JPH11199884A - 軸受部材 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 潤滑性、付着性及び耐熱性に優れ、発塵が少
ない固体潤滑剤５を使用することで、高真空、高温等の
特殊環境下においても使用できる軸受部材を提供する。 【解決手段】 固体潤滑剤５として、平均分子量７００
０〜１５０００、平均粒子径が５μｍであるポリテトラ
フルオロエチレンを、その粒子どうしを結合させること
なく分散させた状態で、軸受部材の転動体３、軌道部１
１、２１及び保持器４に、バインダーを用いることなく
付着させる。
ない固体潤滑剤５を使用することで、高真空、高温等の
特殊環境下においても使用できる軸受部材を提供する。 【解決手段】 固体潤滑剤５として、平均分子量７００
０〜１５０００、平均粒子径が５μｍであるポリテトラ
フルオロエチレンを、その粒子どうしを結合させること
なく分散させた状態で、軸受部材の転動体３、軌道部１
１、２１及び保持器４に、バインダーを用いることなく
付着させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は軸受部材に関し、詳
しくは、高真空下、高温下及びクリーン環境下等の特殊
環境下で使用される軸受部材に関する。
しくは、高真空下、高温下及びクリーン環境下等の特殊
環境下で使用される軸受部材に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】一般に
真空機器、半導体及び液晶基板製造装置等に使用される
転がり軸受、ボールねじ軸受及びボールスプライン軸受
等の軸受部材の潤滑には固体潤滑剤が用いられている。
特に低発塵用の固体潤滑剤としてはポリテトラフルオロ
エチレン（以下、ＰＴＦＥと略称する）が用いられ、こ
れらはポリアミド及びポリイミド等のバインダーを介し
て軸受部材の転動体や軌道部に塗布されている。ＰＴＦ
Ｅは平均分子量数十万から数百万のポリマー又は２５０
００以下のテルマーのいずれかで、粒子径が１０〜２０
μｍのものが広く用いられている。
真空機器、半導体及び液晶基板製造装置等に使用される
転がり軸受、ボールねじ軸受及びボールスプライン軸受
等の軸受部材の潤滑には固体潤滑剤が用いられている。
特に低発塵用の固体潤滑剤としてはポリテトラフルオロ
エチレン（以下、ＰＴＦＥと略称する）が用いられ、こ
れらはポリアミド及びポリイミド等のバインダーを介し
て軸受部材の転動体や軌道部に塗布されている。ＰＴＦ
Ｅは平均分子量数十万から数百万のポリマー又は２５０
００以下のテルマーのいずれかで、粒子径が１０〜２０
μｍのものが広く用いられている。
【０００３】しかし、上述の軸受部材には、真空中での
使用限界温度が２００℃程度と低いという問題点があ
る。これは主としてバインダーとして使用されるポリア
ミド、ポリイミドの使用限界温度に起因している。すな
わち、これらバインダーは、２００℃程度の使用温度に
達するとガスを発生して転動体や軌道部から剥離し易く
なり、これにより固体潤滑剤も剥離し易くなって、発塵
と潤滑性悪化という問題が生じる。
使用限界温度が２００℃程度と低いという問題点があ
る。これは主としてバインダーとして使用されるポリア
ミド、ポリイミドの使用限界温度に起因している。すな
わち、これらバインダーは、２００℃程度の使用温度に
達するとガスを発生して転動体や軌道部から剥離し易く
なり、これにより固体潤滑剤も剥離し易くなって、発塵
と潤滑性悪化という問題が生じる。
【０００４】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、耐熱性に優れており、高真空下、高温下及びクリー
ン環境下等の特殊環境下においても、良好な潤滑性及び
低発塵性を維持できる、固体潤滑剤を使用した軸受部材
を提供することを目的とする。
り、耐熱性に優れており、高真空下、高温下及びクリー
ン環境下等の特殊環境下においても、良好な潤滑性及び
低発塵性を維持できる、固体潤滑剤を使用した軸受部材
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、転動体及びこの転動体の転
走を案内する軌道部を有した軸受部材において、平均分
子量が２５０００以下であり、平均粒子径が５μｍ以上
であるポリテトラフルオロエチレンからなる固体潤滑剤
を、その粒子どうしを結合させることなく分散させた状
態で、前記転動体及び前記軌道部の少なくとも一方にバ
インダーを用いることなく付着させたことを特徴として
いる。
に、請求項１記載の発明は、転動体及びこの転動体の転
走を案内する軌道部を有した軸受部材において、平均分
子量が２５０００以下であり、平均粒子径が５μｍ以上
であるポリテトラフルオロエチレンからなる固体潤滑剤
を、その粒子どうしを結合させることなく分散させた状
態で、前記転動体及び前記軌道部の少なくとも一方にバ
インダーを用いることなく付着させたことを特徴として
