DE3879281T2 - Elektrostatische haltevorrichtung. - Google Patents
Elektrostatische haltevorrichtung.Info
- Publication number
- DE3879281T2 DE3879281T2 DE8888105558T DE3879281T DE3879281T2 DE 3879281 T2 DE3879281 T2 DE 3879281T2 DE 8888105558 T DE8888105558 T DE 8888105558T DE 3879281 T DE3879281 T DE 3879281T DE 3879281 T2 DE3879281 T2 DE 3879281T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrodes
- adsorbed
- charges
- electrostatic
- held
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 3
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002085 persistent effect Effects 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N13/00—Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
- B23Q3/15—Devices for holding work using magnetic or electric force acting directly on the work
- B23Q3/154—Stationary devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/002—Magnetic work holders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Discharging, Photosensitive Material Shape In Electrophotography (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
- Die Erfindung betrifft eine elektrostatische Haltevorrichtung nach dein Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
- Aus der GB-A-1 352 715 ist eine elektrostatische Haltevorrichtung bekannt mit einer eine Vielzahl von Elektroden tragenden Basis, wobei die Elektroden in zwei Sätzen angeschlossen sind. Über den Elektroden ist eine Deckplatte angeordnet, wodurch die Anlegung eines elektrischen Potentials zwischen den Elektroden der beiden Sätze ein elektrostatisches Feld im Bereich der Deckplatte entwickelt, um ein Blatt daran elektrostatisch anzuziehen. Die Deckplatte ist ein dünnes Blatt aus teilweise leitendem Material, mit einem Gesamtwiderstand von nicht über 10¹&sup5; Ohm-Zentimeter, wobei die durch die Elektroden induzierte Ladung nicht bestehen bleibt und sich unmittelbar nach Entfernen jeglichen angelegten Potentials zerstreut.
- In einer bekannten elektrostatischen Haltevorrichtung zum Anziehen und Halten eines zu adsorbierenden Gegenstands durch Anwendung der Coulomb-Kraft der statischen Elektrizität sind eine isolierende Grundschicht, ein Satz von Elektroden und eine adsorbierende Schicht aufeinanderfolgend in Schichten angeordnet. In einer solchen Vorrichtung werden positive und negative Ladungen durch Leitung jeweils auf den Satz von Elektroden aufgebracht, wobei die adsorbierende Schicht induziert wird, wodurch ein zu adsorbierender Gegenstand durch die elektrostatische Anziehungskraft der adsorbierenden Schicht adsorbiert und gehalten wird. Eine solche elektrostatische Haltevorrichtung ist in den JP-B 55-20830 und JP-B 57-58872 offenbart.
- Jedoch haben solche herkömmliche elektrostatische Haltevorrichtungen den Nachteil, daß die Anziehungskraft geschwächt wird, wenn der adsorbierte Gegenstand abgelöst oder von der Vorrichtung entfernt wird. Wenn somit ein weiterer Gegenstand an der Vorrichtung befestigt werden soll, besteht ein Problem darin, daß eine ausreichende Anziehungskraft nicht ausgeübt und der zu adsorbierende Gegenstand nicht stabil gehalten werden kann.
- Eine Aufgabe der Erfindung ist daher die Schaffung einer verbesserten elektrostatischen Haltevorrichtung dieser allgemeinen Bauart, die den obigen Nachteil vermeidet.
- Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Patentanspruchs 1 gelöst.
- Daher werden erfindungsgemäß nach Vollendung des nicht leitenden Zustands (d. h. nach Entfernen des Gegenstands) die entgegengesetzten positiven und negativen Ladungen jeweils auf den Satz von Elektroden durch den Energiespeisekreis aufgebracht. Daher kann durch Einstellen der Vorrichtung in den nicht leitenden Zustand der auf der Vorrichtung gehaltene Gegenstand leicht abgelöst werden. Andererseits wird durch Aufbringen der entgegengesetzten positiven und negativen Ladungen nach Vollendung des nicht leitenden Zustands ein zu adsorbierender neuer Gegenstand durch eine große Anziehungskraft adsorbiert und gehalten.
