JP4574259B2 - フルオロメタンの精製方法 - Google Patents
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Description
がある。)と塩化水素(以下、「HCl」と称することがある。)との共沸混合物、フルオロメタンの精製方法およびその用途に関する。
などは半導体用エッチングガスとして有用な化合物である。
とHFとを、フッ素化触媒(フッ化クロム)を用いて、反応温度100〜400℃の条件で気相反応させることにより、HFC−41を製造する方法が開示されている。しかし、この方法では、下記式1に示す平衡反応が生じること、ならびにHFC−41(大気圧下の沸点:−78.5℃)と塩化水素(大気圧下の沸点:−84.9℃)との沸点が近いため分離が難しいことなどの課題を有している。
[1] フルオロメタンと塩化水素との共沸混合物。
[2] フロオロメタンと塩化水素とを含む混合物を蒸留し、蒸留塔の塔頂からフルオロメタンを留出させ、蒸留塔の塔底からフルオロメタンと塩化水素との共沸混合物を得ることを特徴とするフルオロメタンの精製方法。
[3] 0.1〜10.0MPaの範囲の操作圧力において蒸留することを特徴とする[2]に記載のフルオロメタンの精製方法。
[4] 前記蒸留塔の塔頂から留出させたフルオロメタン中に含まれる塩化水素濃度が20wtppm以下であることを特徴とする[2]または[3]に記載のフルオロメタンの精製方法。
[5] 前記蒸留塔の塔頂から留出させたフルオロメタンを、水および/またはアルカリを含む処理剤に接触させて、塩化水素を含む酸成分を除去する工程を含むことを特徴とする[2]〜[4]のいずれかに記載のフルオロメタンの精製方法。
[6] [2]〜[5]のいずれかに記載の方法により得られるフルオロメタンであって、塩化水素濃度が1.0wtppm以下であるフルオロメタンを含むことを特徴とするフルオロメタン製品。
[7] [6]に記載のフルオロメタン製品を含むことを特徴とするエッチングガス。
HFC−41とHClは共沸混合物を形成する。大気圧下において、HFC−41の沸点は−78.5℃であり、HClの沸点は−84.9℃であり、この共沸混合物の沸点は約−73℃であることから、HFC−41とHClは最高共沸混合物を形成する。大気圧下における共沸組成は、HFC−41が約55モル%、HClが約45モル%である。また、他の圧力、たとえば2.0MPaにおいては、共沸混合物の沸点は約4℃であり、共沸組成はHFC−41が約53モル%、HClが約47モル%である。
物を得ることを特徴とする。本発明の方法により、HClを実質的に含まないHFC−41、具体的にはHCl濃度が20wtppm以下のHFC−41を効率的に得ることができる。なお、HFC−41とHClとの混合物中のHCl濃度が共沸組成より大きい場合には、水洗浄などによりHCl濃度を低減させておくことが必要である。
温度250℃で気相反応させ、HFC−41、HCl、CH3Cl、HFおよび微量の有
機不純物を含む反応生成物を得る。得られた反応生成物から、蒸留などにより塩化メチルおよびHFを除去し、主としてHFC−41およびHClを含む混合物(1)を得る。
スおよび混合ガスともに「フルオロメタン製品」と称する。)は、半導体デバイス製造プロセスのエッチング工程において使用されるエッチングガスとして用いることができる。
以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
塔底留出物については、吸収液として純水を入れたガス洗浄ビンに留出ガスを流通させ、吸収液を容量分析用水酸化ナトリウムで中和滴定することにより、留出ガス中のHClを定量し、ガス洗浄ビン出口ガスの体積を測定することによりHFC−41を定量して、これらの結果から組成比を求めた。
装置:島津製作所製HIC−SP
カラム:昭和電工(株)製Shodex IC SI−90 4E
(フルオロメタンの精製)
凝縮器を備えた直径150mmφ、理論段数20段(実段数36段)の蒸留塔を用いて、HFC−41およびHClからなる混合物(組成はモル比でHFC−41/HCl=80/20)を、常温で理論段数10段目に34.4g/hで供給し、操作圧力約2.0MPaで蒸留操作を行った。塔頂温度を−5℃になるように制御し、塔頂および塔底から、留出物をそれぞれ18.7g/hおよび15.7g/hで抜き出した。この蒸留操作において、還流比は10となるように制御した。蒸留塔内が安定した後、塔底留出物をサンプリングして組成を分析したところ、HFC−41とHClとのモル比は55/45(HFC−41/HCl)であった。同様に、塔頂留出物をサンプリングして組成を分析したところ、HFC−41中のHCl濃度は10wtppmであった。
2 蒸留塔
3 塔頂留出物
4 再沸蒸気
5 塔底留出物
6 酸成分処理装置
7 高純度フルオロメタン
Claims (4)
- フロオロメタンと塩化水素とを含む混合物を蒸留し、蒸留塔の塔頂からフルオロメタンを留出させ、蒸留塔の塔底からフルオロメタンと塩化水素との共沸混合物を得ることを特徴とするフルオロメタンの精製方法。
- 0.1〜10.0MPaの範囲の操作圧力において蒸留することを特徴とする請求項1に記載のフルオロメタンの精製方法。
- 前記蒸留塔の塔頂から留出させたフルオロメタン中に含まれる塩化水素濃度が20wtppm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のフルオロメタンの精製方法。
- 前記蒸留塔の塔頂から留出させたフルオロメタンを、水および/またはアルカリを含む処理剤に接触させて、塩化水素を含む酸成分を除去する工程を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のフルオロメタンの精製方法。
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