いる。
【０００６】本発明においては、固体潤滑剤としてのＰ
ＴＦＥの平均分子量を２５０００以下にしているので、
転動体と軌道部との間に固体潤滑剤が詰まったり、ＰＴ
ＦＥ粒子が凝集したりするおそれがないとともに、ＰＴ
ＦＥの平均粒子径を５μｍ以上にしているので、ＰＴＦ
Ｅ粒子が凝集するのをさらに効果的に防止することがで
き、軸受の回転不良の発生を防止することができる。そ
してバインダーを用いることなくＰＴＦＥのみを付着さ
せているので、固体潤滑剤の使用限界温度はＰＴＦＥの
使用限界温度まで上昇させることができ、高温下におい
ても固体潤滑剤の剥離による発塵がなく、潤滑性も低下
しない。
ＴＦＥの平均分子量を２５０００以下にしているので、
転動体と軌道部との間に固体潤滑剤が詰まったり、ＰＴ
ＦＥ粒子が凝集したりするおそれがないとともに、ＰＴ
ＦＥの平均粒子径を５μｍ以上にしているので、ＰＴＦ
Ｅ粒子が凝集するのをさらに効果的に防止することがで
き、軸受の回転不良の発生を防止することができる。そ
してバインダーを用いることなくＰＴＦＥのみを付着さ
せているので、固体潤滑剤の使用限界温度はＰＴＦＥの
使用限界温度まで上昇させることができ、高温下におい
ても固体潤滑剤の剥離による発塵がなく、潤滑性も低下
しない。
【０００７】上記固体潤滑剤は、ＰＴＦＥの平均分子量
を７０００〜１５０００にするのが好ましい（請求項
２）。平均分子量が１５０００以下である場合、粒子が
より微細となるので、潤滑性及び耐剥離性がさらに向上
し、平均分子量が７０００以上である場合、低い温度か
ら気化することがないので、より耐熱性を向上させるこ
とができる。
を７０００〜１５０００にするのが好ましい（請求項
２）。平均分子量が１５０００以下である場合、粒子が
より微細となるので、潤滑性及び耐剥離性がさらに向上
し、平均分子量が７０００以上である場合、低い温度か
ら気化することがないので、より耐熱性を向上させるこ
とができる。
【０００８】上記軸受部材は、転動体、この転動体の転
走を案内する軌道部及びこの転動体を保持する保持器を
有した軸受部材であって、平均分子量が２５０００以下
であり、平均粒子径が５μｍ以上であるＰＴＦＥからな
る固体潤滑剤を、その粒子どうしを結合させることなく
分散させた状態で、前記転動体、前記軌道部及び前記保
持器の少なくとも一つにバインダーを用いることなく付
着させたものであってもよい（請求項３）。このように
構成することにより、請求項１記載の軸受部材と同様
に、この発明に係る固体潤滑剤は耐熱性が向上し、優れ
た潤滑性及び低発塵性を有することになる。
走を案内する軌道部及びこの転動体を保持する保持器を
有した軸受部材であって、平均分子量が２５０００以下
であり、平均粒子径が５μｍ以上であるＰＴＦＥからな
る固体潤滑剤を、その粒子どうしを結合させることなく
分散させた状態で、前記転動体、前記軌道部及び前記保
持器の少なくとも一つにバインダーを用いることなく付
着させたものであってもよい（請求項３）。このように
構成することにより、請求項１記載の軸受部材と同様
に、この発明に係る固体潤滑剤は耐熱性が向上し、優れ
た潤滑性及び低発塵性を有することになる。
【０００９】上記固体潤滑剤は、ＰＴＦＥの平均分子量
が７０００〜１５０００であるのが好ましい（請求項
４）。このように構成することにより、固体潤滑剤の耐
熱温度、潤滑性及び低発塵性がさらに向上する。
が７０００〜１５０００であるのが好ましい（請求項
４）。このように構成することにより、固体潤滑剤の耐
熱温度、潤滑性及び低発塵性がさらに向上する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を示し
て、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。図
１は、本発明の第１の実施形態に係る転がり軸受の断面
図である。この転がり軸受は、内輪１及び外輪２が同心
状に配置されており、内輪１と外輪２との間には、転動
体としての複数のボール３とこのボール３を保持する保
持器４とが介在している。ボール３、保持器４のポケッ
ト、ボール３が転動する内輪１及び外輪２の軌道部１１
及び２１には、ＰＴＦＥからなる固体潤滑剤５をそれぞ
れ、その粒子どうしを結合させることなく分散させた状
態で、バインダーを用いることなく付着させている。Ｐ
ＴＦＥは平均分子量が２５０００以下、好ましくは７０
００〜１５０００、平均粒子径が５μｍ以上、融点が３
１０〜３２０℃であるものを使用する。
て、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。図
１は、本発明の第１の実施形態に係る転がり軸受の断面
図である。この転がり軸受は、内輪１及び外輪２が同心
状に配置されており、内輪１と外輪２との間には、転動
体としての複数のボール３とこのボール３を保持する保
持器４とが介在している。ボール３、保持器４のポケッ
ト、ボール３が転動する内輪１及び外輪２の軌道部１１