- Im folgenden wird eine Ausführungsform der Erfindung im einzelnen in Verbindung mit der beigefügten Zeichnung beschrieben, worin:
- Fig. 1 eine auseinandergezogene Schrägansicht der Erfindung ist;
- Fig. 2 eine Draufsicht hiervon ist;
- Fig. 3 ein Querschnitt hiervon ist;
- Fig. 4 ein Querschnitt eines Zustands ist, in dem ein zu adsorbierender Gegenstand abgelöst wird; und
- Fig. 5 ein Querschnitt eines Zustands ist, in dem ein neuer zu adsorbierender Gegenstand adsorbiert ist.
- Fig. 1 bis 4 zeigen eine Ausführungsform der Erfindung. In Fig. 1 und 2 ist eine elektrostatische Haltevorrichtung 2 gebildet durch aufeinanderfolgendes Aufschichten einer isolierenden Grundschicht 4, eines Satzes von kammartig angeordneten Elektroden 6 und 8, auf die durch Leitung positive und negative Ladungen jeweils aufgebracht sind, und einer adsorbierenden Schicht, die durch einen Satz von Elektroden 6 und 8 induziert wird und durch die elektrostatische Anziehungskraft einen zu adsorbierenden Gegenstand 10 adsorbiert und hält.
- Wie in Fig. 3 gezeigt, hat die elektrostatische Haltevorrichtung 2 eine Gleichstromguelle 16, die mit dem Satz von Elektroden 6 und 8 verbunden ist, wodurch jeweils positive und negative Ladungen aufgebracht werden. Da die adsorbierende Schicht 12 durch den Satz von Elektroden 6 und 8 induziert wird, wenn der Gegenstand 10 in Berührung mit der Schicht 12 kommt, werden Ladungen mit von den Ladungen jeder der Elektroden 6 und 8 abweichenden Polarität durch elektrostatische Induktion in den Teilen des Gegenstands 10 induziert, die den Elektroden 6 und 8 zugewandt sind. Somit wirkt eine elektrostatische Anziehungskraft zwischen den im Gegenstand 10 erzeugten Ladungen und den Ladungen jeder der Elektroden 6 und 8, wodurch der Gegenstand 10 an der Oberfläche der adsorbierenden Schicht 12 adsorbiert (d. h. angezogen) und gehalten wird. Wie oben beschrieben, hat die elektrostatische Haltevorrichtung zum Adsorbieren und Halten des Gegenstands 10 den Nachteil, daß die Anziehungskraft geschwächt wird, wenn ein zu adsorbierender Gegenstand 10 abgelöst wird Es besteht somit ein Problem derart, daß eine ausreichende Anziehungskraft nicht ausgeübt werden kann, so daß ein weiterer Gegenstand 10 nicht stabil gehalten werden kann.
- Bei der Erfindung ist ein Energiespeisekreis 14 vorgesehen zum Aufbringen der entgegengesetzten positiven und negativen Ladungen auf den Satz von Elektroden 6 und 8 nach Vollendung des nicht leitenden Zustands, wenn der an der adsorbierenden Schicht 12 adsorbierte und gehaltene erste Gegenstand 10 abgelöst wird, und bevor ein neuer Gegenstand 10 adsorbiert und gehalten wird. Der Energiespeisekreis 14 enthält: den Energiespeiseabschnitt 16 zur Speisung einer Gleichstromquelle und einen Umschalter l8 zum Schalten oder Umkehren der Gleichstromquelle des Energiespeiseabschnitts 16 zum Aufbringen der entgegengesetzten positiven und negativen Ladungen auf den Satz von Elektroden 6 und 8 nach Vollendung des nicht leitenden Zustands. Der Schalter 18 kann von Hand betätigt werden.
- Das Material der Schicht 12 besteht zum Beispiel aus Polyester oder P.C. (Polycarbonat) oder A.B.S. (Acrylnitrilbutadienstyrol) oder aus Materialien mit ähnlichen Eigenschaften. Andererseits umfaßt der Gegenstand 10 in typischer Weise ein dünnes tafelförmiges Glied, etwa einen Papierbogen, einen Film (etwa für einen Überkopfprojektor) oder dergleichen.
- Es wird nun der Betrieb erläutert.
