JPH05126154A - 半導体製造設備用転がり軸受 - Google Patents
半導体製造設備用転がり軸受Info
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- JPH05126154A JPH05126154A JP3283407A JP28340791A JPH05126154A JP H05126154 A JPH05126154 A JP H05126154A JP 3283407 A JP3283407 A JP 3283407A JP 28340791 A JP28340791 A JP 28340791A JP H05126154 A JPH05126154 A JP H05126154A
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- JP
- Japan
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- island
- lubricating
- film
- portions
- bearing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/58—Raceways; Race rings
- F16C33/62—Selection of substances
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/32—Balls
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
- F16C19/04—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly
- F16C19/06—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly with a single row or balls
-
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S384/00—Bearings
- Y10S384/90—Cooling or heating
- Y10S384/908—Nylon or polytetrafluorethylene
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 固体潤滑転がり軸受の低発塵性を向上させ
る。 【構成】 潤滑皮膜１ａ（２ａ、３ａ）は、平均分子量
が５０００以下のＰＴＦＥを連続した島状に分布させて
形成したもので、島部分５同士が薄い皮膜部分６で連続
している。潤滑皮膜の全面積に対する島部分５の面積率
αは、１０％〜８０％の範囲内になるようにしてある。
また、島部分５と皮膜部分６との膜厚差ｄは平均値で
０．２μｍ以上になるようにしてある。
る。 【構成】 潤滑皮膜１ａ（２ａ、３ａ）は、平均分子量
が５０００以下のＰＴＦＥを連続した島状に分布させて
形成したもので、島部分５同士が薄い皮膜部分６で連続
している。潤滑皮膜の全面積に対する島部分５の面積率
αは、１０％〜８０％の範囲内になるようにしてある。
また、島部分５と皮膜部分６との膜厚差ｄは平均値で
０．２μｍ以上になるようにしてある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造設備に使用
される固体潤滑転がり軸受に関する。
される固体潤滑転がり軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造設備用転がり軸受は、高い清
浄度が要求される密封真空下で運転されるため、その潤
滑には、一般に、二硫化モリブデン等の層状物質、金、
銀、鉛等の軟質金属、ＰＴＦＥ、ポリイミド等の高分子
材料などの固体潤滑剤が用いられている。
浄度が要求される密封真空下で運転されるため、その潤
滑には、一般に、二硫化モリブデン等の層状物質、金、
銀、鉛等の軟質金属、ＰＴＦＥ、ポリイミド等の高分子
材料などの固体潤滑剤が用いられている。
【０００３】ところで、近年、半導体製造分野では半導
体の集積度が増すにつれて導電パターンの線幅が微細化
しており、軸受から排出される固体潤滑剤の摩耗粉がパ
ターン上に付着すると種々の弊害を引き起こす可能性が
あることから、固体潤滑剤の特性として、本来の潤滑性
・耐久性の他に、特に低発塵性を要求するようになって
きている。
体の集積度が増すにつれて導電パターンの線幅が微細化
しており、軸受から排出される固体潤滑剤の摩耗粉がパ
ターン上に付着すると種々の弊害を引き起こす可能性が
あることから、固体潤滑剤の特性として、本来の潤滑性
・耐久性の他に、特に低発塵性を要求するようになって
きている。
【０００４】このような現状に鑑み、本出願人は、転が
り軸受を構成する部品のうち少なくとも転がり摩擦また
は滑り摩擦を生ずる表面に、平均分子量が５０００以下
のポリテトラフルオロエチレン（以下、簡単のため、低
分子量ＰＴＦＥと称す。）からなる潤滑皮膜を形成した
固体潤滑転がり軸受について既に出願している（特願平
３−１９０１５０号等）。従来より、転がり軸受の固体
潤滑剤として用いられているＰＴＦＥは平均分子量が１
×１０5 以上、主に、１×１０6〜１×１０7のものであ
るが、低分子量ＰＴＦＥを用いて潤滑皮膜を形成するこ
とにより、潤滑性、耐久性、低発塵性に優れた潤滑皮膜
を得ることができることを上記出願において示した。こ
れらの効果は、低分子量ＰＴＦＥが、従来より固体潤滑
剤として用いられているＰＴＦＥに比べて、剪断強度が
著しく小く、また、転着性に優れていることによるもの
であった。
り軸受を構成する部品のうち少なくとも転がり摩擦また
は滑り摩擦を生ずる表面に、平均分子量が５０００以下
のポリテトラフルオロエチレン（以下、簡単のため、低
分子量ＰＴＦＥと称す。）からなる潤滑皮膜を形成した
固体潤滑転がり軸受について既に出願している（特願平
３−１９０１５０号等）。従来より、転がり軸受の固体
潤滑剤として用いられているＰＴＦＥは平均分子量が１
×１０5 以上、主に、１×１０6〜１×１０7のものであ
るが、低分子量ＰＴＦＥを用いて潤滑皮膜を形成するこ
とにより、潤滑性、耐久性、低発塵性に優れた潤滑皮膜
を得ることができることを上記出願において示した。こ
れらの効果は、低分子量ＰＴＦＥが、従来より固体潤滑
剤として用いられているＰＴＦＥに比べて、剪断強度が
著しく小く、また、転着性に優れていることによるもの
であった。
【０００５】さらに、本出願人は、低分子量ＰＴＦＥか
らなる潤滑皮膜を連続した島状分布とした半導体製造設
備用転がり軸受について出願し（実願平３−４９９４６
号）、この出願において、潤滑皮膜を連続した島状分布
とすることにより、軸受の低発塵性が一層向上すること
を示した。
らなる潤滑皮膜を連続した島状分布とした半導体製造設
備用転がり軸受について出願し（実願平３−４９９４６
号）、この出願において、潤滑皮膜を連続した島状分布
とすることにより、軸受の低発塵性が一層向上すること
を示した。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】軸受部品の接触面に形
成した固体潤滑皮膜は、相手面との接触によって削りと
られ、微小な潤滑粉となる。この微小な潤滑粉は相手面
等に再付着して転着皮膜を形成する。このように固体潤
滑皮膜は、一般に、表面からの剥離・転着を繰り返しな
がら潤滑作用をなす。したがって、潤滑粉の転着性が十
分でない場合には、転着できない潤滑粉が発塵として軸
受外に排出されてしまう。上述したように、低分子量Ｐ
ＴＦＥからなる潤滑皮膜を連続した島状分布とすること
により、軸受の低発塵性は顕著に向上するが、これは、
図５に示すように、潤滑皮膜１１ａの島部分１２が相手
面１３との接触によって削り取られて発生した潤滑粉１
２ａが、島部分１２間の凹状の皮膜部分１５によって捕
捉され、その転着性が高まることによる。
成した固体潤滑皮膜は、相手面との接触によって削りと
られ、微小な潤滑粉となる。この微小な潤滑粉は相手面
等に再付着して転着皮膜を形成する。このように固体潤
滑皮膜は、一般に、表面からの剥離・転着を繰り返しな
がら潤滑作用をなす。したがって、潤滑粉の転着性が十
分でない場合には、転着できない潤滑粉が発塵として軸
受外に排出されてしまう。上述したように、低分子量Ｐ
ＴＦＥからなる潤滑皮膜を連続した島状分布とすること
により、軸受の低発塵性は顕著に向上するが、これは、
図５に示すように、潤滑皮膜１１ａの島部分１２が相手
面１３との接触によって削り取られて発生した潤滑粉１
２ａが、島部分１２間の凹状の皮膜部分１５によって捕
捉され、その転着性が高まることによる。
【０００７】ところが、この連続した島状分布の潤滑皮
膜を形成した転がり軸受においても、回転初期あるいは
一定時間経過後に、発塵が比較的多く発生することがあ
った。
膜を形成した転がり軸受においても、回転初期あるいは
一定時間経過後に、発塵が比較的多く発生することがあ
った。
【０００８】そこで、本発明の目的は、上記問題点を解
決し、転がり軸受の低発塵性をさらに向上させることに
ある。
決し、転がり軸受の低発塵性をさらに向上させることに
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体製造設備
用転がり軸受は、転がり軸受を構成する部品のうち少な
くとも転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、平均
分子量が５０００以下のポリテトラフルオロエチレンか
らなる連続した島状分布の潤滑皮膜を形成したものであ
って、潤滑皮膜の全面積に対する島部分の面積率が１０
％〜８０％の範囲内になるようにしたことを特徴とす
る。
用転がり軸受は、転がり軸受を構成する部品のうち少な
