JP2526980B2 - 光ディスク用スタンパ―の製造方法 - Google Patents
光ディスク用スタンパ―の製造方法Info
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- JP2526980B2 JP2526980B2 JP63081751A JP8175188A JP2526980B2 JP 2526980 B2 JP2526980 B2 JP 2526980B2 JP 63081751 A JP63081751 A JP 63081751A JP 8175188 A JP8175188 A JP 8175188A JP 2526980 B2 JP2526980 B2 JP 2526980B2
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- Japan
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- stamper
- metal layer
- optical disk
- manufacturing
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Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は光ディスクを大量複製する場合に利用される
光ディスク用スタンパーの製造方法に関するものであ
る。
光ディスク用スタンパーの製造方法に関するものであ
る。
〈従来技術〉 コンパクトディスク（以下CDと言う）に代表される光
ディスクは、一般にスタンパーを作成して、インジェク
ションにより大量複製される。
ディスクは、一般にスタンパーを作成して、インジェク
ションにより大量複製される。
該スタンパーは、ガラス原盤上にレジストを設け、レ
ーザーによる露光を行い、現像をしたのち、レジスト上
に導電層（Ni,Ag等）を蒸着等で設け、Niメッキを行う
ことになり得られている。このようにして得られたスタ
ンパーは、第１図に示す如く、ピットを形成する凸部を
有する形状になっている。該ピットの高さは、0.1μ、
幅は１μ程度となっており、非常に高精度を要求され
る。
ーザーによる露光を行い、現像をしたのち、レジスト上
に導電層（Ni,Ag等）を蒸着等で設け、Niメッキを行う
ことになり得られている。このようにして得られたスタ
ンパーは、第１図に示す如く、ピットを形成する凸部を
有する形状になっている。該ピットの高さは、0.1μ、
幅は１μ程度となっており、非常に高精度を要求され
る。
このため通常このようなスタンパーは、ピット面の摩
耗やキズによりインジェクション枚数1000〜5000ショッ
ト程度しか使用出来ない。
耗やキズによりインジェクション枚数1000〜5000ショッ
ト程度しか使用出来ない。
そこで、本発明者は表面にピット状の凸凹を有する金
属からなるスタンパー本体に対して、該表面上にスタン
パー本体と選択エッチング可能な異種金属層が薄く均一
に形成されてあるスタンパーとし、劣化に際して表面の
エッチングを行うことによりフレッシュ可能であるよう
にした光ディスク用スタンパーを形成した。
属からなるスタンパー本体に対して、該表面上にスタン
パー本体と選択エッチング可能な異種金属層が薄く均一
に形成されてあるスタンパーとし、劣化に際して表面の
エッチングを行うことによりフレッシュ可能であるよう
にした光ディスク用スタンパーを形成した。
〈発明が解決しようとする問題点〉 ところが、このようにNiスタンパー本体を作成する工
程でのレジストからのメッキ工程の中で、異種金属層を
形成するようにすると、最上層（Niスタンパー本体側）
は、Niメッキ密着性が良好な金属である必要がある。
程でのレジストからのメッキ工程の中で、異種金属層を
形成するようにすると、最上層（Niスタンパー本体側）
は、Niメッキ密着性が良好な金属である必要がある。
すなわちCr、チタンなどは鋼性があるため、耐摩耗性
にすぐれているが、このような金属はメッキが良好に行
なえないため、従来の方法では使用できなかった。
にすぐれているが、このような金属はメッキが良好に行
なえないため、従来の方法では使用できなかった。
〈問題点を解決するための手段〉 本発明は以上の如くの現況に鑑みてなされたものであ
り、表面にピット状の凸凹わ有する金属からなるスタン
パー本体を所望の方法によりまず先に作成し、その後該
スタンパーの表面上にスタンパー本体と選択エッチング
可能な異種金属層が蒸着スパッタリングなどの工程で形
成するようにしたことで、Cr、チタンなどの耐摩耗性の
ある金属層をスタンパー本体に設けることが可能とな
り、耐摩耗性のよい光ディスク用スタンパーを提供する
ものである。
り、表面にピット状の凸凹わ有する金属からなるスタン
パー本体を所望の方法によりまず先に作成し、その後該
スタンパーの表面上にスタンパー本体と選択エッチング
可能な異種金属層が蒸着スパッタリングなどの工程で形
成するようにしたことで、Cr、チタンなどの耐摩耗性の
ある金属層をスタンパー本体に設けることが可能とな
り、耐摩耗性のよい光ディスク用スタンパーを提供する
ものである。
〈実施例〉 以下本発明について、具体的に一実施例に基づき、図
面を参照しながら説明する。
面を参照しながら説明する。
まず、第１図ａに示す如く、所望の工程によりNiスタ
ンパー本体２を作成する。
ンパー本体２を作成する。
すなわち、ガラス原盤上にレジスト層を設け、レーザ
ーにより露光を行い、しかる後、現像をして何工程かの
メッキ処理を行うことにより信号情報に対応した凸凹の
ピットを有するスタンパーが得られる。
ーにより露光を行い、しかる後、現像をして何工程かの
メッキ処理を行うことにより信号情報に対応した凸凹の
ピットを有するスタンパーが得られる。
次に同図ｂに示す如く、本発明により、まず、該スタ
ンパー本体（２）の表面にチタン金属を薄く蒸着、スパ
ッタリングなどにより形成することで第１金属層４が得
られる。
ンパー本体（２）の表面にチタン金属を薄く蒸着、スパ
ッタリングなどにより形成することで第１金属層４が得
られる。
次に同じく、蒸着、スパッタリングなどにより、Mo金
属を該第１金属層４上に形成し、第２金属層６とした。
属を該第１金属層４上に形成し、第２金属層６とした。
その他Cr、Cu、Taなど、耐摩耗性にすぐれた金属が使
用可能である。
用可能である。
すなわち、ピットを形成する凸部を表面に有するNiの
スタンパー本体２に対し、その表面にCrによる第１金属
層４、またMoによる第２金属層６が形成された状態とな
る。
スタンパー本体２に対し、その表面にCrによる第１金属
層４、またMoによる第２金属層６が形成された状態とな
る。
このようなスタンパーを用いて通常5000ショット位の
光ディスクを複製すると、表面にキズ、摩耗が生じて正
確な複製が出来なくなる。
光ディスクを複製すると、表面にキズ、摩耗が生じて正
確な複製が出来なくなる。
そこで劣化した第２金属層６をアンモニア水と過酸化
水素水の混合水によりエッチング除去することで、ｃに
示す次のキズなしのCr第１金属層４が表面に表れる。こ
のことで新たに5000ショットプレスが可能になる。
水素水の混合水によりエッチング除去することで、ｃに
示す次のキズなしのCr第１金属層４が表面に表れる。こ
のことで新たに5000ショットプレスが可能になる。
なおプレス後劣化したチタン層は、赤血塩とNaOHと水
の混合水によりエッチング処理することできれいに除去
され、ｄに示すスタンパー本体２により新たに5000ショ
ット程度のプレスが可能となる。
の混合水によりエッチング処理することできれいに除去
され、ｄに示すスタンパー本体２により新たに5000ショ
ット程度のプレスが可能となる。
その他一般的にスタンパー本体上に形成される金属層
は、１層500〜1000Å程度がエッチングに手間がかから
ず、なおかつ下層へのキズの影響を与えないもっとも好
ましい層厚であり、また１層から５層以下が実用的で、
それ以上になると、ピットの凸凹の層厚によりぼけてし
まう場合がある。該金属層の材料については、となり合
う金属層と、選択的エッチング可能な異種金属になって
いればよい。
は、１層500〜1000Å程度がエッチングに手間がかから
ず、なおかつ下層へのキズの影響を与えないもっとも好
ましい層厚であり、また１層から５層以下が実用的で、
それ以上になると、ピットの凸凹の層厚によりぼけてし
まう場合がある。該金属層の材料については、となり合
う金属層と、選択的エッチング可能な異種金属になって
いればよい。
〈効果〉 本発明は以上の如くであり、予じめ出来上がったスタ
ンパー本体に対し、金属層を蒸着、スパッタリングで形
成することにより、スタンパー本体に隣接する金属層に
チタン、Crなどの耐摩耗性のある材料が使用出来、耐摩
耗性の一段とすぐれたスタンパーとなる。
ンパー本体に対し、金属層を蒸着、スパッタリングで形
成することにより、スタンパー本体に隣接する金属層に
チタン、Crなどの耐摩耗性のある材料が使用出来、耐摩
耗性の一段とすぐれたスタンパーとなる。
第１図は本発明のスタンパー製造方法と使用方法を示す
それぞれの説明図。 ２……スタンパー本体、４……第１金属層 ６……第２金属層
それぞれの説明図。 ２……スタンパー本体、４……第１金属層 ６……第２金属層
Claims (1)
- 【請求項１】表面にピット状の凸凹を有する金属からな
るスタンパー本体を所望の方法により作成し、その後該
スタンパーの表面上にスタンパー本体と選択エッチング
可能な異種金属層が蒸着、スパッタリングなどの工程で
形成するようにしたことを特徴とする光ディスク用スタ
ンパーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63081751A JP2526980B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 光ディスク用スタンパ―の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63081751A JP2526980B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 光ディスク用スタンパ―の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01253847A JPH01253847A (ja) | 1989-10-11 |
| JP2526980B2 true JP2526980B2 (ja) | 1996-08-21 |
Family
ID=13755143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63081751A Expired - Lifetime JP2526980B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 光ディスク用スタンパ―の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2526980B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60195749A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-04 | Fujitsu Ltd | スタンパの製造方法 |
| JPS613339A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-09 | Hitachi Ltd | 高密度情報記録円板複製用スタンパおよびその製造方法 |
| JPS6148146A (ja) * | 1984-08-13 | 1986-03-08 | Ricoh Co Ltd | 光デイスク用スタンパ |
| JPS6177152A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-19 | Ricoh Co Ltd | 光デイスク用スタンパの製作法 |
-
1988
- 1988-04-01 JP JP63081751A patent/JP2526980B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60195749A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-04 | Fujitsu Ltd | スタンパの製造方法 |
| JPS613339A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-09 | Hitachi Ltd | 高密度情報記録円板複製用スタンパおよびその製造方法 |
| JPS6148146A (ja) * | 1984-08-13 | 1986-03-08 | Ricoh Co Ltd | 光デイスク用スタンパ |
| JPS6177152A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-19 | Ricoh Co Ltd | 光デイスク用スタンパの製作法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01253847A (ja) | 1989-10-11 |
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