- Die Gleichstromquelle des Energiespeiseabschnitts 16 wird durch den Schalter 18 eingeschaltet und zum Satz von Elektroden 6 und 8 geliefert. Wenn zum Beispiel, wie in Fig. 3 gezeigt, die positiven Ladungen auf die Elektrode 6 und die negativen Ladungen auf die andere Elektrode aufgebracht werden, wird die adsorbierende Schicht 12 induziert. Wenn ein erster Gegenstand 10 mit der adsorbierenden Schicht 12 in Berührung kommt, so werden Ladungen mit von den Ladungen der Elektroden 6 und 8 abweichender Polarität durch elektrostatische Induktion in den Teilen des Gegenstands 10 erzeugt, die den Elektroden 6 und 8 zugewandt sind. Somit wirkt die elektrostatische Anziehungskraft zwischen den im Gegenstand 10 erzeugten Ladungen und den Ladungen der Elektroden 6 und 8, wodurch der Gegenstand 10 an der Oberfläche der adsorbierenden Schicht 12 adsorbiert und gehalten wird.
- Wenn, wie in Fig. 4 gezeigt, dieser an der adsorbierenden Schicht 12 adsorbierte und gehaltene erste Gegenstand 10 abgelöst wird, wird die Anziehungskraft der adsorbierenden Schicht 12 geringfügig geschwächt. Wenn daher der an der adsorbierenden Schicht 12 adsorbierte und gehaltene erste Gegenstand 10 abgelöst und ein neuer Gegenstand 10 adsorbiert und gehalten werden soll, wird die Gleichstromquelle des Energiespeiseabschnitts 16 durch den Umschalter 18 eingeschaltet, um nach Vollendung des nicht leitenden Zustands jeweils die entgegengesetzten positiven und negativen Ladungen auf den Satz von Elektroden 6 und 8 aufzubringen.
- Auf diese Weise kann durch Einstellen der Elektroden 6 und 8 in den nicht leitenden Zustand, etwa durch Unterbrechen der Gleichstromzufuhr (etwa durch Bewegen des Schalters 18 in die Offenstellung), der an der adsorbierenden Schicht 12 adsorbierte und gehaltene Gegenstand 10 leicht abgelöst werden. Andererseits werden, zum Beispiel wie in Fig. 5 gezeigt, nach dem nicht leitenden Zustand die negativen Ladungen auf die Elektrode 6 und die positiven Ladungen auf die andere Elektrode 8 aufgebracht. Wenn daher der nächste Gegenstand 10 in Berührung mit der adsorbierenden Schicht 12 kommt, werden Ladungen mit einer von den Ladungen jeder der Elektroden 6 und 8 abweichenden Polarität durch elektrostatische Induktion in den Teilen des Gegenstands 10 erzeugt, die den Elektroden 6 und 8 zugewandt sind. Somit wirkt die elektrostatische Anziehungskraft zwischen den im Gegenstand 10 erzeugten Ladungen und den Ladungen der Elektroden 6 und 8, wodurch der nächste Gegenstand 10 durch eine ausreichende nziehungskraft an der Oberfläche der adsorb ierenden Schicht 12 adsorbiert und gehalten werden kann.
- Auf diese Weise kann der zu adsorbierende Gegenstand durch die große Anziehungskraft stabil gehalten werden.
- Wie oben beschrieben, werden erfindungsgemäß die entgegengesetzten positiven und negativen Ladungen nach Vollendung des nicht leitenden Zustands durch den Energiespeisekreis auf den Satz von Elektroden aufgebracht. Auf diese Weise kann ein erster Gegenstand leicht abgelöst werden durch Einstellen des Satzes von Elektroden in den nicht leitenden Zustand. Andererseits kann durch Aufbringen der entgegengesetzten positiven und negativen Ladungen auf den Satz von Elektroden nach Vollendung des nicht leitenden Zustands ein zu adsorbierender neuer Gegenstand durch die große Anziehungskraft adsorbiert und gehalten werden.
- Auf Grund dessen ist es möglich, eine elektrostatische Haltevorrichtung zu verwirklichen, die einen zu adsorbierenden Gegenstand durch die große Anziehungskraft stabil halten kann.
