JPH012947A - 静電保持手段を備えた機械設備 - Google Patents
静電保持手段を備えた機械設備Info
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- JPH012947A JPH012947A JP63-58904A JP5890488A JPH012947A JP H012947 A JPH012947 A JP H012947A JP 5890488 A JP5890488 A JP 5890488A JP H012947 A JPH012947 A JP H012947A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は静電保持手段を備えた機械設備に係り、特に
温度や湿度等の影響を受けることなく低い電圧の電流に
より常に新たに大きな吸引力を発生し得て、機械設備の
所要部位に被吸着物を安定して保持し得る静電保持手段
を備えた機械設備に関する。
温度や湿度等の影響を受けることなく低い電圧の電流に
より常に新たに大きな吸引力を発生し得て、機械設備の
所要部位に被吸着物を安定して保持し得る静電保持手段
を備えた機械設備に関する。
静電気のクーロン力を利用して被吸着物を吸着保持する
静電保持手段は、一組の電極に夫々正負の電荷を付与し
て吸着機構を誘電し、この吸着機構の静電的な吸引力に
より被吸着物を吸着し保持するものである。このような
静電保持手段は、例えば、複写器の原稿押さえ部位やコ
ンベア装置の搬送物保持部位に設けられるなど、さまざ
まな産業分野の機械設備に利用されている。
静電保持手段は、一組の電極に夫々正負の電荷を付与し
て吸着機構を誘電し、この吸着機構の静電的な吸引力に
より被吸着物を吸着し保持するものである。このような
静電保持手段は、例えば、複写器の原稿押さえ部位やコ
ンベア装置の搬送物保持部位に設けられるなど、さまざ
まな産業分野の機械設備に利用されている。
ところで、従来の静電保持手段は、一組の電極に夫々同
極性の電流を連続的に供給している。ところが、このよ
うに同極性の電流を連続的に供給すると、吸着機構の周
囲の雰囲気環境にも帯電し、長時間にわたる使用により
、吸引力の減少を来すため、大きな吸引力を得るべく高
い電圧(3,000〜7,0OOV)の電流を供給しな
ければならない不都合があった。
極性の電流を連続的に供給している。ところが、このよ
うに同極性の電流を連続的に供給すると、吸着機構の周
囲の雰囲気環境にも帯電し、長時間にわたる使用により
、吸引力の減少を来すため、大きな吸引力を得るべく高
い電圧(3,000〜7,0OOV)の電流を供給しな
ければならない不都合があった。
また、従来の静電保持手段は、別表に示す如く、温度:
Tや湿度:H等の影響を受けやすく、特に低温状態にお
いては吸引力が急減して被吸着物を安定して保持し得な
い不都合があった。前記別表に示す数値は、雰囲気の温
度二T(湿度:H)において、吸着機構の面に吸着した
A4版の大きさの紙に対して前記面と平行な引張力を与
えた場合に、前記紙が剥離移動を開始する際のカニFを
示すものである。
Tや湿度:H等の影響を受けやすく、特に低温状態にお
いては吸引力が急減して被吸着物を安定して保持し得な
い不都合があった。前記別表に示す数値は、雰囲気の温
度二T(湿度:H)において、吸着機構の面に吸着した
A4版の大きさの紙に対して前記面と平行な引張力を与
えた場合に、前記紙が剥離移動を開始する際のカニFを
示すものである。
さらに、従来の静電保持手段は、このような不都合に対
処すべく吸着機構の電気的特性を勘案して材質を厳選し
、特殊な材質のものにより製造しなければならず、この
結果、材質の選択の幅が小さくなりコストが上昇する不
都合があった。
処すべく吸着機構の電気的特性を勘案して材質を厳選し
、特殊な材質のものにより製造しなければならず、この
結果、材質の選択の幅が小さくなりコストが上昇する不
都合があった。
このため、このような従来の静電保持手段を前記複写器
等の機械設備に設けても、被吸着物を所要部位に安定し
て保持し得ないことにより、機械設備の機能を充分に発
揮し得ない不都合があった。
等の機械設備に設けても、被吸着物を所要部位に安定し
て保持し得ないことにより、機械設備の機能を充分に発
揮し得ない不都合があった。
