JPH047330B2 - - Google Patents
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- JPH047330B2 JPH047330B2 JP58223164A JP22316483A JPH047330B2 JP H047330 B2 JPH047330 B2 JP H047330B2 JP 58223164 A JP58223164 A JP 58223164A JP 22316483 A JP22316483 A JP 22316483A JP H047330 B2 JPH047330 B2 JP H047330B2
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Classifications
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/50—Improvements relating to the production of bulk chemicals
- Y02P20/52—Improvements relating to the production of bulk chemicals using catalysts, e.g. selective catalysts
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、フルオロメタンの製造方法に関し、
さらに詳しくは、メチルアルコールとフツ化水素
の混合ガスをフツ化クロムはフツ化クロムを担体
と混合成型あるいはフツ化クロムを担体に担持さ
せた触媒と接触させるフルオロメタンの製造方法
に関する。
さらに詳しくは、メチルアルコールとフツ化水素
の混合ガスをフツ化クロムはフツ化クロムを担体
と混合成型あるいはフツ化クロムを担体に担持さ
せた触媒と接触させるフルオロメタンの製造方法
に関する。
従来、フルオロカーボン類の製造方法として脂
肪族ハロゲン化炭化水素をフツ化水素(HF)に
よりフツ素化し、種々のフルオロカーボン類(フ
ロン類)を製造する方法については、多数の研
究、特許が発表されている。しかし、これらの発
表において用いられているハロゲン化炭化水素
は、炭素を2つ以上有するものであるか、炭素が
1つのメタン系であつても水素を全く有しない四
塩化炭素、或いは1つ有するクロロホルムのフツ
素化に関するものであり、フルオロメタン
(CH3F、以下フロン41という)を製造する方法
については、殆ど発表がない。
肪族ハロゲン化炭化水素をフツ化水素(HF)に
よりフツ素化し、種々のフルオロカーボン類(フ
ロン類)を製造する方法については、多数の研
究、特許が発表されている。しかし、これらの発
表において用いられているハロゲン化炭化水素
は、炭素を2つ以上有するものであるか、炭素が
1つのメタン系であつても水素を全く有しない四
塩化炭素、或いは1つ有するクロロホルムのフツ
素化に関するものであり、フルオロメタン
(CH3F、以下フロン41という)を製造する方法
については、殆ど発表がない。
その主な理由は、ハロゲン化炭化水素をフツ素
化する場合、分子中の水素が多い程フツ素化の反
応性が低くなり分解又は副反応を起し易いためフ
ロン41が殆ど得られないか、若干得られたとして
も分解反応等の副反応による副生物が多く、いま
だ実用に耐え得る反応率および選択率を有する製
造方法が見出されていないためである。
化する場合、分子中の水素が多い程フツ素化の反
応性が低くなり分解又は副反応を起し易いためフ
ロン41が殆ど得られないか、若干得られたとして
も分解反応等の副反応による副生物が多く、いま
だ実用に耐え得る反応率および選択率を有する製
造方法が見出されていないためである。
したがつて、フロン41を製造するには、通常沃
化メチルにフツ化銀を作用させることによる製造
方法等、数種の方法が用いられているが、いずれ
も原材料が高価で、取扱いが複雑である等の大き
な欠点を有し、工業的な製造方法とはいえない。
化メチルにフツ化銀を作用させることによる製造
方法等、数種の方法が用いられているが、いずれ
も原材料が高価で、取扱いが複雑である等の大き
な欠点を有し、工業的な製造方法とはいえない。
一方、近時、半導体工業におけるテトラフルオ
ロメタン(CF4)を始めとして、種々の分野にお
いてフツ素を含むメタン系化合物の特異な性質が
注目されており、その一環として分子中にフツ素
