JP3831507B2 - 軸受部材 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は軸受部材に関し、詳しくは、高真空下、高温下及びクリーン環境下等の特殊環境下で使用される軸受部材に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
一般に真空機器、半導体及び液晶基板製造装置等に使用される転がり軸受、ボールねじ軸受及びボールスプライン軸受等の軸受部材の潤滑には固体潤滑剤が用いられている。特に低発塵用の固体潤滑剤としてはポリテトラフルオロエチレン(以下、PTFEと略称する)が用いられ、これらはポリアミド及びポリイミド等のバインダーを介して軸受部材の転動体や軌道部に塗布されている。PTFEは平均分子量数十万から数百万のポリマー又は25000以下のテロマーのいずれかで、粒子径が10〜20μmのものが広く用いられている。
【0003】
しかし、上述の軸受部材には、真空中での使用限界温度が200℃程度と低いという問題点がある。これは主としてバインダーとして使用されるポリアミド、ポリイミドの使用限界温度に起因している。すなわち、これらバインダーは、200℃程度の使用温度に達するとガスを発生して転動体や軌道部から剥離し易くなり、これにより固体潤滑剤も剥離し易くなって、発塵と潤滑性悪化という問題が生じる。
【0004】
本発明は、上記問題点を解決するものであり、耐熱性に優れており、高真空下、高温下及びクリーン環境下等の特殊環境下においても、良好な潤滑性及び低発塵性を維持できる、固体潤滑剤を使用した軸受部材を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1記載の発明は、転動体及びこの転動体の転走を案内する軌道部を有した軸受部材において、平均分子量が25000以下であり、平均粒子径が5μm以上であるポリテトラフルオロエチレンからなる固体潤滑剤を、その粒子どうしを結合させることなく分散させた状態で、前記転動体及び前記軌道部の少なくとも一方にバインダーを用いることなく且つなじみ回転を行って付着させたことを特徴としている。
【0006】
本発明においては、固体潤滑剤としてのPTFEの平均分子量を25000以下にしているので、転動体と軌道部との間に固体潤滑剤が詰まったり、PTFE粒子が凝集したりするおそれがないとともに、PTFEの平均粒子径を5μm以上にしているので、PTFE粒子が凝集するのをさらに効果的に防止することができ、軸受の回転不良の発生を防止することができる。
そしてバインダーを用いることなくPTFEのみを付着させているので、固体潤滑剤の使用限界温度はPTFEの使用限界温度まで上昇させることができ、高温下においても固体潤滑剤の剥離による発塵がなく、潤滑性も低下しない。
【0007】
上記固体潤滑剤は、PTFEの平均分子量を7000〜15000にするのが好ましい(請求項2)。平均分子量が15000以下である場合、粒子がより微細となるので、潤滑性及び耐剥離性がさらに向上し、平均分子量が7000以上である場合、低い温度から気化することがないので、より耐熱性を向上させることができる。
【0008】
上記軸受部材は、転動体、この転動体の転走を案内する軌道部及びこの転動体を保持する保持器を有した軸受部材において、平均分子量が25000以下であり、平均粒子径が5μm以上であるPTFEからなる固体潤滑剤を、その粒子どうしを結合させることなく分散させた状態で、前記転動体、前記軌道部及び前記保持器の少なくとも一つにバインダーを用いることなく且つなじみ回転を行って付着させたものであってもよい(請求項3)。このように構成することにより、請求項1記載の軸受部材と同様に、この発明に係る固体潤滑剤は耐熱性が向上し、優れた潤滑性及び低発塵性を有することになる。
【0009】
上記固体潤滑剤は、PTFEの平均分子量が7000〜15000であるのが好ましい(請求項4)。このように構成することにより、固体潤滑剤の耐熱温度、潤滑性及び低発塵性がさらに向上する。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る転がり軸受の断面図である。この転がり軸受は、内輪1及び外輪2が同心状に配置されており、内輪1と外輪2との間には、転動体としての複数のボール3とこのボール3を保持する保持器4とが介在している。ボール3、保持器4のポケット、ボール3が転動する内輪1及び外輪2の軌道部11及び21には、PTFEからなる固体潤滑剤5をそれぞれ、その粒子どうしを結合させることなく分散させた状態で、バインダーを用いることなく付着させている。
PTFEは平均分子量が25000以下、好ましくは7000〜15000、平均粒子径が5μm以上、融点が310〜320℃であるものを使用する。
【0011】
上記転がり軸受は、上記PTFEをCH3 CCl2 F(以下、代替フロンと称す)等の有機溶媒中に分散させた溶液をマイクロシリンダーで軌道部11及び軌道部21に一定量滴下し、数回転なじみ回転を行なった後、略100℃で数分間熱風乾燥することにより、固体潤滑剤5をボール3、保持器4のポケット、軌道部11及び軌道部21に付着させてある。
なお、上記PTFEを代替フロン等の有機溶媒中に分散させた溶液中に軸受完成品を浸漬させた後、略100℃で熱風乾燥することで、固体潤滑剤5を上記各部へ付着させてもよい。
【0012】
本発明の転がり軸受は、PTFEの平均分子量を25000以下にしているので、ボール3と軌道部11及び21との間に固体潤滑剤が詰まったり、PTFE粒子が凝集したりするおそれがなく、しかもPTFEの平均粒子径を5μm以上にしているので、PTFE粒子が凝集するのをさらに効果的に防止することができ、軸受の回転不良の発生を防止することができる。
そしてバインダーを用いることなくPTFEのみを付着させているので、固体潤滑剤5の使用限界温度はPTFEの使用限界温度まで上昇させることができ、高温下においても固体潤滑剤5の剥離による発塵がなく、潤滑性も低下しない。特に、平均分子量が15000以下である場合、粒子がより微細となるので、潤滑性及び耐剥離性がさらに向上し、平均分子量が7000以上である場合、低い温度から気化することがないので、より耐熱性を向上させることができる。
以上のように固体潤滑剤5が、良好な耐熱性、潤滑性及び低発塵性を発揮することができるので、上記転がり軸受は、高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用が可能となる。
【0013】
なお、固体潤滑剤5はボール3、保持器4のポケット、軌道部11及び軌道部21の少なくとも一つに付着させてあればよく、これらの部品を単体で、上記PTFEを代替フロン等の有機溶媒中に分散させた溶液中に浸漬させ、略100℃で熱風乾燥することで、固体潤滑剤5を付着させてもよい。
上記の実施形態においては、転がり軸受に保持器を備えているが何らこれに限定されるものではなく、保持器のない総玉軸受等の転がり軸受にも適用できることはいうまでもない。
【0014】
図2は、本発明の第2の実施形態に係るボールねじ軸受の断面図である。この実施形態は、ねじ31のハウジング35上面にボール34の還流路36を設け、ねじ31のねじ溝32及びボール溝33にボール34を案内するように構成されているボールねじ軸受のボール34、ねじ溝32及びボール溝33の少なくとも一つに、上記固体潤滑剤を、上記と同様にして付着させている。
上記ボールねじ軸受についても、図1に示す転がり軸受と同様に高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用が可能となる。
【0015】
図3は、本発明の第3の実施形態に係るボールスプライン軸受の断面図である。この実施形態は、外筒41の内壁にボール42を案内する外筒軌道部43を設け、その内側にボール42を保持するための保持器44及びスプラインシャフト45を挿入させているボールスプライン軸受のボール42及び外筒軌道部43の少なくとも一方に上記固体潤滑剤を、上記と同様にして、付着させている。
上記ボールスプライン軸受についても、図1に示す転がり軸受と同様に、高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用が可能となる。
【0016】
[実機試験]
図1に示す転がり軸受の10-7Torrの真空下における耐熱性を調べた。実施例1として平均分子量7500〜15000、平均粒子径5μm、融点315℃であるPTFEを使用し、比較例1として平均分子量1000〜4000、平均粒子径1.5μm、融点200℃であるPTFEを使用した。各々のPTFEを代替フロン中に分散させ、この溶液に各々軸受を浸漬した後、略100℃で熱風乾燥させて、ボール、軌道部及び保持器にPTFEを付着させた。
実施例1の軸受においては、略300℃までガスの発生が認められなかったが、比較例1の軸受においては、略180℃からガスの発生が認められ、250℃で完全蒸発した。従って実施例1の軸受は300℃でも使用出来るのに対し、比較例1の軸受は、200℃前後から使用できなくなることが判明した。
【0017】
[トルク寿命試験]
次に、転がり軸受についてトルク寿命試験を行った結果について示す。
試験条件は以下の通りである。
使用軸受型番:608ST
雰囲気 :大気及び真空(1×10-7Torr)
回転速度 :200r/m
荷重 :アキシアル荷重 50N
サンプル数 :各3セット
実施例2の軸受は、平均分子量7500〜15000、平均粒子径5μmのPTFEを代替フロンに分散させた溶液中に軸受を浸漬し、略100℃で熱風乾燥させて、PTFEをボール、軌道部及び保持器に付着させたものである。
比較例2の軸受は、平均分子量50000、平均粒子径15μmのPTFE5重量%とポリアミドイミド25重量%とを、N−メチル−2−ピロリドン70重量%で分散混合させ、これをボール、軌道部及び保持器にボンデッドフィルム法で塗布して固体潤滑剤を付着させ、180℃、90分脱ガス処理したものである。そして実施例2及び比較例2について大気雰囲気及び真空雰囲気それぞれでトルク寿命試験を行った。
【0018】
大気雰囲気でのトルク寿命比較結果を示したグラフを図4に、真空雰囲気でのトルク寿命比較結果を示したグラフを図5に示す。
図4及び図5より、大気雰囲気においても真空雰囲気においても本発明に係る固体潤滑剤を付着させることで、軸受のトルク寿命が飛躍的に向上していることがわかる。
【0019】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明は以下の効果を奏する。
請求項1の軸受部材によれば、固体潤滑剤としてのPTFEの平均分子量を25000以下にしているので、転動体と軌道部との間に固体潤滑剤が詰まったり、PTFE粒子が凝集したりするおそれがないとともに、PTFEの平均粒子径を5μm以上にしているので、PTFE粒子が凝集するのをさらに効果的に防止することができ、軸受の回転不良の発生を防止することができる。
そしてバインダーを用いることなくPTFEのみを付着させているので、固体潤滑剤の使用限界温度はPTFEの使用限界温度まで上昇させることができ、高温下においても固体潤滑剤の剥離による発塵がなく、潤滑性も低下しない。
このように固体潤滑剤が耐熱性、潤滑性及び低発塵性に優れているので、請求項1の軸受部材は、高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用が可能となる。
【0020】
請求項2の軸受部材によれば、PTFEの平均分子量を7000〜15000にしているので、固体潤滑剤がさらに優れた耐熱性、潤滑性及び低発塵性を有することになる。よって請求項2の軸受部材は、高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用にさらに好適なものとなる。
【0021】
請求項3の軸受部材によれば、固体潤滑剤としてのPTFEの平均分子量を25000以下にしているので、転動体と軌道部との間に固体潤滑剤が詰まったり、PTFE粒子が凝集したりするおそれがないとともに、PTFEの平均粒子径を5μm以上にしているので、PTFE粒子が凝集するのをさらに効果的に防止することができ、軸受の回転不良の発生を防止することができる。
そしてバインダーを用いることなくPTFEのみを付着させているので、固体潤滑剤の使用限界温度はPTFEの使用限界温度まで上昇させることができ、高温下においても固体潤滑剤の剥離による発塵がなく、潤滑性も低下しない。
このように固体潤滑剤が耐熱性、潤滑性及び低発塵性に優れているので、請求項3の軸受部材は、高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用が可能となる。
【0022】
請求項4の軸受部材によれば、PTFEの平均分子量を7000〜15000にしているので、固体潤滑剤がさらに優れた耐熱性、潤滑性及び低発塵性を有することになる。よって請求項4の軸受部材は、高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用にさらに好適なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る転がり軸受の断面図である。
【図2】本発明の第2の実施形態に係るボールねじ軸受の断面図である。
【図3】本発明の第3の実施形態に係るボールスプライン軸受の断面図である。
【図4】大気雰囲気でのトルク寿命比較結果を示したグラフである。
【図5】真空雰囲気でのトルク寿命比較結果を示したグラフである。
【符号の説明】
1 内輪
2 外輪
3 ボール
4 保持器
5 固体潤滑剤
Claims (4)
- 転動体及びこの転動体の転走を案内する軌道部を有した軸受部材において、
平均分子量が25000以下であり、平均粒子径が5μm以上であるポリテトラフルオロエチレンからなる固体潤滑剤を、その粒子どうしを結合させることなく分散させた状態で、前記転動体及び前記軌道部の少なくとも一方にバインダーを用いることなく且つなじみ回転を行って付着させたことを特徴とする軸受部材。 - 前記ポリテトラフルオロエチレンの平均分子量が7000〜15000であることを特徴とする請求項1記載の軸受部材。
- 転動体、この転動体の転走を案内する軌道部及びこの転動体を保持する保持器を有した軸受部材において、
平均分子量が25000以下であり、平均粒子径が5μm以上であるポリテトラフルオロエチレンからなる固体潤滑剤を、その粒子どうしを結合させることなく分散させた状態で、前記転動体、前記軌道部及び前記保持器の少なくとも一つにバインダーを用いることなく且つなじみ回転を行って付着させたことを特徴とする軸受部材。 - 前記ポリテトラフルオロエチレンの平均分子量が7000〜15000であることを特徴とする請求項3記載の軸受部材。
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