JPH0458274B2 - - Google Patents

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JPH0458274B2
JPH0458274B2 JP62089848A JP8984887A JPH0458274B2 JP H0458274 B2 JPH0458274 B2 JP H0458274B2 JP 62089848 A JP62089848 A JP 62089848A JP 8984887 A JP8984887 A JP 8984887A JP H0458274 B2 JPH0458274 B2 JP H0458274B2
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JP
Japan
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electrodes
power supply
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electrostatic
attracted
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Abisare Co Ltd
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N13/00—Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/15—Devices for holding work using magnetic or electric force acting directly on the work
    • B23Q3/154—Stationary devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/002—Magnetic work holders

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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
  • Discharging, Photosensitive Material Shape In Electrophotography (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は静電保持装置に係り、特に絶縁基層
と一組の電極と吸着層とを順次に積層した吸着板
を設けるとともに前記一組の電極に直流電を供給
して前記吸着層に静電的吸引力を生じさせる電源
部を設けた静電保持装置において、被吸着物を大
きな吸引力により安定して保持し得る静電保持装
置に関する。
〔従来の技術〕
静電気のクーロン力を利用して被吸着物を吸引
保持する静電保持装置は、絶縁基層と一組の電極
と吸着層とを順次に積層した吸着板を設けるとと
もに、前記一組の電極に直流電源を供給する電源
を設けている。この静電保持装置は、電源部から
一組の電極に直流電源を供給し、この導通により
前記一組の電極にそれぞれ正負の電荷を付与して
吸着層を誘電し、この吸着層の静電的な吸引力に
より被吸着物を吸着して保持するものである。
このような静電保持装置としては、特公昭55−
20830号公報、特公昭57−58872号公報等に開示さ
れている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところが、これら従来の静電保持装置は、吸着
板に吸着保持した被吸着物の吸着位置に変更し、
あるいは別異の被吸着物を吸着保持すべく被吸着
物を吸着板から剥脱すると、吸引力が弱まる不都
合があつた。
このため、吸着板から被吸着物を剥脱して新た
に吸着保持させる際には、充分な吸引力を発揮し
得ず、被吸着物を安定して保持し得ない問題があ
つた。
〔発明の目的〕
そこでこの発明の目的は、絶縁基層と一組の電
極と吸着層とを順次に積層した吸着板を設けると
ともに前記一組の電極に直流電源を供給して前記
吸着層に静電的吸引力を生じさせる電源部を設け
た静電保持装置において、被吸着物を剥脱して新
たに吸着保持させる際の吸引力の弱化を防止して
大きな吸引力により安定して保持し得る静電保持
装置を実現することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
この目的を達成するためにこの発明は、絶縁基
層４と、導通により夫々正負の電荷を付力される
一組の電極６，８と、この一組の電極６，８によ
り誘電され静電的吸引力により被吸着物２０を吸
着する吸着層１０と、を順次に積層した吸着板１
２を設けるとともに前記一組の電極６，８に直流
電源を供給して前記吸着層１０に静電的吸引力を
生じさせる電源部１４を設けた静電保持装置２に
おいて、前記吸着層１０に吸着保持された前記被
吸着物２０を剥脱して新たに被吸着物２０を吸着
保持させる際に導通状態から一旦非導通状態を経
て前記一組の電極６，８に夫々正負逆の電荷を付
与する導通状態とすべく直流電源を切換える切換
スイツチ１６と前記電源部１４とからなる電源回
路１８を設けたことを特徴とする。
〔作用〕
この発明の構成によれば、電源回路１８の切換
スイツチ１６によつて、導通状態から一旦非導通
状態を経て一組の電極６，８に夫々正負逆の電荷
を付与する導通状態とすべく電源部１４の直流電
源を切換えるので、導通状態から非導通状態とす
ることにより非吸着物２０の剥脱を容易にし得
て、また、この非導通状態を経て正負逆の電荷を
付力する導通状態とすることにより新たに大きな
吸引力を生じさせ、この新たに生じた大きな吸引
力で被吸着物２０を吸着保持することができる。
〔実施例〕
次にこの発明の一実施例を図に基づいて詳細に
説明する。
第１〜５図は、この発明の実施例を示すもので
ある。図において、２は静電保持装置であり、絶
縁基層４と、導通により夫々正負の電荷を付与さ
れる櫛歯状に配設した一組の電極６，８と、この
一組の電極６，８により誘電されて静電的吸引力
により被吸着物２０を吸着保持する吸着層１０と
を、第１，２図の如く順次に積層した吸着板１２
を設けている。また、静電保持装置２は、前記一
組の電極６，８に直流電源を供給して導通するこ
とにより、吸着層１０に静電的吸引力を生じさせ
る電源部１４を設けている。
静電保持装置２は、第３図の如く、電源部１４
から吸着板１２の一組の電極６，８に直流電源を
供給して導通することにより、夫々正負の電荷を
付与する。この一組の電極６，８により吸着層１
０は誘電されるので、被吸着物２０を接触させる
と、被吸着物２０の前記各電極６，８と対向する
部位に夫々静電誘導により各電極６，８の電荷と
異なる極性の電荷が生じる。
これにより、被吸着物２０に生じた電荷と各電
極６，８の電荷との間に静電的吸引力が作用し
て、被吸着物２０を吸着層１０の表面に吸着保持
する。
このように被吸着物２０を吸着保持する静電保
持装置２は、被吸着物２０を剥脱すると、吸着板
１２の吸引力が弱まる不都合があつた。このた
め、被吸着物２０を剥脱して新たに吸着保持させ
る際には、吸着板１２が充分な吸引力を発揮し得
ず、被吸着物２０を安定して保持し得ない問題が
あつた。
この発明では、吸着板１２の吸着層１０に吸着
保持された被吸着物２０の位置を変更し、あるい
は別異の被吸着物２０を吸着保持させるべく被吸
着物２０を剥脱して新たに被吸着物２０を吸着保
持させる際に、導通状態から一旦非導通状態を経
て一組の電極６，８に夫々正負逆の電荷を付与す
る導通状態とすべく直流電源を切換える切換スイ
ツチ１６と前記電源部１４とからなる電源回路１
８を設けている。
このように、電源回路１８は、直流電源を供給
する前記電源部１４と、一旦非導通状態を経て一
組の電極６，８に夫々正負逆の電荷を付与する導
通状態とすべく前記電源部１４の直流電源を切換
える切換スイツチ１６とからなる。
次に作用を説明する。
静電保持装置２は、電源回路１８の電源部１４
の直流電源を切換スイツチ１６により切換えて一
組の電極６，８に供給して導通状態とし、例えば
第３図の如く、一方の電極６に正の電荷を付与す
るとともに他方の電極８に負の電荷を付与する
と、吸着板１２の吸着層１０が誘電される。この
ように誘電された吸着層１０に被吸着物２０を接
触させると、被吸着物２０の前記各電極６，８と
対向する部位に夫々静電誘導により各電極６，８
の電荷と異なる極性の電荷が生じる。
これにより、被吸着物２０に生じた電荷と各電
極６，８の電荷との間に静電的吸引力が作用し
て、被吸着物２０を吸着層１０の表面に吸着保持
する。
第４図の如く、吸着板１２の吸着層１０に吸着
保持された被吸着物２０を剥脱すると、吸着層１
０の吸引力が少許弱化する。そこで、吸着層１０
に吸着保持された被吸着物２０を剥脱して新たに
被吸着物２０を吸着保持させる際には、切換スイ
ツチ１６により導通状態から一旦非導通状態を経
て一組の電極６，８に夫々正負逆の電荷を付与す
る導通状態とするように、電源部１４の直流電源
を切換える。
このように、一組の電極６，８を導通状態から
非導通状態とすることにより、吸着層１０の電荷
が消滅して吸着保持された被吸着物２０を容易に
剥脱することができる。
また、電源回路１８は、切換スイツチ１６によ
りこの非導通状態による吸着層１０の電荷の消滅
を経て、一組の電極６，８に夫々正負逆の電荷を
付与する導通状態とする。例えば、第５図の如
く、一方の電極６に負の電荷を付与するとともに
他方の電極８に正の電荷を付与する導通状態とす
るので、吸着層１０に新たに被吸着物２０を接触
させると、被吸着物２０の前記各電極６，８と対
向する部位に夫々静電誘導により各電極６，８の
電荷と異なる極性の電荷が新たに生じる。
このように、一組の電極６，８に夫々正負逆の
電荷を付与する導通状態とすることにより、被吸
着物２０に生じた電荷と各電極６，８の電荷との
間に新たに静電的吸引力が作用して新たに吸引力
を生じさせ、この新たに生じた充分な吸引力によ
り吸着層１０の表面に被吸着物２０を吸着保持す
ることができる。
これにより、被吸着物２０を剥脱して新たに吸
着保持させる際の吸引力の弱化を防止することが
でき、新たに生じた大きな吸引力により安定して
保持することができる。
〔発明の効果〕
このように、この発明によれば、電源回路１８
の切換スイツチ１６によつて、導通状態から一旦
非導通状態を経て一組の電極６，８に夫々正負逆
の電荷を付与する導通状態とすべく電源部１４の
直流電源を切換えるので、一組の電極６，８を導
通状態から非導通状態とすることにより被吸着物
２０を容易に剥脱することができ、また、この非
導通状態を経て一組の電極６，８に正負逆の電荷
を付与する導通状態とすることにより新たに吸引
力を生じさせ、この新たに生じた大きな吸引力で
被吸着物２０を吸着して保持することができる。
これにより、被吸着物２０を剥脱して新たに吸
着保持させる際の吸引力の弱化を防止し得て、新
たに被吸着物２０を大きな吸引力により安定して
保持し得る静電保持装置２を実現することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第１〜５図はこの発明の静電保持装置の一実施
例を示し、第１図は分解斜視図、第２図は平面
図、第３図は断面図、第４図は被吸着物を剥脱し
た状態の断面図、第５図は新たに被吸着物を吸着
した状態の断面図である。 図において、２は静電保持装置、４は絶縁基
層、６，８は夫々電極、１０は吸着層、１２は吸
着板、１４は電源部、１６は切換スイツチ、１８
は電源回路、２０は被吸着物である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 絶縁基層４と、導通により夫々正負の電荷を
    付与される一組の電極６，８と、この一組の電極
    ６，８により誘電され静電的吸引力により被吸着
    物２０を吸着する吸着層１０と、を順次に積層し
    た吸着板１２を設けるとともに前記一組の電極
    ６，８に直流電源を供給して前記吸着層１０に静
    電的吸引力を生じさせる電源部１４を設けた静電
    保持装置２において、前記吸着層１０に吸着保持
    された前記被吸着物２０を剥脱して新たに被吸着
    物２０を吸着保持させる際に導通状態から一旦非
    導通状態を経て前記一組の電極６，８に夫々正負
    逆の電荷を付与する導通状態とすべく直流電源を
    切換える切換スイツチ１６と前記電源部１４とか
    らなる電源回路１８を設けたことを特徴とする静
    電保持装置。
JP62089848A 1987-04-14 1987-04-14 静電保持装置 Granted JPS63257481A (ja)

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DE8888105558T DE3879281T2 (de) 1987-04-14 1988-04-07 Elektrostatische haltevorrichtung.
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US07/180,484 US4864461A (en) 1987-04-14 1988-04-12 Machine unit having retaining device using static electricity
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