JPH0474525A - 大気圧プラズマ表面処理法 - Google Patents
大気圧プラズマ表面処理法Info
- Publication number
- JPH0474525A JPH0474525A JP2187215A JP18721590A JPH0474525A JP H0474525 A JPH0474525 A JP H0474525A JP 2187215 A JP2187215 A JP 2187215A JP 18721590 A JP18721590 A JP 18721590A JP H0474525 A JPH0474525 A JP H0474525A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- volume
- surface treatment
- atmospheric pressure
- gas
- argon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 91
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 89
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 82
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 45
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims abstract description 34
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 34
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 40
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 19
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims description 9
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims description 8
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 claims description 8
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 229920001059 synthetic polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 abstract description 18
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 abstract description 9
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 abstract description 9
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 abstract description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 abstract description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000002688 persistence Effects 0.000 abstract 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 27
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 9
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 8
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 6
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 6
- 229920006257 Heat-shrinkable film Polymers 0.000 description 5
- 229920006367 Neoflon Polymers 0.000 description 5
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 5
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 5
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 5
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 3
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical compound FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 2
- 229920000840 ethylene tetrafluoroethylene copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 229920006300 shrink film Polymers 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 229920006356 Teflon™ FEP Polymers 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N fluoroethene Chemical group FC=C XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 description 1
- 230000005923 long-lasting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 229920009441 perflouroethylene propylene Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000004753 textile Substances 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M10/00—Physical treatment of fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, e.g. ultrasonic, corona discharge, irradiation, electric currents, or magnetic fields; Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements
- D06M10/02—Physical treatment of fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, e.g. ultrasonic, corona discharge, irradiation, electric currents, or magnetic fields; Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements ultrasonic or sonic; Corona discharge
- D06M10/025—Corona discharge or low temperature plasma
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/10—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by electric discharge treatment
- B29C59/12—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by electric discharge treatment in an environment other than air
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
- B29C2059/145—Atmospheric plasma
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M2101/00—Chemical constitution of the fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, to be treated
