JPH06143075A - 静電吸着装置 - Google Patents
静電吸着装置Info
- Publication number
- JPH06143075A JPH06143075A JP29424292A JP29424292A JPH06143075A JP H06143075 A JPH06143075 A JP H06143075A JP 29424292 A JP29424292 A JP 29424292A JP 29424292 A JP29424292 A JP 29424292A JP H06143075 A JPH06143075 A JP H06143075A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive members
- wafer
- chuck
- positive
- divided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被吸着物を固定するチャック表面に均一な力
で固定することができる静電吸着装置を提供すること。 【構成】 チャック本体に絶縁性部材を介して放射状に
分割した正電極および負電極を交互に配置したことを特
徴とする静電吸着装置。
で固定することができる静電吸着装置を提供すること。 【構成】 チャック本体に絶縁性部材を介して放射状に
分割した正電極および負電極を交互に配置したことを特
徴とする静電吸着装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被吸着物を固定する静
電吸着装置に関する。
電吸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路の製造工程に用いられて
いる製造装置において、半導体ウェーハを固定するため
の固定装置として、静電吸着を利用したものがあり、従
来の静電吸着装置は、図３に示すように、正および負の
電極１０１および１０２をチャック表面に一つずつ配し
たもので、この電極１０１および１０２に直流電圧を印
加することにより静電気力（クーロン力）を発生させ被
吸着物であるウェーハ等を固定する装置である。
いる製造装置において、半導体ウェーハを固定するため
の固定装置として、静電吸着を利用したものがあり、従
来の静電吸着装置は、図３に示すように、正および負の
電極１０１および１０２をチャック表面に一つずつ配し
たもので、この電極１０１および１０２に直流電圧を印
加することにより静電気力（クーロン力）を発生させ被
吸着物であるウェーハ等を固定する装置である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の静電吸着装置で
は、大きな正および負の電極が一対となってあるのみな
ので、ウェーハを載せるチャック表面に発生する静電気
力にむらが生じ、ウェーハ全体を均一な力で固定するこ
とができないため、ウェーハ面内温度制御を均一にする
ことができないという問題があった。
は、大きな正および負の電極が一対となってあるのみな
ので、ウェーハを載せるチャック表面に発生する静電気
力にむらが生じ、ウェーハ全体を均一な力で固定するこ
とができないため、ウェーハ面内温度制御を均一にする
ことができないという問題があった。
【０００４】そこで本発明の目的は、被吸着物を固定す
るチャック表面に均一な力で固定することにより、ウェ
ーハ面内における温度制御を均一にすることができる静
電吸着装置を提供することである。
るチャック表面に均一な力で固定することにより、ウェ
ーハ面内における温度制御を均一にすることができる静
電吸着装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の静電吸着装置
は、上記目的を達成するために、被吸着物を固定する静
電吸着装置において、被吸着物を固定するチャック本体
として、絶縁性部材を介して放射状に多分割した導電性
部材を配置し、隣合う該多分割した導電性部材に、互い
に異なる極性の電荷を持たせることを特徴とする。
は、上記目的を達成するために、被吸着物を固定する静
電吸着装置において、被吸着物を固定するチャック本体
として、絶縁性部材を介して放射状に多分割した導電性
部材を配置し、隣合う該多分割した導電性部材に、互い
に異なる極性の電荷を持たせることを特徴とする。
【０００６】
【作用】上述のように構成された本発明の静電吸着装置
は、導電性部材を絶縁性部材を介して放射状に多分割し
て配置したことにより、チャック表面に発生する静電気
力を均一に発生させることができる。このため、被吸着
物を被吸着物全体に渡って均一な力で固定することがで
き、ウェーハ面内温度制御を均一に行なうことが可能で
ある。
は、導電性部材を絶縁性部材を介して放射状に多分割し
て配置したことにより、チャック表面に発生する静電気
力を均一に発生させることができる。このため、被吸着
物を被吸着物全体に渡って均一な力で固定することがで
き、ウェーハ面内温度制御を均一に行なうことが可能で
ある。
【０００７】
【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。
【０００８】図１は本発明の一実施例の静電吸着装置の
平面図であり、図２は、側面図である。
平面図であり、図２は、側面図である。
【０００９】本実施例の静電吸着装置のチャック本体
は、放射状に多分割された導電性部材１および２が絶縁
性部材３を介して配置されおり、導電性部材１および導
電性部材２は、隣合う導電性部材どうしが互いに異なる
極性の電荷を持つように、直流電源４の正および負の電
極とそれぞれ接続されている。このチャック本体に、被
吸着物であるウェーハ１０を載せて、直流電源より正お
よび負の電圧を導電性部材１および２に印加することに
より放射状に分割された導電性部材１および２の間に電
界が生じて、静電気力がチャック表面に均一に発生し
て、ウェーハ１０を均一な力で固定する。
は、放射状に多分割された導電性部材１および２が絶縁
性部材３を介して配置されおり、導電性部材１および導
電性部材２は、隣合う導電性部材どうしが互いに異なる
極性の電荷を持つように、直流電源４の正および負の電
極とそれぞれ接続されている。このチャック本体に、被
吸着物であるウェーハ１０を載せて、直流電源より正お
よび負の電圧を導電性部材１および２に印加することに
より放射状に分割された導電性部材１および２の間に電
界が生じて、静電気力がチャック表面に均一に発生し
て、ウェーハ１０を均一な力で固定する。
【００１０】なお、本実施例では、導電性部材の分割数
を８分割としたが、これは分割数が少ないと従来と同様
にチャック本体が発生する静電気力にむらが発生してし
まうからである。また、分割数が多すぎても分割した導
電性部材に同時に同じ電圧を印加するのに、各分割され
た導電性部材にかかる電圧に差が生じてしまい、これを
制御するための制御装置が複雑になってしまうからであ
る。好ましい分割数としては、８〜１６分割程度がよい
が、上限は電圧印加の制御が良好であれば特に制限され
るものではない。
を８分割としたが、これは分割数が少ないと従来と同様
にチャック本体が発生する静電気力にむらが発生してし
まうからである。また、分割数が多すぎても分割した導
電性部材に同時に同じ電圧を印加するのに、各分割され
た導電性部材にかかる電圧に差が生じてしまい、これを
制御するための制御装置が複雑になってしまうからであ
る。好ましい分割数としては、８〜１６分割程度がよい
が、上限は電圧印加の制御が良好であれば特に制限され
るものではない。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の静電吸着
装置は、チャック本体の導電性部材を放射状に分割した
ことによりチャック表面に均一な静電気力が発生するた
め、被吸着物を均一な力で固定することができ、また、
このように均一な力で被吸着物を固定することができる
ことにより印加する電圧がより少ない電力であっても十
分な固定力を保持することができる。このことにより、
チャック本体とウェーハとの熱の受渡しがウェーハ面内
で均一に行なうことができ、ウェーハ面内制御を均一に
行うことが可能となる。
装置は、チャック本体の導電性部材を放射状に分割した
ことによりチャック表面に均一な静電気力が発生するた
め、被吸着物を均一な力で固定することができ、また、
このように均一な力で被吸着物を固定することができる
ことにより印加する電圧がより少ない電力であっても十
分な固定力を保持することができる。このことにより、
チャック本体とウェーハとの熱の受渡しがウェーハ面内
で均一に行なうことができ、ウェーハ面内制御を均一に
行うことが可能となる。
【図１】 本発明の一実施例による静電吸着装置を説明
するための平面図である。
するための平面図である。
【図２】 本発明の一実施例による静電吸着装置を説明
するための側面図である。
するための側面図である。
【図３】 従来の静電吸着装置を説明するための平面図
である。
である。
１，２…導電性部材、３…絶縁性部材、４…直流電源、
１０…ウェーハ、１０１，１０２…電極。
１０…ウェーハ、１０１，１０２…電極。
Claims (1)
- 【請求項１】 被吸着物を固定する静電吸着装置におい
て、被吸着物を固定するチャック本体として、絶縁性部
材を介して放射状に多分割した導電性部材を配置し、隣
合う該多分割した導電性部材に、互いに異なる極性の電
荷を持たせることを特徴とする静電吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29424292A JPH06143075A (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | 静電吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29424292A JPH06143075A (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | 静電吸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06143075A true JPH06143075A (ja) | 1994-05-24 |
Family
ID=17805193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29424292A Withdrawn JPH06143075A (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | 静電吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06143075A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995025689A1 (fr) * | 1994-03-18 | 1995-09-28 | Kanagawa Academy Of Science And Technology | Convoyeur a sustentation electrostatique et ses electrodes de sustentation electrostatique |
| WO2013049586A1 (en) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck |
-
1992
- 1992-11-02 JP JP29424292A patent/JPH06143075A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995025689A1 (fr) * | 1994-03-18 | 1995-09-28 | Kanagawa Academy Of Science And Technology | Convoyeur a sustentation electrostatique et ses electrodes de sustentation electrostatique |
| US5789843A (en) * | 1994-03-18 | 1998-08-04 | Kanagawa Academy Of Science And Technology | Electrostatically levitated conveyance apparatus and electrode thereof for electrostatic levitation |
| WO2013049586A1 (en) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck |
| US9608549B2 (en) | 2011-09-30 | 2017-03-28 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000104 |