Claims (2)
1. Elektrostatische Haltevorrichtung, enthaltend in
aufeinanderfolgender geschichteter Beziehung eine
isolierende Grundschicht (4), einen Satz von Elektroden (6,
8), auf die jeweils durch Leitung positive und negative
Ladungen aufgebracht werden, und eine adsorbierende
Schicht (12), die durch den Satz von Elektroden (6, 8)
induziert wird und einen durch eine elektrostatische
Anziehungskraft zu adsorbierenden Gegenstand (10) adsorbiert
und hält,
gekenzeichnet durch eine
Energiespeisekreiseinrichtung (14), die mit dem Satz von Elektroden
(6, 8) verbunden ist zum jeweiligen Aufbringen
entgegengesetzter positiver und negativer Ladungen auf den
Satz von Elektroden (6, 8) nach Vollendung eines nicht
leitenden Zustands, wenn ein an der adsorbierenden
Schicht (12) adsorbierter und gehaltener erster
Gegenstand (10) abgelöst und ein zweiter Gegenstand (10) an
der adsorbierenden Schicht (12) adsorbiert und gehalten
wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die
Energiespeisekreiseinrichtung (14) eine Gleichstromquelle (16) mit
ersten und zweiten Klemmen und eine elektrisch leitende
Einrichtung enthält, die zwischen den ersten und zweiten
Klemmen und dem Satz von Elektroden (6, 8) angeschlossen
ist, wobei die leitende Einrichtung eine
Schalteinrichtung (18) enthält zum wahlweisen, abwechselnden und
entgegengesetzten Anschließen der ersten und zweiten
Klemmen an die ersten und zweiten Elektroden (6, 8) des
Satzes zum abwechselnden Umkehren der elektrischen
Polarität der Elektroden.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62089848A JPS63257481A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | 静電保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3879281D1 DE3879281D1 (de) | 1993-04-22 |
DE3879281T2 true DE3879281T2 (de) | 1993-07-01 |
Family
ID=13982192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8888105558T Expired - Fee Related DE3879281T2 (de) | 1987-04-14 | 1988-04-07 | Elektrostatische haltevorrichtung. |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4751609A (de) |
EP (1) | EP0294556B1 (de) |
JP (1) | JPS63257481A (de) |
AT (1) | ATE87149T1 (de) |
CA (1) | CA1329637C (de) |
DE (1) | DE3879281T2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19758730B4 (de) * | 1996-04-09 | 2004-03-04 | Delsys Pharmaceutical Corp. | Verfahren zum Herstellen einer pharmazeutischen Zusammensetzung |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0297227B1 (de) * | 1987-04-14 | 1993-03-17 | Abisare Co., Ltd. | Maschine-Einheit mit einer statische Elektrizität benutzenden Haltevorrichtung |
JP2525593Y2 (ja) * | 1988-02-05 | 1997-02-12 | 株式会社 アビサレ | 静電吸着シート |
US4975802A (en) * | 1988-07-25 | 1990-12-04 | Kabushiki Kaisha Abisare | Electrostatic adsorbing apparatus having electrostatic adsorbing plate for adsorbing and laminating a plurality of objects to be adsorbed |
JP2779950B2 (ja) * | 1989-04-25 | 1998-07-23 | 東陶機器株式会社 | 静電チャックの電圧印加方法および電圧印加装置 |
JPH02307551A (ja) * | 1989-05-20 | 1990-12-20 | Abisare:Kk | 静電吸着シート |
US5173834A (en) * | 1989-06-02 | 1992-12-22 | Roland Dg Corporation | Electrostatic attraction apparatus |
JPH0351237A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-05 | Taihei Kagaku Seihin Kk | 静電吸着装置 |
US5001594A (en) * | 1989-09-06 | 1991-03-19 | Mcnc | Electrostatic handling device |
US5090643A (en) * | 1990-03-15 | 1992-02-25 | Spears Morton F | Force generating system |
US5179498A (en) * | 1990-05-17 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Electrostatic chuck device |
JP2535663B2 (ja) * | 1990-10-02 | 1996-09-18 | 株式会社アビサレ | 掲示装置 |