- D06M2101/16—Synthetic fibres, other than mineral fibres
- D06M2101/18—Synthetic fibres consisting of macromolecular compounds obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M2101/00—Chemical constitution of the fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, to be treated
- D06M2101/16—Synthetic fibres, other than mineral fibres
- D06M2101/18—Synthetic fibres consisting of macromolecular compounds obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- D06M2101/22—Polymers or copolymers of halogenated mono-olefins
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M2101/00—Chemical constitution of the fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, to be treated
- D06M2101/16—Synthetic fibres, other than mineral fibres
- D06M2101/18—Synthetic fibres consisting of macromolecular compounds obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- D06M2101/26—Polymers or copolymers of unsaturated carboxylic acids or derivatives thereof
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M2101/00—Chemical constitution of the fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, to be treated
- D06M2101/16—Synthetic fibres, other than mineral fibres
- D06M2101/30—Synthetic polymers consisting of macromolecular compounds obtained otherwise than by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- D06M2101/32—Polyesters
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M2101/00—Chemical constitution of the fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, to be treated
- D06M2101/16—Synthetic fibres, other than mineral fibres
- D06M2101/30—Synthetic polymers consisting of macromolecular compounds obtained otherwise than by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- D06M2101/34—Polyamides
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M2200/00—Functionality of the treatment composition and/or properties imparted to the textile material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Chemical Or Physical Treatment Of Fibers (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
用いる大気圧プラズマ表面処理法に関する。本発明の大
気圧プラズマ表面処理法によれば、極めて簡便な装置を
用いてプラスチック被処理体表面に迅速に親水性を与え
ることができ、しかもその親水性の持続性が極めて高い
。
熱収縮フィルムは延伸処理を行ったま〜では一般に印刷
適性が劣るので、コロナ放電処理による表面改質を行っ
て後、印刷が施される。このコロナ放電処理は、空気雰
囲気中で行なわれるカ、ロールに巻きつけたフィルム表
面に、−列ニ装置した針状の電極を接近させ、ロールと
電極間に高電圧を印加することにより実施される。コロ
す放電処理は、針状の電極の先端に王冠状(コロナ状)
放電を発生させて空気中の酸素のエツチングによりフィ
ルム表面の改質を行うものである。
ムにピンホールが出来たり、あるいは、発熱により熱収
縮フィルムの収縮を招き易く、更にはフィルムの表面の
改質効果の持続性が悪い等の欠点があり、その改良が久
しく望まれていた。
高真空下グロー放電を行い、その際高真空中に微量に発
生するアルゴンイオンを利用して被処理体の表面処理を
行う方法が実用化されて来た。しかし、この真空プラズ
マ表面処理を連続的に実施するためには、被処理体の供
給装置、取り出し製造等の一連の附帯設備もプラズマ反
応装置と共に高真空下に置くことが必要であり、そのた
め設備コストが膨大となる。それ故、真空プラズマ表面
処理法は電子部品等の極めて高価な被処理体に実用化さ
れているのみで、低価格の被処理体には全く引用でき″
なかった。
面処理法の上記の諸欠点を凡て解決した表面処理法の提
供を目的とする。
表面に固体誘電体を配設してなる誘電体被覆電極を有す
るプラズマ反応装置に気体を導入し、大気圧下プラズマ
励起を行って、対向する電極の間に位置する被処理体の
表面処理を行う表面処理法において、導入する気体がア
ルゴン並びにヘリウム及び/またはアセトンから本質的
になる気体組成物であることを特徴とする大気圧プラズ
マ表面処理法が提供される。
、上記気体組成物はアルゴン90〜10容量%及びヘリ
ウム10〜90容量%(ただし、アルゴンとヘリウムの
合計が100容量%となる。
びヘリウム20〜80容量%、最も好ましくはアルゴン
60〜40容量%及び40〜65容量%から本質的にな
る。アルゴンが90容量%を超えて多ずぎてはグロー放
電か不安定となるので好ましくなく、一方ヘリウムが9
0容量%を超えて多すぎても表面改質の効果が低下する
ので好ましくない。
いては、気体組成物は、アルゴン90〜10容量%、ヘ
リウム9.9〜70容量%及びアセトン0.l〜20容
量%(ただし、アルゴン、ヘリウム及びアセトンの合計
が100容量%となる。以下同じ)、好ましくはアルゴ
ン80〜20容量%、ヘリウム19〜65容量%及びア
セトン1〜15容量%、最も好ましくはアルゴン60〜
40容量%、ヘリウム39〜50容量%及びアセトン1
〜10容量%より本質的になる。アルゴンが90容量%
を超えて多すぎてはグロー放電が不安定となるので好ま
しくはなく、一方ヘリウムが70容量%を超えて多すぎ
ると経済性が悪く又親水性等の表面改質処理するために
時間がか−りすぎるので好ましくなく、更にアセ1ヘン
が10容量%を超えて多すぎては室温で反応容器の壁に
アセトンが凝縮するため中のアセトン濃度が不均一にな
るので好ましくない。
においては、前記気体組成物はアルゴン99.9−10
容量%69アセトンo、l〜90容量%(たぐし、アル
ゴンとアセトンの合計が100容量%となる。以下に同
じ)、好ましくはアルゴン99〜80容量%及びアセト
ン1〜10容量u%から本質的になる。アルゴンが99
.9容量%を超えて多すぎてはグロー放電が不安定とな
るので好ましくなく、一方アセトンが90容量%を超え
て多すぎては放電は起こるが無色の放電となり、出力が
上昇しすぎるので好ましくない。
れる気体組成物はアルゴン並びにヘリウム及び/又はア
セトンから木質的になるが、アルゴン、ヘリウム及びア
セトン以外の種類の気体、本発明の効果を損わない量的
範囲で含有していてもよい。そのような気体としては、
従来真空ブラズ7一 マ表面処理法又は大気圧プラズマ表面処理法で用いられ
たような下記の気体を例示することができる。
とができる。活性気体としては、酸素、エチレン、プロ
ピレン、アセチレン、ハロゲン、モノシラン、フルオロ
エチレン化合物等ヲ例示スることができる。
少ないので耐熱性の低い材質の被処理体、例えばプラス
チックフィルム、殊に熱収縮性プラスチックフィルムや
