JPH0474525A - 大気圧プラズマ表面処理法 - Google Patents
大気圧プラズマ表面処理法Info
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- JPH0474525A JPH0474525A JP2187215A JP18721590A JPH0474525A JP H0474525 A JPH0474525 A JP H0474525A JP 2187215 A JP2187215 A JP 2187215A JP 18721590 A JP18721590 A JP 18721590A JP H0474525 A JPH0474525 A JP H0474525A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は不活性気体のみから本質的になる気体組成物を
用いる大気圧プラズマ表面処理法に関する。本発明の大
気圧プラズマ表面処理法によれば、極めて簡便な装置を
用いてプラスチック被処理体表面に迅速に親水性を与え
ることができ、しかもその親水性の持続性が極めて高い
。
用いる大気圧プラズマ表面処理法に関する。本発明の大
気圧プラズマ表面処理法によれば、極めて簡便な装置を
用いてプラスチック被処理体表面に迅速に親水性を与え
ることができ、しかもその親水性の持続性が極めて高い
。
従来技術：
近年包装用に熱収縮フィルムが広く用いられているが、
熱収縮フィルムは延伸処理を行ったま〜では一般に印刷
適性が劣るので、コロナ放電処理による表面改質を行っ
て後、印刷が施される。このコロナ放電処理は、空気雰
囲気中で行なわれるカ、ロールに巻きつけたフィルム表
面に、−列ニ装置した針状の電極を接近させ、ロールと
電極間に高電圧を印加することにより実施される。コロ
す放電処理は、針状の電極の先端に王冠状（コロナ状）
放電を発生させて空気中の酸素のエツチングによりフィ
ルム表面の改質を行うものである。
熱収縮フィルムは延伸処理を行ったま〜では一般に印刷
適性が劣るので、コロナ放電処理による表面改質を行っ
て後、印刷が施される。このコロナ放電処理は、空気雰
囲気中で行なわれるカ、ロールに巻きつけたフィルム表
面に、−列ニ装置した針状の電極を接近させ、ロールと
電極間に高電圧を印加することにより実施される。コロ
す放電処理は、針状の電極の先端に王冠状（コロナ状）
放電を発生させて空気中の酸素のエツチングによりフィ
ルム表面の改質を行うものである。
たマ、このコロナ放電処理法では火花が発生してフィル
ムにピンホールが出来たり、あるいは、発熱により熱収
縮フィルムの収縮を招き易く、更にはフィルムの表面の
改質効果の持続性が悪い等の欠点があり、その改良が久
しく望まれていた。
ムにピンホールが出来たり、あるいは、発熱により熱収
縮フィルムの収縮を招き易く、更にはフィルムの表面の
改質効果の持続性が悪い等の欠点があり、その改良が久
しく望まれていた。
一方、近年ヘリウムやアルゴン等の不活性ガス等の中で
高真空下グロー放電を行い、その際高真空中に微量に発
生するアルゴンイオンを利用して被処理体の表面処理を
行う方法が実用化されて来た。しかし、この真空プラズ
マ表面処理を連続的に実施するためには、被処理体の供
給装置、取り出し製造等の一連の附帯設備もプラズマ反
応装置と共に高真空下に置くことが必要であり、そのた
め設備コストが膨大となる。それ故、真空プラズマ表面
処理法は電子部品等の極めて高価な被処理体に実用化さ
れているのみで、低価格の被処理体には全く引用でき″
なかった。
高真空下グロー放電を行い、その際高真空中に微量に発
生するアルゴンイオンを利用して被処理体の表面処理を
行う方法が実用化されて来た。しかし、この真空プラズ
マ表面処理を連続的に実施するためには、被処理体の供
給装置、取り出し製造等の一連の附帯設備もプラズマ反
応装置と共に高真空下に置くことが必要であり、そのた
め設備コストが膨大となる。それ故、真空プラズマ表面
処理法は電子部品等の極めて高価な被処理体に実用化さ
れているのみで、低価格の被処理体には全く引用でき″
なかった。
本発明：
本発明は、上記コロナ放電表面処理法や真空プラズマ表
面処理法の上記の諸欠点を凡て解決した表面処理法の提
供を目的とする。
面処理法の上記の諸欠点を凡て解決した表面処理法の提
供を目的とする。
本発明によれば、対向する電極の少くとも一方の電極の
表面に固体誘電体を配設してなる誘電体被覆電極を有す
るプラズマ反応装置に気体を導入し、大気圧下プラズマ
励起を行って、対向する電極の間に位置する被処理体の
表面処理を行う表面処理法において、導入する気体がア
ルゴン並びにヘリウム及び／またはアセトンから本質的
になる気体組成物であることを特徴とする大気圧プラズ
マ表面処理法が提供される。
表面に固体誘電体を配設してなる誘電体被覆電極を有す
るプラズマ反応装置に気体を導入し、大気圧下プラズマ
励起を行って、対向する電極の間に位置する被処理体の
表面処理を行う表面処理法において、導入する気体がア
ルゴン並びにヘリウム及び／またはアセトンから本質的
になる気体組成物であることを特徴とする大気圧プラズ
マ表面処理法が提供される。
本発明の大気圧プラズマ表面処理法の態様Ａにおいては
、上記気体組成物はアルゴン９０〜１０容量％及びヘリ
ウム１０〜９０容量％（ただし、アルゴンとヘリウムの
合計が１００容量％となる。
、上記気体組成物はアルゴン９０〜１０容量％及びヘリ
ウム１０〜９０容量％（ただし、アルゴンとヘリウムの
合計が１００容量％となる。
以下も同じ）、好ましくはアルゴン８０〜２０容量％及
びヘリウム２０〜８０容量％、最も好ましくはアルゴン
６０〜４０容量％及び４０〜６５容量％から本質的にな
る。アルゴンが９０容量％を超えて多ずぎてはグロー放
電か不安定となるので好ましくなく、一方ヘリウムが９
０容量％を超えて多すぎても表面改質の効果が低下する
ので好ましくない。
びヘリウム２０〜８０容量％、最も好ましくはアルゴン
６０〜４０容量％及び４０〜６５容量％から本質的にな
る。アルゴンが９０容量％を超えて多ずぎてはグロー放
電か不安定となるので好ましくなく、一方ヘリウムが９
０容量％を超えて多すぎても表面改質の効果が低下する
ので好ましくない。
本発明の大気圧プラズマ表面処理法の更なる態様Ｂにお
いては、気体組成物は、アルゴン９０〜１０容量％、ヘ
リウム９．９〜７０容量％及びアセトン０．ｌ〜２０容
量％（ただし、アルゴン、ヘリウム及びアセトンの合計
が１００容量％となる。以下同じ）、好ましくはアルゴ
ン８０〜２０容量％、ヘリウム１９〜６５容量％及びア
セトン１〜１５容量％、最も好ましくはアルゴン６０〜
４０容量％、ヘリウム３９〜５０容量％及びアセトン１
〜１０容量％より本質的になる。アルゴンが９０容量％
を超えて多すぎてはグロー放電が不安定となるので好ま
しくはなく、一方ヘリウムが７０容量％を超えて多すぎ
ると経済性が悪く又親水性等の表面改質処理するために
時間がか−りすぎるので好ましくなく、更にアセ１ヘン
が１０容量％を超えて多すぎては室温で反応容器の壁に
アセトンが凝縮するため中のアセトン濃度が不均一にな
るので好ましくない。
いては、気体組成物は、アルゴン９０〜１０容量％、ヘ
リウム９．９〜７０容量％及びアセトン０．ｌ〜２０容
量％（ただし、アルゴン、ヘリウム及びアセトンの合計
が１００容量％となる。以下同じ）、好ましくはアルゴ
ン８０〜２０容量％、ヘリウム１９〜６５容量％及びア
セトン１〜１５容量％、最も好ましくはアルゴン６０〜
４０容量％、ヘリウム３９〜５０容量％及びアセトン１
〜１０容量％より本質的になる。アルゴンが９０容量％
を超えて多すぎてはグロー放電が不安定となるので好ま
しくはなく、一方ヘリウムが７０容量％を超えて多すぎ
ると経済性が悪く又親水性等の表面改質処理するために
時間がか−りすぎるので好ましくなく、更にアセ１ヘン
が１０容量％を超えて多すぎては室温で反応容器の壁に
アセトンが凝縮するため中のアセトン濃度が不均一にな
るので好ましくない。
本発明の大気圧プラズマ表面処理法のもう一つの態様Ｃ
においては、前記気体組成物はアルゴン９９．９−１０
容量％６９アセトンｏ、ｌ〜９０容量％（たぐし、アル
ゴンとアセトンの合計が１００容量％となる。以下に同
じ）、好ましくはアルゴン９９〜８０容量％及びアセト
ン１〜１０容量ｕ％から本質的になる。アルゴンが９９
．９容量％を超えて多すぎてはグロー放電が不安定とな
るので好ましくなく、一方アセトンが９０容量％を超え
て多すぎては放電は起こるが無色の放電となり、出力が
上昇しすぎるので好ましくない。
においては、前記気体組成物はアルゴン９９．９−１０
容量％６９アセトンｏ、ｌ〜９０容量％（たぐし、アル
ゴンとアセトンの合計が１００容量％となる。以下に同
じ）、好ましくはアルゴン９９〜８０容量％及びアセト
ン１〜１０容量ｕ％から本質的になる。アルゴンが９９
．９容量％を超えて多すぎてはグロー放電が不安定とな
るので好ましくなく、一方アセトンが９０容量％を超え
て多すぎては放電は起こるが無色の放電となり、出力が
上昇しすぎるので好ましくない。
本発明の大気圧プラズマ表面処理法においては、用いら
れる気体組成物はアルゴン並びにヘリウム及び／又はア
セトンから木質的になるが、アルゴン、ヘリウム及びア
セトン以外の種類の気体、本発明の効果を損わない量的
範囲で含有していてもよい。そのような気体としては、
従来真空ブラズ７一 マ表面処理法又は大気圧プラズマ表面処理法で用いられ
たような下記の気体を例示することができる。
れる気体組成物はアルゴン並びにヘリウム及び／又はア
セトンから木質的になるが、アルゴン、ヘリウム及びア
セトン以外の種類の気体、本発明の効果を損わない量的
範囲で含有していてもよい。そのような気体としては、
従来真空ブラズ７一 マ表面処理法又は大気圧プラズマ表面処理法で用いられ
たような下記の気体を例示することができる。
即ち、不活性基体としてはネオン、窒素等を例示するこ
とができる。活性気体としては、酸素、エチレン、プロ
ピレン、アセチレン、ハロゲン、モノシラン、フルオロ
エチレン化合物等ヲ例示スることができる。
とができる。活性気体としては、酸素、エチレン、プロ
ピレン、アセチレン、ハロゲン、モノシラン、フルオロ
エチレン化合物等ヲ例示スることができる。
本発明の大気圧プラズマ表面処理法によれば、発熱量が
少ないので耐熱性の低い材質の被処理体、例えばプラス
チックフィルム、殊に熱収縮性プラスチックフィルムや
合成繊維又は合成繊維布に、工業的に極めて簡略な装置
を用いて、その表面特性の改質、殊に親水性の付与及び
帯電性の低下等を迅速且つ連続的に行うことが始めて可
能となり、しかも親木性や帯電防止性等の改質効果が極
めて長期間に渡って持続する、といった優れた効果が奏
される。
少ないので耐熱性の低い材質の被処理体、例えばプラス
チックフィルム、殊に熱収縮性プラスチックフィルムや
合成繊維又は合成繊維布に、工業的に極めて簡略な装置
を用いて、その表面特性の改質、殊に親水性の付与及び
帯電性の低下等を迅速且つ連続的に行うことが始めて可
能となり、しかも親木性や帯電防止性等の改質効果が極
めて長期間に渡って持続する、といった優れた効果が奏
される。
本発明の特徴及び効果等についての詳細は以下の記載よ
り更に明らかとなるであろう。
り更に明らかとなるであろう。
以下に第１図及び第２図によって、本発明の例を更に具
体的に示す。
体的に示す。
第１図は、電極間に被処理体を静止状態で保持して大気
圧プラズマ表面処理を行うプラズマ反応装置の概略を示
す断面図である。上部電極ｌの下部及び下部電極２の上
部には誘電体被覆３が貼付されている。誘電体被覆の材
質はポリイミド、雲母、セラミック、ガラス等を例示す
ることができる。この誘電体被覆３はグロー放電を安定
な状態で持続させるために必要であり、被処理体が比較
的厚いプラスチックフィルムである場合には上部電極１
のみに貼付されてもよい。
圧プラズマ表面処理を行うプラズマ反応装置の概略を示
す断面図である。上部電極ｌの下部及び下部電極２の上
部には誘電体被覆３が貼付されている。誘電体被覆の材
質はポリイミド、雲母、セラミック、ガラス等を例示す
ることができる。この誘電体被覆３はグロー放電を安定
な状態で持続させるために必要であり、被処理体が比較
的厚いプラスチックフィルムである場合には上部電極１
のみに貼付されてもよい。
下部電極２の上部に被処理体４、例えばポリプロピレン
熱収縮フィルムを載置する。次いで不活性気体の気体組
成物、例えばアルゴン５ｏ容量％とヘリウム５０容量％
の混合気体を流入口５より導入し、流出口６より排出す
る。気体の流速は任意であるが、装置内の残存空気が混
合基体で完全に置換されたら流入を止めてもよい。
熱収縮フィルムを載置する。次いで不活性気体の気体組
成物、例えばアルゴン５ｏ容量％とヘリウム５０容量％
の混合気体を流入口５より導入し、流出口６より排出す
る。気体の流速は任意であるが、装置内の残存空気が混
合基体で完全に置換されたら流入を止めてもよい。
次に上下電極間に２００Ｈｚの高周波電圧を印加してグ
ロー放電を起させてプラズマ励起を行って、被処理体の
表面処理を行う。
ロー放電を起させてプラズマ励起を行って、被処理体の
表面処理を行う。
第２図はプラスチックフィルムの表面処理を連続的に行
う本発明の大気圧表面処理法の一例を示す。上部電極１
１及び下部電極１２には誘導体被覆１３がそれぞれ貼付
されている。表面処理されるフィルム１６は、供給ロー
ル１７から連続的に供給されてスリット１４よりプラズ
マ反応装置に入り、上下両電極間を通過してスリツｌ−
１７からプラズマ反応装置を出て巻取りローリル１８に
巻き取られる。プラズマ反応装置内には基体供給口１５
から不活性気体が連続して供給されスリット１４及びス
リット１７から外部へ流出する。ブラズ反応装置内は大
気に対して適当に弱いプラズ圧に保持されるので、スリ
ット１４及びスリット１７から外部の大気がプラズマ反
応装置内に流入することはない。
う本発明の大気圧表面処理法の一例を示す。上部電極１
１及び下部電極１２には誘導体被覆１３がそれぞれ貼付
されている。表面処理されるフィルム１６は、供給ロー
ル１７から連続的に供給されてスリット１４よりプラズ
マ反応装置に入り、上下両電極間を通過してスリツｌ−
１７からプラズマ反応装置を出て巻取りローリル１８に
巻き取られる。プラズマ反応装置内には基体供給口１５
から不活性気体が連続して供給されスリット１４及びス
リット１７から外部へ流出する。ブラズ反応装置内は大
気に対して適当に弱いプラズ圧に保持されるので、スリ
ット１４及びスリット１７から外部の大気がプラズマ反
応装置内に流入することはない。
本発明においては、不活性基体をプラズマ励起するため
に、グロー放電が行なわれる。この際に用いられる交流
電源の周波数は特に制限されるものではないが好ましく
は２００〜１００，０００Ｗ２％より好ましくは５００
−１００，０００Ｈｚ。
に、グロー放電が行なわれる。この際に用いられる交流
電源の周波数は特に制限されるものではないが好ましく
は２００〜１００，０００Ｗ２％より好ましくは５００
−１００，０００Ｈｚ。
最も好ましくは１，０００−１０．０００Ｈｚである。
周波数が２００Ｈｚ未満と低すぎては、放電が不安定と
なりグロー状態とならないため好ましくなく、一方１０
０，０００Ｈｚを極めて高すぎては発熱が大となり耐熱
性のないフィルム等は変形を起こすので好ましくない。
なりグロー状態とならないため好ましくなく、一方１０
０，０００Ｈｚを極めて高すぎては発熱が大となり耐熱
性のないフィルム等は変形を起こすので好ましくない。
グロー放電を行う際の電圧、電流、出力等の条件は被処
理体の性質に応じて適宜選択されるが、一般に電圧は２
０００〜４０００ｖ、電流は１０ｌｏ−３Ｏ，出力はｌ
０Ｗ−５００Ｗが好適である。
理体の性質に応じて適宜選択されるが、一般に電圧は２
０００〜４０００ｖ、電流は１０ｌｏ−３Ｏ，出力はｌ
０Ｗ−５００Ｗが好適である。
被処理体がプラズマ処理される時間も被処理体の性質に
応じて適宜選択されるが、一般に０．１〜６００秒、好
ましくは５〜１２０秒の処理時間が採用される。
応じて適宜選択されるが、一般に０．１〜６００秒、好
ましくは５〜１２０秒の処理時間が採用される。
本発明の大気圧プラズマ表面処理中によれば、従来の真
空プラズマ表面処理法に較べて格段に簡略化された装置
を用い連続的に迅速に表面処理を行うことができるので
、工業的に極めて大きな技術的飛躍を成し遂げるもので
ある。しかも、本発明の大気圧プラズマ処理法による被
処理体の表面改質効果、例えば材質が疎水性のプラスチ
ックの被処理体の場合、その表面に優れた親水性を容易
に付与することができ、しかもその親水性の持続性が極
めて大きい。例えば、従来法のコロナ放電処理により得
られる親木性は殆んど半日で消失するが、本発明により
得られる親木性は、繊維布の場合、２０回以上洗濯を繰
り返しても消失することがない。
空プラズマ表面処理法に較べて格段に簡略化された装置
を用い連続的に迅速に表面処理を行うことができるので
、工業的に極めて大きな技術的飛躍を成し遂げるもので
ある。しかも、本発明の大気圧プラズマ処理法による被
処理体の表面改質効果、例えば材質が疎水性のプラスチ
ックの被処理体の場合、その表面に優れた親水性を容易
に付与することができ、しかもその親水性の持続性が極
めて大きい。例えば、従来法のコロナ放電処理により得
られる親木性は殆んど半日で消失するが、本発明により
得られる親木性は、繊維布の場合、２０回以上洗濯を繰
り返しても消失することがない。
更に、本発明による大気圧プラズマ表面処理法ではプラ
ズマ表面処理中の発熱量が少ないので、耐熱性の無い被
処理体にも適用できるという更なる長所を有する。
ズマ表面処理中の発熱量が少ないので、耐熱性の無い被
処理体にも適用できるという更なる長所を有する。
本発明による大気圧プラズマ表面処理法は上記のような
優れた長所を有するのでプラスチックシート．プラスチ
ツクフイルム、合成繊維布、合成繊維等の合成重合体成
形品の表面改質に好適に応用される。このような成形品
としては、ポリプロピレン、ポリエチレン、塩化ビニー
ル等の熱収縮性フィルム、ポリプロピレン、ポリエチレ
ン、塩化ビニール、ナイロン、ポリエステル、酢ビエチ
レン等の一般フイルム及びシート並びにポリエステル、
ポリプロピレン、ナイロン、アクリル、アセテート等の
合成繊維や化学繊維、これ等繊維の布、織布、不織布更
には上記合成繊維及び／または化学繊維及び／又は天然
繊維を混紡した布、織布、不織布等を挙げることができ
る。
優れた長所を有するのでプラスチックシート．プラスチ
ツクフイルム、合成繊維布、合成繊維等の合成重合体成
形品の表面改質に好適に応用される。このような成形品
としては、ポリプロピレン、ポリエチレン、塩化ビニー
ル等の熱収縮性フィルム、ポリプロピレン、ポリエチレ
ン、塩化ビニール、ナイロン、ポリエステル、酢ビエチ
レン等の一般フイルム及びシート並びにポリエステル、
ポリプロピレン、ナイロン、アクリル、アセテート等の
合成繊維や化学繊維、これ等繊維の布、織布、不織布更
には上記合成繊維及び／または化学繊維及び／又は天然
繊維を混紡した布、織布、不織布等を挙げることができ
る。
本発明の大気圧プラズマ表面処理法を施された熱収縮性
ポリプロピレンフィルムは表面が親水性となるので従来
適用できなかった水性インキによるフレキソ印刷によっ
て表面に容易に印刷ができ、力木発明の大気圧プラズマ
表面処理を施されたポリエステル織布は優れた親水性を
付与されるので、吸湿性が大巾に改善されて肌着にも用
いることができる等の優れた実用性を有するものである
。
ポリプロピレンフィルムは表面が親水性となるので従来
適用できなかった水性インキによるフレキソ印刷によっ
て表面に容易に印刷ができ、力木発明の大気圧プラズマ
表面処理を施されたポリエステル織布は優れた親水性を