一つと水素三つを含み、しかも塩素を全く含まな
いフロン41の効率的な製造方法が期待されてい
る。
ロメタン(CF4)を始めとして、種々の分野にお
いてフツ素を含むメタン系化合物の特異な性質が
注目されており、その一環として分子中にフツ素
一つと水素三つを含み、しかも塩素を全く含まな
いフロン41の効率的な製造方法が期待されてい
る。
本発明者等は、かかる期待に答えるべく、一般
に極めて困難とされているフロン41の工業的製造
方法について、広範かつ詳細な検討を重ねた結
果、フツ化クロムを主体とした触媒を用いて、メ
チルアルコールおよびHFを気相反応させること
により、フロン41が高収率で得られることを見出
した。
に極めて困難とされているフロン41の工業的製造
方法について、広範かつ詳細な検討を重ねた結
果、フツ化クロムを主体とした触媒を用いて、メ
チルアルコールおよびHFを気相反応させること
により、フロン41が高収率で得られることを見出
した。
本発明は、上記の発見に基づいてなされたもの
で、その要旨は、メチルアルコールとHFとをフ
ツ化クロム又はクロムを担体と混合成型あるいは
フツ化クロムを担体に担持させたことよりなる触
媒を用い、反応温度100〜500℃の条件で気相反応
させるフロン41の製造方法にある。
で、その要旨は、メチルアルコールとHFとをフ
ツ化クロム又はクロムを担体と混合成型あるいは
フツ化クロムを担体に担持させたことよりなる触
媒を用い、反応温度100〜500℃の条件で気相反応
させるフロン41の製造方法にある。
以下本発明を詳しく説明する。
本発明で用いるフツ化クロムはそれが三フツ化
クロムであれば、そのまま又は活性炭等の多孔質
担体粉末と混合成型あるいは活性炭等の多孔質担
体に担持させて使用する。
クロムであれば、そのまま又は活性炭等の多孔質
担体粉末と混合成型あるいは活性炭等の多孔質担
体に担持させて使用する。
また、三フツ化クロム以外のクロム化合物、例
えば、酸化クロム、水酸化クロム、塩化クロム、
硝酸クロム等で無水物或いは結晶水を有する化合
物又はクロム酸塩類をフツ素化処理して用いるこ
とが出来る。
えば、酸化クロム、水酸化クロム、塩化クロム、
硝酸クロム等で無水物或いは結晶水を有する化合
物又はクロム酸塩類をフツ素化処理して用いるこ
とが出来る。
上記クロム化合物は、単独又は混合物でもよ
く、また、三フツ化クロム以外のクロム化合物を
含有する場合には、そのまま又は担体粉末と混合
成型あるいは担体に担持させた後、適当な方法で
フツ素化処理した後、反応に用いることが望まし
い。
く、また、三フツ化クロム以外のクロム化合物を
含有する場合には、そのまま又は担体粉末と混合
成型あるいは担体に担持させた後、適当な方法で
フツ素化処理した後、反応に用いることが望まし
い。
この場合、クロム化合物の成型物又は担体粉末
と混合成型あるいは担体に担持させたものを、そ
のまま反応触媒に用い、原料メチルアルコール、
HFの混合ガスと接触させ、フロン41の生成反応
を一部ともないながら、フツ素化処理を同時に行
なわせてもよいが、反応処理とフツ素化処理の条
件とが必ずしも一致しなので、前もつてフツ素化
処理する方法が好ましい。また、フツ素化処理に
はフロン類、又はHF、あるいはこれらをN2、
He等の不活性ガスで希釈したガス等を用いるこ
とができる。
と混合成型あるいは担体に担持させたものを、そ
のまま反応触媒に用い、原料メチルアルコール、
HFの混合ガスと接触させ、フロン41の生成反応
を一部ともないながら、フツ素化処理を同時に行
なわせてもよいが、反応処理とフツ素化処理の条
件とが必ずしも一致しなので、前もつてフツ素化
処理する方法が好ましい。また、フツ素化処理に
はフロン類、又はHF、あるいはこれらをN2、
He等の不活性ガスで希釈したガス等を用いるこ
とができる。
フツ素化処理によつて得られた触媒の化学的組
成は明らかでないが、フツ素化工程においてHF
の消費が認められることから、少なくとも一部は
フツ化物となつているものと推定する。
成は明らかでないが、フツ素化工程においてHF
の消費が認められることから、少なくとも一部は
フツ化物となつているものと推定する。
本発明において選択される反応温度は、原料
HFとメチルアルコールの比率、触媒との接触時
間等の条件により異なるが、低すぎると反応率が
低下し、フロン41の生成率が低下する。また、高
すぎると、副反応が増加し、フロン41の選択率が