そこで、この発明の目的は、温度や湿度等の影響を受け
ることなく低い電圧の電流により常に新たに大きな吸引
力を発生し得て、また材質の選択の幅を大きくし得て、
コスト的に有利に製造し得て、これにより機械設備の所
要部位に被吸着物を所要部位に安定して保持し得て機能
を充分に発揮し得る静電保持手段を備えた機械設備を実
現することにある。
ることなく低い電圧の電流により常に新たに大きな吸引
力を発生し得て、また材質の選択の幅を大きくし得て、
コスト的に有利に製造し得て、これにより機械設備の所
要部位に被吸着物を所要部位に安定して保持し得て機能
を充分に発揮し得る静電保持手段を備えた機械設備を実
現することにある。
この目的を達成するために、この発明は、一組の電極と
この一組の電極により誘電され静電的吸引力により被吸
着物を吸着保持する吸着機構と前記一組の電極に対し正
負逆の電荷を変更付与する電源回路とを少くとも有する
静電保持手段を所要部位に設けたことを特徴とする。
この一組の電極により誘電され静電的吸引力により被吸
着物を吸着保持する吸着機構と前記一組の電極に対し正
負逆の電荷を変更付与する電源回路とを少くとも有する
静電保持手段を所要部位に設けたことを特徴とする。
この発明の構成によれば、機械設備の所要部位に設けた
静電保持手段は、電源回路によって一組の電極に対し正
負逆の電荷を変更付与することにより、雰囲気環境への
帯電による吸引力の減少を防止し、また、被吸着物の剥
離による吸引力の減少を防止し、常に新たに大きな吸引
力を発生することができる。これにより、機械設備の所
要部位から被吸着物を容易に離脱させ得るとともに機械
設備の所要部位に非吸着物を安定して強力に保持するこ
とができる。
静電保持手段は、電源回路によって一組の電極に対し正
負逆の電荷を変更付与することにより、雰囲気環境への
帯電による吸引力の減少を防止し、また、被吸着物の剥
離による吸引力の減少を防止し、常に新たに大きな吸引
力を発生することができる。これにより、機械設備の所
要部位から被吸着物を容易に離脱させ得るとともに機械
設備の所要部位に非吸着物を安定して強力に保持するこ
とができる。
次にこの発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。
第1〜8図は、この発明の実施例を示すものである。第
1図において、2は静電保持手段、4・6は電極、8は
吸着機構、10は電源回路である。
1図において、2は静電保持手段、4・6は電極、8は
吸着機構、10は電源回路である。
静電保持手段2は、一組の電極4・6と吸着機構8と電
源回路10とを少なくとも有している。前記一組の電極
4・6は、例えば櫛歯状に交互に配設され、電源回路1
0により後述の如く電荷を付与される。前記吸着機構8
は、前記一組の電極4・6により誘電され、被吸着物1
2を接触させることにより被吸着物12の各電極4・6
と対向する部位に夫々静電誘導により各電極の電荷と異
なる極性の電荷を生じ、この被吸着物12に生じた電荷
と各電極4・6の電荷との間に静電的吸引力が作用して
被吸着物12を吸着機構8の表面に吸着保持する。
源回路10とを少なくとも有している。前記一組の電極
4・6は、例えば櫛歯状に交互に配設され、電源回路1
0により後述の如く電荷を付与される。前記吸着機構8
は、前記一組の電極4・6により誘電され、被吸着物1
2を接触させることにより被吸着物12の各電極4・6
と対向する部位に夫々静電誘導により各電極の電荷と異
なる極性の電荷を生じ、この被吸着物12に生じた電荷
と各電極4・6の電荷との間に静電的吸引力が作用して
被吸着物12を吸着機構8の表面に吸着保持する。
前記電源回路10は、一組の電極4・6に対し正負逆の
電荷を変更付与する。つまり、まず、−方の電極4には
正の電荷を付与するとともに他方の電極6には負の電荷
を付与し、−旦非導通状態を経て一方の電極4には負の
電荷を付与するとともに他方の電極6には正の電荷を付
与する。次いで、前記の如く一方の電極4には正の電荷
を付与するとともに他方の電極6には負の電荷を付与す
る。このように、一組の電極4・6に対し正負逆の電荷
を変更付与する前記電源回路10は、直流電源を供給す
る電源部14と、一組の電極4・6に対し正負逆の電荷
を変更付与すべく電源部14の直流電源の極性を切換え
るスイッチ等の切換部16と、からなる。