くとも転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、平均
分子量が５０００以下のポリテトラフルオロエチレンか
らなる連続した島状分布の潤滑皮膜を形成したものであ
って、潤滑皮膜の全面積に対する島部分の面積率が１０
％〜８０％の範囲内になるようにしたことを特徴とす
る。
【００１０】また、本発明の半導体製造設備用転がり軸
受は、転がり軸受を構成する部品のうち少なくとも転が
り摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、平均分子量が５
０００以下のポリテトラフルオロエチレンからなる連続
した島状分布の潤滑皮膜を形成したものであって、潤滑
皮膜の島部分と島以外の部分との平均膜厚差が０．２μ
ｍ以上になるようにしたことを特徴とする。
受は、転がり軸受を構成する部品のうち少なくとも転が
り摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、平均分子量が５
０００以下のポリテトラフルオロエチレンからなる連続
した島状分布の潤滑皮膜を形成したものであって、潤滑
皮膜の島部分と島以外の部分との平均膜厚差が０．２μ
ｍ以上になるようにしたことを特徴とする。
【００１１】
【作用】島部分の面積率が大きすぎると、相手面との接
触面積の増加によって、運転初期に、過剰の潤滑粉が発
生する。さらに、島部分間の皮膜部分の面積率が減少す
るため、潤滑粉の捕捉作用が十分に発揮されない。
触面積の増加によって、運転初期に、過剰の潤滑粉が発
生する。さらに、島部分間の皮膜部分の面積率が減少す
るため、潤滑粉の捕捉作用が十分に発揮されない。
【００１２】一方、島部分の面積率が小さすぎると、過
剰な潤滑粉は発生しなくなるが、逆に、島部分が摩耗す
るにしたがって、本来潤滑性を発揮するために必要な量
の潤滑粉が供給されなくなり、一定時間経過後に潤滑性
がやや低下する。
剰な潤滑粉は発生しなくなるが、逆に、島部分が摩耗す
るにしたがって、本来潤滑性を発揮するために必要な量
の潤滑粉が供給されなくなり、一定時間経過後に潤滑性
がやや低下する。
【００１３】また、潤滑粉を捕捉する作用は、島部分間
の皮膜部分が凹状形状を有することに起因するものであ
るから、島部分とこの皮膜部分との膜厚差が小さすぎる
と、この皮膜部分の捕捉効果に減少をきたす。
の皮膜部分が凹状形状を有することに起因するものであ
るから、島部分とこの皮膜部分との膜厚差が小さすぎる
と、この皮膜部分の捕捉効果に減少をきたす。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１５】図１は、本発明を深溝玉軸受に適用した実
施例について説明する。この軸受は、内輪１、外輪２、
内・外輪１、２間に介在する複数の転動体３、転動体を
円周等間隔に保持する保持器４といった軸受部品で構成
される。そして、内・外輪１、２の転走面および転動体
３の表面にはそれぞれ平均分子量が５０００以下のＰＴ
ＦＥ（低分子量ＰＴＦＥ）の潤滑皮膜１ａ、２ａ、３ａ
が形成されている。これらの潤滑皮膜は、低分子量ＰＴ
ＦＥ（例えば、日本アチソン製ＡＲＣ７）を、２５ｃｍ
離れた位置から皮膜形成面にスプレーして付着させたの
ち、アセトン等の溶剤で溶出させて、図２に示すよう
に、島部分５同士を薄い皮膜部分６で連続させたもので
ある。潤滑皮膜の全面積に対する島部分５の面積率α
は、１０％〜８０％の範囲内になるようにするが、後述
するように、望ましくは、２０％〜７０％にするのが良
い。また、島部分５と皮膜部分６との膜厚差ｄは平均値
で０．２μｍ以上になるようにしてある。低分子量ＰＴ
ＦＥの皮膜コーティング法としては、上記スプレー法に
よる他、浸漬法がある。尚、本実施例では内・外輪１、
２の転走面および転動体３の表面に潤滑皮膜を形成する
ようにしたが、潤滑皮膜は少なくとも転動体の表面に形
成すれば良い。また、同図では内・外輪１、２の外表面
全体に潤滑皮膜１ａ、２ａが形成されているが、嵌合面
等の潤滑皮膜が本来不要な部分については、マスキング
によって皮膜処理を施さない、あるいは、最終製品とな
る前に除去するようにすると良い。さらに、軸受の形式
は、同図に示すような深溝玉軸受に限らず、広く転がり
軸受一般に適用することができる。図３は、島部分５の
面積率αが種々異なる転がり軸受について行なった発塵
試験の結果を示す。尚、転がり軸受は、図１に示すもの
と同一構成のものを使用している。同図に示すように、
面積率αが１０％、８０％では、軸受の発塵量は比較的
多いが、面積率αが２０％〜７０％では、これらの場合
に比べて、発塵量が２分の１以下に減少した。また、発
塵量の経時変化をみると、面積率αが１０％以下では、
試験後期に発塵量が多くなり、面積率αが８０％以上で
は試験初期に発塵量が多かった。これは、前述したよう
に、面積率αが大きすぎると、運転初期に過剰の潤滑粉
が発生し、さらに、皮膜部分６による潤滑粉の捕捉作用
が十分に発揮されないこと、面積率αが小さすぎると、
時間の経過に伴って、本来潤滑性を発揮するために必要
な量の潤滑粉が供給されなくなることによる。ただし、
同図によれば、面積率αが１０％および８０％において
発塵量が多いが、従来の固体潤滑転がり軸受に比べる
と、発塵の絶対量はかなり少ない。また、面積率αが８
０％以上では、回転初期において一時的に発塵量が多く
なるが、定常回転に移行後（初期潤滑粉を排出してしま
った後）は、良好な低発塵性を示す。
施例について説明する。この軸受は、内輪１、外輪２、
内・外輪１、２間に介在する複数の転動体３、転動体を
円周等間隔に保持する保持器４といった軸受部品で構成
される。そして、内・外輪１、２の転走面および転動体
３の表面にはそれぞれ平均分子量が５０００以下のＰＴ
ＦＥ（低分子量ＰＴＦＥ）の潤滑皮膜１ａ、２ａ、３ａ
が形成されている。これらの潤滑皮膜は、低分子量ＰＴ
ＦＥ（例えば、日本アチソン製ＡＲＣ７）を、２５ｃｍ
離れた位置から皮膜形成面にスプレーして付着させたの
ち、アセトン等の溶剤で溶出させて、図２に示すよう
に、島部分５同士を薄い皮膜部分６で連続させたもので
ある。潤滑皮膜の全面積に対する島部分５の面積率α
は、１０％〜８０％の範囲内になるようにするが、後述
するように、望ましくは、２０％〜７０％にするのが良
い。また、島部分５と皮膜部分６との膜厚差ｄは平均値
で０．２μｍ以上になるようにしてある。低分子量ＰＴ
ＦＥの皮膜コーティング法としては、上記スプレー法に
よる他、浸漬法がある。尚、本実施例では内・外輪１、
２の転走面および転動体３の表面に潤滑皮膜を形成する
ようにしたが、潤滑皮膜は少なくとも転動体の表面に形
成すれば良い。また、同図では内・外輪１、２の外表面
全体に潤滑皮膜１ａ、２ａが形成されているが、嵌合面
等の潤滑皮膜が本来不要な部分については、マスキング
によって皮膜処理を施さない、あるいは、最終製品とな
る前に除去するようにすると良い。さらに、軸受の形式
は、同図に示すような深溝玉軸受に限らず、広く転がり
軸受一般に適用することができる。図３は、島部分５の
面積率αが種々異なる転がり軸受について行なった発塵
試験の結果を示す。尚、転がり軸受は、図１に示すもの
と同一構成のものを使用している。同図に示すように、
面積率αが１０％、８０％では、軸受の発塵量は比較的
多いが、面積率αが２０％〜７０％では、これらの場合
に比べて、発塵量が２分の１以下に減少した。また、発
塵量の経時変化をみると、面積率αが１０％以下では、
試験後期に発塵量が多くなり、面積率αが８０％以上で
は試験初期に発塵量が多かった。これは、前述したよう
に、面積率αが大きすぎると、運転初期に過剰の潤滑粉
が発生し、さらに、皮膜部分６による潤滑粉の捕捉作用
が十分に発揮されないこと、面積率αが小さすぎると、
時間の経過に伴って、本来潤滑性を発揮するために必要
な量の潤滑粉が供給されなくなることによる。ただし、
同図によれば、面積率αが１０％および８０％において
発塵量が多いが、従来の固体潤滑転がり軸受に比べる
と、発塵の絶対量はかなり少ない。また、面積率αが８
０％以上では、回転初期において一時的に発塵量が多く
なるが、定常回転に移行後（初期潤滑粉を排出してしま
った後）は、良好な低発塵性を示す。
【００１６】図４は、島部分５と皮膜部分６との膜厚差
ｄが異なる転がり軸受ＡおよびＢについて行なった発塵
試験の結果を示す。尚、転がり軸受は、図１に示すもの
と同一構成のものを使用し、軸受Ａは膜厚差ｄが０．２
μｍ以下のもの（島部分：０．２μｍ、島以外の部分：
０．０５μｍ）、軸受Ｂは膜厚差ｄが０．２μｍ以上の
もの（島部分：０．３μｍ、島以外の部分：０．０５μ
ｍ）のものとし、面積率αはいずれも４０％にしてあ
る。同図に示すように、軸受Ｂは軸受Ａに比べて、発塵
量が２分の１以下に減少した。これは、前述したよう
に、膜厚差ｄが０．２μｍ以上でないと、皮膜部分６の
潤滑粉捕捉作用が十分に発揮されなことによる。
ｄが異なる転がり軸受ＡおよびＢについて行なった発塵
試験の結果を示す。尚、転がり軸受は、図１に示すもの
と同一構成のものを使用し、軸受Ａは膜厚差ｄが０．２
μｍ以下のもの（島部分：０．２μｍ、島以外の部分：
０．０５μｍ）、軸受Ｂは膜厚差ｄが０．２μｍ以上の
もの（島部分：０．３μｍ、島以外の部分：０．０５μ
ｍ）のものとし、面積率αはいずれも４０％にしてあ
る。同図に示すように、軸受Ｂは軸受Ａに比べて、発塵
量が２分の１以下に減少した。これは、前述したよう
に、膜厚差ｄが０．２μｍ以上でないと、皮膜部分６の
潤滑粉捕捉作用が十分に発揮されなことによる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
平均分子量が５０００以下のＰＴＦＥからなる潤滑皮膜
を連続した島状分布とし、かつ、島部分の面積率を１０
％〜８０％の範囲内になるようにすることにより、潤滑
粉の発生が抑制されるとともに、潤滑粉捕捉作用を有す
る島以外の皮膜部分の面積割合が確保されるため、軸受
の低発塵性が一層向上する。