低下し、原料メチルアルコールのロスが増加す
る。そのため反応温度範囲としては、100〜500℃
が良く、特に150〜350℃が好ましい。
HFとメチルアルコールの比率、触媒との接触時
間等の条件により異なるが、低すぎると反応率が
低下し、フロン41の生成率が低下する。また、高
すぎると、副反応が増加し、フロン41の選択率が
低下し、原料メチルアルコールのロスが増加す
る。そのため反応温度範囲としては、100〜500℃
が良く、特に150〜350℃が好ましい。
また、原料HF、メチルアルコールの比率は、
あまりHFが少ないとフロン41が実質的に生成し
ない。HFの比率を増すことは、フロン41の生成
率を高め効果的であるが、ある比率以上になると
それ以上HFを増加してもフロン41の生成率は余
り増加せず、効果が無くなる。また未反応のHF
は廃棄又は回収処理をする必要があるので、余り
HFの比率を大きくすることは、処理の煩雑さ
と、経済的不利を招く。したがつて、HF/メチ
ルアルコールのモル比は1〜30、特に1〜10に選
ぶのが望ましい。
あまりHFが少ないとフロン41が実質的に生成し
ない。HFの比率を増すことは、フロン41の生成
率を高め効果的であるが、ある比率以上になると
それ以上HFを増加してもフロン41の生成率は余
り増加せず、効果が無くなる。また未反応のHF
は廃棄又は回収処理をする必要があるので、余り
HFの比率を大きくすることは、処理の煩雑さ
と、経済的不利を招く。したがつて、HF/メチ
ルアルコールのモル比は1〜30、特に1〜10に選
ぶのが望ましい。
また、上記反応は気相反応であるので、原料は
あらかじめ気化器等によりガス化させておく必要
がある。その操作圧力は、原料及び生成物が液化
しない範囲であれば、特に制限ないが、簡易化、
経済性の面より常圧又は僅か加圧で反応を行なわ
せることが好ましい。
あらかじめ気化器等によりガス化させておく必要
がある。その操作圧力は、原料及び生成物が液化
しない範囲であれば、特に制限ないが、簡易化、
経済性の面より常圧又は僅か加圧で反応を行なわ
せることが好ましい。
触媒と原料との接触方式は、流動床、固定床
等、特に制限はないが、装置の簡単なことから固
定床方式が好ましい。
等、特に制限はないが、装置の簡単なことから固
定床方式が好ましい。
以上述べたように本発明に係るフロン41の製造
方法は、従来、困難とされていたフロン41を選択
的に高収率で製造することが出来るので、工業的
に極めて有利な方法である。
方法は、従来、困難とされていたフロン41を選択
的に高収率で製造することが出来るので、工業的
に極めて有利な方法である。
以下、実施例を示し、本発明を更に詳しく説明
する。
する。
実施例 1
市販のCrF3、3H2O:300gを6mmφ×6mmH
のペレツト状に成型し、これをN2気流中で徐々
に加熱乾燥し約400℃に2時間保持して取出し、
三フツ化クロム触媒を得た。
のペレツト状に成型し、これをN2気流中で徐々
に加熱乾燥し約400℃に2時間保持して取出し、
三フツ化クロム触媒を得た。
この触媒100mlを内径20mm、長さ1mのハステ
ロイC製反応器に充填し、常圧下、反応器内部温
度を280℃に保ちつつ、メチルアルコール:5.36
g/hr及びHF:10.04/hrを気化器で蒸発させな
がら、気相で反応器に供給した。
ロイC製反応器に充填し、常圧下、反応器内部温
度を280℃に保ちつつ、メチルアルコール:5.36
g/hr及びHF:10.04/hrを気化器で蒸発させな
がら、気相で反応器に供給した。
系が十分安定した後、反応器出口ガスをサンプ
リング分析した。すなわち、反応器出口ガスを全
量アルカリ水溶液中に通じ、ここで未反応のフツ
化水素の全量と、有機物の一部を捕集し、捕集し
た有機物をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。又、アルカリで捕集されなかつた残りのガス
は、ガス量を流量計により測定するとともに、そ
の組成をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。
リング分析した。すなわち、反応器出口ガスを全
量アルカリ水溶液中に通じ、ここで未反応のフツ
化水素の全量と、有機物の一部を捕集し、捕集し
た有機物をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。又、アルカリで捕集されなかつた残りのガス