電荷を変更付与する。つまり、まず、−方の電極4には
正の電荷を付与するとともに他方の電極6には負の電荷
を付与し、−旦非導通状態を経て一方の電極4には負の
電荷を付与するとともに他方の電極6には正の電荷を付
与する。次いで、前記の如く一方の電極4には正の電荷
を付与するとともに他方の電極6には負の電荷を付与す
る。このように、一組の電極4・6に対し正負逆の電荷
を変更付与する前記電源回路10は、直流電源を供給す
る電源部14と、一組の電極4・6に対し正負逆の電荷
を変更付与すべく電源部14の直流電源の極性を切換え
るスイッチ等の切換部16と、からなる。
この静電保持手段2は、前記電源部14の直流電源の極
性を切換部16により切換えて一組の電極4・6に対し
正負逆の電荷を変更付与すると、吸着機構8が誘電され
る。この吸着機構8に被吸着物12を接触させると、両
者に夫々生じた異なる極性の電荷により吸引力を生じて
被吸着物12は吸着保持される。
性を切換部16により切換えて一組の電極4・6に対し
正負逆の電荷を変更付与すると、吸着機構8が誘電され
る。この吸着機構8に被吸着物12を接触させると、両
者に夫々生じた異なる極性の電荷により吸引力を生じて
被吸着物12は吸着保持される。
このように、一組の電極4・6に対し正負逆の電極を変
更付醪する゛ことによって、別表に示す如く、温度や湿
度等の影響を受けることなく、雰囲気環境への帯電によ
る吸引力の減少を防止し、また、被吸着物・の剥離によ
る吸引力の減少を防止し、従来よりも低い電圧(500
〜2.0OOV)により常に新たに大きな吸引力を発生
することができる。これにより、例えば、雰囲気環境に
も帯電するような長時間にわたる使用や、あるいはまた
被吸着物12の位置度えや新たに置き換えるべく剥離す
る等による場合でも吸引力が減少することもなく、被吸
着物12を常に新たに大きな吸引力で所要部位に安定し
て保持することができる。
更付醪する゛ことによって、別表に示す如く、温度や湿
度等の影響を受けることなく、雰囲気環境への帯電によ
る吸引力の減少を防止し、また、被吸着物・の剥離によ
る吸引力の減少を防止し、従来よりも低い電圧(500
〜2.0OOV)により常に新たに大きな吸引力を発生
することができる。これにより、例えば、雰囲気環境に
も帯電するような長時間にわたる使用や、あるいはまた
被吸着物12の位置度えや新たに置き換えるべく剥離す
る等による場合でも吸引力が減少することもなく、被吸
着物12を常に新たに大きな吸引力で所要部位に安定し
て保持することができる。
このため、傾斜ないし垂直である非水平状態にでも被吸
着物12を安定して強力に保持することができる。また
、常に新たに大きな吸引力を発生し得ることにより、従
来の如く特殊な材質により製造する必要がないので、材
質の選択の幅を大きくし得て、コスト的に有利に製造し
得るものである。
着物12を安定して強力に保持することができる。また
、常に新たに大きな吸引力を発生し得ることにより、従
来の如く特殊な材質により製造する必要がないので、材
質の選択の幅を大きくし得て、コスト的に有利に製造し
得るものである。
このように、被吸着物12を所要部位に安定して保持し
得ることにより、第2〜8図に示す如く、この静電保持
手段2を備えた機械設備18の機能を充分に発揮させる
ことができる。
得ることにより、第2〜8図に示す如く、この静電保持
手段2を備えた機械設備18の機能を充分に発揮させる
ことができる。
即ち、第2図は、機械設備18たる静電チャック装置1
8−1を示すものである。この静電チャック装置18−
1により被吸着物12として半導体ウェハ12−1を保
持する場合に、静電チャ・ツク装置18−1の基盤20
上の所要部位に絶縁層22を介して前記静電吸着保持手
段2の電極4・6と吸着機構8とを設け、電源回路10
によって電極4・6に対し経時的に正負逆の電荷を変更
付与することにより、常に新たに大きな吸引力で半導体
ウェハ12−1を吸着機構8に安定して保持することが
できる。
8−1を示すものである。この静電チャック装置18−
1により被吸着物12として半導体ウェハ12−1を保
持する場合に、静電チャ・ツク装置18−1の基盤20
上の所要部位に絶縁層22を介して前記静電吸着保持手
段2の電極4・6と吸着機構8とを設け、電源回路10
によって電極4・6に対し経時的に正負逆の電荷を変更
付与することにより、常に新たに大きな吸引力で半導体
ウェハ12−1を吸着機構8に安定して保持することが
できる。
これにより、半導体ウェハ12−1の位置を正確に規定
して保持し得て、半導体ウェハ12−1の保持位置の精
度を向上し得て、不良率を低下させることのできる静電
チャック装置18−1を実現することができる。
して保持し得て、半導体ウェハ12−1の保持位置の精
度を向上し得て、不良率を低下させることのできる静電
チャック装置18−1を実現することができる。
第3図は、別の静電チャック装置18−2を示すもので
ある。この静電チャック装置18−2は、基盤20の所
要部位に絶縁層22を介して一方の電極を構成する導電
体24を設けるとともに、被吸着物12としての半導体
ウェハ12−2を一方の電極として構成したものである
。
ある。この静電チャック装置18−2は、基盤20の所
要部位に絶縁層22を介して一方の電極を構成する導電
体24を設けるとともに、被吸着物12としての半導体
ウェハ12−2を一方の電極として構成したものである
。
これにより、導電体24と半導体ウェハ12−2とに対
し経時的に正負逆の電荷を変更付与することにより、半
導体ウェハ12−2を吸着機構8に直接的に且つより安
定して保持し得て、櫛歯状の一組の電極46を設ける必
要がないので、構造の面素化とコストの低減を果すこと
ができる。
し経時的に正負逆の電荷を変更付与することにより、半
導体ウェハ12−2を吸着機構8に直接的に且つより安
定して保持し得て、櫛歯状の一組の電極46を設ける必
要がないので、構造の面素化とコストの低減を果すこと
ができる。
第4図は、機械設備18たる静電給紙装置18−3を示
すものである。この静電給紙装置1B−3により被吸着
物12として紙12−3を保持して供給する場合に、静
電給紙装置18−3の給紙ローラ26に静電吸着手段2
の電極4・6と吸着機構8とを設け、電源回路10によ
って電極4・6に対し正負逆の電荷を変更付与すること
により、常に新たに大きな吸引力で祇12−3を給紙ロ
ーラ26に安定して保持し得て確実に供給することので
きる静電給紙装置1B−3を実現することができる。
すものである。この静電給紙装置1B−3により被吸着
物12として紙12−3を保持して供給する場合に、静
電給紙装置18−3の給紙ローラ26に静電吸着手段2
の電極4・6と吸着機構8とを設け、電源回路10によ
って電極4・6に対し正負逆の電荷を変更付与すること
により、常に新たに大きな吸引力で祇12−3を給紙ロ
ーラ26に安定して保持し得て確実に供給することので
きる静電給紙装置1B−3を実現することができる。
第5・6図は、機械設備18たる静電コンベア装置18
−4を示すものである。この静電コンベア装置18−4
により被吸着物12として搬送物12−4を保持して搬
送する場合に、静電コンベア装置18−4の一組のロー
ラ28・30間に巻掛けたコンベアベルト32に静電吸
着手段2の電極4・6と吸着機構8とを設け、電源回路
10によって電極4・6に対し正負逆の電荷を変更付与
することにより、常に新たに大きな吸引力で搬送’IM
12−4をコンベアベルト32に安定して保持し得て確
実に搬送することのできる静電コンベア装置18−4を
実現することができる。
−4を示すものである。この静電コンベア装置18−4
により被吸着物12として搬送物12−4を保持して搬
送する場合に、静電コンベア装置18−4の一組のロー
ラ28・30間に巻掛けたコンベアベルト32に静電吸
着手段2の電極4・6と吸着機構8とを設け、電源回路
10によって電極4・6に対し正負逆の電荷を変更付与
することにより、常に新たに大きな吸引力で搬送’IM
12−4をコンベアベルト32に安定して保持し得て確
実に搬送することのできる静電コンベア装置18−4を
実現することができる。
第7図は、機械設備18たる静電クリーナ装置18−5
を示すものである。この静電クリーナ装置18−5によ
り被吸着物12として空気中のセメント粉、細菌、塵等
の微細物12−5を吸着保持し除去する場合に、静電ク
リーナ装置18−5の本体34内の空気流れ方向である
入口部36から出口部38に指向させて並列した絶縁体
からなる支持体40の両面に電極4・6と吸着機構8と
を設け、電源回路10によって電極4・6に対し経時的
に、つまり、例えば15分間隔等の所定周期毎に、正負
逆の電荷を変更付与することにより、常に新たに大きな