付与されるので、吸湿性が大巾に改善されて肌着にも用
いることができる等の優れた実用性を有するものである
。
以下に実施例によって本発明を更に具体的に説明する気
体の数量は特記しない限り容量表示によつｊこ。
体の数量は特記しない限り容量表示によつｊこ。
実施例１
ポリプロピレン熱収縮フィルム６ミクロン厚のものを試
料とした。プラズマ容器中の上下電極板に厚さ５０ミク
ロンのカプトンを極板より大きく切って（１０ｍｍ位は
み出す位に）シリコングリースで極板に接着する。下部
電極の上に試料のフィルムを置きガス流入口よりアルゴ
ンガス６０部ヘリウムガス４０部の混合ガスを流入させ
る。容器中の空気が完全に混合ガスと置換した時上下電
極間に１０，０００Ｈｚ ４００Ｖ ２０ｍＡの高
周波電圧を印加する。紫色のグロー放電がおこりプラズ
マ励起されるからその状態で５秒間通電する。
料とした。プラズマ容器中の上下電極板に厚さ５０ミク
ロンのカプトンを極板より大きく切って（１０ｍｍ位は
み出す位に）シリコングリースで極板に接着する。下部
電極の上に試料のフィルムを置きガス流入口よりアルゴ
ンガス６０部ヘリウムガス４０部の混合ガスを流入させ
る。容器中の空気が完全に混合ガスと置換した時上下電
極間に１０，０００Ｈｚ ４００Ｖ ２０ｍＡの高
周波電圧を印加する。紫色のグロー放電がおこりプラズ
マ励起されるからその状態で５秒間通電する。
その後試料を取り出し表面の濡れエネルギーを和光純薬
のゲイン液で調べた。
のゲイン液で調べた。
その結果未処理のものは３０ダインでもはじくが処理し
たものは５６ダイン又はそれ以上でも全くはじく事がな
く親木性は著しく高くなった。
たものは５６ダイン又はそれ以上でも全くはじく事がな
く親木性は著しく高くなった。
実施例２〜９
実施例２から実施例９迄は実施例１と全く同様の装置の
試料を用いガスの混合比、アセトンの混合、周波数を第
１表に示したように種々変化させて行いその結果親水性
がどのように変化したか調べたのでその結果を第１表に
纏めた。
試料を用いガスの混合比、アセトンの混合、周波数を第
１表に示したように種々変化させて行いその結果親水性
がどのように変化したか調べたのでその結果を第１表に
纏めた。
＋５−
以下のような結果であった。
たぐアセトン２０部になるとアセトンの蒸気が容器中に
滴々となって壁につき常温では２０部は限界のようであ
る。容器を加温すれば直ちに滴々は消失した。
滴々となって壁につき常温では２０部は限界のようであ
る。容器を加温すれば直ちに滴々は消失した。
実施例ＩＯ
ポリエステル１００％の白布を試料とした。
度洗濯して糊を除去したものを乾燥して使用したプラズ
マ容器中の上下電極板に厚み７０ミクロンのカプトンフ
ィルムをシリコングリースにて接着した下部電極の上に
試料の白布を保持しガス流入口よりアルゴンガス６０部
へリウ７ガス４０部の混合ガスを流入せしめ容器内の空
気が完全に混合ガスに置き代った時１０，０００Ｈｚ
４００Ｖ２０ ｍ Ａの高周波電圧を上下電極板に印
加する。
マ容器中の上下電極板に厚み７０ミクロンのカプトンフ
ィルムをシリコングリースにて接着した下部電極の上に
試料の白布を保持しガス流入口よりアルゴンガス６０部
へリウ７ガス４０部の混合ガスを流入せしめ容器内の空
気が完全に混合ガスに置き代った時１０，０００Ｈｚ
４００Ｖ２０ ｍ Ａの高周波電圧を上下電極板に印
加する。
紫色のグロー放電が発生しプラズマ励起されるからその
ま振１分間通電した。終了後、処理した布を水に浮かべ
ると処理された部分は０．１秒で水に濡れて透明な感じ
となり未処理のものは水に浮べても２４時間以上そのま
へて全く濡れず極めて強い撲水性を示した。
ま振１分間通電した。終了後、処理した布を水に浮かべ
ると処理された部分は０．１秒で水に濡れて透明な感じ
となり未処理のものは水に浮べても２４時間以上そのま
へて全く濡れず極めて強い撲水性を示した。
実施例１１及び１２
実施例１１，１２は同し試料を同じ装置で実施例１０と
同様に行ったが、ガスの混合比は第２表に示す割合とし
て処理した。結果を第２表に示す。
同様に行ったが、ガスの混合比は第２表に示す割合とし
て処理した。結果を第２表に示す。
尚、得られた親木性は耐洗濯性が極めて強く３０回洗濯
機で中性洗剤を用いて洗濯をくり返しても第３表のよう
にその効果は低下しない。
機で中性洗剤を用いて洗濯をくり返しても第３表のよう
にその効果は低下しない。
第３表（耐洗濯性：３０回洗濯後）
以上は比較例も共に電気洗濯機で１０分間洗濯し水す−
ぎし乾燥した後水に浮べて濡れる迄の秒数測定したもの
。
ぎし乾燥した後水に浮べて濡れる迄の秒数測定したもの
。
実施例１３
ナイロン１００％の白布を試料としこれも水洗して糊を
落としたものを使用した。
落としたものを使用した。
プラズマ容器中の上下電極板に厚み１００ミクロンのポ
リエステルフィルムを瞬間接着剤で接着した。試料を下
部電極の上におきガス流入口よりアルゴンガス５０部ヘ
リウムガス５０部の混合ガスを流入させた。完全に混合
ガスが空気と完全に置換したとき、３０００Ｈｚ ４
５００Ｖ ２０ｍＡの高周波電圧を上下電極に印加し
た直ちに紫色の放電が始まりプラズマ励起されるからそ
のまへ１分間通電した。処理後試料を水に浮べると電極
の範囲の大きさの部分のみ水に濡れしみこんだ水の為に
半透明となった。無処理のものは全く水がしみ込まず全
体に水がしみ込むのは１時間以上後であった。処理した
ものは０．５秒で水がしみ込んで半透明となり、これを
３０回ポリエステルの実施例と同様に洗濯機で洗っても
０．８秒であり極めて強い親水性を示す。
リエステルフィルムを瞬間接着剤で接着した。試料を下
部電極の上におきガス流入口よりアルゴンガス５０部ヘ
リウムガス５０部の混合ガスを流入させた。完全に混合
ガスが空気と完全に置換したとき、３０００Ｈｚ ４
５００Ｖ ２０ｍＡの高周波電圧を上下電極に印加し
た直ちに紫色の放電が始まりプラズマ励起されるからそ
のまへ１分間通電した。処理後試料を水に浮べると電極
の範囲の大きさの部分のみ水に濡れしみこんだ水の為に
半透明となった。無処理のものは全く水がしみ込まず全
体に水がしみ込むのは１時間以上後であった。処理した
ものは０．５秒で水がしみ込んで半透明となり、これを
３０回ポリエステルの実施例と同様に洗濯機で洗っても
０．８秒であり極めて強い親水性を示す。
実施例１４
ポリプロピレンシュリンクフィルム６、ミクロン厚のも
のを試料とした。
のを試料とした。
プラズマ容器中の上下電極板に厚み５０ミクロンのカプ
トンを極板より稍大きく切ってシリコングリースで極板
に貼着する。下部電極の上に試料を置きガス流入口より
アルゴンガス６０部ヘリウムガス４０部の混合物を流入
させる。完全に混合気に置換した時に３０００Ｖ、５０
’００Ｈｚ、２０ｍＡ、４０Ｗの高周波電圧を上下極板
に印加する。紫色のグロ放電が起りプラズマ励起される
からその状態で５秒間通電する。その後試料を取り出し
表面の濡れを和光紬薬のダイン液で調べた。
トンを極板より稍大きく切ってシリコングリースで極板
に貼着する。下部電極の上に試料を置きガス流入口より
アルゴンガス６０部ヘリウムガス４０部の混合物を流入
させる。完全に混合気に置換した時に３０００Ｖ、５０
’００Ｈｚ、２０ｍＡ、４０Ｗの高周波電圧を上下極板
に印加する。紫色のグロ放電が起りプラズマ励起される
からその状態で５秒間通電する。その後試料を取り出し
表面の濡れを和光紬薬のダイン液で調べた。
その結果、未処理のものは３０デインでもはじくが処理
したものは５６ダインで全くはじかず親水性が著しく高
まった事を示す。
したものは５６ダインで全くはじかず親水性が著しく高
まった事を示す。
実施例１５
ポリエステル１００％の白布を試料とした。
プラズマ容器中の上下電極板に厚み７０ミクロンのカプ
トンをシリコングリースで貼合せる。
トンをシリコングリースで貼合せる。
下部電極の上に試料を置きガス流入口よりアルゴンガス
１０部ヘリウムガス９０部の混合ガスを流入せしめ容器
内の空気が完全に混合ガスと置換した時、３５００Ｖ、
５００Ｈｚ、１０ｍΔ、３０Ｗの高周波電圧を上下電極
板に印加する。紫色のグロー放電が起りプラズマ励起さ
れるからその状態で２分間通電する。
１０部ヘリウムガス９０部の混合ガスを流入せしめ容器
内の空気が完全に混合ガスと置換した時、３５００Ｖ、
５００Ｈｚ、１０ｍΔ、３０Ｗの高周波電圧を上下電極
板に印加する。紫色のグロー放電が起りプラズマ励起さ
れるからその状態で２分間通電する。
その後試料を取り出し、水の上に浮べると処理された部
分が徐々に濡れ約１０秒で電極板の大きさの部分のみ透
明となる。無処理部分は換水して全く濡れを示さず白布
のまへであった。
分が徐々に濡れ約１０秒で電極板の大きさの部分のみ透
明となる。無処理部分は換水して全く濡れを示さず白布
のまへであった。
実施例１６
ポリエチレンフィルムの１５ミクロン厚のものを使用し
た。これは底密度のもので熱により変形する。
た。これは底密度のもので熱により変形する。
プラズマ容器中の上下電極板に厚み５０ミクロンの雲母
板をシリコングリースで貼合せる。
板をシリコングリースで貼合せる。
下部電極の上にポリエチレンフィルムを保持し、ガス流
入口よりアルゴンガス５０部、ヘリウムガス５０部の混
合ガスを流入させる。完全に空気と置換した時、１ｏｏ
ＯＨｚ、４０００Ｖ、ｌ−２ｍＡ、２０Ｗの高周波電圧
を両電極間に印加する。
入口よりアルゴンガス５０部、ヘリウムガス５０部の混
合ガスを流入させる。完全に空気と置換した時、１ｏｏ
ＯＨｚ、４０００Ｖ、ｌ−２ｍＡ、２０Ｗの高周波電圧
を両電極間に印加する。
紫色のグロー放電が起り、プラズマ励起されるから、そ
の状態で８時間通電し、その後試料のポリエチレンフィ
ルムをとり出して表面の濡れを水で調べた所、プラズマ
処理した部分は完全に水に濡れ他の部分は換水して受は
付けない。また水性の万年筆ではじく事なく字を書くこ
とが出来た。
の状態で８時間通電し、その後試料のポリエチレンフィ
ルムをとり出して表面の濡れを水で調べた所、プラズマ
処理した部分は完全に水に濡れ他の部分は換水して受は
付けない。また水性の万年筆ではじく事なく字を書くこ
とが出来た。
ダイン液３０ではしく、処理したものは４８ダイン。
実施例１７
ナイロン１００％の白布を試料として使用した。
プラズマ容器中の上下電極板に厚み５０ミクロンのカプ
トンをシリコングリースで貼合せた。
トンをシリコングリースで貼合せた。
下部電極の上に試料をおき、ガス流入口よりアルゴンガ
ス８０部、ヘリウムガス２０部の混合ガスを流入する。
ス８０部、ヘリウムガス２０部の混合ガスを流入する。
容器内の空気が完全に置換した後、２５００Ｖ、ｌ Ｏ
Ｏ，ＱＯＯＨｚ、３０ｍＡ、８０Ｗの高周波電圧を上下
極板に印加する。赤紫色のグロー放電が起り、プラズマ
励起されるから、その状態で１分間通電する。
Ｏ，ＱＯＯＨｚ、３０ｍＡ、８０Ｗの高周波電圧を上下
極板に印加する。赤紫色のグロー放電が起り、プラズマ
励起されるから、その状態で１分間通電する。
その後試料を取り出し、水の上に浮べると処理された部
分が電極板の大きさ丈は直ちに濡れて透明になる。無処
理の部分はそのま＼の白布であった。たぐしかなり熱に
よる変形があり静置した状態では周波数１００，０００
Ｈｚが限界という感じがした。水に浸すと処理したもの
は０．５秒、無処理は６０分。
分が電極板の大きさ丈は直ちに濡れて透明になる。無処
理の部分はそのま＼の白布であった。たぐしかなり熱に
よる変形があり静置した状態では周波数１００，０００
Ｈｚが限界という感じがした。水に浸すと処理したもの
は０．５秒、無処理は６０分。
実施例１８
ポリエステル１００％の白布を試料とした。
プラズマ容器中の上下電極板に厚み１００ミクロンのＰ
ＥＴフィルムをシリコングリースで貼合せｌこ。
ＥＴフィルムをシリコングリースで貼合せｌこ。
下部電極の上にポリエステル１００％の布試料を保持し
、ガス流入口よりアルゴンガス５０部、ヘリウムガス５
０部の混合ガスを流入せしめ、容器内の空気が完全に混
合ガスに置き代った時、１０００ Ｈｚ 、 ３０００
Ｖ、３０ｍＡ、６０Ｗの高周波電圧を上下電極板に印
加する。
、ガス流入口よりアルゴンガス５０部、ヘリウムガス５
０部の混合ガスを流入せしめ、容器内の空気が完全に混
合ガスに置き代った時、１０００ Ｈｚ 、 ３０００
Ｖ、３０ｍＡ、６０Ｗの高周波電圧を上下電極板に印
加する。
紫色のグロー放電が起りプラズマ励起されるからそのま
＼１分間通電した。
＼１分間通電した。
終了後処理した布を水に浮へると処理された部分は瞬間
に水に濡れ透明な感じに変化し、未地理部分はそのま〜
大きい換水性全示し、全く水に濡れることはなかった。
に水に濡れ透明な感じに変化し、未地理部分はそのま〜
大きい換水性全示し、全く水に濡れることはなかった。
そのま！−２４時間水に浮かべたまＳでも電極板の大き
さのみ水に濡れ、他は白布のまｋであった。これを乾燥
し、電気洗濯機で中性洗剤を用いて洗濯す〜ぎ、乾燥を
くり返したが３０回おってもその効果は不変である。処
理したものは０．１秒、無処理は２４時間実施例１９ ナイロン１００％の白布を試料とした。
さのみ水に濡れ、他は白布のまｋであった。これを乾燥
し、電気洗濯機で中性洗剤を用いて洗濯す〜ぎ、乾燥を
くり返したが３０回おってもその効果は不変である。処
理したものは０．１秒、無処理は２４時間実施例１９ ナイロン１００％の白布を試料とした。
プラズマ容器中の上下電極板に厚み５０ミクロンのカプ
トンをシリコングリースにて貼合せた。
トンをシリコングリースにて貼合せた。
下部電極の上に試料をおきガス流入口よりアルゴンガス
５０部、ヘリウムガス４５部、アセトン５部の混合ガス
を流入させた。尚アセトンはガス洗浄瓶に３００ｍρ入
れたものにヘリウムガスを通じヘリウムガスをアセトン
層に泡としてくぐらせて十分アセトンを飽和させた。洗
浄瓶は２５°Ｃ〜２６０°Ｃに加温し蒸発による冷却を
最小限にと望めた。この条件でヘリウムガスとアセトン
の混合ガスはガスクロマトグラフの測定で９．８％〜１
０．４％、平均１０％のアセトンを含んでいた。
５０部、ヘリウムガス４５部、アセトン５部の混合ガス
を流入させた。尚アセトンはガス洗浄瓶に３００ｍρ入
れたものにヘリウムガスを通じヘリウムガスをアセトン
層に泡としてくぐらせて十分アセトンを飽和させた。洗
浄瓶は２５°Ｃ〜２６０°Ｃに加温し蒸発による冷却を
最小限にと望めた。この条件でヘリウムガスとアセトン
の混合ガスはガスクロマトグラフの測定で９．８％〜１
０．４％、平均１０％のアセトンを含んでいた。
完全に空気が混合ガスと置換した時、３０００Ｈｚ、２
５００Ｖ、２０ｍＡ、６０Ｗの高周波電圧を上下極板に
印加した。直ちに青色のグロー放電が起り、プラズマ励
起されるからこのま＼１分間通電した。グロー放電は極
めて安定であった。
５００Ｖ、２０ｍＡ、６０Ｗの高周波電圧を上下極板に
印加した。直ちに青色のグロー放電が起り、プラズマ励
起されるからこのま＼１分間通電した。グロー放電は極
めて安定であった。
処理後試料のプラズマ処理された電極の大きさの部分は
極めて親水性が犬きく、水に浮べた時にその部分丈は透
明に近くなり歴然とした差を示した。
極めて親水性が犬きく、水に浮べた時にその部分丈は透
明に近くなり歴然とした差を示した。
処理：０．５秒、無処理：６０分
実施例２０
ポリプロピレンシュリンクフィルム６ミクロン厚のもの
を試料とした。
を試料とした。
プラズマ容器中の上下電極板に厚み３０ミクロンの雲母
板をシリマングリースにて貼合せる。
板をシリマングリースにて貼合せる。
下部電極の上に試料を置き、ガス流入口よりアルゴンガ
ス７０部、ヘリウムガス３２部、アセトン８部の混合物
を流入させる。これはガス洗浄瓶にヘリウムガスを通し
アセトンを飽和させて混合ガスとするが、ガス洗浄瓶を
３５℃に加温するとガスクロマトグラフで測定したとき
約２０％のアセトン濃度となった。アセトンの量は３０
０ｍ４である。容器中の空気力完全に混合ガスち置換し
たとき、５０００Ｈｚ、２８００Ｖ、２０ｍＡ。
ス７０部、ヘリウムガス３２部、アセトン８部の混合物
を流入させる。これはガス洗浄瓶にヘリウムガスを通し
アセトンを飽和させて混合ガスとするが、ガス洗浄瓶を
３５℃に加温するとガスクロマトグラフで測定したとき
約２０％のアセトン濃度となった。アセトンの量は３０
０ｍ４である。容器中の空気力完全に混合ガスち置換し
たとき、５０００Ｈｚ、２８００Ｖ、２０ｍＡ。
４０Ｗの高周波電圧を上下電極板に印加する。
＝２８
青白いグロー放電が起こり、プラズマ励起されるからそ
の状態で３秒間通電する。
の状態で３秒間通電する。
終了後処理面は著しい親水性を示し、水性サインペンで
はじく事なく字を書くことが出来る。未処理部分は水性
サインペンでは全く字を書くことはできない。たぐガス
流出口部分にアセトンの液状になった滴を認め、これ以
上アセトンをいれても装置を加温しない限り不可である
。
はじく事なく字を書くことが出来る。未処理部分は水性
サインペンでは全く字を書くことはできない。たぐガス
流出口部分にアセトンの液状になった滴を認め、これ以
上アセトンをいれても装置を加温しない限り不可である
。
ダイン無処理＝３６ダイン、処理＝５６ダイン
第１図は本発明で用いるプラズマ反応装置の１例の断面
図を示し、第２１は本発明で用いる大気圧プラズマ表面
処理を連続して行う装置の１例の断面図を示す。 手続補正書（師） 平成２年１１月１５日 特許庁長官 植 松 敏 殿 １、事件の表示 平成２年特許願第１８７２１５号 ２、発明の名称 大気圧プラズマ表″面処理法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 〒１０７ ５、補正命令の日付 なし ６、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 （１） 明細書１４頁４行の「レン」と「等」の間に、 「、弗素系樹脂」 を加入する。 （２） 同２９頁９行に「５６ダイン」とあるに続け、
改行して下記の記載を加入する。 「実施例２１ クロロトリフレオロエチレン（ダイキン工業株式会社
ネオフロンＣＴＦＥ）のフィルムで１００ミクロンの厚
みのものを試料とした。 プラズマ反応容器の上下電極板に０．５ｍｍ厚のセラミ
ック板をゴム系の接着剤で張り合わせ、下部電極板の上
に」−２試料を置きガス流入口よりアルゴンカス９９５
部、アセトン０．５部（容量部）の混合ガスを流入させ
る。 完全に容器中の空気が混合カスに置換した時、上下電極
に３０００Ｈｚ ４５００Ｖの電圧を引加する。美し
い青白色のグロー放電が起こりプラズマ励起される。 電流は２０ｍＡ、出力は８０Ｗてあった。３０秒間放電
をつづけ、取り出して表面の接着性を次のようにして調
べた。 ２液性のエポキシ接着剤（市販のコニン製１０分間硬化
）を使用して無処理のネオフロンＣＴＦＥと本実施例に
よって処理されたものをカラス板に接着した。１時間放
置して接着力を調べた所、無処理のフィルムは全（接着
していないが処理された本実施例のフィルムは極めて強
く接着した。 実施例２２ テトラフルオロエチレンーパーフルオロアルキルヒニー
ルエーテル共重合体は別名テフロンＰＦＡとも呼ばれる
が試験にはダイキン工業製のネオフロンＰＦＡを使用し
た。 このフィルムは撥水、撥油性が強く、接着も出来ないが
１００ミクロンの厚みのものを実施例２１と同様にプラ
ズマ処理を行った。但し、アルゴン９９部、アセトン１
部（容量部）、５０００ Ｈｚ、４０００Ｖに設定した
。処理したものは実施例２１と全く同様に著しい接着性
を示した。 実施例２３ テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共
重合体は別名テフロンＦＥＰとも呼ばれるが試験にはダ
イキン工業製のネオフロンＦＥＰを使用した。これを厚
み５０ミクロンのフィルムにしたものを試料とし実施例
２１に準じてプラズマ処理を行なった。ただしアルゴン
ガスとアセトンの割合はアルゴン９８部、アセトン２部
とし１０００Ｈｚ ５０００ｖで放電させた。なお電
流は１５ｍＡ。 出力は６０Ｗであった。 無処理のフィルムは極めて撥水撥油性が強く、水性のイ
ンキ、油性のインキすべてはじいて字を書く事が出来な
いが処理したものは撥水撥油性とも消失しいずれのイン
キを使用しても書く事が出来るようになる。もちろん接
着性も著しく向上した。 実施例２４ テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ダイキン
工業製 ネオフロンＥＴＦＥ）も実施例２３と全く同様
に処理を行ったが無処理のものと比較した結果は実施例
２３の結果と同様であった。」 手続補正書印発） 平成３年２月５ 日 特許庁長官 植 松 敏 殿 １．事件の表示 平成２年特許＠＠１８７２１５号 ２、発明の名称 大気圧プラズマ表面処理法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 明細書９頁８行に ［ことができる。 」 とある に統け、 改行して、 「なお、上記アセトンの代りに、必要に応し、ＭＥＫや
ＭＩＢＫのような低級アルキルケトンを用いてもよい。 Ｊ を加入する。
図を示し、第２１は本発明で用いる大気圧プラズマ表面
処理を連続して行う装置の１例の断面図を示す。 手続補正書（師） 平成２年１１月１５日 特許庁長官 植 松 敏 殿 １、事件の表示 平成２年特許願第１８７２１５号 ２、発明の名称 大気圧プラズマ表″面処理法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 〒１０７ ５、補正命令の日付 なし ６、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 （１） 明細書１４頁４行の「レン」と「等」の間に、 「、弗素系樹脂」 を加入する。 （２） 同２９頁９行に「５６ダイン」とあるに続け、
改行して下記の記載を加入する。 「実施例２１ クロロトリフレオロエチレン（ダイキン工業株式会社
ネオフロンＣＴＦＥ）のフィルムで１００ミクロンの厚
みのものを試料とした。 プラズマ反応容器の上下電極板に０．５ｍｍ厚のセラミ
ック板をゴム系の接着剤で張り合わせ、下部電極板の上
に」−２試料を置きガス流入口よりアルゴンカス９９５
部、アセトン０．５部（容量部）の混合ガスを流入させ
る。 完全に容器中の空気が混合カスに置換した時、上下電極
に３０００Ｈｚ ４５００Ｖの電圧を引加する。美し
い青白色のグロー放電が起こりプラズマ励起される。 電流は２０ｍＡ、出力は８０Ｗてあった。３０秒間放電
をつづけ、取り出して表面の接着性を次のようにして調
べた。 ２液性のエポキシ接着剤（市販のコニン製１０分間硬化
）を使用して無処理のネオフロンＣＴＦＥと本実施例に
よって処理されたものをカラス板に接着した。１時間放
置して接着力を調べた所、無処理のフィルムは全（接着
していないが処理された本実施例のフィルムは極めて強
く接着した。 実施例２２ テトラフルオロエチレンーパーフルオロアルキルヒニー
ルエーテル共重合体は別名テフロンＰＦＡとも呼ばれる
が試験にはダイキン工業製のネオフロンＰＦＡを使用し
た。 このフィルムは撥水、撥油性が強く、接着も出来ないが
１００ミクロンの厚みのものを実施例２１と同様にプラ
ズマ処理を行った。但し、アルゴン９９部、アセトン１
部（容量部）、５０００ Ｈｚ、４０００Ｖに設定した
。処理したものは実施例２１と全く同様に著しい接着性
を示した。 実施例２３ テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共
重合体は別名テフロンＦＥＰとも呼ばれるが試験にはダ
イキン工業製のネオフロンＦＥＰを使用した。これを厚
み５０ミクロンのフィルムにしたものを試料とし実施例
２１に準じてプラズマ処理を行なった。ただしアルゴン
ガスとアセトンの割合はアルゴン９８部、アセトン２部
とし１０００Ｈｚ ５０００ｖで放電させた。なお電
流は１５ｍＡ。 出力は６０Ｗであった。 無処理のフィルムは極めて撥水撥油性が強く、水性のイ
ンキ、油性のインキすべてはじいて字を書く事が出来な
いが処理したものは撥水撥油性とも消失しいずれのイン
キを使用しても書く事が出来るようになる。もちろん接
着性も著しく向上した。 実施例２４ テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ダイキン
工業製 ネオフロンＥＴＦＥ）も実施例２３と全く同様
に処理を行ったが無処理のものと比較した結果は実施例
２３の結果と同様であった。」 手続補正書印発） 平成３年２月５ 日 特許庁長官 植 松 敏 殿 １．事件の表示 平成２年特許＠＠１８７２１５号 ２、発明の名称 大気圧プラズマ表面処理法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 明細書９頁８行に ［ことができる。 」 とある に統け、 改行して、 「なお、上記アセトンの代りに、必要に応し、ＭＥＫや
ＭＩＢＫのような低級アルキルケトンを用いてもよい。 Ｊ を加入する。
Claims (15)
- １．対向する電極の少くとも一方の電極の表面に固体誘
電体を配設してなる誘電体被覆電極を有するプラズマ反
応装置に気体を導入し、大気圧下プラズマ励起を行って
、対向する電極の間に位置する被処理体の表面処理を行
う表面処理法において、 導入する気体がアルゴン並びにヘリウム及び／またはア
セトンから本質的になる気体組成物であることを特徴と
する大気圧プラズマ表面処理法。 - ２．該気体組成物がアルゴン９０〜１０容量％及びヘリ
ウム１０〜９０容量％から本質的になる特許請求の範囲
第１項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - ３．該気体組成物がアルゴン８０〜２０容量％及びヘリ
ウム２０〜８０容量％から本質的になる特許請求の範囲
第２項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - ４．該気体組成物がアルゴン６０〜４０容量％及びヘリ
ウム４０〜６０容量％から本質的になる特許請求の範囲
第２項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - ５．該気体組成物がアルゴン９０〜１０容量％、ヘリウ
ム０〜８９．９容量％及びアセトン０．１〜２０容量％
から本質的になる特許請求の範囲第１項記載の大気圧プ
ラズマ表面処理法。 - ６．該気体組成物がアルゴン８０〜２０容量％、ヘリウ
ム１９〜６５容量％及びアセトン１〜１５容量％から本
質的になる特許請求の範囲第５項記載の大気圧プラズマ
表面処理法。 - ７．該基体組成物がアルゴン６０〜４０容量％、ヘリウ
ム３０〜５９容量％及びアセトン１〜１０容量％から本
質的になる特許請求の範囲第５項記載の大気圧プラズマ
表面処理法。 - ８．該気体組成物がアルゴン９９．９〜１０容量％及び
アセトン０．１〜９０容量％から本質的になる特許請求
の範囲第１項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - ９．該気体組成物がアルゴン９９〜８０容量％及びアセ
トン１〜２０容量％から本質的になる特許請求の範囲第
８項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - １０．プラズマ励起を行うための交流電源の周波数が２
００〜１００，０００Ｈｚである特許請求の範囲第１項
記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - １１．プラズマ励起を行うための交流電源の周波数が１
，０００〜１０，０００Ｈｚである特許請求の範囲第１
０項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - １２．被処理体の材質が合成高分子材料である特許請求
の範囲第１項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - １３．被処理体がプラスチツクフイルムである特許請求
の範囲１２項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - １４．プラスチツクフイルムが熱収縮性プラスチツクフ
イルムである特許請求の範囲第１３項記載の大気圧プラ
ズマ表面処理法。 - １５．被処理体が合成繊維又は合成繊維布である特許請
求の範囲第１２項記載の大気圧プラズマ表面処理法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2187215A JP3063769B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 大気圧プラズマ表面処理法 |
| KR1019910012162A KR0169490B1 (ko) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | 대기압 플라즈마 표면 처리 방법 |
| CA002047147A CA2047147C (en) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | Atmospheric pressure plasma surface treatment process |
| EP91306432A EP0467639B1 (en) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Atmospheric pressure plasma surface treatment process |
| US07/731,314 US5124173A (en) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Atmospheric pressure plasma surface treatment process |
| DE69128502T DE69128502T2 (de) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Plasma-Oberflächenbehandlungsverfahren bei normalem Druck |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2187215A JP3063769B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 大気圧プラズマ表面処理法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474525A true JPH0474525A (ja) | 1992-03-09 |
| JP3063769B2 JP3063769B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=16202089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2187215A Expired - Fee Related JP3063769B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 大気圧プラズマ表面処理法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5124173A (ja) |
| EP (1) | EP0467639B1 (ja) |
| JP (1) | JP3063769B2 (ja) |
| KR (1) | KR0169490B1 (ja) |
| CA (1) | CA2047147C (ja) |
| DE (1) | DE69128502T2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2015227893A (ja) * | 2015-09-16 | 2015-12-17 | 株式会社センテック | 測定方法 |
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| WO2017126191A1 (ja) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 積水化学工業株式会社 | フッ素系樹脂フィルムの表面処理装置及び方法 |
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| US5344701A (en) * | 1992-06-09 | 1994-09-06 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Porous supports having azlactone-functional surfaces |
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