し垂直方向に移動可能であり、６つの自由度をもって水
    平面で実質上展開可能な動きを与える位置決め手段とを
    有し、前記位置決め手段は前記試験ヘッドを取り付ける
    ための手段を有し、前記支持手段は試験ヘッドが取り付
    けられた前記位置決め手段に対し実質上重さがない状態
    を与える平衡手段を有することを特徴とする電子ディバ
    イスハンドラに対して電子試験ヘッドを位置決めする装
    置。
  2. （２）前記平衡手段は、一方がしっかりと固定され他方
    は位置決めアセンブリを支持する流体シリンダ及びピス
    トンと、流体シリンダ内の流体圧力を予め決められた値
    に設定しかつ位置決め手段のすべての垂直方向の位置に
    対して実質上一定の前記値を維持する手段とを有するこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の装置。
  3. （３）前記平衡手段は、位置決め手段と試験ヘッドに実
    質上等しい重さのカウンタウェイト手段を含みかつケー
    ブルによって位置決め手段に接続され、支持手段は位置
    決め手段に対して内部からの制動を与えるための速度感
    応性手段を含むことを特徴とする特許請求の範囲第１項
    に記載の装置。
  4. （４）前記位置決め手段は、リスト手段の水平方向の動
    きを与えるためにリスト手段に固着された水平シャフト
    と、水平軸のまわりのクレードル手段に回転を与えるた
    めのリスト手段に固着されたピボット手段を持つクレー
    ドル手段とを有することを特徴とする特許請求の範囲第
    ２項又は第３項のいずれか一項に記載の装置。
  5. （５）前記支持手段は第１の垂直軸を形成するシャフト
    を含み、前記位置決め手段は前記シャフトに沿った垂直
    方向の動きと前記第１の垂直軸のまわりの回転とを与え
    るためのメインアーム手段に対して第１のピボット手段
    を持つメインアーム手段を含むことを特徴とする特許請
    求の範囲第２項又は第３項のいずれか一項に記載の装置
    。
  6. （６）ヘッドとハンドラとをいっしょに引き寄せまた別
    々に押すためのカムアセンブリと、一方が試験ヘッドに
    取り付けられ他方がハンドラに取り付けられた心合せピ
    ンと該ピンを収容するソケット手段とを有することを特
    徴とする電子ディバイスハンドラに対して電子試験ヘッ
    ドを連結し及び切り離す装置。
  7. （７）前記カムアセンブリはカム従動ピンを収容するら
    線状の溝を有する少なくとも２つのカムと、該カムが同
    時に回転するためにカムを共に連結するためのケーブル
    手段とを有することを特徴とする特許請求の範囲第６項
    に記載の装置。
  8. （８）前記心合せピンが心合せピンの位置を調整するた
    めの手段と、試験ヘッドとハンドラとの接続が行なわれ
    るまでこれらを分離させておくガセット手段を含むソケ
    ット手段とを有することを特徴とする特許請求の範囲第
    ６項に記載の装置。
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