吸引力で入口部36から出口部38に流れる空気中の微
細物12−5を吸着保持して確実に除去することのでき
る静電クリーナ装置18−5を実現することができる。
を示すものである。この静電クリーナ装置18−5によ
り被吸着物12として空気中のセメント粉、細菌、塵等
の微細物12−5を吸着保持し除去する場合に、静電ク
リーナ装置18−5の本体34内の空気流れ方向である
入口部36から出口部38に指向させて並列した絶縁体
からなる支持体40の両面に電極4・6と吸着機構8と
を設け、電源回路10によって電極4・6に対し経時的
に、つまり、例えば15分間隔等の所定周期毎に、正負
逆の電荷を変更付与することにより、常に新たに大きな
吸引力で入口部36から出口部38に流れる空気中の微
細物12−5を吸着保持して確実に除去することのでき
る静電クリーナ装置18−5を実現することができる。
また、電極4・6に対し非導通状態を設けることにより
、吸引力を無くして吸着保持された微細物12−5を容
易に除去・清掃し得るものである。
、吸引力を無くして吸着保持された微細物12−5を容
易に除去・清掃し得るものである。
第8図は、別の静電クリーナ装置18−6を示すもので
ある。電源回路10により電極4・6に対し周期毎に正
負逆の電荷を変更付与する構成としたので、この発明に
よる静電保持手段2は材質の選択の幅を大きくし得るも
のであり、そのため、吸着機構8を剛性の高い材質によ
り形成することができる。これにより、第6図に示す静
電クリーナ装置18−5の支持体40を不用とし得て、
本体34内に吸着機構8を直接支持させて設けることが
でき、構造の簡素化を果し得てコストの低減に寄与し得
て微細物12−6を確実に除去し得る静電クリーナ装置
18−6を実現し得るものである。
ある。電源回路10により電極4・6に対し周期毎に正
負逆の電荷を変更付与する構成としたので、この発明に
よる静電保持手段2は材質の選択の幅を大きくし得るも
のであり、そのため、吸着機構8を剛性の高い材質によ
り形成することができる。これにより、第6図に示す静
電クリーナ装置18−5の支持体40を不用とし得て、
本体34内に吸着機構8を直接支持させて設けることが
でき、構造の簡素化を果し得てコストの低減に寄与し得
て微細物12−6を確実に除去し得る静電クリーナ装置
18−6を実現し得るものである。
なお、第7図に示す静電クリーナ装置18−5において
は、一組の電極4・6に正負逆の電荷を変更付与する周
期を15分としたが、雰囲気の条件、つまり温度・湿度
など、そしてまた吸着機構8を構成する材質やその他の
条件によって、この周期は秒、分、時間単位で適宜の数
値を選ぶことが好ましい。
は、一組の電極4・6に正負逆の電荷を変更付与する周
期を15分としたが、雰囲気の条件、つまり温度・湿度
など、そしてまた吸着機構8を構成する材質やその他の
条件によって、この周期は秒、分、時間単位で適宜の数
値を選ぶことが好ましい。
別 表
〔発明の効果〕
このようにこの発明によれば、機械設備の所要部位に設
けた静電保持手段は、電源回路によって一組の電極に対
し正負逆の電荷を変更付与することにより、雰囲気環境
への帯電による吸引力の減少や被吸着物の剥離による吸
着機構の静電気用の減少による吸引力の減少を防止して
常に新たに大きな吸引力を発生することができる。
けた静電保持手段は、電源回路によって一組の電極に対
し正負逆の電荷を変更付与することにより、雰囲気環境
への帯電による吸引力の減少や被吸着物の剥離による吸
着機構の静電気用の減少による吸引力の減少を防止して
常に新たに大きな吸引力を発生することができる。
また、別表に示すように、温度や湿度の影響を受けず、
更に低温時においても従来設備に比較し大きな吸引力を
発揮し得る。
更に低温時においても従来設備に比較し大きな吸引力を
発揮し得る。
このように、常に新たに大きな吸引力を発生することに
より、低い電圧の電流により機械設備の所要部位に被吸
着物を安定して保持し得て、従来の如く特殊な材質によ
り製造する必要がないので材質の選択の幅を大きくし得
て、コスト的に有利に製造し得るものである。
より、低い電圧の電流により機械設備の所要部位に被吸
着物を安定して保持し得て、従来の如く特殊な材質によ
り製造する必要がないので材質の選択の幅を大きくし得
て、コスト的に有利に製造し得るものである。
