JPH0442448A - 光ディスクのスタンパ - Google Patents

光ディスクのスタンパ

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Publication number
JPH0442448A
JPH0442448A JP15098890A JP15098890A JPH0442448A JP H0442448 A JPH0442448 A JP H0442448A JP 15098890 A JP15098890 A JP 15098890A JP 15098890 A JP15098890 A JP 15098890A JP H0442448 A JPH0442448 A JP H0442448A
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JP
Japan
Prior art keywords
metal
copper
thin film
master
harder
Prior art date
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Pending
Application number
JP15098890A
Other languages
English (en)
Inventor
Michiyoshi Nagashima
道芳 永島
Fumiaki Ueno
植野 文章
Toshinori Kishi
貴志 俊法
Hiroyuki Ogawa
裕之 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPH0442448A publication Critical patent/JPH0442448A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明4よ 光ディスクの複製の際に原盤として使用す
る光ディス りのスタンバに関すも従来の技術 CDやレーザーディスクなどの光ディスクが普及してい
も ハイビジョンやマルチメディアへの対応で、光ディスク
のより高密度化 高転送レート化が望まれその有望な方
法としてV溝刃式の光ディスク(特開昭57−1058
28号公報参照)とその原盤の作製方法(時開B13−
217545号公報参照)が提案されている。従来のV
溝刃式の光ディスクおよび光ディスクの複製のための原
盤について第2図および第3図を参照しながら説明する
第2図は光ディスクの一部を示したものであり、図にお
いて、 lは透明基板 2はV溝斜面 3は信号ピット
を示す。次に第3図を参照して上記光ディスクを複製す
るための原盤の製造法を説明すも 第3図(a)に示す
ように銅盤4をダイヤモンドバイト5でカッティングし
て■溝を形成すもまず、銅盤4を鏡面に切削しておき、
その銅盤4に尖端角が165度のダイヤモンドバイト5
を2〜3μm切り込んで、銅盤4を回転させながらダイ
ヤモンドバイト5を1回転する間に1.6μmずつ銅盤
4の半径方向に移動させも このようにして、ピッチが
1. 6μmで斜面のなす角度が165度の■溝が形成
されも このV溝上に第3図(b)に示すようにフォト
レジスト6を塗布すム例え1′L  シブレイ社製AZ
1350のフォトレジストを20%に希釈して400 
r pmでスピンコードする。フォトレジスト6の塗布
表面はV溝形状には沿わずほぼ平坦になる。次にアルゴ
ンレーザーのレーザービーム7の絞られたスポット部を
V溝の斜面上にトラッキングしながら照射し レーザー
ビーム7を強度変調して第3図(C)に示すように信号
を記録する。現像すればレーザー記録部のフォトレジス
ト6が除去できて第3図(d)のようになる力交 この
銅盤からスタンパを作り複製しても第2図のようなディ
スクは得られなt〜そのため第3図(e)のようにイオ
ンビーム8を照射して銅盤4をエツチングすること7:
、■溝表面に平行な底面を持つ信号ピットを形成すも 
残ったフォトレジスト6、を酸素アッシングなどの方法
で除けば 第3図(f)のような原盤9ができる。
発明が解決しようとする課題 このようにして得られた従来の原盤から紫外線硬化樹脂
を用いてレプリカを複製することもできるh匁 大量の
レプリカを短時間で複製するにはインジェクション法の
方が望ましI、%  Lかし第3図(f)の原盤9の表
面は銅であり、柔らかく、大きな圧力を用いるインジェ
クション法には適さな(〜 スタンパにはより硬い金属
が必要であも本発明は上記課題を解決するものて イン
ジェクション法による大量のレプリカの複製に耐える丈
夫な光ディスクのスタンパを提供することを目的として
いも 課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するため&へ 原盤表面上に原
盤金属より硬い金属薄膜を形成させたものを光ディスク
のスタンパとしたものであム作用 本発明は上記の構成によりスタンパの表面は原盤金属よ
り硬い金属からなるので摩耗も少なくて耐え 繰り返し
使用しても信号ピットが欠落するような障害は生じず大
量のレプリカを複製することができる。
実施例 以下、本発明の一実施例について第1図を参照しながら
説明すも 図において、 11は光ディスクの銅等から
なる原盤であって従来と同様な方法によって作製されも
 この原盤11の上に金属薄膜12をスパッタリングな
どの方法で形成すもこの金属物質として原盤金属より硬
い金属を用いも 原盤金属が銅の場合ζよ 上記硬い金
属にはニッケルをm1 より硬い金属としてはステンレ
入チタン、チタン合金またはこれらの合金があa注意を
必要とする点は レプリカ複製の過程で原盤金属が銅の
場合は金属薄膜が銅原盤から剥離しないようにすること
である。そのため番ミ  銅原盤上に銅より硬い金属薄
膜を形成する時、最初は銅と銅より硬い金属との合金で
薄膜を形成し 徐々に銅より硬い金属だけの成分よりな
る薄膜に組成を変化させる方法を用いも この方法によ
ると、銅原盤の近くの金属薄膜は銅が混じった金属組成
よりなっていて、銅との接着性に優れ 容品に剥離する
ことはな(t また金属薄膜は銅原盤より離れるにした
がって銅の含有割合が少なくなり、外表面では殆ど銅よ
り硬い金属のみからなり、大量のレプリカ複製に耐えも 発明の効果 以上の実施例から明らかなように本発明(よ 原盤上に
その原盤金属より硬い材料よりなる金属薄膜を形成した
もので、これを光ディスクのスタンパとして使用すると
長期の使用に耐え またインジェクション法で大量の光
ディスクのレプリカを複製することができる。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の一実施例のスタンパの構成を示す部分
拡大断面医 第2図は従来のV溝光ディスクの要部の拡
大斜視図 第3図(a)〜(f)は従来のV溝光ディス
ク複製用原盤の作製プロセスの要部断面図であも ・原鉱 ・金属薄乳

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光ディスクの原盤上にその原盤の金属より硬い材
    料よりなる金属薄膜を形成した光ディスクのスタンパ。
  2. (2)原盤の金属が銅で、金属薄膜が銅より硬い材料よ
    りなる請求項(1)記載の光ディスクのスタンパ。
  3. (3)金属薄膜がニッケル、ステンレス、チタン、チタ
    ンを含む合金またはこれらの合金よりなる請求項(2)
    記載の光ディスクのスタンパ。
  4. (4)金属薄膜の原盤に近い部分は銅の含有割合が高く
    、原盤から離れるにつれて銅の含有割合が漸減し、外表
    面では銅を含まない金属のみよりなる合金組成の金属薄
    膜を形成した請求項(2)または(3)記載の光ディス
    クのスタンパ。
JP15098890A 1990-06-08 1990-06-08 光ディスクのスタンパ Pending JPH0442448A (ja)

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JP15098890A JPH0442448A (ja) 1990-06-08 1990-06-08 光ディスクのスタンパ

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JP15098890A Pending JPH0442448A (ja) 1990-06-08 1990-06-08 光ディスクのスタンパ

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998029226A1 (fr) * 1996-12-25 1998-07-09 Sony Corporation Moule metallique pour substrat de disque, procede de fabrication et ensemble moule metallique
KR100819185B1 (ko) * 2006-07-31 2008-04-02 전선규 배전반 프레임 제조방법

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998029226A1 (fr) * 1996-12-25 1998-07-09 Sony Corporation Moule metallique pour substrat de disque, procede de fabrication et ensemble moule metallique
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