JPH0487332A - 半導体集積回路装置の製造方法 - Google Patents
半導体集積回路装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH0487332A JPH0487332A JP20324890A JP20324890A JPH0487332A JP H0487332 A JPH0487332 A JP H0487332A JP 20324890 A JP20324890 A JP 20324890A JP 20324890 A JP20324890 A JP 20324890A JP H0487332 A JPH0487332 A JP H0487332A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- mixed gas
- etching
- gas
- tiw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 62
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 43
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 abstract description 8
- 229910015844 BCl3 Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 83
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 9
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N chloro(fluoro)methane Chemical compound F[C]Cl KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 2
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YPSXFMHXRZAGTG-UHFFFAOYSA-N 4-methoxy-2-[2-(5-methoxy-2-nitrosophenyl)ethyl]-1-nitrosobenzene Chemical compound COC1=CC=C(N=O)C(CCC=2C(=CC=C(OC)C=2)N=O)=C1 YPSXFMHXRZAGTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910016570 AlCu Inorganic materials 0.000 description 1
- 102100021569 Apoptosis regulator Bcl-2 Human genes 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical group [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000971171 Homo sapiens Apoptosis regulator Bcl-2 Proteins 0.000 description 1
- -1 Phospho Chemical class 0.000 description 1
- 229910018540 Si C Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
配線のドライエツチング加工に適用して有効な技術に関
するものである。
回路の配線材料には、電気抵抗が低い、シリコン酸化膜
との密着性が良い、加工が容易であるなどの理由からア
ルミニウム(AA)が使用されできた。ところが、半導
体集積回路の高集積化に伴う配線の微細化によってスト
レスマイグレーンヨン(SM)やエレクトロマイグレー
ション(EM)に起因するΔl配線の断線不良が深刻な
問題となってきたため、Af配線を合金化(Cu。
バリヤメタルと積層化したりすることによって配線の高
信頼化を図る積層配線技術が実用化されるようになった
。このような積層配線としては、例えばT iW/AJ
2−Cu−3i/T iW。
知られている。また、Aβに代えてWなどの高融点金属
やそのシリサイド(WSlx) を使用する配線技術
も実用化されるようになった。
るには、スパッタ法またはCVD法を用いて基板上に上
記配線材料の薄膜を堆積し、次いで上記薄膜上にレジス
トパターンを形成した後、マイクロ波プラズマエツチン
グ装置などを用いて上記薄膜のバターニングを行う。こ
のとき使用するエツチングガスは、配線材料の種類によ
って最適なものが選定され、例えばTiW、TiN、W
のエツチングにはS Fs + C2C13Fs やS
F+c2C,f!Fs に代表されるSFs とフロ
ン(フルオロカーボン)との混合ガスが、またAlCu
−Si合金のエツチングにはBCff13+cx2など
の塩素系ガスがそれぞれ使用されている。
ング加工については、例えば特願平1−330223号
などに記載がある。
されているC2(1,F、やC,CI!Fなどのフロン
ガスは、下記のような理由から、今後の半導体集積回路
装置の製造プロセスでは使用ができなくなると考えられ
ているため、これらのフロンガスに代わる新たなエツチ
ングガスの開発が急務の課題となっている。
れつつある。
護膜を形成し易いことから、異方性エツチングに適した
ガスとして利用されてきたが、その反面、炭素はパーチ
クル源ともなり易いため、エツチング装置のクリーン化
の見地から炭素を含有しないガスの使用が望まれている
。
ストに対する選択比が低い。
ン分子中の炭素の存在に起因して広い波形を有している
た61発光スペクトルによるエツチングの自動終点検出
が困難であり、現状では下地をある程度オーバーエツチ
ングせざるを得ない。
、その目的はフロンガスに代わる新たなエツチングガス
を使用した配線加工技術を提供することにある。
明細書の記述および添付図面から胡らかになるであろう
。
要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
はTiN膜の上にレジストパターンを形成した後、上記
TiW膜またはTiN膜をドライエツチングにより加工
する際、エツチングガスとしてSFs とBCl2とか
らなる混合ガスを使用するものである。
Fラジカルなど)を生成するガスであり、Bcf、は側
壁にレジストのスパッタ物や塩化物を付着させるガスで
ある。本発明者の実験によれば、SF、単独でもTiW
膜(およびTiN膜)のエツチングは可能であったが、
側壁に保護膜が堆積されないので側壁がアンダーカット
されてしまい、加工後の断面形状が逆テーパーとなった
。一方、SF6にBCL を添加した場合は、側壁に適
度の膜厚の保護膜が形成されるので、異方性エッチング
が可能となり、側壁の断面形状が垂直なパターンを得る
ことができた。上記混合ガス中のSFの割合は、30〜
60%程度が好ましい。SFの割合が60%を超えた場
合は、側壁がアンダーカットされる現象が観測された。
膜(およびTiN膜)のエツチングレートが低下し、レ
ジストの削れ量が増えるため、対レジスト選択比が低下
する現象が観測された。
ガスを添加することにより、TiW膜(およびTiN膜
)のアンダーカットをより確実に防止することができる
。本発明者の実験によれば、T iW/Aj2−Cu−
3i/T iWおよびTiN膜 A R−Cu −S
i / T i Nからなる三層膜をエツチングする際
、下層のTiW膜(TiN膜)の側壁がアンダーカット
される現象が観測されたが、上記混合ガスに少量の窒素
を添加してエツチングを行った場合には、下層のTiW
膜(TiN膜)のアンダーカットを確実に防止すること
ができた。
、窒素が5〜20%程度、残りがBCl3である。なお
、SF6 とBCl3 とからなる混合ガスに少量のA
rガスやHeガスを添加した場合にも上記のようなアン
ダーカット防止効果を得ることができた。
の上にレジストパターンを形成して上記W膜をドライエ
ツチングにより加工する際、基板の表面温度を0〜−4
0℃(下部ステージ温度は−40〜−70℃)に設定し
、エツチングガスとしてSF、 とcL とからなる
混合ガスを使用するものである。
の作用は、前述したTiW膜やTiN膜のドライエツチ
ングにおけるSF、およびB CRsのそれぞれの作用
とほぼ同じである。すなわち、SF6は主としてエッチ
ャントを生成するガスであり、Cl、は側壁にレジスト
のスパッタ物や塩化物を付着させるガスである。本発明
者の実験によれば、SF、単独でW膜をエツチングした
場合は、側壁がアンダーカットされてしまい、加工後の
断面形状が逆テーパーとなってしまったが、C12を添
加した混合ガスでエツチングを行った場合は、側壁の断
面形状が垂直となったパターンを得ることができた。上
g己混合ガス中のCl2の割合は、1〜20%程度が好
ましい。C1,の割合が1%を下回ると側壁でアンダー
カットが発生する。他方、C1,の割合が20%を超え
るとW膜のエツチングレートが低下するために、対レジ
スト選択比が低下する。
ガスに少量の窒素ガスを添加することにより、W膜のア
ンダーカットをより確実に防止することができる。この
効果は、特にCVD法で堆積したW膜にふいて顕著であ
った。その理由としては、CVD法で堆積したW膜はス
パッタ法で堆積した膜に比べて膜質が疎であるため、ア
ンダーカットが発生し易いからと考えられる。本発明者
の実験によれば、窒素を添加する場合の好ましい混合比
は、C12が1〜25%程度、窒素が5〜20%程度、
残りがSF、であった。また、本発明で使用する上記混
合ガス(S Fs + CRx またはS Fg +
CIly + N2)をWシリサイド(wslx)、ま
たはWシリサイド/Wからなるゲート電極のドライエツ
チングに適用することにより、同様の効果を得ることが
できた。
ツチング装萱(■日立製作所、rM−308ATJ)1
の要部断面図である。図において2はマグネトロンを内
蔵したマイクロ波発生源、3は上記マイクロ波発生源2
で発生した2、 45 G七のマイクロ波を石英ベルジ
ャ4で囲すれたチャンバーに導く導波管である。5およ
び6は上記マイクロ波の電場とそれに対して垂直に形成
される磁場との相互作用によってプラズマ中の電子にサ
イクロトロン運動を生じさせるソレノイドコイルである
。7は下部ステージ、8は半導体ウェハ9は上記半導体
ウェハ8にバイアスを印加する高周波電源、10は上北
半導体ウェハ8の温度調整を行うサーキュレータである
。11はチャンバー内を排気する真空ポンプに接続され
た排気管、12はチャンバー内にエツチングガスを供給
するガス供給管である。
る半導体ウェハ8上に5102膜20およびTiW膜2
1を順次堆積した後、T i V/膜21上に所定のパ
ターンを有するレジスト22を形成した。上記3102
膜20は、テトラエトキシシランを反応ガスに用いた
プラズマCVD法で、またTiW膜21はスパッタ法で
それぞれ堆積した。
ング装置lの下部ステージ7上に載置し、チャンバー内
を排気してウェハ温度を40℃に設定した後、ガス供給
管12を通じてチャンバー内にSFs 20sccm
、BCj!s 50sccmをそれぞれ供給した。こ
のときのチャンバー内の気圧は、15mmTorrであ
った。続いて2.45 G七のマイクロ波を850W供
給し、下部ステージ7に2MHzのバイアスをIOW印
加してTiW1g21のエツチングを行った(第1図(
b))。このときのTiW膜21、レジスト22、Si
’O,膜20のエツチングレートは、それぞれ500n
m/分、360nm/分、56nm/分であり、対レジ
スト選択比、対5102選択比は、それぞれ14.9.
0であった。一方、SFs とC2CJ3Fとからな
る混合ガスを用いて上記TiW膜21のエツチングを行
った場合におけるTiW膜21、レジスト22.510
2 膜20のエツチングレートは、それぞれ4001m
/分、450nm/分、195nm/分であり、対レジ
スト選択比、対5IO2選択比は、それぞれ0.9.2
.1であった。
膜のエツチングレートが従来技術よりも1゜25倍増加
し、対レジスト選択比、対5102選択比がそれぞれ1
.5倍、4.3倍向上した。
Phospho 5ilicate Glass)
、P S G、モノシランを反応ガスに用いたプラズマ
CVD法で堆積した5102膜をそれぞれ用いた場合に
もほぼ同様の結果を得ることができた。
z膜20を堆積した後、5102膜20上にTiW膜2
1a1ΔR−3i−Cu合金膜23、TiW膜21bを
順次堆積した後、TiW膜21b上にレジスト22を形
成した。上記Sin、膜20は、テトラエトキシシラン
を反応ガスに用いたプラズマCVD法で、またTiW膜
21a、21 b、 Al−51−Cu合金膜23はス
パッタ法でそれぞれ堆積した。次に、上記半導体ウェハ
8をマイクロ波プラズマエツチング装置1の下部ステー
ジ7上に載置し、チャンバー内を排気してウェハ温度を
40℃に設定した後、TiW膜21a1Al−Si−C
u合金膜23、TiW膜21bを順次エツチングした。
とC2Cj’3 Fs とからなる混合ガスを、また
Al−3i−Cu合金膜23のエツチングには、B(1
,とCl2 とからなる混合ガスをそれぞれ用いた(第
2図Q)))。このとき、Al−3i−Cu合金膜23
のエツチングによって削られるレジスト量は従来と変わ
らなかったが、TiW膜21a、21bのエツチングに
よって削られるレジスト量は、SF6 とC,Cj!F
3 とからなる混合ガスを用いる従来技術に比べて大幅
に低減された。また、TiW膜21aをオーバーエツチ
ングした際におけるS10.膜20の削れ量も従来技術
に比べて大幅に低減された。
導体ウェハ8上にBPSG膜24膜上4W膜25を順次
堆積した後、W膜25上にレジスト22を形成した。上
記BPSG膜24はCVD法で、またW膜25はスパッ
タ法でそれぞれ堆積した。
ング装置1の下部ステージ7上に載置し、チャンバー内
を排気して下部ステージ7温度を一60℃に設定した後
、ガス供給管12を通じてチ+7バー内にSFs 6
3sccm、Cj2z 7secmをそれぞれ供給し
た。このときのチャンバー内の気圧は、10mmTor
rであった。続いてマイクロ波のパワーを850Wとし
、下部ステージ7に13.56MHzのバイアスを12
0W印加してW膜25のエツチングを行うことにより、
サイドエツチング量0μmの垂直エツチングを実現する
ことができた(第3図Q)))。また、下部ステージ7
に2.0MHzのバイアスをIOW印加した場合も同様
の結果が得られた。一方、SF、のみによってエツチン
グを行った場合には、W膜25がサイドエツチングされ
てしまった。
レジストパターンを形成した後、上記TIW膜またはT
iN膜をドライエツチングにより加工する際、エツチン
グガスとしてSF6 とBCl、とからなる混合ガスを
使用する本発明によれば、下記の効果を得ることができ
る。
N膜の垂直エツチングを実現することができる。
に比べて、対レジスト選択比および対5107選択比が
向上する。
含有しないので、SFe +フロン系混合ガスを用いる
従来技術に比べて、エツチング装置内のパーチクルを低
減することができる。
中に炭素を含有しないので、塩素の発光スペクトル(4
01nm、430nmもしくは365nm)を終点検出
波長として利用することができ、これによりエツチング
の自動終点検出が可能となる。
ーンを形成した後、上記W膜をドライエツチングにより
加工する際、エツチングガスとしてSF、とCf、 と
からなる混合ガスを使用することにより、フロン系ガス
を用いることなくW膜の垂直エツチングを実現すること
ができ、併せて上記(2)〜(4)の効果を得ることが
できる。
体集積回路装置の製造方法をそれぞれ示す半導体基板の
要部断面図、 第2図(a)、(b)は、本発明の他の実施例である半
導体集積回路装置の製造方法をそれぞれ示す半導体基板
の要部断面図、 第3図(a)、(b)は、本発明のさらに他の実施例で
ある半導体集積回路装置の製造方法をそれぞれ示す半導
体基板の要部断面図、 第4図は、マイクロ波プラズマエツチング装置の要部断
面図である。 1・・・マイクロ波プラズマエツチング装置、2・・・
マイクロ波発生源、3・・・導波管、4・・・石英ベル
ジャ、5.6・・・ソレノイドコイル、7・・・下部ス
テージ、8・・・半導体ウェハ 9・・・高周波電源、
10・・・サーキュレータ、11・・・排気管、12・
・・ガス供給管、20・・・SiO,膜、21.21a
、21b・・・TiW膜、22・・・レジスト、23・
・ ・ Aj+ S 】 Cu膜、24・・・BPSG膜、 25・・・W膜。 代理人 弁理士 筒 井 大 和 第 図 弔 図 21 :T W膜 25:W膜 第 図 21a。 21b:TiwH ^≠− 舅も 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、半導体基板上に堆積したTiW膜、またはTiN膜
の上にレジストパターンを形成した後、前記TiW膜、
またはTiN膜をドライエッチングにより加工する際、
エッチングガスとしてSF_6とBCl_3とからなる
混合ガスを使用することを特徴とする半導体集積回路装
置の製造方法。 2、前記混合ガスにおけるSF_6の割合が30〜60
%であることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回
路装置の製造方法。 3、前記混合ガスに窒素ガスを添加することを特徴とす
る請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法。 4、半導体基板上に堆積したW膜の上にレジストパター
ンを形成した後、前記W膜をドライエッチングにより加
工する際、前記半導体基板の表面温度を0〜−40℃に
設定し、エッチングガスとしてSF_6とCl_2とか
らなる混合ガスを使用することを特徴とする半導体集積
回路装置の製造方法。 5、前記混合ガスにおけるCl_2の割合が1〜20%
であることを特徴とする請求項4記載の半導体集積回路
装置の製造方法。 6、前記混合ガスに窒素ガスを添加することを特徴とす
る請求項4記載の半導体集積回路装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20324890A JP3172168B2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20324890A JP3172168B2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0487332A true JPH0487332A (ja) | 1992-03-19 |
JP3172168B2 JP3172168B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=16470886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20324890A Expired - Lifetime JP3172168B2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3172168B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04254326A (ja) * | 1991-02-06 | 1992-09-09 | Nec Corp | シリサイド膜のドライエッチング方法 |
JPH06104217A (ja) * | 1992-09-18 | 1994-04-15 | Hitachi Ltd | エッチング方法 |
GB2349980A (en) * | 1999-04-08 | 2000-11-15 | Nec Corp | method for dry-etching a titanium-nitride containing multilayer |
JP2008507416A (ja) * | 2004-07-21 | 2008-03-13 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 静電的に引きつけられるイオンによるエッチング |
US7950224B2 (en) | 2005-12-08 | 2011-05-31 | Isuzu Motors Limited | Method for controlling exhaust gas purification system |
WO2023286192A1 (ja) * | 2021-07-14 | 2023-01-19 | 株式会社日立ハイテク | プラズマ処理方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWM374354U (en) * | 2009-09-22 | 2010-02-21 | Qi-Sheng Liao | Interest assisting device |
CN101723507B (zh) * | 2009-12-11 | 2011-05-18 | 华南理工大学 | 一种水处理用混凝土立体填料及其制备方法 |
-
1990
- 1990-07-31 JP JP20324890A patent/JP3172168B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04254326A (ja) * | 1991-02-06 | 1992-09-09 | Nec Corp | シリサイド膜のドライエッチング方法 |
JPH06104217A (ja) * | 1992-09-18 | 1994-04-15 | Hitachi Ltd | エッチング方法 |
GB2349980A (en) * | 1999-04-08 | 2000-11-15 | Nec Corp | method for dry-etching a titanium-nitride containing multilayer |