US5191506A (en) * | 1991-05-02 | 1993-03-02 | International Business Machines Corporation | Ceramic electrostatic chuck |
US5325261A (en) * | 1991-05-17 | 1994-06-28 | Unisearch Limited | Electrostatic chuck with improved release |
US5207437A (en) * | 1991-10-29 | 1993-05-04 | International Business Machines Corporation | Ceramic electrostatic wafer chuck |
JPH0695596A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-04-08 | Abisare:Kk | 静電掲示装置 |
US5600530A (en) * | 1992-08-04 | 1997-02-04 | The Morgan Crucible Company Plc | Electrostatic chuck |
US5459560A (en) * | 1992-09-30 | 1995-10-17 | T/R Systems, Inc. | Buried electrode drum for an electrophotographic print engine with controlled resistivity layer |
JPH06225556A (ja) * | 1992-12-03 | 1994-08-12 | Abisare:Kk | 静電吸着装置 |
US5436790A (en) * | 1993-01-15 | 1995-07-25 | Eaton Corporation | Wafer sensing and clamping monitor |
US5444597A (en) * | 1993-01-15 | 1995-08-22 | Blake; Julian G. | Wafer release method and apparatus |
US5751537A (en) * | 1996-05-02 | 1998-05-12 | Applied Materials, Inc. | Multielectrode electrostatic chuck with fuses |
US6055150A (en) * | 1996-05-02 | 2000-04-25 | Applied Materials, Inc. | Multi-electrode electrostatic chuck having fuses in hollow cavities |
US6687969B1 (en) * | 1997-05-16 | 2004-02-10 | Micron Technology, Inc. | Methods of fixturing flexible substrates and methods of processing flexible substrates |
FR2785737B1 (fr) * | 1998-11-10 | 2001-01-05 | Semco Engineering Sa | Dispositif de maintien electrostatique |
DE19946645B4 (de) * | 1999-09-29 | 2012-01-26 | Protec Carrier Systems Gmbh | Verfahren zum Ablösen eines Foliensystems von einem elektrostatischen Haltesystem |
JP3693895B2 (ja) * | 2000-07-24 | 2005-09-14 | 住友大阪セメント株式会社 | 可撓性フィルムの静電吸着装置、可撓性フィルムの静電吸着方法、可撓性フィルムの表面処理方法 |
KR100445268B1 (ko) * | 2001-09-19 | 2004-08-21 | 캐리어 주식회사 | 실외기에서의 압축기 고정구조 |
KR101003387B1 (ko) * | 2002-09-27 | 2010-12-23 | 쓰쿠바 세이코 가부시키가이샤 | 정전 지지 장치 및 이를 이용한 정전 핀셋 |
US7216968B2 (en) * | 2003-05-24 | 2007-05-15 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Media electrostatic hold down and conductive heating assembly |
US6997549B2 (en) * | 2004-02-26 | 2006-02-14 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Media hold down system |
EP2128064B1 (de) * | 2008-05-29 | 2013-04-03 | Simco Nederland B.V. | Verfahren und Vorrichtung zum Zusammenhalten eines elektrisch nicht leitfähigen Objektstapels und Elektrodeneinheit dafür |
JP5206806B2 (ja) | 2011-01-26 | 2013-06-12 | ブラザー工業株式会社 | 画像形成装置 |
WO2015013143A1 (en) | 2013-07-22 | 2015-01-29 | Applied Materials, Inc. | An end effector for transferring a substrate |
WO2015013142A1 (en) | 2013-07-22 | 2015-01-29 | Applied Materials, Inc. | An electrostatic chuck for high temperature process applications |
KR20180110213A (ko) | 2013-08-06 | 2018-10-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 국부적으로 가열되는 다-구역 기판 지지부 |
US9623679B1 (en) * | 2015-11-18 | 2017-04-18 | Xerox Corporation | Electrostatic platen for conductive pet film printing |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1352715A (en) * | 1971-07-26 | 1974-05-08 | Addressograph Multigraph | Electrostatic holding device |
US3916270A (en) * | 1974-05-02 | 1975-10-28 | Tektronix Inc | Electrostatic holddown apparatus |
US4016456A (en) * | 1975-09-05 | 1977-04-05 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Multielectrode grid for aligning polarized particles such as asbestos |
US4184188A (en) * | 1978-01-16 | 1980-01-15 | Veeco Instruments Inc. | Substrate clamping technique in IC fabrication processes |
