ATE87150T1 - Maschine-einheit mit einer statische elektrizitaet benutzenden haltevorrichtung. - Google Patents

Maschine-einheit mit einer statische elektrizitaet benutzenden haltevorrichtung.

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ATE87150T1
ATE87150T1 AT88105806T AT88105806T ATE87150T1 AT E87150 T1 ATE87150 T1 AT E87150T1 AT 88105806 T AT88105806 T AT 88105806T AT 88105806 T AT88105806 T AT 88105806T AT E87150 T1 ATE87150 T1 AT E87150T1
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AT
Austria
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support device
static electricity
machine unit
machine
unit
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Application number
AT88105806T
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English (en)
Inventor
Keiji Kasahara
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Abisare Kk
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AT88105806T 1987-04-14 1988-04-12 Maschine-einheit mit einer statische elektrizitaet benutzenden haltevorrichtung. ATE87150T1 (de)

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JP62089848A JPS63257481A (ja) 1987-04-14 1987-04-14 静電保持装置
JP63-58904A JPH012947A (ja) 1988-03-12 静電保持手段を備えた機械設備
EP88105806A EP0297227B1 (de) 1987-04-14 1988-04-12 Maschine-Einheit mit einer statische Elektrizität benutzenden Haltevorrichtung

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ATE87150T1 true ATE87150T1 (de) 1993-04-15

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