及び２１には、ＰＴＦＥからなる固体潤滑剤５をそれぞ
れ、その粒子どうしを結合させることなく分散させた状
態で、バインダーを用いることなく付着させている。Ｐ
ＴＦＥは平均分子量が２５０００以下、好ましくは７０
００〜１５０００、平均粒子径が５μｍ以上、融点が３
１０〜３２０℃であるものを使用する。
【００１１】上記転がり軸受は、上記ＰＴＦＥをＣＨ3
ＣＣｌ2 Ｆ（以下、代替フロンと称す）等の有機溶媒中
に分散させた溶液をマイクロシリンダーで軌道部１１及
び軌道部２１に一定量滴下し、数回転なじみ回転を行な
った後、略１００℃で数分間熱風乾燥することにより、
固体潤滑剤５をボール３、保持器４のポケット、軌道部
１１及び軌道部２１に付着させてある。なお、上記ＰＴ
ＦＥを代替フロン等の有機溶媒中に分散させた溶液中に
軸受完成品を浸漬させた後、略１００℃で熱風乾燥する
ことで、固体潤滑剤５を上記各部へ付着させてもよい。
ＣＣｌ2 Ｆ（以下、代替フロンと称す）等の有機溶媒中
に分散させた溶液をマイクロシリンダーで軌道部１１及
び軌道部２１に一定量滴下し、数回転なじみ回転を行な
った後、略１００℃で数分間熱風乾燥することにより、
固体潤滑剤５をボール３、保持器４のポケット、軌道部
１１及び軌道部２１に付着させてある。なお、上記ＰＴ
ＦＥを代替フロン等の有機溶媒中に分散させた溶液中に
軸受完成品を浸漬させた後、略１００℃で熱風乾燥する
ことで、固体潤滑剤５を上記各部へ付着させてもよい。
【００１２】本発明の転がり軸受は、ＰＴＦＥの平均分
子量を２５０００以下にしているので、ボール３と軌道
部１１及び２１との間に固体潤滑剤が詰まったり、ＰＴ
ＦＥ粒子が凝集したりするおそれがなく、しかもＰＴＦ
Ｅの平均粒子径を５μｍ以上にしているので、ＰＴＦＥ
粒子が凝集するのをさらに効果的に防止することがで
き、軸受の回転不良の発生を防止することができる。そ
してバインダーを用いることなくＰＴＦＥのみを付着さ
せているので、固体潤滑剤５の使用限界温度はＰＴＦＥ
の使用限界温度まで上昇させることができ、高温下にお
いても固体潤滑剤５の剥離による発塵がなく、潤滑性も
低下しない。特に、平均分子量が１５０００以下である
場合、粒子がより微細となるので、潤滑性及び耐剥離性
がさらに向上し、平均分子量が７０００以上である場
合、低い温度から気化することがないので、より耐熱性
を向上させることができる。以上のように固体潤滑剤５
が、良好な耐熱性、潤滑性及び低発塵性を発揮すること
ができるので、上記転がり軸受は、高真空下、高温下及
びクリーン下等の特殊環境下での使用が可能となる。
子量を２５０００以下にしているので、ボール３と軌道
部１１及び２１との間に固体潤滑剤が詰まったり、ＰＴ
ＦＥ粒子が凝集したりするおそれがなく、しかもＰＴＦ
Ｅの平均粒子径を５μｍ以上にしているので、ＰＴＦＥ
粒子が凝集するのをさらに効果的に防止することがで
き、軸受の回転不良の発生を防止することができる。そ
してバインダーを用いることなくＰＴＦＥのみを付着さ
せているので、固体潤滑剤５の使用限界温度はＰＴＦＥ
の使用限界温度まで上昇させることができ、高温下にお
いても固体潤滑剤５の剥離による発塵がなく、潤滑性も
低下しない。特に、平均分子量が１５０００以下である
場合、粒子がより微細となるので、潤滑性及び耐剥離性
がさらに向上し、平均分子量が７０００以上である場
合、低い温度から気化することがないので、より耐熱性
を向上させることができる。以上のように固体潤滑剤５
が、良好な耐熱性、潤滑性及び低発塵性を発揮すること
ができるので、上記転がり軸受は、高真空下、高温下及
びクリーン下等の特殊環境下での使用が可能となる。
【００１３】なお、固体潤滑剤５はボール３、保持器４
のポケット、軌道部１１及び軌道部２１の少なくとも一
つに付着させてあればよく、これらの部品を単体で、上
記ＰＴＦＥを代替フロン等の有機溶媒中に分散させた溶
液中に浸漬させ、略１００℃で熱風乾燥することで、固
体潤滑剤５を付着させてもよい。上記の実施形態におい
ては、転がり軸受に保持器を備えているが何らこれに限
定されるものではなく、保持器のない総玉軸受等の転が
り軸受にも適用できることはいうまでもない。
のポケット、軌道部１１及び軌道部２１の少なくとも一
つに付着させてあればよく、これらの部品を単体で、上
記ＰＴＦＥを代替フロン等の有機溶媒中に分散させた溶
液中に浸漬させ、略１００℃で熱風乾燥することで、固
体潤滑剤５を付着させてもよい。上記の実施形態におい
ては、転がり軸受に保持器を備えているが何らこれに限
定されるものではなく、保持器のない総玉軸受等の転が
り軸受にも適用できることはいうまでもない。
【００１４】図２は、本発明の第２の実施形態に係るボ
ールねじ軸受の断面図である。この実施形態は、ねじ３
１のハウジング３５上面にボール３４の還流路３６を設
け、ねじ３１のねじ溝３２及びボール溝３３にボール３
４を案内するように構成されているボールねじ軸受のボ
ール３４、ねじ溝３２及びボール溝３３の少なくとも一
つに、上記固体潤滑剤を、上記と同様にして付着させて
いる。上記ボールねじ軸受についても、図１に示す転が
り軸受と同様に高真空下、高温下及びクリーン下等の特
殊環境下での使用が可能となる。
ールねじ軸受の断面図である。この実施形態は、ねじ３
１のハウジング３５上面にボール３４の還流路３６を設
け、ねじ３１のねじ溝３２及びボール溝３３にボール３
４を案内するように構成されているボールねじ軸受のボ
ール３４、ねじ溝３２及びボール溝３３の少なくとも一
つに、上記固体潤滑剤を、上記と同様にして付着させて
いる。上記ボールねじ軸受についても、図１に示す転が
り軸受と同様に高真空下、高温下及びクリーン下等の特
殊環境下での使用が可能となる。
【００１５】図３は、本発明の第３の実施形態に係るボ
ールスプライン軸受の断面図である。この実施形態は、
外筒４１の内壁にボール４２を案内する外筒軌道部４３
を設け、その内側にボール４２を保持するための保持器
４４及びスプラインシャフト４５を挿入させているボー
ルスプライン軸受のボール４２及び外筒軌道部４３の少
なくとも一方に上記固体潤滑剤を、上記と同様にして、
付着させている。上記ボールスプライン軸受について
も、図１に示す転がり軸受と同様に、高真空下、高温下
及びクリーン下等の特殊環境下での使用が可能となる。
ールスプライン軸受の断面図である。この実施形態は、
外筒４１の内壁にボール４２を案内する外筒軌道部４３
を設け、その内側にボール４２を保持するための保持器
４４及びスプラインシャフト４５を挿入させているボー
ルスプライン軸受のボール４２及び外筒軌道部４３の少
なくとも一方に上記固体潤滑剤を、上記と同様にして、
付着させている。上記ボールスプライン軸受について
も、図１に示す転がり軸受と同様に、高真空下、高温下
及びクリーン下等の特殊環境下での使用が可能となる。
【００１６】［実機試験］図１に示す転がり軸受の１０
-7Ｔｏｒｒの真空下における耐熱性を調べた。実施例１
として平均分子量７５００〜１５０００、平均粒子径５
μｍ、融点３１５℃であるＰＴＦＥを使用し、比較例１
として平均分子量１０００〜４０００、平均粒子径１．
５μｍ、融点２００℃であるＰＴＦＥを使用した。各々
のＰＴＦＥを代替フロン中に分散させ、この溶液に各々
軸受を浸漬した後、略１００℃で熱風乾燥させて、ボー
ル、軌道部及び保持器にＰＴＦＥを付着させた。実施例
１の軸受においては、略３００℃までガスの発生が認め
られなかったが、比較例１の軸受においては、略１８０
℃からガスの発生が認められ、２５０℃で完全蒸発し
た。従って実施例１の軸受は３００℃でも使用出来るの
に対し、比較例１の軸受は、２００℃前後から使用でき
なくなることが判明した。
-7Ｔｏｒｒの真空下における耐熱性を調べた。実施例１
として平均分子量７５００〜１５０００、平均粒子径５
μｍ、融点３１５℃であるＰＴＦＥを使用し、比較例１
として平均分子量１０００〜４０００、平均粒子径１．
５μｍ、融点２００℃であるＰＴＦＥを使用した。各々
のＰＴＦＥを代替フロン中に分散させ、この溶液に各々
軸受を浸漬した後、略１００℃で熱風乾燥させて、ボー
ル、軌道部及び保持器にＰＴＦＥを付着させた。実施例
１の軸受においては、略３００℃までガスの発生が認め
られなかったが、比較例１の軸受においては、略１８０
℃からガスの発生が認められ、２５０℃で完全蒸発し
た。従って実施例１の軸受は３００℃でも使用出来るの
に対し、比較例１の軸受は、２００℃前後から使用でき
なくなることが判明した。
【００１７】［トルク寿命試験］次に、転がり軸受につ
いてトルク寿命試験を行った結果について示す。試験条
件は以下の通りである。 使用軸受型番：６０８ＳＴ 雰囲気 ：大気及び真空（１×１０-7Ｔｏｒｒ） 回転速度 ：２００ｒ／ｍ 荷重 ：アキシアル荷重 ５０Ｎ サンプル数 ：各３セット 実施例２の軸受は、平均分子量７５００〜１５０００、
平均粒子径５μｍのＰＴＦＥを代替フロンに分散させた
溶液中に軸受を浸漬し、略１００℃で熱風乾燥させて、
ＰＴＦＥをボール、軌道部及び保持器に付着させたもの
である。比較例２の軸受は、平均分子量５００００、平
均粒子径１５μｍのＰＴＦＥ５重量％とポリアミドイミ
ド２５重量％とを、Ｎ−メチル−２−ピロリドン７０重
量％で分散混合させ、これをボール、軌道部及び保持器
にボンデッドフィルム法で塗布して固体潤滑剤を付着さ
せ、１８０℃、９０分脱ガス処理したものである。そし
て実施例２及び比較例２について大気雰囲気及び真空雰
囲気それぞれでトルク寿命試験を行った。
いてトルク寿命試験を行った結果について示す。試験条
件は以下の通りである。 使用軸受型番：６０８ＳＴ 雰囲気 ：大気及び真空（１×１０-7Ｔｏｒｒ） 回転速度 ：２００ｒ／ｍ 荷重 ：アキシアル荷重 ５０Ｎ サンプル数 ：各３セット 実施例２の軸受は、平均分子量７５００〜１５０００、
平均粒子径５μｍのＰＴＦＥを代替フロンに分散させた
溶液中に軸受を浸漬し、略１００℃で熱風乾燥させて、