このように被吸着物を、所要部位に安定して保持し得る
ことにより、この静電保持手段を備えた機械設備の機能
を充分に発揮し得るものである。
ことにより、この静電保持手段を備えた機械設備の機能
を充分に発揮し得るものである。
第1〜8図はこの発明の実施例を示し、第1図は静電保
持手段の平面図、第2図は静電保持手段を備えた静電チ
ャック装置の断面図、第3図は別の静電チャック装置の
断面図、第4図は静電保持手段を備えた静電給紙装置の
斜視図、第5・6図は静電保持手段を備えた静電コンヘ
ア装置の夫々斜視図と側面図、第7図は静電保持手段を
備えた静電クリーナ装置の断面図、第8図は別の静電ク
リーナ装置の断面図である。 図において、2は静電保持手段、4・6は電極、8は吸
着機構、10は電源回路、12は被吸着物、12−1・
12−2は半導体ウェハ、12−3は紙、12−4は搬
送物、12−5は微細物、14は電源部、16は切換部
、18は機械設備、18−1・18−2は静電チャック
装置、18−3は静電給紙装置、18−4は静電コンベ
ア装置、18−5・18−6は静電クリーナ装置である
。 特許出願人 株式会社 アビサレ 代理人 弁理士 西 郷 義 実 弟1図 、、、/ ■ 平材ε有It正書く方式) 昭和63年 3月28日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 規定による特許出願 2、発明の名称 静電保持手段を備えた機械設備 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 静岡県掛用市金城66番地 名称 株式会社アビサレ 代表者笠原敬次 4、代 理 人 〒101 置 03−292−4
411 (代表)住 所 東京都千代田区神田小川
町2丁目8番6、補正の対象
持手段の平面図、第2図は静電保持手段を備えた静電チ
ャック装置の断面図、第3図は別の静電チャック装置の
断面図、第4図は静電保持手段を備えた静電給紙装置の
斜視図、第5・6図は静電保持手段を備えた静電コンヘ
ア装置の夫々斜視図と側面図、第7図は静電保持手段を
備えた静電クリーナ装置の断面図、第8図は別の静電ク
リーナ装置の断面図である。 図において、2は静電保持手段、4・6は電極、8は吸
着機構、10は電源回路、12は被吸着物、12−1・
12−2は半導体ウェハ、12−3は紙、12−4は搬
送物、12−5は微細物、14は電源部、16は切換部
、18は機械設備、18−1・18−2は静電チャック
装置、18−3は静電給紙装置、18−4は静電コンベ
ア装置、18−5・18−6は静電クリーナ装置である
。 特許出願人 株式会社 アビサレ 代理人 弁理士 西 郷 義 実 弟1図 、、、/ ■ 平材ε有It正書く方式) 昭和63年 3月28日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 規定による特許出願 2、発明の名称 静電保持手段を備えた機械設備 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 静岡県掛用市金城66番地 名称 株式会社アビサレ 代表者笠原敬次 4、代 理 人 〒101 置 03−292−4
411 (代表)住 所 東京都千代田区神田小川
町2丁目8番6、補正の対象
Claims (1)
- 1、一組の電極とこの一組の電極により誘電され静電的
吸引力により被吸着物を吸着保持する吸着機構と前記一
組の電極に対し正負逆の電荷を変更付与する電源回路と
を少くとも有する静電保持手段を所要部位に設けたこと
を特徴とする静電保持手段を備えた機械設備。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5890488A JPS642947A (en) | 1988-03-12 | 1988-03-12 | Mechanical facility provided with electrostatic holding means |
DE8888105806T DE3879295T2 (de) | 1987-04-14 | 1988-04-12 | Maschine-einheit mit einer statische elektrizitaet benutzenden haltevorrichtung. |
EP88105806A EP0297227B1 (en) | 1987-04-14 | 1988-04-12 | Machine unit having retaining device using static electricity |
US07/180,484 US4864461A (en) | 1987-04-14 | 1988-04-12 | Machine unit having retaining device using static electricity |
AT88105806T ATE87150T1 (de) | 1987-04-14 | 1988-04-12 | Maschine-einheit mit einer statische elektrizitaet benutzenden haltevorrichtung. |
CA000564071A CA1329638C (en) | 1987-04-14 | 1988-04-13 | Machine unit having retaining device using static electricity |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5890488A JPS642947A (en) | 1988-03-12 | 1988-03-12 | Mechanical facility provided with electrostatic holding means |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62089848A Division JPS63257481A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | 静電保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH012947A true JPH012947A (ja) | 1989-01-06 |
JPS642947A JPS642947A (en) | 1989-01-06 |
Family
ID=13097791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5890488A Pending JPS642947A (en) | 1987-04-14 | 1988-03-12 | Mechanical facility provided with electrostatic holding means |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS642947A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0379533A (ja) * | 1989-08-23 | 1991-04-04 | Ricoh Co Ltd | 走行体駆動装置 |
JPH07210104A (ja) * | 1995-02-09 | 1995-08-11 | Itoki Crebio Corp | 静電吸着式掲示板 |
JP2009046710A (ja) * | 2007-08-16 | 2009-03-05 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体素子の連続的製造装置 |
JP7159942B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2022-10-25 | 株式会社村田製作所 | 外観検査装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0671944B2 (ja) * | 1985-12-25 | 1994-09-14 | 太平化学製品株式会社 | 静電保持装置 |
JPH074718B2 (ja) * | 1986-06-04 | 1995-01-25 | キヤノン株式会社 | 静電吸着装置 |
-
1988
- 1988-03-12 JP JP5890488A patent/JPS642947A/ja active Pending
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