平均分子量が５０００以下のＰＴＦＥからなる潤滑皮膜
を連続した島状分布とし、かつ、島部分の面積率を１０
％〜８０％の範囲内になるようにすることにより、潤滑
粉の発生が抑制されるとともに、潤滑粉捕捉作用を有す
る島以外の皮膜部分の面積割合が確保されるため、軸受
の低発塵性が一層向上する。
【００１８】また、島部分と島以外の部分との膜厚差を
０．２μｍ以上とすることにより、島以外の部分におい
て潤滑粉捕捉作用が効果的に発揮されるため、軸受の低
発塵性が一層向上する。
０．２μｍ以上とすることにより、島以外の部分におい
て潤滑粉捕捉作用が効果的に発揮されるため、軸受の低
発塵性が一層向上する。
【図１】本発明の実施例に係わる深溝玉軸受を示す断面
図である。
図である。
【図２】潤滑皮膜を示す平面図（図ａ）および断面図
（図ｂ）である。
（図ｂ）である。
【図３】発塵試験の結果を示す図である。
【図４】発塵試験の結果を示す図である。
【図５】連続した島状分布の潤滑皮膜を示す断面図（図
ａおよび図ｂ）である。
ａおよび図ｂ）である。
１ 内輪 １ａ 潤滑皮膜 ２ 外輪 ２ａ 潤滑皮膜 ３ 転動体 ３ａ 潤滑皮膜 ５ 島部分 ６ 島以外の部分（皮膜部分）
Claims (2)
- 【請求項１】 転がり軸受を構成する部品のうち少なく
とも転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、平均分
子量が５０００以下のポリテトラフルオロエチレンから
なる連続した島状分布の潤滑皮膜を形成したものであっ
て、前記潤滑皮膜の全面積に対する島部分の面積率が１
０％〜８０％の範囲内になるようにしたことを特徴とす
る半導体製造設備用転がり軸受。 - 【請求項２】 転がり軸受を構成する部品のうち少なく
とも転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる表面に、平均分
子量が５０００以下のポリテトラフルオロエチレンから
なる連続した島状分布の潤滑皮膜を形成したものであっ
て、前記潤滑皮膜の島部分と島以外の部分との平均膜厚
差が０．２μｍ以上になるようにしたことを特徴とする
半導体製造設備用転がり軸受。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3283407A JP2992717B2 (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 半導体製造設備用転がり軸受 |
| US07/952,125 US5222816A (en) | 1991-10-30 | 1992-09-28 | Rolling bearing with solid lubricant |
| KR1019920020053A KR100241861B1 (ko) | 1991-10-30 | 1992-10-29 | 고체윤활 구름베어링 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3283407A JP2992717B2 (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 半導体製造設備用転がり軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05126154A true JPH05126154A (ja) | 1993-05-21 |
| JP2992717B2 JP2992717B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=17665131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3283407A Expired - Fee Related JP2992717B2 (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 半導体製造設備用転がり軸受 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5222816A (ja) |
| JP (1) | JP2992717B2 (ja) |
| KR (1) | KR100241861B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006077682A1 (ja) * | 2005-01-18 | 2006-07-27 | Nsk Ltd. | 転動装置 |
| JP2006250158A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Nsk Ltd | トロイダル型無段変速機 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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