JPH0444334Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はスライシングマシン、詳しくはシリコ
ン等のインゴツトをウエハー状に順次切断するス
ライシングマシンにおけるインゴツト取付装置に
関する。

〔従来の技術〕

半導体材料として使用されるシリコン等の結晶
を切断するに際しては、切り落とし時におけるシ
ヨツクを避けるため、通常結晶体（以下インゴツ
トという）の下部にカーボン等のダミー材を取り
付けダミーの中間部まで切目を入れ、その後は折
取るか、あるいはウエハーを吸着した後切落とし
取り出す等の手段が採られている。この場合上記
インゴツトは方向性を有し、ウエハーを切り出す
ためにはインゴツトを切断用カツタに対し所定角
度に調整して固定する必要がある。

この角度調整（以下チルチングという）を備え
た従来のスライシングマシンの概要を第８図に示
す。このスライシングマシン５０はインゴツトＷ
を載置するインゴツトベース５１をインゴツト台
５２上に取り付け、インゴツトベース５１はイン
ゴツトＷの下面に取り付けたダミーＤ（第９図ａ
参照）を摺動可能に嵌合する案内溝５３を形成
し、適所にダミーＤを挟持するインゴツトホルダ
５４を設け、このインゴツトホルダ５４は適宜の
送り手段５５に連結される送りねじ５６と螺合し
ている。５７はインゴツトクランプ用シリンダで
ある。

上記インゴツト台５２は先端を支軸５８により
支持台５９に上下方向へ揺動可能に連結し、支持
台５９はその先端をピン６０により基台６１に水
平方向に揺動可能に軸支する。

図中、Ｃは切断用カツタであり、内周にダイヤ
モンド等の切刃を備えた環状カツタである。

しかしてインゴツト切断に際し水平方向に角度
調整する必要のあるときは、ピン６０を中心に支
持台５９を左右方向に揺動し、垂直方向に角度調
整を必要とするときは支軸５８を中心としてイン
ゴツト台５２を上下方向に傾斜してそれぞれ固定
する。ついで試し切りを行ない、測定して必要あ
れば再度取付角度を補正する。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記インゴツトＷの切断に際しては、通常第９
図ｂに示す如くカツタＣの切込みはダミーＤの中
間部までとし、その後は適宜手段で折り取つて次
工程に供給する。この場合、上記方向にチルチン
グするとき、カツタＣの切込み深さを同一とする
ときは同図ｃに示す如く切り落としてシヨツクを
与え、切削したウエハーまたはカツタに傷を与え
る等の問題があり、あるいは同図ｄに示す如くイ
ンゴツト先端を下方に傾けるときはインゴツト途
中において切断が停止し、切り残しを生ずる等の
問題がある。特にこの従来方式では支軸５８を中
心にチルチングする場合、チルチング中心が内周
刃の外側になるので構造上複雑になる欠点があ
る。

なお図示省略したが左右方向にチルチングした
ときは、その影響は比較的少ないが左右方向と共
に上下方向をチルチングするときはその影響がき
わめて大きい。

このため通常、切込終了位置をリミツトスイツ
チ等で検出し、送りを停止しているが上下チルチ
ングのたびごとに切込み終了位置が変わるのでリ
ミツトスイツチの取付位置を調節する手段が採ら
れているが、煩雑な手段と熟練を要する付帯作業
が必要であつたし、その付帯作業ミスによる生産
性低下は免れなかつた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案はかかる点に鑑み、左右方向は勿論上下
方向のチルチングに際しても従来のピンによる旋
回支点方式を廃止し、チルチング中心を切落し点
とし切込み深さを常に一定に維持し、上記調整作
業を必要としないインゴツト取付装置を提供する
ことを目的とするもので、その特徴とするところ
は、インゴツト下面に取り付けたダミーを把持
し、インゴツトを所定量づつ順次繰り出すように
した割出し台をＬ字型の受台垂直部に支持せし
め、該受台の水平部は水平基台上に載置し、割出
し台は上記垂直部に対しインゴツト切断用カツタ
の予め設定した切落し点を中心として揺動可能に
取り付け、受台水平部はインゴツトの中心線とカ
ツタとの交点を通る垂直線を中心として揺動可能
に基台に取り付けたことにある。

〔作用〕 上下方向のチルチングに際しては予め設定した
ダミーの切離し終了位置、いわゆる切落し点を中
心とし、また左右方向のチルチングに際しては、
インゴツト中心線とカツタとの交点を通る垂直線
（この線は上記切込終了位置下端を通過する）を
中心とし、それぞれ揺動するものであり、従つて
カツタによる切落し点はインゴツトに対し常に一
定位置にある。

〔実施例〕

第１図乃至第７図は本考案の実施例に関する。
インゴツトＷの取付装置１は前述のインゴツトＷ
に取り付けたダミーＤを支承する割出し台２を備
え、割出し台上面にはダミーＤを嵌入し前後進を
案内する案内レール３を取り付ける。またこの割
出し台２には前述の周知構造のインゴツトホルダ
５４及びその送りねじ５６（何れも第８図参照）
を備え、ダミーＤを挟持しインゴツトＷを所定ピ
ツチづつ移行させる。４はクランプ用シリンダで
ある。

この割出し台２は上下揺動板５に取り付けられ
ており、上下揺動板５はＬ字状とした受台６の垂
直部６ａに取り付けられ、受台６の水平部６ｂは
基台７上に取り付けられている。上下揺動板５は
第４図、第５図に示す如くカツタＣのインゴツト
Ｗに対する切落し点Ａを中心として揺動するよう
に上下揺動板５にＡ点を中心とした任意の半径Ａ
１，Ａ２に沿う円弧状の案内溝８，８……を穿設
し、受台垂直部６ａには、この案内溝８に嵌入す
るピン９，９……を植設する。１０は垂直部６ａ
に穿孔した締付ねじ１１の嵌挿用長孔であり、同
様にＡ点を中心とした円弧状に形成する。締付ね
じ１１は上下揺動板５に螺合して垂直部６ａを貫
通し、垂直部裏面において座金１２を介して締付
レバー１３に連結されている。

また受台６は第１図、第６図及び第７図に示す
如く、インゴツトＷの中心線Ｘ１とカツタＣとの
交点を通る垂直線Ｘ２と基台７の上面含む水平面
Ｘ３との交点Ｂを中心として揺動するように基台
７にはＢ点を中心とした任意の半径Ｂ１，Ｂ２に
沿つて円弧状の案内溝１５を穿設し、受台水平部
６ｂの下面にはこれに嵌合するピン１６を突設す
る。また受台水平部６ｂには、上記Ｂ点を中心と
した円弧状に長孔の締付ねじ嵌挿孔１７，１７…
…を穿孔し、締付ねじ１８をこれに嵌挿し、基台
７に螺合すると共に、水平部上面において座金１
９を介して締付レバー２０に連結する。

図中２１は先端を上記揺動板５に連結した揺動
板傾動用ハンドル、２２は先端を受台水平部６ｂ
に連結した受台揺動用ハンドル、２３は割出し台
２の押し上げ用スプリングシリンダであり、チル
チング作業の負担を軽くするものである。

上記構成において、インゴツトＷに対する切込
み深さを予めダミーＤをも切り離す切落し点Ａ点
に設定する。ついで上下方向のチルチングに際し
てはレバー２１の操作により上下揺動板５を介し
てインゴツトＷを上下方向に傾動する。この際揺
動板５に設けた案内溝８は上記Ａ点を中心とした
円弧状とし、これに受台垂直部６ａに設けたピン
９が勘合しているため、上下揺動板５と共にイン
ゴツトＷはＡ点を中心として揺動する。この場合
揺動板５全体が降下するのを防止するため、Ａ点
を中心としてＡ２半径のピン９は案内溝８の外側
に、Ａ１半径のピン９は案内溝８の内側に当接し
各ピンでつつぱり合い作用を行い保持する。

従つて上下方向のチルチング操作に際し、カツ
タＣによる切込み深さは常に一定のＡ点まで切り
込まれ、切込み深さに過不足を生じることがな
い。

同様に左右方向のチルチングに際しては、レバ
ー２２の操作により受台６は水平部６ａの下面に
突設したピン１６が基台７に設けた案内溝１５に
沿つて移行し、案内溝１５は垂直線Ｘ２を中心と
した円弧状に形成されているから、インゴツトＷ
は常に垂直線Ｘ２を中心として揺動する。この垂
直線Ｘ２はインゴツトＷの中心線Ｘ１と直交して
おり、かつ上記Ａ点を通過するから、左右方向の
チルチングに際しては勿論、左右と上下方向の組
み合せのチルチングに際しても常にＡ点とするこ
とができる。

〔考案の効果〕

以上の如く本考案によるときはインゴツトの上
下方向の揺動は予め設定したインゴツトに対する
カツタによる切落し点を中心とし、また左右方向
の揺動はインゴツト中心線とカツタとの交点を通
る垂直線を中心として行なうようにしたから、上
下左右何れの方向のチルチング操作に際してもカ
ツタによる切落し点は一定で、切込み深さに過不
足を生ずることがなく、従つて従来の如きリミツ
トスイツチの取付位置合わせ等困難な切込み深さ
の調節作業を省略することができオペレータ負担
軽減を図れる等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は本考案の実施例に関し、第
１図は取付装置全体の正面図、第２図はその左側
面図、第３図はその平面図、第４図は第２図にお
ける−線に沿う受台垂直部の正面図、第５図
は第４図における−線に沿う拡大断面図、第
６図は第２図における−線に沿う受台水平部
の平面図、第７図は第６図における−線に沿
う拡大断面図、第８図及び第９図は従来例に関
し、第８図はその取付装置の概略説明図、第９図
ａはインゴツトの正面図、同図ｂ〜ｄは切込み要
領の説明図である。 １は取付装置、２は割出し台、６は受台、６ａ
は受台垂直部、６ｂは受台水平部、７は基台、Ａ
は切込終了下端位置、Ｃはカツタ、Ｄはダミー、
Ｘ１はインゴツト中心線、Ｘ２は垂直線、Ｗはイ
ンゴツトである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. インゴツト下面に取り付けたダミーを把持し、
   インゴツトを所定量づつ順次繰り出すようにした
   割出し台をＬ字型の受台垂直部に支持せしめ、該
   受台の水平部は水平基台上に載置し、割出し台は
   上記垂直部に対しインゴツト切断用カツタの予め
   設定した切落し点を中心として揺動可能に取り付
   け、受台水平部はインゴツトの中心線とカツタと
   の交点を通る垂直線を中心として揺動可能に基台
   に取り付けたことを特徴とするスライシングマシ
   ンにおけるインゴツト取付装置。