ＰＴＦＥをボール、軌道部及び保持器に付着させたもの
である。比較例２の軸受は、平均分子量５００００、平
均粒子径１５μｍのＰＴＦＥ５重量％とポリアミドイミ
ド２５重量％とを、Ｎ−メチル−２−ピロリドン７０重
量％で分散混合させ、これをボール、軌道部及び保持器
にボンデッドフィルム法で塗布して固体潤滑剤を付着さ
せ、１８０℃、９０分脱ガス処理したものである。そし
て実施例２及び比較例２について大気雰囲気及び真空雰
囲気それぞれでトルク寿命試験を行った。
【００１８】大気雰囲気でのトルク寿命比較結果を示し
たグラフを図４に、真空雰囲気でのトルク寿命比較結果
を示したグラフを図５に示す。図４及び図５より、大気
雰囲気においても真空雰囲気においても本発明に係る固
体潤滑剤を付着させることで、軸受のトルク寿命が飛躍
的に向上していることがわかる。
たグラフを図４に、真空雰囲気でのトルク寿命比較結果
を示したグラフを図５に示す。図４及び図５より、大気
雰囲気においても真空雰囲気においても本発明に係る固
体潤滑剤を付着させることで、軸受のトルク寿命が飛躍
的に向上していることがわかる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下の
効果を奏する。請求項１の軸受部材によれば、固体潤滑
剤としてのＰＴＦＥの平均分子量を２５０００以下にし
ているので、転動体と軌道部との間に固体潤滑剤が詰ま
ったり、ＰＴＦＥ粒子が凝集したりするおそれがないと
ともに、ＰＴＦＥの平均粒子径を５μｍ以上にしている
ので、ＰＴＦＥ粒子が凝集するのをさらに効果的に防止
することができ、軸受の回転不良の発生を防止すること
ができる。そしてバインダーを用いることなくＰＴＦＥ
のみを付着させているので、固体潤滑剤の使用限界温度
はＰＴＦＥの使用限界温度まで上昇させることができ、
高温下においても固体潤滑剤の剥離による発塵がなく、
潤滑性も低下しない。このように固体潤滑剤が耐熱性、
潤滑性及び低発塵性に優れているので、請求項１の軸受
部材は、高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境
下での使用が可能となる。
効果を奏する。請求項１の軸受部材によれば、固体潤滑
剤としてのＰＴＦＥの平均分子量を２５０００以下にし
ているので、転動体と軌道部との間に固体潤滑剤が詰ま
ったり、ＰＴＦＥ粒子が凝集したりするおそれがないと
ともに、ＰＴＦＥの平均粒子径を５μｍ以上にしている
ので、ＰＴＦＥ粒子が凝集するのをさらに効果的に防止
することができ、軸受の回転不良の発生を防止すること
ができる。そしてバインダーを用いることなくＰＴＦＥ
のみを付着させているので、固体潤滑剤の使用限界温度
はＰＴＦＥの使用限界温度まで上昇させることができ、
高温下においても固体潤滑剤の剥離による発塵がなく、
潤滑性も低下しない。このように固体潤滑剤が耐熱性、
潤滑性及び低発塵性に優れているので、請求項１の軸受
部材は、高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境
下での使用が可能となる。
【００２０】請求項２の軸受部材によれば、ＰＴＦＥの
平均分子量を７０００〜１５０００にしているので、固
体潤滑剤がさらに優れた耐熱性、潤滑性及び低発塵性を
有することになる。よって請求項２の軸受部材は、高真
空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用に
さらに好適なものとなる。
平均分子量を７０００〜１５０００にしているので、固
体潤滑剤がさらに優れた耐熱性、潤滑性及び低発塵性を
有することになる。よって請求項２の軸受部材は、高真
空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用に
さらに好適なものとなる。
【００２１】請求項３の軸受部材によれば、固体潤滑剤
としてのＰＴＦＥの平均分子量を２５０００以下にして
いるので、転動体と軌道部との間に固体潤滑剤が詰まっ
たり、ＰＴＦＥ粒子が凝集したりするおそれがないとと
もに、ＰＴＦＥの平均粒子径を５μｍ以上にしているの
で、ＰＴＦＥ粒子が凝集するのをさらに効果的に防止す
ることができ、軸受の回転不良の発生を防止することが
できる。そしてバインダーを用いることなくＰＴＦＥの
みを付着させているので、固体潤滑剤の使用限界温度は
ＰＴＦＥの使用限界温度まで上昇させることができ、高
温下においても固体潤滑剤の剥離による発塵がなく、潤
滑性も低下しない。このように固体潤滑剤が耐熱性、潤
滑性及び低発塵性に優れているので、請求項３の軸受部
材は、高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下
での使用が可能となる。
としてのＰＴＦＥの平均分子量を２５０００以下にして
いるので、転動体と軌道部との間に固体潤滑剤が詰まっ
たり、ＰＴＦＥ粒子が凝集したりするおそれがないとと
もに、ＰＴＦＥの平均粒子径を５μｍ以上にしているの
で、ＰＴＦＥ粒子が凝集するのをさらに効果的に防止す
ることができ、軸受の回転不良の発生を防止することが
できる。そしてバインダーを用いることなくＰＴＦＥの
みを付着させているので、固体潤滑剤の使用限界温度は
ＰＴＦＥの使用限界温度まで上昇させることができ、高
温下においても固体潤滑剤の剥離による発塵がなく、潤
滑性も低下しない。このように固体潤滑剤が耐熱性、潤
滑性及び低発塵性に優れているので、請求項３の軸受部
材は、高真空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下
での使用が可能となる。
【００２２】請求項４の軸受部材によれば、ＰＴＦＥの
平均分子量を７０００〜１５０００にしているので、固
体潤滑剤がさらに優れた耐熱性、潤滑性及び低発塵性を
有することになる。よって請求項４の軸受部材は、高真
空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用に
さらに好適なものとなる。
平均分子量を７０００〜１５０００にしているので、固
体潤滑剤がさらに優れた耐熱性、潤滑性及び低発塵性を
有することになる。よって請求項４の軸受部材は、高真
空下、高温下及びクリーン下等の特殊環境下での使用に
さらに好適なものとなる。
【図１】本発明の第１の実施形態に係る転がり軸受の断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係るボールねじ軸受
の断面図である。
の断面図である。
【図３】本発明の第３の実施形態に係るボールスプライ
ン軸受の断面図である。
ン軸受の断面図である。
【図４】大気雰囲気でのトルク寿命比較結果を示したグ
ラフである。
ラフである。
【図５】真空雰囲気でのトルク寿命比較結果を示したグ
ラフである。
ラフである。
１ 内輪 ２ 外輪 ３ ボール ４ 保持器 ５ 固体潤滑剤
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年１月６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】一般に
真空機器、半導体及び液晶基板製造装置等に使用される
転がり軸受、ボールねじ軸受及びボールスプライン軸受
等の軸受部材の潤滑には固体潤滑剤が用いられている。
特に低発塵用の固体潤滑剤としてはポリテトラフルオロ
エチレン（以下、ＰＴＦＥと略称する）が用いられ、こ
れらはポリアミド及びポリイミド等のバインダーを介し
て軸受部材の転動体や軌道部に塗布されている。ＰＴＦ
Ｅは平均分子量数十万から数百万のポリマー又は２５０
００以下のテロマーのいずれかで、粒子径が１０〜２０
μｍのものが広く用いられている。
真空機器、半導体及び液晶基板製造装置等に使用される
転がり軸受、ボールねじ軸受及びボールスプライン軸受
等の軸受部材の潤滑には固体潤滑剤が用いられている。
特に低発塵用の固体潤滑剤としてはポリテトラフルオロ
エチレン（以下、ＰＴＦＥと略称する）が用いられ、こ
れらはポリアミド及びポリイミド等のバインダーを介し
て軸受部材の転動体や軌道部に塗布されている。ＰＴＦ
Ｅは平均分子量数十万から数百万のポリマー又は２５０
００以下のテロマーのいずれかで、粒子径が１０〜２０
μｍのものが広く用いられている。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｃ１０Ｎ 20:04 20:06 30:08 40:02 50:08
Claims (4)
- 【請求項１】転動体及びこの転動体の転走を案内する軌
道部を有した軸受部材において、平均分子量が２５００
０以下であり、平均粒子径が５μｍ以上であるポリテト
ラフルオロエチレンからなる固体潤滑剤を、その粒子ど
うしを結合させることなく分散させた状態で、前記転動
体及び前記軌道部の少なくとも一方にバインダーを用い
ることなく付着させたことを特徴とする軸受部材。 - 【請求項２】前記ポリテトラフルオロエチレンの平均分
子量が７０００〜１５０００であることを特徴とする請
求項１記載の軸受部材。 - 【請求項３】転動体、この転動体の転走を案内する軌道
部及びこの転動体を保持する保持器を有した軸受部材に
おいて、 平均分子量が２５０００以下であり、平均粒子径が５μ
ｍ以上であるポリテトラフルオロエチレンからなる固体
潤滑剤を、その粒子どうしを結合させることなく分散さ
せた状態で、前記転動体、前記軌道部及び前記保持器の
少なくとも一つにバインダーを用いることなく付着させ
たことを特徴とする軸受部材。 - 【請求項４】前記ポリテトラフルオロエチレンの平均分
子量が７０００〜１５０００であることを特徴とする請
求項３記載の軸受部材。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01778898A JP3831507B2 (ja) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | 軸受部材 |