は、ガス量を流量計により測定するとともに、そ
の組成をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。
以上の方法により、反応器出口ガスの組成とし
て、次の値を得た。
て、次の値を得た。
フロン41 3.61g/hr
ジメチルエーテル 0.95g/hr
メチルアルコール 0.64g/hr
この結果は、供給したメチルアルコールに対
し、フロン41が63%生成し、反応したメチルアル
コールに対するフロン41の選択率はほぼ72%であ
ることを示している。
し、フロン41が63%生成し、反応したメチルアル
コールに対するフロン41の選択率はほぼ72%であ
ることを示している。
実施例 2
CrCl3・6H2O:75gを水100gに溶解した水溶
液に、N2雰囲気中で2時間乾燥した4mmφ×6
mmHのペレツト状活性炭100gを投入、混合した
後、エバポレーターで減圧乾燥して、CrCl3を活
性炭に担持させた。
液に、N2雰囲気中で2時間乾燥した4mmφ×6
mmHのペレツト状活性炭100gを投入、混合した
後、エバポレーターで減圧乾燥して、CrCl3を活
性炭に担持させた。
このCrCl3を担持した活性炭100mlを内径20mm、
長さ1mのハステロイC製反応器に充填した。
長さ1mのハステロイC製反応器に充填した。
次いでN2ガスを30ml/minの流速で流しつつ、
ヒーターにより反応器内部温度を徐々に上げ、
350℃に2時間保持して乾燥した後、そのままの
温度でHFを加え、徐々にN2ガスを停止し、HF
の消費が認められなくなつた後、HFの供給を停
止し、N2気流中で昇温し、活性炭に担持した
CrCl3をフツ素化処理した触媒を得た。
ヒーターにより反応器内部温度を徐々に上げ、
350℃に2時間保持して乾燥した後、そのままの
温度でHFを加え、徐々にN2ガスを停止し、HF
の消費が認められなくなつた後、HFの供給を停
止し、N2気流中で昇温し、活性炭に担持した
CrCl3をフツ素化処理した触媒を得た。
続いて、反応器内部温度を300℃に保ちながら
メチルアルコール:5.00g/hr、HF:9.38g/
hrを気化器で蒸発させながら、気相で反応器に供
給した。
メチルアルコール:5.00g/hr、HF:9.38g/
hrを気化器で蒸発させながら、気相で反応器に供
給した。
系が十分安定した後、反応器出口ガスをサンプ
リング分析した。すなわち、反応器出口ガスを全
量アルカリ水溶液中に通じ、ここで未反応のフツ
化水素の全量と、有機物の一部を捕集し、捕集し
た有機物をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。又、アルカリ捕集されなかつた残りのガス
は、ガス量を流量計により測定するとともに、そ
の組成をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。
リング分析した。すなわち、反応器出口ガスを全
量アルカリ水溶液中に通じ、ここで未反応のフツ
化水素の全量と、有機物の一部を捕集し、捕集し
た有機物をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。又、アルカリ捕集されなかつた残りのガス
は、ガス量を流量計により測定するとともに、そ
の組成をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。
以上の方法により、反応器出口ガスの組成とし
て、次の値を得た。
て、次の値を得た。
フロン41 3.62g/hr
ジメチルエーテル 1.00g/hr
メチルアルコール 0.20g/hr
この結果は、供給したメチルアルコールに対
し、フロン41が68%生成し、反応したメチルアル
コールに対するフロン41の選択率はほぼ71%であ
ることを示している。
し、フロン41が68%生成し、反応したメチルアル
コールに対するフロン41の選択率はほぼ71%であ
ることを示している。
実施例 3
4mmφ×4mmHのペレツト状に成型した三酸化
第二クロム100mlを内径20mm、長さ1mのハステ
ロイC製反応器中に充填した。
第二クロム100mlを内径20mm、長さ1mのハステ
ロイC製反応器中に充填した。
この反応器に、N2ガスを30ml/minの流速で
流しつつ、ヒーターにより反応器内部温度を徐々
に上げ200℃で乾燥した後、これにHFを加え、
徐々にN2ガスを停止するとともに、内部温度を
350℃まで加熱し、HFの消費が認められなくつ
たが、HFを停止し、N2気流中で降温し、三酸化
第二クロムをフツ素化処理した触媒を得た。
流しつつ、ヒーターにより反応器内部温度を徐々
に上げ200℃で乾燥した後、これにHFを加え、
徐々にN2ガスを停止するとともに、内部温度を
350℃まで加熱し、HFの消費が認められなくつ
たが、HFを停止し、N2気流中で降温し、三酸化
第二クロムをフツ素化処理した触媒を得た。
次いで反応器内部温度を280℃に保ちながら、
メチルアルコール:5.17g/hr及びHF:11.32
g/hrを気化器で蒸発させながら、気相で反応器
に供給した。
メチルアルコール:5.17g/hr及びHF:11.32
g/hrを気化器で蒸発させながら、気相で反応器
に供給した。
系が十分安定した後、反応器出口ガスをサンプ
リング分析した。すなわち、反応器出口ガスを全
量アルカリ水溶液中に通じ、ここで未反応のフツ
化水素の全量と、有機物の一部を捕集し、捕集し
た有機物をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。又、アルカリ捕集されなかつた残りのガス
は、ガス量を流量計により測定するとともに、そ
の組成をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。
リング分析した。すなわち、反応器出口ガスを全
量アルカリ水溶液中に通じ、ここで未反応のフツ
化水素の全量と、有機物の一部を捕集し、捕集し
た有機物をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。又、アルカリ捕集されなかつた残りのガス
は、ガス量を流量計により測定するとともに、そ
の組成をガスクロマトグラフイーにより分析し
た。
以上の方法により、反応器出口ガスの組成とし
て、次の値を得た。
て、次の値を得た。
フロン41 3.95g/hr
ジメチルエーテル 0.67g/hr
メチルアルコール 0.52g/hr
この結果は、供給したメチルアルコールに対
し、フロン41が72%生成し、反応したメチルアル
コールに対するフロン41の選択率はほぼ80%であ
ることを示している。
し、フロン41が72%生成し、反応したメチルアル
コールに対するフロン41の選択率はほぼ80%であ
ることを示している。
実施例 4
市販のCrCl3・3H2O:150gと粉末活性炭:
200gとを十分混合して6mmφ×6mmHのペレツ
ト状に成型し、これをN2気流中で徐々に加熱乾
燥し約400℃に2時間保持して三フツ化クロム触
媒を得た。
200gとを十分混合して6mmφ×6mmHのペレツ
ト状に成型し、これをN2気流中で徐々に加熱乾
燥し約400℃に2時間保持して三フツ化クロム触
媒を得た。
この触媒100mlを用い、実施例1と全く同じ操
作によつて反応を行なわせ、次の値を得た。
作によつて反応を行なわせ、次の値を得た。
フロン41 3.63g/hr
ジメチルエーテル 0.82g/hr
メチルアルコール 0.80g/hr
その他の副生物はわずかに見受けられる程度で
あつた。
あつた。
以上の結果は、反応したメチルアルコールに対
するフロン41の選択率は75%であつた。
するフロン41の選択率は75%であつた。
実施例 5
実施例2と全く同一の方法および割合でCrCl3
を活性炭に担持させた。
を活性炭に担持させた。
同一の反応器に充填した。
このCrCl3を担持した活性炭100mlを実施例2と
同一の装置に充填し、N2気流中350℃にて十分乾
燥した。
同一の装置に充填し、N2気流中350℃にて十分乾
燥した。
次いで、反応器内部温度を295℃に保ちつつ、
ただちに、メチルアルコール:3.64g/hr及び
HF:9.91g/hrを、気化器で蒸発させながら、
気相で反応器に供給し、反応を行なわせた。
ただちに、メチルアルコール:3.64g/hr及び
HF:9.91g/hrを、気化器で蒸発させながら、
気相で反応器に供給し、反応を行なわせた。
反応器出口ガス全量をアルカリ水溶液に通じ、
ここで未反応のフツ化水素の全量と、有機物の一
部を捕集し、捕集した有機物とアルカリにより捕
集されなかつた残りこガスをガスクロマトグラフ
イーにより分析した結果、当初1時間のメチルア
ルコールの反応率は低く、フロン41はあまり得ら
れなかつた。
ここで未反応のフツ化水素の全量と、有機物の一
部を捕集し、捕集した有機物とアルカリにより捕
集されなかつた残りこガスをガスクロマトグラフ
イーにより分析した結果、当初1時間のメチルア
ルコールの反応率は低く、フロン41はあまり得ら
れなかつた。
しかし、24時間経過後は供給したメチルアルコ
ールに対しフロン41が約65%生成した。
ールに対しフロン41が約65%生成した。
又、この時、副反応生成物の発生はわずかであ
つた。
つた。
以上述べたように本発明の方法は、メチルアル
コールに対してフロン41を高収率で得ることが出
来る。
コールに対してフロン41を高収率で得ることが出
来る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 メチルアルコールとフツ化水素とを、フツ化
クロム又はフツ化クロムを担体と混合成型あるい
はフツ化クロムを担体に担持させたことによりな
る触媒を用い、反応温度100〜500℃の条件で気相
反応させることを特徴とするフルオロメタンの製
造方法。 2 フツ化クロムが三フツ化クロムである特許請
求の範囲第1項記載のフルオロメタンの製造方
法。 3 フツ化クロムがクロム化合物をフツ素化処理
してなるものである特許請求の範囲第1項記載の
フルオロメタンの製造方法。 4 担体が活性炭である特許請求の範囲第1項記
載のフルオロメタンの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58223164A JPS60115537A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | フルオロメタンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58223164A JPS60115537A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | フルオロメタンの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60115537A JPS60115537A (ja) | 1985-06-22 |
JPH047330B2 true JPH047330B2 (ja) | 1992-02-10 |
Family
ID=16793797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58223164A Granted JPS60115537A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | フルオロメタンの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60115537A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005053901A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-03-03 | Showa Denko Kk | フルオロメタンと塩化水素との共沸混合物およびフルオロメタンの精製方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110204414A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-09-06 | 福建省杭氟电子材料有限公司 | 一种一氟甲烷的制备方法 |
-
1983
- 1983-11-29 JP JP58223164A patent/JPS60115537A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005053901A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-03-03 | Showa Denko Kk | フルオロメタンと塩化水素との共沸混合物およびフルオロメタンの精製方法 |
JP4574259B2 (ja) * | 2003-07-24 | 2010-11-04 | 昭和電工株式会社 | フルオロメタンの精製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60115537A (ja) | 1985-06-22 |
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