合成繊維又は合成繊維布に、工業的に極めて簡略な装置
を用いて、その表面特性の改質、殊に親水性の付与及び
帯電性の低下等を迅速且つ連続的に行うことが始めて可
能となり、しかも親木性や帯電防止性等の改質効果が極
めて長期間に渡って持続する、といった優れた効果が奏
される。
り更に明らかとなるであろう。
体的に示す。
圧プラズマ表面処理を行うプラズマ反応装置の概略を示
す断面図である。上部電極lの下部及び下部電極2の上
部には誘電体被覆3が貼付されている。誘電体被覆の材
質はポリイミド、雲母、セラミック、ガラス等を例示す
ることができる。この誘電体被覆3はグロー放電を安定
な状態で持続させるために必要であり、被処理体が比較
的厚いプラスチックフィルムである場合には上部電極1
のみに貼付されてもよい。
熱収縮フィルムを載置する。次いで不活性気体の気体組
成物、例えばアルゴン5o容量%とヘリウム50容量%
の混合気体を流入口5より導入し、流出口6より排出す
る。気体の流速は任意であるが、装置内の残存空気が混
合基体で完全に置換されたら流入を止めてもよい。
ロー放電を起させてプラズマ励起を行って、被処理体の
表面処理を行う。
う本発明の大気圧表面処理法の一例を示す。上部電極1
1及び下部電極12には誘導体被覆13がそれぞれ貼付
されている。表面処理されるフィルム16は、供給ロー
ル17から連続的に供給されてスリット14よりプラズ
マ反応装置に入り、上下両電極間を通過してスリツl−
17からプラズマ反応装置を出て巻取りローリル18に
巻き取られる。プラズマ反応装置内には基体供給口15
から不活性気体が連続して供給されスリット14及びス
リット17から外部へ流出する。ブラズ反応装置内は大
気に対して適当に弱いプラズ圧に保持されるので、スリ
ット14及びスリット17から外部の大気がプラズマ反
応装置内に流入することはない。
に、グロー放電が行なわれる。この際に用いられる交流
電源の周波数は特に制限されるものではないが好ましく
は200〜100,000W2%より好ましくは500
−100,000Hz。
なりグロー状態とならないため好ましくなく、一方10
0,000Hzを極めて高すぎては発熱が大となり耐熱
性のないフィルム等は変形を起こすので好ましくない。
理体の性質に応じて適宜選択されるが、一般に電圧は2
000〜4000v、電流は10lo−3O,出力はl
0W−500Wが好適である。
応じて適宜選択されるが、一般に0.1〜600秒、好
ましくは5〜120秒の処理時間が採用される。
空プラズマ表面処理法に較べて格段に簡略化された装置
を用い連続的に迅速に表面処理を行うことができるので
、工業的に極めて大きな技術的飛躍を成し遂げるもので
ある。しかも、本発明の大気圧プラズマ処理法による被
処理体の表面改質効果、例えば材質が疎水性のプラスチ
ックの被処理体の場合、その表面に優れた親水性を容易
に付与することができ、しかもその親水性の持続性が極
めて大きい。例えば、従来法のコロナ放電処理により得
られる親木性は殆んど半日で消失するが、本発明により
得られる親木性は、繊維布の場合、20回以上洗濯を繰
り返しても消失することがない。
ズマ表面処理中の発熱量が少ないので、耐熱性の無い被
処理体にも適用できるという更なる長所を有する。
優れた長所を有するのでプラスチックシート.プラスチ
ツクフイルム、合成繊維布、合成繊維等の合成重合体成
形品の表面改質に好適に応用される。このような成形品
としては、ポリプロピレン、ポリエチレン、塩化ビニー
ル等の熱収縮性フィルム、ポリプロピレン、ポリエチレ
ン、塩化ビニール、ナイロン、ポリエステル、酢ビエチ
レン等の一般フイルム及びシート並びにポリエステル、
ポリプロピレン、ナイロン、アクリル、アセテート等の
合成繊維や化学繊維、これ等繊維の布、織布、不織布更
には上記合成繊維及び/または化学繊維及び/又は天然
繊維を混紡した布、織布、不織布等を挙げることができ
る。
ポリプロピレンフィルムは表面が親水性となるので従来
適用できなかった水性インキによるフレキソ印刷によっ
て表面に容易に印刷ができ、力木発明の大気圧プラズマ
表面処理を施されたポリエステル織布は優れた親水性を
付与されるので、吸湿性が大巾に改善されて肌着にも用
いることができる等の優れた実用性を有するものである
。
体の数量は特記しない限り容量表示によつjこ。
料とした。プラズマ容器中の上下電極板に厚さ50ミク
ロンのカプトンを極板より大きく切って(10mm位は
み出す位に)シリコングリースで極板に接着する。下部
電極の上に試料のフィルムを置きガス流入口よりアルゴ
ンガス60部ヘリウムガス40部の混合ガスを流入させ
る。容器中の空気が完全に混合ガスと置換した時上下電
極間に10,000Hz 400V 20mAの高
周波電圧を印加する。紫色のグロー放電がおこりプラズ
マ励起されるからその状態で5秒間通電する。
のゲイン液で調べた。
たものは56ダイン又はそれ以上でも全くはじく事がな
く親木性は著しく高くなった。
試料を用いガスの混合比、アセトンの混合、周波数を第
1表に示したように種々変化させて行いその結果親水性
がどのように変化したか調べたのでその結果を第1表に
纏めた。
滴々となって壁につき常温では20部は限界のようであ
る。容器を加温すれば直ちに滴々は消失した。
マ容器中の上下電極板に厚み70ミクロンのカプトンフ
ィルムをシリコングリースにて接着した下部電極の上に
試料の白布を保持しガス流入口よりアルゴンガス60部
へリウ7ガス40部の混合ガスを流入せしめ容器内の空
気が完全に混合ガスに置き代った時10,000Hz
400V20 m Aの高周波電圧を上下電極板に印
加する。
ま振1分間通電した。終了後、処理した布を水に浮かべ
ると処理された部分は0.1秒で水に濡れて透明な感じ
となり未処理のものは水に浮べても24時間以上そのま
へて全く濡れず極めて強い撲水性を示した。
同様に行ったが、ガスの混合比は第2表に示す割合とし
て処理した。結果を第2表に示す。
機で中性洗剤を用いて洗濯をくり返しても第3表のよう
にその効果は低下しない。
ぎし乾燥した後水に浮べて濡れる迄の秒数測定したもの
。
落としたものを使用した。
リエステルフィルムを瞬間接着剤で接着した。試料を下
部電極の上におきガス流入口よりアルゴンガス50部ヘ
リウムガス50部の混合ガスを流入させた。完全に混合
ガスが空気と完全に置換したとき、3000Hz 4
500V 20mAの高周波電圧を上下電極に印加し
た直ちに紫色の放電が始まりプラズマ励起されるからそ
のまへ1分間通電した。処理後試料を水に浮べると電極
の範囲の大きさの部分のみ水に濡れしみこんだ水の為に
半透明となった。無処理のものは全く水がしみ込まず全
体に水がしみ込むのは1時間以上後であった。処理した
ものは0.5秒で水がしみ込んで半透明となり、これを
30回ポリエステルの実施例と同様に洗濯機で洗っても
0.8秒であり極めて強い親水性を示す。
のを試料とした。
トンを極板より稍大きく切ってシリコングリースで極板
に貼着する。下部電極の上に試料を置きガス流入口より
アルゴンガス60部ヘリウムガス40部の混合物を流入
させる。完全に混合気に置換した時に3000V、50
’00Hz、20mA、40Wの高周波電圧を上下極板
に印加する。紫色のグロ放電が起りプラズマ励起される
からその状態で5秒間通電する。その後試料を取り出し
表面の濡れを和光紬薬のダイン液で調べた。
したものは56ダインで全くはじかず親水性が著しく高
まった事を示す。
トンをシリコングリースで貼合せる。
10部ヘリウムガス90部の混合ガスを流入せしめ容器
内の空気が完全に混合ガスと置換した時、3500V、
500Hz、10mΔ、30Wの高周波電圧を上下電極
板に印加する。紫色のグロー放電が起りプラズマ励起さ
れるからその状態で2分間通電する。
分が徐々に濡れ約10秒で電極板の大きさの部分のみ透
明となる。無処理部分は換水して全く濡れを示さず白布
のまへであった。
た。これは底密度のもので熱により変形する。
板をシリコングリースで貼合せる。
入口よりアルゴンガス50部、ヘリウムガス50部の混
合ガスを流入させる。完全に空気と置換した時、1oo
OHz、4000V、l−2mA、20Wの高周波電圧
を両電極間に印加する。
の状態で8時間通電し、その後試料のポリエチレンフィ
ルムをとり出して表面の濡れを水で調べた所、プラズマ
処理した部分は完全に水に濡れ他の部分は換水して受は
付けない。また水性の万年筆ではじく事なく字を書くこ
とが出来た。
トンをシリコングリースで貼合せた。
ス80部、ヘリウムガス20部の混合ガスを流入する。
O,QOOHz、30mA、80Wの高周波電圧を上下
極板に印加する。赤紫色のグロー放電が起り、プラズマ
励起されるから、その状態で1分間通電する。
分が電極板の大きさ丈は直ちに濡れて透明になる。無処
理の部分はそのま\の白布であった。たぐしかなり熱に
よる変形があり静置した状態では周波数100,000
Hzが限界という感じがした。水に浸すと処理したもの
は0.5秒、無処理は60分。
ETフィルムをシリコングリースで貼合せlこ。
、ガス流入口よりアルゴンガス50部、ヘリウムガス5
0部の混合ガスを流入せしめ、容器内の空気が完全に混
合ガスに置き代った時、1000 Hz 、 3000
V、30mA、60Wの高周波電圧を上下電極板に印
加する。
\1分間通電した。