KR100386127B1 (ko) * | 1999-04-08 | 2003-06-02 | 엔이씨 일렉트로닉스 코포레이션 | 질화티탄함유다층막을 건식식각하기 위한 방법 |
GB2349980B (en) * | 1999-04-08 | 2003-11-12 | Nec Corp | Method for dry-etching a titanium-nitride-containing multilayer film |
JP2008507416A (ja) * | 2004-07-21 | 2008-03-13 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 静電的に引きつけられるイオンによるエッチング |
JP4749422B2 (ja) * | 2004-07-21 | 2011-08-17 | サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド | 静電的に引きつけられるイオンによるエッチング |
US7950224B2 (en) | 2005-12-08 | 2011-05-31 | Isuzu Motors Limited | Method for controlling exhaust gas purification system |
WO2023286192A1 (ja) * | 2021-07-14 | 2023-01-19 | 株式会社日立ハイテク | プラズマ処理方法 |
JPWO2023286192A1 (ja) * | 2021-07-14 | 2023-01-19 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3172168B2 (ja) | 2001-06-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0122776A2 (en) | Dry etching aluminum or aluminum alloy layer | |
JPS6277485A (ja) | 酸化シリコン薄膜のエツチング方法 | |
JP3170791B2 (ja) | Al系材料膜のエッチング方法 | |
JPH0493022A (ja) | シリコン系被エッチング材のエッチング方法 | |
US6576569B1 (en) | Method of plasma-assisted film deposition | |
JP3472196B2 (ja) | エッチング方法及びそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
JPH0487332A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
US6326302B1 (en) | Process for the anisotropic etching of an organic dielectric polymer material by a plasma gas and application in microelectronics | |
JP2891952B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US5277757A (en) | Dry etching method | |
JP3440735B2 (ja) | ドライエッチング方法 | |
US5741742A (en) | Formation of aluminum-alloy pattern | |
JPS63117423A (ja) | 二酸化シリコンのエツチング方法 | |
JPH05343363A (ja) | ドライエッチング方法 | |
JP3191344B2 (ja) | 銅膜のエッチング方法 | |
JPH05136101A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
JPS6328995B2 (ja) | ||
JPH07263426A (ja) | 積層配線のドライエッチング方法 | |
JPH07201826A (ja) | ドライエッチング方法 | |
JP3440599B2 (ja) | ビアホール形成方法 | |
JP3399494B2 (ja) | WSiNの低ガス圧プラズマエッチング方法 | |
JPH056876A (ja) | エツチング方法および装置 | |
JPH05136103A (ja) | エツチング方法 | |
JP2001015494A (ja) | 半導体装置の製造方法およびエッチング方法 | |
JPH10321606A (ja) | 配線形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080323 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090323 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090323 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100323 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110323 Year of fee payment: 10 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110323 Year of fee payment: 10 |