| DE69902410T DE69902410T2 (de) | 1998-01-14 | 1999-01-12 | Lageranordnung |
| EP99100509A EP0930445B1 (en) | 1998-01-14 | 1999-01-12 | Bearing assembly |
| US09/228,656 US6102576A (en) | 1998-01-14 | 1999-01-12 | Bearing assembly |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01778898A JP3831507B2 (ja) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | 軸受部材 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11199884A true JPH11199884A (ja) | 1999-07-27 |
| JP3831507B2 JP3831507B2 (ja) | 2006-10-11 |
Family
ID=11953466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01778898A Expired - Fee Related JP3831507B2 (ja) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | 軸受部材 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6102576A (ja) |
| EP (1) | EP0930445B1 (ja) |
| JP (1) | JP3831507B2 (ja) |
| DE (1) | DE69902410T2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2003166545A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Koyo Seiko Co Ltd | ポリマ潤滑剤を内蔵した機械要素およびその製造方法 |
| WO2013137399A1 (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-19 | 株式会社ジェイテクト | 摺動部材 |
| EP4332205A4 (en) * | 2021-05-31 | 2024-10-16 | Jfe Steel Corp | CHEMICAL SUBSTANCE FOR FORMING A SOLID LUBRICATING COATING FILM, OIL DRILLING PIPE AND THREADED CONNECTION FOR OIL DRILLING PIPES |
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|---|---|---|---|---|
| NL1009410C2 (nl) * | 1998-06-15 | 1999-12-16 | Skf Eng & Res Centre Bv | Smeersysteem. |
| US6293702B1 (en) * | 1999-01-29 | 2001-09-25 | Nsk Ltd. | Rolling bearing |
| JP2001173667A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-26 | Koyo Seiko Co Ltd | 転動装置 |
| JP2003065341A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-05 | Koyo Seiko Co Ltd | 転がり軸受 |
| CN100359191C (zh) * | 2003-03-04 | 2008-01-02 | 丁树华 | 一种非金属轻载滚动轴承 |
| DE10355136A1 (de) * | 2003-11-26 | 2005-06-23 | Valeo Klimasysteme Gmbh | Bedienelement |
| JP2006220240A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 極低温超高速転がり軸受 |
| DE102006030836B4 (de) * | 2006-07-04 | 2012-03-01 | Gebrüder Reinfurt GmbH & Co. KG | Wälzlagerkäfig |
| US8991748B1 (en) * | 2011-04-19 | 2015-03-31 | Groen Brothers Aviation, Inc. | Solid lubricated blade pitch control system for use within a compressed airstream of a reaction driven rotorcraft |
| JP6178117B2 (ja) * | 2013-05-31 | 2017-08-09 | Ntn株式会社 | 転がり軸受用保持器、転がり軸受、及び転がり軸受用保持器の製造方法 |
| WO2016039865A1 (en) * | 2014-09-10 | 2016-03-17 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Bearing cage with active lubrication |
| US9964152B2 (en) * | 2015-06-29 | 2018-05-08 | Rolls-Royce Corporation | Lubrication for an expendable bearing |
| DE202018102121U1 (de) | 2018-04-17 | 2019-07-19 | Liebherr-Components Biberach Gmbh | Großwälzlager |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3001838A (en) * | 1958-04-16 | 1961-09-26 | Edward R Lamson | Lubricated anti-friction bearings |
| US5207513A (en) * | 1990-11-30 | 1993-05-04 | Ntn Corporation | Rolling bearing with solid lubricant |
| JP2992717B2 (ja) * | 1991-10-30 | 1999-12-20 | エヌティエヌ株式会社 | 半導体製造設備用転がり軸受 |
| JPH084873A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-12 | Ntn Corp | 真空機器用ボールねじ |
| JPH0979256A (ja) * | 1995-09-13 | 1997-03-25 | Toshiba Corp | リニアボールベアリング |
-
1998
- 1998-01-14 JP JP01778898A patent/JP3831507B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-01-12 DE DE69902410T patent/DE69902410T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-01-12 US US09/228,656 patent/US6102576A/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-01-12 EP EP99100509A patent/EP0930445B1/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003166545A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Koyo Seiko Co Ltd | ポリマ潤滑剤を内蔵した機械要素およびその製造方法 |
| WO2013137399A1 (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-19 | 株式会社ジェイテクト | 摺動部材 |
| EP4332205A4 (en) * | 2021-05-31 | 2024-10-16 | Jfe Steel Corp | CHEMICAL SUBSTANCE FOR FORMING A SOLID LUBRICATING COATING FILM, OIL DRILLING PIPE AND THREADED CONNECTION FOR OIL DRILLING PIPES |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| US6102576A (en) | 2000-08-15 |
| EP0930445B1 (en) | 2002-08-07 |
| DE69902410D1 (de) | 2002-09-12 |
| EP0930445A1 (en) | 1999-07-21 |
| DE69902410T2 (de) | 2003-04-24 |
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