に水に濡れ透明な感じに変化し、未地理部分はそのま〜
大きい換水性全示し、全く水に濡れることはなかった。
さのみ水に濡れ、他は白布のまkであった。これを乾燥
し、電気洗濯機で中性洗剤を用いて洗濯す〜ぎ、乾燥を
くり返したが30回おってもその効果は不変である。処
理したものは0.1秒、無処理は24時間実施例19 ナイロン100%の白布を試料とした。
トンをシリコングリースにて貼合せた。
50部、ヘリウムガス45部、アセトン5部の混合ガス
を流入させた。尚アセトンはガス洗浄瓶に300mρ入
れたものにヘリウムガスを通じヘリウムガスをアセトン
層に泡としてくぐらせて十分アセトンを飽和させた。洗
浄瓶は25°C〜260°Cに加温し蒸発による冷却を
最小限にと望めた。この条件でヘリウムガスとアセトン
の混合ガスはガスクロマトグラフの測定で9.8%〜1
0.4%、平均10%のアセトンを含んでいた。
500V、20mA、60Wの高周波電圧を上下極板に
印加した。直ちに青色のグロー放電が起り、プラズマ励
起されるからこのま\1分間通電した。グロー放電は極
めて安定であった。
極めて親水性が犬きく、水に浮べた時にその部分丈は透
明に近くなり歴然とした差を示した。
を試料とした。
板をシリマングリースにて貼合せる。
ス70部、ヘリウムガス32部、アセトン8部の混合物
を流入させる。これはガス洗浄瓶にヘリウムガスを通し
アセトンを飽和させて混合ガスとするが、ガス洗浄瓶を
35℃に加温するとガスクロマトグラフで測定したとき
約20%のアセトン濃度となった。アセトンの量は30
0m4である。容器中の空気力完全に混合ガスち置換し
たとき、5000Hz、2800V、20mA。
の状態で3秒間通電する。
はじく事なく字を書くことが出来る。未処理部分は水性
サインペンでは全く字を書くことはできない。たぐガス
流出口部分にアセトンの液状になった滴を認め、これ以
上アセトンをいれても装置を加温しない限り不可である
。
図を示し、第21は本発明で用いる大気圧プラズマ表面
処理を連続して行う装置の1例の断面図を示す。 手続補正書(師) 平成2年11月15日 特許庁長官 植 松 敏 殿 1、事件の表示 平成2年特許願第187215号 2、発明の名称 大気圧プラズマ表″面処理法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 4、代理人 〒107 5、補正命令の日付 なし 6、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 (1) 明細書14頁4行の「レン」と「等」の間に、 「、弗素系樹脂」 を加入する。 (2) 同29頁9行に「56ダイン」とあるに続け、
改行して下記の記載を加入する。 「実施例21 クロロトリフレオロエチレン(ダイキン工業株式会社
ネオフロンCTFE)のフィルムで100ミクロンの厚
みのものを試料とした。 プラズマ反応容器の上下電極板に0.5mm厚のセラミ
ック板をゴム系の接着剤で張り合わせ、下部電極板の上
に」−2試料を置きガス流入口よりアルゴンカス995
部、アセトン0.5部(容量部)の混合ガスを流入させ
る。 完全に容器中の空気が混合カスに置換した時、上下電極
に3000Hz 4500Vの電圧を引加する。美し
い青白色のグロー放電が起こりプラズマ励起される。 電流は20mA、出力は80Wてあった。30秒間放電
をつづけ、取り出して表面の接着性を次のようにして調
べた。 2液性のエポキシ接着剤(市販のコニン製10分間硬化
)を使用して無処理のネオフロンCTFEと本実施例に
よって処理されたものをカラス板に接着した。1時間放
置して接着力を調べた所、無処理のフィルムは全(接着
していないが処理された本実施例のフィルムは極めて強
く接着した。 実施例22 テトラフルオロエチレンーパーフルオロアルキルヒニー
ルエーテル共重合体は別名テフロンPFAとも呼ばれる
が試験にはダイキン工業製のネオフロンPFAを使用し
た。 このフィルムは撥水、撥油性が強く、接着も出来ないが
100ミクロンの厚みのものを実施例21と同様にプラ
ズマ処理を行った。但し、アルゴン99部、アセトン1
部(容量部)、5000 Hz、4000Vに設定した
。処理したものは実施例21と全く同様に著しい接着性
を示した。 実施例23 テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共
重合体は別名テフロンFEPとも呼ばれるが試験にはダ
イキン工業製のネオフロンFEPを使用した。これを厚
み50ミクロンのフィルムにしたものを試料とし実施例
21に準じてプラズマ処理を行なった。ただしアルゴン
ガスとアセトンの割合はアルゴン98部、アセトン2部
とし1000Hz 5000vで放電させた。なお電
流は15mA。 出力は60Wであった。 無処理のフィルムは極めて撥水撥油性が強く、水性のイ
ンキ、油性のインキすべてはじいて字を書く事が出来な
いが処理したものは撥水撥油性とも消失しいずれのイン
キを使用しても書く事が出来るようになる。もちろん接
着性も著しく向上した。 実施例24 テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体(ダイキン
工業製 ネオフロンETFE)も実施例23と全く同様
に処理を行ったが無処理のものと比較した結果は実施例
23の結果と同様であった。」 手続補正書印発) 平成3年2月5 日 特許庁長官 植 松 敏 殿 1.事件の表示 平成2年特許@@187215号 2、発明の名称 大気圧プラズマ表面処理法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 4、代理人 明細書9頁8行に [ことができる。 」 とある に統け、 改行して、 「なお、上記アセトンの代りに、必要に応し、MEKや
MIBKのような低級アルキルケトンを用いてもよい。 J を加入する。
Claims (15)
- 1.対向する電極の少くとも一方の電極の表面に固体誘
電体を配設してなる誘電体被覆電極を有するプラズマ反
応装置に気体を導入し、大気圧下プラズマ励起を行って
、対向する電極の間に位置する被処理体の表面処理を行
う表面処理法において、 導入する気体がアルゴン並びにヘリウム及び/またはア
セトンから本質的になる気体組成物であることを特徴と
する大気圧プラズマ表面処理法。 - 2.該気体組成物がアルゴン90〜10容量%及びヘリ
ウム10〜90容量%から本質的になる特許請求の範囲
第1項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - 3.該気体組成物がアルゴン80〜20容量%及びヘリ
ウム20〜80容量%から本質的になる特許請求の範囲
第2項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - 4.該気体組成物がアルゴン60〜40容量%及びヘリ
ウム40〜60容量%から本質的になる特許請求の範囲
第2項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - 5.該気体組成物がアルゴン90〜10容量%、ヘリウ
ム0〜89.9容量%及びアセトン0.1〜20容量%
から本質的になる特許請求の範囲第1項記載の大気圧プ
ラズマ表面処理法。 - 6.該気体組成物がアルゴン80〜20容量%、ヘリウ
ム19〜65容量%及びアセトン1〜15容量%から本
質的になる特許請求の範囲第5項記載の大気圧プラズマ
表面処理法。 - 7.該基体組成物がアルゴン60〜40容量%、ヘリウ
ム30〜59容量%及びアセトン1〜10容量%から本
質的になる特許請求の範囲第5項記載の大気圧プラズマ
表面処理法。 - 8.該気体組成物がアルゴン99.9〜10容量%及び
アセトン0.1〜90容量%から本質的になる特許請求
の範囲第1項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - 9.該気体組成物がアルゴン99〜80容量%及びアセ
トン1〜20容量%から本質的になる特許請求の範囲第
8項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - 10.プラズマ励起を行うための交流電源の周波数が2
00〜100,000Hzである特許請求の範囲第1項
記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - 11.プラズマ励起を行うための交流電源の周波数が1
,000〜10,000Hzである特許請求の範囲第1
0項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - 12.被処理体の材質が合成高分子材料である特許請求
の範囲第1項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - 13.被処理体がプラスチツクフイルムである特許請求
の範囲12項記載の大気圧プラズマ表面処理法。 - 14.プラスチツクフイルムが熱収縮性プラスチツクフ
イルムである特許請求の範囲第13項記載の大気圧プラ
ズマ表面処理法。 - 15.被処理体が合成繊維又は合成繊維布である特許請
求の範囲第12項記載の大気圧プラズマ表面処理法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2187215A JP3063769B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 大気圧プラズマ表面処理法 |
CA002047147A CA2047147C (en) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | Atmospheric pressure plasma surface treatment process |
KR1019910012162A KR0169490B1 (ko) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | 대기압 플라즈마 표면 처리 방법 |
DE69128502T DE69128502T2 (de) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Plasma-Oberflächenbehandlungsverfahren bei normalem Druck |
EP91306432A EP0467639B1 (en) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Atmospheric pressure plasma surface treatment process |
US07/731,314 US5124173A (en) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Atmospheric pressure plasma surface treatment process |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2187215A JP3063769B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 大気圧プラズマ表面処理法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0474525A true JPH0474525A (ja) | 1992-03-09 |
JP3063769B2 JP3063769B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=16202089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2187215A Expired - Fee Related JP3063769B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 大気圧プラズマ表面処理法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5124173A (ja) |
EP (1) | EP0467639B1 (ja) |
JP (1) | JP3063769B2 (ja) |
KR (1) | KR0169490B1 (ja) |
CA (1) | CA2047147C (ja) |
DE (1) | DE69128502T2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0785997A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-03-31 | Ii C Kagaku Kk | 大気圧グロ−放電プラズマ処理法 |
JPH07245192A (ja) * | 1993-05-14 | 1995-09-19 | Seiko Epson Corp | 表面処理方法及びその装置、半導体装置の製造方法及びその装置、並びに液晶ディスプレイの製造方法 |
JP2002159845A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-04 | Konica Corp | 表面処理方法 |
JP2004165145A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-06-10 | Fuji Photo Film Bv | 大気圧グロープラズマ(apg)によって基体を処理するための方法および装置 |
JP2005154523A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面改質方法および該表面改質方法で改質した樹脂材を接着した接着体 |
JP2012140171A (ja) * | 2011-01-06 | 2012-07-26 | Kagawa Prefecture | 包装袋用材料の製造方法、製造装置及び包装袋 |
JP5025043B2 (ja) * | 1999-03-24 | 2012-09-12 | ユィロス・パテント・アクチボラグ | 表面およびその製造および使用 |
JP2015227893A (ja) * | 2015-09-16 | 2015-12-17 | 株式会社センテック | 測定方法 |
JP6150094B1 (ja) * | 2016-01-18 | 2017-06-21 | 積水化学工業株式会社 | フッ素系樹脂フィルムの表面処理装置及び方法 |
WO2017126191A1 (ja) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 積水化学工業株式会社 | フッ素系樹脂フィルムの表面処理装置及び方法 |
Families Citing this family (59)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE68922244T2 (de) * | 1988-06-06 | 1995-09-14 | Japan Res Dev Corp | Verfahren zur Durchführung einer Plasmareaktion bei Atmosphärendruck. |
US5399832A (en) * | 1991-08-05 | 1995-03-21 | Kimoto Co., Ltd. | Process and apparatus for using atmospheric-pressure plasma reactions |
US5236636A (en) * | 1991-10-07 | 1993-08-17 | Ford Motor Company | In-mold plasma treatment |
US5283467A (en) * | 1992-06-05 | 1994-02-01 | Eaton Corporation | Heat sink mounting system for semiconductor devices |
US5344701A (en) * | 1992-06-09 | 1994-09-06 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Porous supports having azlactone-functional surfaces |
US5686050A (en) * | 1992-10-09 | 1997-11-11 | The University Of Tennessee Research Corporation | Method and apparatus for the electrostatic charging of a web or film |
JPH06123062A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-06 | Ii C Kagaku Kk | 獣毛の改質法 |
JP3421954B2 (ja) * | 1992-12-18 | 2003-06-30 | 株式会社ダイオー | オゾン層破壊物質の処理方法 |
JP3286816B2 (ja) * | 1992-12-24 | 2002-05-27 | イーシー化学株式会社 | 大気圧グロ−放電プラズマ処理法 |
US5589280A (en) * | 1993-02-05 | 1996-12-31 | Southwall Technologies Inc. | Metal on plastic films with adhesion-promoting layer |
CZ281826B6 (cs) * | 1993-10-27 | 1997-02-12 | Masarykova Univerzita V Brně Katedra Fyzikální Elektroniky Přírod. Fakulty | Způsob bělení a zvyšování adheze vlákenných materiálů k barvivům |
FR2713667B1 (fr) * | 1993-12-15 | 1996-01-12 | Air Liquide | Procédé et dispositif de dépôt à basse température d'un film contenant du silicium sur un substrat non métallique. |
FR2713666B1 (fr) * | 1993-12-15 | 1996-01-12 | Air Liquide | Procédé et dispositif de dépôt à basse température d'un film contenant du silicium sur un substrat métallique. |
EP0735901A1 (en) * | 1993-12-22 | 1996-10-09 | Schering-Plough Healthcare Products, Inc. | Soft polysiloxanes having a pressure sensitive adhesive |
US5476665A (en) * | 1994-04-13 | 1995-12-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Azlactone functional particles incorporated in a membrane formed by solvent phase inversion |
US5585147A (en) * | 1994-06-28 | 1996-12-17 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Process for a surface treatment of a glass fabric |
US5955174A (en) * | 1995-03-28 | 1999-09-21 | The University Of Tennessee Research Corporation | Composite of pleated and nonwoven webs |
WO1997013266A2 (en) * | 1995-06-19 | 1997-04-10 | The University Of Tennessee Research Corporation | Discharge methods and electrodes for generating plasmas at one atmosphere of pressure, and materials treated therewith |
US5660639A (en) * | 1995-10-17 | 1997-08-26 | Ford Motor Company | Method and apparatus for plasma treating an article |
US5792517A (en) * | 1996-04-25 | 1998-08-11 | Japan Vilene Company | Process for treating the outer-inner surfaces of a porous non-conductor |
US5968377A (en) * | 1996-05-24 | 1999-10-19 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Treatment method in glow-discharge plasma and apparatus thereof |
DE69819140T2 (de) | 1997-03-28 | 2004-08-26 | Asahi Glass Co., Ltd. | Fluorharzfilme, Laminat, das unter Verwendung desselben hergestellt ist, und Verfahren zur Herstellung eines Laminats |
KR19990040319A (ko) * | 1997-11-17 | 1999-06-05 | 성재갑 | 고분자 표면의 이온 입자 조사에 의한 미세 기공 막의 제조 |
US6187391B1 (en) * | 1997-12-26 | 2001-02-13 | Agency Of Industrial Science & Technology | Method for modifying one surface of textile fabric or nonwoven fabric |
FR2782837B1 (fr) * | 1998-08-28 | 2000-09-29 | Air Liquide | Procede et dispositif de traitement de surface par plasma a pression atmospherique |
DE19842095A1 (de) * | 1998-09-15 | 2000-03-16 | Miele & Cie | Anwendung des Verfahrens, Werkstoffe aus Kunststoff durch Fluorierung oder Plasma-Behandlung in ihren Eigenschaften zu verbessern |
NL1010287C2 (nl) | 1998-10-09 | 2000-04-11 | Fuji Photo Film Bv | Werkwijze voor de behandeling van een fotografische drager met een atmosferische druk gloeiontlading. |
US6228438B1 (en) * | 1999-08-10 | 2001-05-08 | Unakis Balzers Aktiengesellschaft | Plasma reactor for the treatment of large size substrates |
SE9904802D0 (sv) * | 1999-12-23 | 1999-12-23 | Amersham Pharm Biotech Ab | Microfluidic surfaces |
EP1124008A1 (en) * | 2000-02-11 | 2001-08-16 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Method for treating cellulosic fibres |
EP1162646A3 (en) * | 2000-06-06 | 2004-10-13 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Plasma treatment apparatus and method |
US6441554B1 (en) | 2000-11-28 | 2002-08-27 | Se Plasma Inc. | Apparatus for generating low temperature plasma at atmospheric pressure |
KR100408604B1 (ko) * | 2000-12-07 | 2003-12-06 | 주식회사제4기한국 | 대기압 플라즈마를 이용한 정밀세정과 표면개질방법 및 그장치 |
EP2233605B1 (en) * | 2000-12-12 | 2012-09-26 | Konica Corporation | Optical film comprising an anti-reflection layer |
SK6292001A3 (en) * | 2001-05-04 | 2002-11-06 | Mirko Cernak | Method and device for the treatment of textile materials |
US20030015505A1 (en) * | 2001-07-19 | 2003-01-23 | Skion Corporation | Apparatus and method for sterilization of articles using capillary discharge atmospheric plasma |
DE10149834A1 (de) * | 2001-10-09 | 2003-04-17 | Nexans | Verfahren zum Beschichten eines Formkörpers aus polymerem Material |
US20050214442A1 (en) * | 2001-11-27 | 2005-09-29 | Anders Larsson | Surface and its manufacture and uses |
JP3908036B2 (ja) * | 2002-01-10 | 2007-04-25 | 株式会社小糸製作所 | 反射鏡製造方法及び反射鏡製造装置 |
TWI315966B (en) * | 2002-02-20 | 2009-10-11 | Panasonic Elec Works Co Ltd | Plasma processing device and plasma processing method |
EP1507281B1 (en) * | 2003-08-14 | 2007-05-16 | Fuji Film Manufacturing Europe B.V. | Arrangement, method and electrode for generating a plasma |
US20050150528A1 (en) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Lg Electronics Inc. | Dish washing machine |
JP2005223167A (ja) * | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 親水性処理方法及び配線パターンの形成方法 |
SI22048A (sl) * | 2005-06-02 | 2006-12-31 | Institut "Jozef Stefan" | Metoda in naprava za lokalno funkcionalizacijo polimernih materialov |
EP1741826A1 (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-10 | Nederlandse Organisatie voor Toegepast-Natuuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Method for depositing a polymer layer containing nanomaterial on a substrate material and apparatus |
TW200814170A (en) * | 2006-09-13 | 2008-03-16 | Ind Tech Res Inst | Method of adjusting surface characteristic of a substrate |
TWI333519B (en) * | 2006-09-13 | 2010-11-21 | Ind Tech Res Inst | Processing method of polymer product |
US20080113103A1 (en) * | 2006-11-10 | 2008-05-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Halogen treatment of polymer films using atmospheric plasma |
JP4261590B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2009-04-30 | 株式会社日立エンジニアリング・アンド・サービス | 無接着剤アラミド−ポリエステル積層体、その製造方法及び製造装置 |
US8029105B2 (en) * | 2007-10-17 | 2011-10-04 | Eastman Kodak Company | Ambient plasma treatment of printer components |
WO2009105072A1 (en) * | 2008-02-22 | 2009-08-27 | Carrier Corporation | Cermet as a dielectric in a dielectric barrier discharge device |
JP4402734B1 (ja) * | 2008-07-30 | 2010-01-20 | 株式会社日立エンジニアリング・アンド・サービス | 無接着剤アラミド−ポリフェニレンサルファイド積層体の製造方法、回転電機の絶縁部材及び絶縁構造 |
US8221938B2 (en) * | 2008-08-08 | 2012-07-17 | GM Global Technology Operations LLC | Method of making a stable hydrophilic coating/surface on carbon-based materials for fuel cell applications |
IT1398167B1 (it) * | 2010-02-16 | 2013-02-14 | Rovero | Processo di tintura a stoccaggio (pad-batch) di articoli tessili comprendente una fase di trattamento con gas ionizzato o plasma. |
KR101236210B1 (ko) * | 2010-11-21 | 2013-02-22 | 위순임 | 탄소섬유 가공장치 |
US20140322512A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-10-30 | Quynh Pham | Core-sheath fibers and methods of making and using same |
JP2017045714A (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-02 | 東洋製罐グループホールディングス株式会社 | 高周波誘電加熱方法 |
JP6421962B1 (ja) * | 2017-08-09 | 2018-11-14 | 春日電機株式会社 | 表面改質装置 |
CN110172767B (zh) * | 2019-04-11 | 2020-10-13 | 湖北枫树线业有限公司 | 一种1313纱线的纺纱设备及纺纱方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE756041A (fr) * | 1969-09-16 | 1971-02-15 | Du Pont | Pellicule adhesive de polymere fluore et procede |
US3959567A (en) * | 1974-09-12 | 1976-05-25 | Surface Activation Corporation | Method and apparatus for making laminates |
AU549376B2 (en) * | 1983-02-25 | 1986-01-23 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Plasma treatment |
DE3337763A1 (de) * | 1983-10-18 | 1985-05-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Verfahren und vorrichtung zur oberflaechenmodifizierung der poreninnenwaende von membranen |
USH688H (en) * | 1988-06-16 | 1989-10-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for surface modification of polyethylene terephthalate film |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP2187215A patent/JP3063769B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-07-16 CA CA002047147A patent/CA2047147C/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-07-16 KR KR1019910012162A patent/KR0169490B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1991-07-17 US US07/731,314 patent/US5124173A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-07-17 EP EP91306432A patent/EP0467639B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-07-17 DE DE69128502T patent/DE69128502T2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07245192A (ja) * | 1993-05-14 | 1995-09-19 | Seiko Epson Corp | 表面処理方法及びその装置、半導体装置の製造方法及びその装置、並びに液晶ディスプレイの製造方法 |
JPH0785997A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-03-31 | Ii C Kagaku Kk | 大気圧グロ−放電プラズマ処理法 |
JP5025043B2 (ja) * | 1999-03-24 | 2012-09-12 | ユィロス・パテント・アクチボラグ | 表面およびその製造および使用 |
JP2002159845A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-04 | Konica Corp | 表面処理方法 |
JP2004165145A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-06-10 | Fuji Photo Film Bv | 大気圧グロープラズマ(apg)によって基体を処理するための方法および装置 |
JP2005154523A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面改質方法および該表面改質方法で改質した樹脂材を接着した接着体 |
JP4558306B2 (ja) * | 2003-11-21 | 2010-10-06 | 積水化学工業株式会社 | 表面改質方法および該表面改質方法で改質した樹脂材 |
JP2012140171A (ja) * | 2011-01-06 | 2012-07-26 | Kagawa Prefecture | 包装袋用材料の製造方法、製造装置及び包装袋 |
JP2015227893A (ja) * | 2015-09-16 | 2015-12-17 | 株式会社センテック | 測定方法 |
JP6150094B1 (ja) * | 2016-01-18 | 2017-06-21 | 積水化学工業株式会社 | フッ素系樹脂フィルムの表面処理装置及び方法 |
WO2017126191A1 (ja) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 積水化学工業株式会社 | フッ素系樹脂フィルムの表面処理装置及び方法 |
CN108291045A (zh) * | 2016-01-18 | 2018-07-17 | 积水化学工业株式会社 | 氟类树脂膜的表面处理装置及方法 |
CN108291045B (zh) * | 2016-01-18 | 2020-07-28 | 积水化学工业株式会社 | 氟类树脂膜的表面处理装置及方法 |
TWI723083B (zh) * | 2016-01-18 | 2021-04-01 | 日商積水化學工業股份有限公司 | 氟系樹脂膜之表面處理裝置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR920002680A (ko) | 1992-02-28 |
EP0467639A2 (en) | 1992-01-22 |
CA2047147A1 (en) | 1992-01-18 |
CA2047147C (en) | 2000-11-07 |
KR0169490B1 (ko) | 1999-03-20 |
US5124173A (en) | 1992-06-23 |
JP3063769B2 (ja) | 2000-07-12 |
DE69128502D1 (de) | 1998-02-05 |
DE69128502T2 (de) | 1998-07-23 |
EP0467639A3 (en) | 1992-04-22 |
EP0467639B1 (en) | 1997-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0474525A (ja) | 大気圧プラズマ表面処理法 | |
Strobel et al. | Low-molecular-weight materials on corona-treated polypropylene | |
US3274089A (en) | Surface treatment of polymeric shaped structures | |
US4297187A (en) | Surface treatment of plastic material | |
US3661735A (en) | Shaped articles having improved surface properties and corona discharge methods and apparatus for making the same | |
Sparavigna | Plasma treatment advantages for textiles | |
Mather | Surface modification of textiles by plasma treatments | |
JP2006348260A (ja) | シリコーン離型組成物及びそれを用いたシリコーン離型プラスチックフィルム | |
JPH07282794A (ja) | 電池セパレータ | |
Peng et al. | Influence of argon/oxygen atmospheric dielectric barrier discharge treatment on desizing and scouring of poly (vinyl alcohol) on cotton fabrics | |
US3309221A (en) | Surface activation of passive polymers and articles produced thereby | |
Samanta et al. | Environment-friendly textile processing using plasma and UV treatment | |
FI123827B (fi) | Pohjustamis- ja päällystysmenetelmä | |
EP0912629A1 (en) | A method of modifying the surface of a solid polymer substrate and the product obtained | |
Wang et al. | Preparation and properties of antistatic polyethylene film coated polypropylene non-woven fabrics | |
Keiko et al. | Textile performance of polyester, nylon 6 and acetate fabrics treated with atmospheric pressure plasma jet | |
Palaskar | Adhesion studies of atmospheric pressure plasma-modified polyester fabrics with polyurethane coating | |
CN100447185C (zh) | 提高高分子材料抗静电性质的表面改性方法 | |
Guragain et al. | Treatment of polypropylene by dielectric barrier discharge generated at 40 Torr | |
Shishoo | Plasma treatment—industrial applications and its impact on the C&L industry | |
El-Naggar et al. | Water resistance and surface morphology of synthetic fabrics covered by polysiloxane/acrylate followed by electron beam irradiation | |
Palaskar | Adhesion properties of polypropylene fabric treated with atmospheric pressure plasma and coated with polyurethane: Studies on ageing process | |
JP2018199319A (ja) | Cd又は/及びdlc固着基材とそれら基材を使用した製品 | |
Chen et al. | Development of a novel protocol for the permanent hydrophilic modification of a BOPP film for high quality printing with water-based ink | |
Edward et al. | Plasma-based treatments of textiles for water repellency |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090512 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090512 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100512 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |