JPH0453040A - 光ディスク媒体 - Google Patents
光ディスク媒体Info
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- JPH0453040A JPH0453040A JP2162023A JP16202390A JPH0453040A JP H0453040 A JPH0453040 A JP H0453040A JP 2162023 A JP2162023 A JP 2162023A JP 16202390 A JP16202390 A JP 16202390A JP H0453040 A JPH0453040 A JP H0453040A
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Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
情報の記録が可能な形式の光ディスク媒体の構造に関し
、 クロストークを無くし、再生信号品質を向上することを
目的とし、 スパイラル状又は同心円状に形成された光ビームのサー
ボ用案内溝の部分を除いて、記録膜を半径方向には非連
続に構成する。
、 クロストークを無くし、再生信号品質を向上することを
目的とし、 スパイラル状又は同心円状に形成された光ビームのサー
ボ用案内溝の部分を除いて、記録膜を半径方向には非連
続に構成する。
本発明は、情報の記録が可能な形式の光ディスク媒体の
構造に関する。
構造に関する。
光ディスク媒体は、レーザー光を直径約１μｍ程度の微
小な光点に絞り込み、記録すべき情報に従ってレーザー
光を変調して熱的に記録材料の状態を変化させて記録を
行うものである。
小な光点に絞り込み、記録すべき情報に従ってレーザー
光を変調して熱的に記録材料の状態を変化させて記録を
行うものである。
情報の再生は、記録されたピットからの反射光の変化を
光学的に読取ることに依って行う。
光学的に読取ることに依って行う。
従って記録再生は、高密度且つ非接触で行え、高速のラ
ンダムアクセスが可能で長寿命であるのが特長である。
ンダムアクセスが可能で長寿命であるのが特長である。
第４図に示す如く、光ディスク媒体１は、通常光ビーム
を所定の位置に導く為のプリグループと称されるサーボ
用ビームの案内溝３を、例えばガラス等の円形基板２の
上に幅０．７０．８μｍ、深さ７０〜８０ｎｍ、ピッチ
１．６μｍ程度の寸法でスパイラル状、又は同心円状に
形成した後、その１に記録膜５、及び保護膜６等を一様
に真空製膜方法に依って形成している。
を所定の位置に導く為のプリグループと称されるサーボ
用ビームの案内溝３を、例えばガラス等の円形基板２の
上に幅０．７０．８μｍ、深さ７０〜８０ｎｍ、ピッチ
１．６μｍ程度の寸法でスパイラル状、又は同心円状に
形成した後、その１に記録膜５、及び保護膜６等を一様
に真空製膜方法に依って形成している。
記録膜５は、真空製膜に依る為に基板２の全面に互って
一様に形成される。
一様に形成される。
情報の記録再生は、光ビームのサーボ用案内溝３、又は
案内溝の間４にレーザー光を絞り込んで照射して行われ
るが、この時、光サーボの要求から一般にレーザー光の
径は、案内溝３の幅、又は案内溝の間隔４よりも太くな
っており、レーザー光で記録されるピットは記録パワー
にも依るが案内溝３の幅や案内溝の間隔４よりも太くな
る場合がある。
案内溝の間４にレーザー光を絞り込んで照射して行われ
るが、この時、光サーボの要求から一般にレーザー光の
径は、案内溝３の幅、又は案内溝の間隔４よりも太くな
っており、レーザー光で記録されるピットは記録パワー
にも依るが案内溝３の幅や案内溝の間隔４よりも太くな
る場合がある。
実際に大きな再生信号を得る為には、案内溝３の幅や案
内溝の間隔４より若干太いピットを形成している。
内溝の間隔４より若干太いピットを形成している。
すると、案内溝３に記録した場合には案内溝の間４に、
案内溝の間４に記録した場合には案内溝３にピットの滲
み出しが生じる。
案内溝の間４に記録した場合には案内溝３にピットの滲
み出しが生じる。
この滲み出したピットの一部は、その隣の案内溝３、又
は案内溝の間４に記録した情報を再生する時にノイズと
なって再生信号品質を劣化させる所謂クロストークを生
じると言う問題点があった。
は案内溝の間４に記録した情報を再生する時にノイズと
なって再生信号品質を劣化させる所謂クロストークを生
じると言う問題点があった。
本発明は、クロストークを無くし、再生信号品質を向上
することを目的とするものである。
することを目的とするものである。
上記目的を達成する為に本発明に於いては、第１図の原
理図に示す如く、スパイラル状、又は同心円状に形成さ
れた光ビームのサーボ用案内溝７の部分を除いて、記録
膜８を半径方向には非連続に形成したものである。
理図に示す如く、スパイラル状、又は同心円状に形成さ
れた光ビームのサーボ用案内溝７の部分を除いて、記録
膜８を半径方向には非連続に形成したものである。
記録膜は案内溝には存在せず、案内溝間にのみ存在する
。
。
従って、案内溝には記録されること無く案内溝間に記録
されたピットが案内溝に滲み出して記録されることも無
い。
されたピットが案内溝に滲み出して記録されることも無
い。
この為、クロストークは無視出来る程度に軽減出来る。
第２図及び第３図は本発明の一実施例である。
本発明に於いては、第１図の原理図に示す如く、スパイ
ラル状に形成されたサーボ用ビームの案内溝７の部分を
除いて、記録膜８を半径方向には非連続になるように形
成したものである。
ラル状に形成されたサーボ用ビームの案内溝７の部分を
除いて、記録膜８を半径方向には非連続になるように形
成したものである。
その具体的な実施方法としては、第２図（ａ）の側面図
に示す如く、先ずガラス等の極めて平坦な円形基板１０
の上にスパッタ製膜方法に依って、順次、例えば２酸化
珪素膜（Ｓ ｉ ０２ ） １１、記録膜として非晶質
会合磁性薄膜であるテリビューム鉄コバルト膜（ＴｂＦ
ｅＣｏ）８．２酸化珪素膜１２を重畳積層する。
に示す如く、先ずガラス等の極めて平坦な円形基板１０
の上にスパッタ製膜方法に依って、順次、例えば２酸化
珪素膜（Ｓ ｉ ０２ ） １１、記録膜として非晶質
会合磁性薄膜であるテリビューム鉄コバルト膜（ＴｂＦ
ｅＣｏ）８．２酸化珪素膜１２を重畳積層する。
積層された厚みは、３層で約２００ｎｍ程である。
２酸化珪素膜１１及び１２は、ガラス状の透明なる物質
である。
である。
最上部の２酸化珪素膜Ｉ２は、記録層であるテリビュー
ム鉄コバルト膜８の保護膜である。
ム鉄コバルト膜８の保護膜である。
この膜１１及び１２の材料は、２酸化珪素に限られるも
のでは無く、例えば１酸化珪素（Ｓｉｎ）、窒化アルミ
ニューム（ＩＮ）、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ、）等でも良い
。
のでは無く、例えば１酸化珪素（Ｓｉｎ）、窒化アルミ
ニューム（ＩＮ）、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ、）等でも良い
。
次に同図ｆｂ）の側面図に示す如く、同図（ａ）のよう
に処理された円板にフォトレジスト（例えばシラプレー
社製のフォトレジストＡＺ Ｉ ３５０）を約ｌ０００
人スピンコードの手法を用いて塗布し、フォトレジスト
膜１３を形成する。
に処理された円板にフォトレジスト（例えばシラプレー
社製のフォトレジストＡＺ Ｉ ３５０）を約ｌ０００
人スピンコードの手法を用いて塗布し、フォトレジスト
膜１３を形成する。
そして同図（Ｃ，）の側面図に示す如く、同図（１））
のフォトレジスト膜１３を所定の情報パターンで変調し
たレーザー光で露光する。
のフォトレジスト膜１３を所定の情報パターンで変調し
たレーザー光で露光する。
この時の情報パターンとは、予め設定されている例えば
トラック番号、シリンダ番号、セクター番号等の固定情
報である。
トラック番号、シリンダ番号、セクター番号等の固定情
報である。
レーサー光で露光されたフォトレジスト膜１３は、同図
（ｄ）の側面図に示す如（アルカリ系現像液て現像する
ことで、所定の情報パターンを有したディスクを得るこ
とが出来る。
（ｄ）の側面図に示す如（アルカリ系現像液て現像する
ことで、所定の情報パターンを有したディスクを得るこ
とが出来る。
この時、情報パターンとして光が照射された部分は、２
酸化珪素膜（Ｓ ｉ ０２ ） １２が露出した状態で
ある。
酸化珪素膜（Ｓ ｉ ０２ ） １２が露出した状態で
ある。
このようにして形成された同図（ｄ）の円板を、同図（
ｅ）の側面図に示す如く、ＣＦ４ 、ＣＨＦ３又はＣＦ
４＋Ｈ２等のフロロカーボン系ガスを使用して露出した
２酸化珪素膜１２をエツチングする。
ｅ）の側面図に示す如く、ＣＦ４ 、ＣＨＦ３又はＣＦ
４＋Ｈ２等のフロロカーボン系ガスを使用して露出した
２酸化珪素膜１２をエツチングする。
２酸化珪素膜１２のエツチングが終了したら、エツチン
グガスをフロロカーボン系ガスからアルゴンガス（Ａｒ
）に切り換えて露出したテリビューム鉄コバルト（Ｔｂ
ＦｅＣｏ）膜１２のエツチングを行う。
グガスをフロロカーボン系ガスからアルゴンガス（Ａｒ
）に切り換えて露出したテリビューム鉄コバルト（Ｔｂ
ＦｅＣｏ）膜１２のエツチングを行う。
この時、アルゴンガスに対する５ｉＯｚ膜１２とＴｂＦ
ｅＣｏ膜８のエツチングレートは、ＴｂＦｅＣｏ膜８の
方が太き（実質的にＴｂＦｅＣｏ膜８がエツチングされ
、案内溝７が構成される。
ｅＣｏ膜８のエツチングレートは、ＴｂＦｅＣｏ膜８の
方が太き（実質的にＴｂＦｅＣｏ膜８がエツチングされ
、案内溝７が構成される。
そして最後に同図げ）の側面図に示す如く、酸素（０□
）ガスを使用してアッシング処理を行い、マスクのフォ
トレジスト膜１３を灰化して、所定の情報パターンを有
する光ディスク媒体を完成するものである。
）ガスを使用してアッシング処理を行い、マスクのフォ
トレジスト膜１３を灰化して、所定の情報パターンを有
する光ディスク媒体を完成するものである。
第３図は本発明の他の実施例を示す側面図であって、第
２図（ｆ）のようにして完成した光ディスク媒体の面に
、真空製膜方法でアルミニューム等の反射膜１４を一体
に積層したものである。
２図（ｆ）のようにして完成した光ディスク媒体の面に
、真空製膜方法でアルミニューム等の反射膜１４を一体
に積層したものである。
このような構成にすることで、記録膜であるＴｂＦｅＣ
ｏ膜１２をよ膜薄２することが出来、光の干渉効果に依
る再生信号の増加や光ディスク媒体の記録感度の向上、
並びにクロストークの低減に効果を奏する。
ｏ膜１２をよ膜薄２することが出来、光の干渉効果に依
る再生信号の増加や光ディスク媒体の記録感度の向上、
並びにクロストークの低減に効果を奏する。
以上のように本発明に依って構成された光ディスク媒体
と従来技術の光ディスク媒体との間でタロストークを測
定した所、従来技術のものが１８ｃｉｂであったものが
８ ｄ、 ｂと大きく減衰していた。
と従来技術の光ディスク媒体との間でタロストークを測
定した所、従来技術のものが１８ｃｉｂであったものが
８ ｄ、 ｂと大きく減衰していた。
本発明の光ディスク媒体に依って、クロストークは殆ど
無視することが可能となり再生信号を向上するのに効果
を奏する。
無視することが可能となり再生信号を向上するのに効果
を奏する。
又、真空製膜を案内溝の無い清浄な平面に行えるのでデ
ィスクの欠陥低減にも効果を奏する。
ィスクの欠陥低減にも効果を奏する。
第１図は本発明の光ディスク媒体の原理図、第２図（ａ
）〜げ）は本発明の光ディスク媒体の製造工程を説明す
る側面図、 第３図は本発明の他の実施例を示す側面図、第４図は従
来の光ディスク媒体の側面図である。 図に於いて、 ７は案内溝、 ８は記録膜（テリビューム鉄コバルト：ＴｂＦｅＣｏ膜
）、 ｍ路溝４１１１ １０は円形基板、 １．１．１．２は２酸化珪素膜（Ｓ１０２膜）、１３は
フォトレジスト膜、１４は反射膜である。 第 １ 凹 （０，） （ｂ） λ丁マ （Ｃ） （ｅ） （＋） 第２図（その２） オ（発明の池の実施４列を示す保１１面図第 ３ 図 従来の光デ′イスグ媒体のイ則面図 第 ４ 図
）〜げ）は本発明の光ディスク媒体の製造工程を説明す
る側面図、 第３図は本発明の他の実施例を示す側面図、第４図は従
来の光ディスク媒体の側面図である。 図に於いて、 ７は案内溝、 ８は記録膜（テリビューム鉄コバルト：ＴｂＦｅＣｏ膜
）、 ｍ路溝４１１１ １０は円形基板、 １．１．１．２は２酸化珪素膜（Ｓ１０２膜）、１３は
フォトレジスト膜、１４は反射膜である。 第 １ 凹 （０，） （ｂ） λ丁マ （Ｃ） （ｅ） （＋） 第２図（その２） オ（発明の池の実施４列を示す保１１面図第 ３ 図 従来の光デ′イスグ媒体のイ則面図 第 ４ 図
Claims (1)
- スパイラル状又は同心円状に形成された光ビームのサー
ボ用案内溝（７）の部分を除いて、記録膜（８）を半径
方向には非連続に形成したことを特徴とする光ディスク
媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2162023A JPH0453040A (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 光ディスク媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2162023A JPH0453040A (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 光ディスク媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0453040A true JPH0453040A (ja) | 1992-02-20 |
Family
ID=15746601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2162023A Pending JPH0453040A (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 光ディスク媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0453040A (ja) |
-
1990
- 1990-06-20 JP JP2162023A patent/JPH0453040A/ja active Pending
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