JPS5520830A (en) * | 1978-07-31 | 1980-02-14 | Tomoma Tani | Lockkup device |
JPS5758872A (en) * | 1980-09-25 | 1982-04-08 | Nozaki Kamaboko Kk | Preparation of corn beef paste |
JPH0671944B2 (ja) * | 1985-12-25 | 1994-09-14 | 太平化学製品株式会社 | 静電保持装置 |
-
1987
- 1987-04-14 JP JP62089848A patent/JPS63257481A/ja active Granted
- 1987-08-12 US US07/084,447 patent/US4751609A/en not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-04-07 AT AT88105558T patent/ATE87149T1/de not_active IP Right Cessation
- 1988-04-07 DE DE8888105558T patent/DE3879281T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-04-07 EP EP88105558A patent/EP0294556B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-04-11 CA CA000563766A patent/CA1329637C/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19758730B4 (de) * | 1996-04-09 | 2004-03-04 | Delsys Pharmaceutical Corp. | Verfahren zum Herstellen einer pharmazeutischen Zusammensetzung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATE87149T1 (de) | 1993-04-15 |
CA1329637C (en) | 1994-05-17 |
EP0294556B1 (de) | 1993-03-17 |
DE3879281D1 (de) | 1993-04-22 |
EP0294556A2 (de) | 1988-12-14 |
EP0294556A3 (en) | 1989-04-26 |
US4751609A (en) | 1988-06-14 |
JPS63257481A (ja) | 1988-10-25 |
JPH0458274B2 (de) | 1992-09-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3879281T2 (de) | Elektrostatische haltevorrichtung. | |
DE3879295T2 (de) | Maschine-einheit mit einer statische elektrizitaet benutzenden haltevorrichtung. | |
DE2410479C3 (de) | Vorrichtung zum elektrostatischen Laminieren mindestens zweier Gegenstände | |
DE2922276C2 (de) | Schalter | |
DE1554422B2 (de) | Vorrichtung zum elektrostatischen festhalten von blattmaterial | |
DE2623229A1 (de) | Membranschalter | |
DE2721111B2 (de) | Elektrophoreseeinrichtung | |
EP0487173A1 (de) | Steuereinrichtung für fluidische Medien, insbesondere für Druckluft | |
EP0238017A2 (de) | Elektrische Einrichtung mit mindestens einer auf einer Fläche lösbar angeordneten elektrischen Verbrauchereinheit | |
DE2800343A1 (de) | Bistabile elektrostatische vorrichtung | |
DE1132200B (de) | Elektrische Baueinheit, bei der Schaltroehren auf einer mit gedruckten Leitungszuegen versehenen Isolierstoffplatte befestigt und damit elektrisch verbunden sind, und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE2615354A1 (de) | Einrichtung zum unterdruecken von statischer elektrizitaet und verfahren zum herstellen der einrichtung | |
CH633385A5 (de) | Piezoelektrische schaltvorrichtung. | |
DE1257847B (de) | Magnetkernspeicher | |
DE2800341A1 (de) | Elektrostatische anzeigezelle und damit ausgestattete anzeigevorrichtung | |
DE10232080A1 (de) | Elektrostatischer Greifer und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE4323812C2 (de) | Elektrostatisches Notiztafelsystem | |
DE3415672A1 (de) | Mehrfachschalter | |
EP0249717A1 (de) | Wechselhalter für einen Informationsträger | |
DE1174837B (de) | Schalteinheit fuer eine Schaltungsanordnung zur Rcalisierung logischer Funktionen mit einem magnetoresistivem, ferromagnetischem Duennschichtbauelement | |
DE9100936U1 (de) | Flächenbezogene Kontaktanordnung zur elektrischen Verbindung von Niederspannungsverbrauchern | |
DE2758851A1 (de) | Steuervorrichtung fuer eine schaltanordnung sowie diese steuervorrichtung verwendende schaltmatrix | |
DE2240308A1 (de) | Drucker | |
DE69904755T2 (de) | Electrostatische halterorrichtung | |
DE1944179C3 (de) | Vorrichtung zur elektrostatischen Haftung von Registrierpapier |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |