KR100587332B1 - 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법 - Google Patents

디스크 타입 기록 매체의 제조 방법 Download PDF

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KR100587332B1
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Abstract

본 발명은 원형 디스크 타입의 기록 매체들에서 기록막상에 분리층을 형성하고 다시 기록막을 형성하는 공정을 반복하는 것이 가능하도록 하여 기록 밀도를 높일 수 있도록한 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법에 관한 것으로, 디스크 기판상에 분리층을 사이에 두고 적층되는 기록막 조합층들을 갖는 기록 매체의 제조에 있어서, 레이저 광을 통해 전달된 정보가 피트 형태로 담겨있는 스탬퍼의 가장자리 부분에 홈을 형성하는 단계를 포함하고, 각각의 기록막 조합층이 형성된 후에 스탬퍼에 형성된 홈을 이용하여 분리층 형성을 위한 본딩 공정을 진행하고,이와 같은 기록막 조합층과 분리층의 형성 공정을 반복하는 것을 특징으로 한다.
광 디스크, 상변화형 광디스크, 스탬퍼, 분리층

Description

디스크 타입 기록 매체의 제조 방법{Method for fabricating of multilayered disk}
도 1a내지 도 1d는 본 발명에 따른 기록 매체의 제작을 위한 스탬퍼 형상을 나타낸 구성도
도 2a와 도 2b는 분리 촉진층이 형성된 스탬퍼 및 다층 박막이 형성된 폴리카보네이트 기판의 구성도
도 3a내지 도 3h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기록 매체 제조를 위한 공정 단면도
도 4a내지 도 4h는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기록 매체 제조를 위한 공정 단면도
도 5a내지 도 5d는 본딩 공정을 위한 지그 결합 방법을 나타낸 구성도
도 6은 본딩 공정 진행후의 분리 방법을 나타낸 구성도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
21. 스탬퍼 22. 분리 촉진층
23. 기판 24. 제 1 기록막
25. 분리층 형성용 물질 26. 지그
27. 제 1 분리층 28. 제 2 기록막
29. 제 2 분리층
본 발명은 원형 디스크 타입의 기록 매체들에 관한 것으로, 특히 기록막상에 분리층을 형성하고 다시 기록막을 형성하는 공정을 반복하는 것이 가능하도록 하여 기록 밀도를 높일 수 있도록한 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법에 관한 것이다.
동화상 및 정지 화상을 포함한 비디오 신호, 오디오 신호 및 컴퓨터 데이터 정보를 종합적으로 다루는 멀티 미디어 시대의 도래와 함께, 패키지 미디어(예, CD, DVD를 비롯한 각종 디스크)가 폭넓게 보급되고 있으며, 이 같은 추세는 더욱 두드러질 전망이다.
패키지 미디어, 가령 컴팩트 디스크(CD)와 디지털 비디오(혹은 Versatile) 디스크(DVD)는 크게 기판과 정보를 기록하고 있는 기록막 및 보호막으로 구성되어 있다.
이들 광 디스크들 가운데, 재생 전용(ROM : Read Only Memory) 디스크는 서보나 위치 정보 혹은 피트(pit) 형태의 미세한 홈이 원주 방향으로 형성되어 있고, 반사층이 존재한다.
한편, 정보를 오직 한 번 기록할 수 있는 추기형(Recordable)인 경우와 반복해서 정보를 쓰고 읽고, 지우기가 가능한 반복 기록형(Rewritable) 디스크의 경우는 프리 피츠(Pre-Pits)와 반사층 외에도 리코더블 다이(Recordable Dye)나 상 변 화 혹은 광 자기 방식의 기록층과 이 기록층을 보호하기 위한 보호층 등으로 구성된다.
이와 같은, 반복 기록형 디스크들이 최근 들어 고용량화되고 또한 오디오나 비디오, 음악 파일 재생용 외에 퍼스널 컴퓨터(PC : Personal Computer)용 저장매체로도 쓰일 전망이다.
PC용 정보 저장매체로 충분한 반복 기록이 되기 위해서는 오디오/비디오용보다 훨씬 많은 수의 반복 기록, 재생을 할 수 있어야 한다. 또한, 고화질 디지털 방송의 출현과 이 방송 신호를 디지털로 기록하기 위해서는 이전에 보유한 디스크들보다 훨씬 많은 양의 정보를 보관 가능해야 한다.
이와 같이 고밀도 정보기록/재생에 대한 요구가 커지면서 레이저광의 열적 에너지를 이용하거나 이에 덧붙여 자기장을 추가로 인가하여 이를 구현하는 등의 고밀도 기록매체가 점차 확산되는 추세에 있다.
전자의 경우는 주로 기록 층에 있어서 재료의 상 변태를 이용하게 되는 상 변화형 광디스크가 이에 해당되고 후자의 경우는 광자기 디스크가 해당된다.
상 변화형 광디스크는 집속 된 레이저 빔을 기록 층의 국부적인 영역에 조사하여 승온/용융 시키고 열의 확산속도를 빠르게 설계한 디스크 구조를 이용해 급냉 시켜 비정질 마크를 결정질 기지(matrix)에 만들어 줌으로써 정보를 기록하고, 이를 다시 기록시 보다 낮은 파워로 가열해 비정질 마크 부위를 결정질로 만들어 줌으로써 기록된 정보를 소거시킨다.
결정과 비정질 사이의 가역적 변태(reversible reaction)를 이용해 정보를 기록하는 상 변화형 광 기록매체에서 기록층 재료로 폭 넓게 쓰이고 있는 것 중의 하나가 Ge-Sb-Te 계로 대표되는 3원계 합금의 금속간 화합물이다.
또한, 저선속 에서 소거율 특성과 신호기록 감도를 높일 수 있도록 설계된 Ag-In-b-Te 계 합금계도 최근 주목이 되고 있다.
이러한 기록층의 상,하에는 광학적 특성 및 열적인 특성을 유지해주기 위해 유전체층을 설치하게 된다. 유전체층으로는 ZnS-SiO2 계 박막이 많이 쓰이고 있다,
그리고 광 반사량을 높이면서 비정질 bit의 형성을 위한 적절한 냉각속도를 얻기 위해 반사 방열층을 설치하게 되는데 이의 재료로는 Al 합금, Ag, Au등의 박막이 많이 쓰이고 있다.
광자기 디스크의 경우에는 수직자화 박막에 자기장을 가하면서 레이저광의 열적 효과를 이용하여 Bit을 형성하여 기록하고 자기광학효과(Kerr Effect, Faraday Effect)를 이용하여 정보를 판독하는 것으로, 상 변화형 광디스크와 마찬가지로 기록층을 주위로 상하에 유전체층을 설치하고 마지막으로는 반사 방열층을 설치한다.
여기서, 기록층 재료로는 희토류 천이 금속 합금계(RE-TM)를 많이 쓰는데, 천이금속으로는 강자성 원소인 Fe, Co등이 있고 희토류 원소에는 Tb, Dy, Gd, Sm, Ho 등의 원소가 있다.
그리고 유전체 보호막으로는 Si3N4, AlN, SiO2, Al2O3 등이 이용되고, 반사 방열층으로는 Al 합금, Ag, Au등의 박막이 많이 쓰이고 있다.
위에 소개된 상 변화형 광디스크, 광자기형 디스크 외에 광디스크 계열로 Dye 재료를 이용한 1회 쓰기 가능형(Write-once type) 디스크와 금속 반사층만의 반사도를 이용한 읽기 전용 디스크가 있다.
그러나 이상에서 설명한 종래 기술의 디스크형 기록 매체에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있다.
종래 기술의 정보 저장 디스크 경우, 기록층(상 변화재료, 광자기 재료, Dye 등)을 포함한 전체 다층 박막을 기록막이라 하고 이와 같은 기록막을 대부분 1,2개 갖는 구조이다.
그러나 더 많은 정보 기록이 가능하도록 하기 위해서는 구조를 달리하여 기록 매체를 대용량화해야하는데, 종래 기술에서는 제 2, 제 3 이상의 기록막층을 더 적층시킬 수 있는 방법이 제시되지 않고 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 기록 매체의 문제를 해결하기 위한 것으로, 원형 디스크 타입의 기록 매체에서 기록막상에 분리층을 형성하고 다시 기록막을 형성하는 공정을 반복하는 것이 가능하도록 하여 기록 밀도를 높일 수 있도록한 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법은 디스크 기판상에 분리층을 사이에 두고 적층되는 기록막 조합층들을 갖는 기록 매체의 제조에 있어서, 레이저 광을 통해 전달된 정보가 피트 형태로 담 겨있는 스탬퍼의 가장자리 부분에 홈을 형성하는 단계를 포함하고, 각각의 기록막 조합층이 형성된 후에 스탬퍼에 형성된 홈을 이용하여 분리층 형성을 위한 본딩 공정을 진행하고,이와 같은 기록막 조합층과 분리층의 형성 공정을 반복하는 것을 특징으로 하는 한다.
여기서, 기록막 조합층이 적층되는 층수에 따라 기록 밀도가 정수배로 증가하는 것을 특징으로 한다.
그리고 스탬퍼에 형성되는 홈을 스탬퍼 가장자리 부분 전체에 원주 모양으로 균일하게 형성하거나, 가장자리 부분의 임의의 위치에 복수개 형성하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 스탬퍼에 형성되는 홈은 스탬퍼의 두께가 100um ~ 50.0mm인 경우에,깊이를 10um ~ 20um으로, 평면상에서의 폭을 10um ~ 2mm의 크기로 형성하는 것을 특징으로 한다.
그리고 본딩 공정을 진행하기 전에 스탬퍼, 기록막 조합층이 형성된 디스크 기판의 어느 하나의 상면에 분리층을 형성하기 위한 물질층을 형성하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 분리층을 형성하기 위한 물질층으로 자외선 경화 수지를 사용하는 것을 특징으로 한다.
그리고 본딩 공정시에 스탬퍼의 홈 크기에 맞는 분리된 원형 링이나 홈 갯수에 상응하도록 나누어진 지그를 사용하여 회전 방식, 진공 가압 방식의 어느 하나를 포함하는 방식으로 자외선을 조사하며 진행하는 것을 특징으로 한다.
그리고 분리층을 형성하기 위한 본딩 공정후에 스탬퍼와 디스크 기판을 기계적으로 분리시키기 위한 방법으로, 타원형통(x > y)을 반경 방향이나 원주 방향으로 끼워 회전시키거나, 삼각뿔 형태의 테이퍼 핀을 원주 방향이나 반경 방향으로 끼워(tangential direction) 왕복 선형 운동시키거나, 지그를 분리시키지 않고 본딩후에 지그를 떼어내는 과정에서 끝단 부분을 상하로 흔들어 분리시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 목적, 특성 및 잇점들은 이하에서의 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.
본 발명에 따른 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법의 바람직한 실시예에 관하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1a내지 도 1d는 본 발명에 따른 기록 매체의 제작을 위한 스탬퍼 형상을 나타낸 구성도이고, 도 2a와 도 2b는 분리 촉진층이 형성된 스탬퍼 및 다층 박막이 형성된 폴리카보네이트 기판의 구성도이다.
본 발명은 주어진 일정 반경 범위의 면적에서 이전에 사용하는 같은 기록, 재생 기술만을 이용해 2배, 3배,..등의 정수배의 기록 밀도를 얻을 수 있도록한 것으로, 제 1 기록막 위에 분리층을 형성시키고 그 위에 제 2 기록막을 입히고 위와 같은 절차를 반복함으로 기록 밀도가 정수배로 증가하는 것이 가능하도록한 것이다.
먼저, 원형 디스크형 기록 매체를 제조하기 위한 스탬퍼와 다층 박막을 갖는 기판 형성 과정을 설명한다.
광 디스크는 스탬퍼(stamper)라는 금속 디스크로부터 사출 성형 과정을 통해 만들어지는데, 스탬퍼를 만들기 위해서는 먼저 표면이 매우 깨끗하게 세척된 유리 원판위에 PR(photoresist)이라는 감광 물질을 얇게 도포하게 된다.
그리고 유리 원판에 레이져 광을 원하는 부분에만 조사하여 PR을 부분적으로 감광한다. 감광된 부분의 PR은 식각(etching)과정을 통해 깎여 나가게 되고 요철을 갖게 된다. 이 요철 표면에 금속을 두껍게 코팅하여 떼어내면 원래 레이저 광을 통해 전달된 정보가 피트 형태로 금속 표면에 나선형 트랙 모양을 따라 형성하게 된다. 이 금속 디스크를 스탬퍼(stamper)라 한다.
최초 제작되는 순수 스탬퍼는 도 1a에서와 같이, 돌출된 형상의 피트를 갖게 되고, 도 1b와 도 1c는 분리층의 생성을 위한 스템퍼(Stamper)의 형상을 나타낸 것이다.
도 1c에서와 같이, 원주모양으로 균일하게 홈을 파거나, 도 1b에서와 같이, 1개 이상을 임의의 위치에 분포 시켜 홈을 형성한다.
이와 같은 홈은 후속되는 본딩 공정시에 스탬퍼를 지지하기 위한 지그를 접촉시키기 위한 것이다.
도 1d에서와 같이, 스탬퍼의 두께(T0)는 100um ~ 50.0mm범위이고,, 스탬퍼 홈 크기는 각각 T1:10um ~ 2mm, T2: 10um ~ 20mm이다.
이와 같이 스탬퍼가 제작되면, 도 2a에서와 같이, 순수 스탬퍼(21)상에 스페이서 형성용 물질층 예를 들면, UV 경화 수지와같은 물질과 분리가 용이한 재료를 스퍼터링(Sputtering)하여 적층 형성하여 분리 촉진층(22)을 형성한다.
그리고 디스크 기판은 도 2b에서와 같이, 폴리카보네이트(Polycarbonate) 기판(23) 위에 1층이상의 다층 구조를 갖는 제 1 기록막(24)을 형성한 디스크를 준비한다.
이와 같이 분리 촉진층을 갖는 스탬퍼와 다층 박막(제 1 기록막)이 형성된 디스크가 준비되면 다음과 같이 디스크 제조 공정을 진행한다.
도 3a내지 도 3h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기록 매체 제조를 위한 공정 단면도이고, 도 4a내지 도 4h는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기록 매체 제조를 위한 공정 단면도이다.
그리고 도 5a내지 도 5d는 본딩 공정을 위한 지그 결합 방법을 나타낸 구성도이고, 도 6은 본딩 공정 진행후의 분리 방법을 나타낸 구성도이다.
디스크 제조 공정은 분리층 형성용 물질을 기판상의 기록막상에 형성하는 방법과 스탬퍼의 분리 촉진층상에 형성하는 방법이 있다.
먼저, 기록막상에 분리층 형성용 물질을 형성하는 본 발명에 따른 제 1 실시예를 설명한다.
먼저, 도 3a에서와 같이, 제 1 기록막(24)이 형성된 기판(23)이 준비되면 도 3b에서와 같이, UV 경화수지와 같은 분리층 형성용 물질(25)을 스핀 코팅한다.
그리고 도 3c에서와 같이, 준비된 지그(Jig)를 스탬퍼(21)에 끼워 도 3d에서와 같이 본딩 공정을 진행한다.
지그를 사용한 본딩 공정은 도 5a에서와 같이 스탬퍼(21)에 형성된 홈의 크기에 맞는 분리된 구조의 원형 링이나, 도 5b에서와 같은 분리된 형태의 지그를 사 용한다.
도 5c와 도 5d는 본딩 공정을 진행하기 위하여 스탬퍼(21)에 지그(26)가 끼워진 상태를 나타낸 단면도이다.
그리고 도 3d의 본딩 공정은 UV 광을 스탬퍼(21)와 기판(23) 방향 모두에서 입사시키거나 투과도가 높은 한쪽으로 입사시키며 진행하여 제 1 분리층(27)을 형성한다.
이와 같은 본딩 진행 공정을 진행시에 스탬퍼(21)와 기판(23)에 가압 및 진공을 뽑아낼 수 있다.
이어, 도 3e에서와 같이, 본딩 공정이 완료된 후에 순수 스탬퍼(21)상에 적층되어진 분리 촉진층(22)과 경화된 UV 수지의 접촉면을 기계적(Mechanically)으로 분리시킨다.
이와 같은 도 3e의 분리 공정은 도 6에서와 같이 진행한다.
즉, 도 6의 (가)에서와 같이 타원형통(x > y)을 반경 방향이나 원주 방향으로 끼워 회전시키거나, 도 6의 (나)에서와 같이 테이퍼 핀(삼각뿔 형)을 원주 방향이나 반경 방향으로 끼워(tangential direction) 왕복 선형 운동시키거나, 도 6의 (다)에서와 같이 지그를 분리시키지 않고 본딩후에 지그를 떼어내는 과정에서 끝단 부분을 상하로 흔들어 분리시킬 수 있다.
이와 같은 공정으로 기판상에 다층 구조의 제 1 기록막(24), 제 1 기록막(24)상에 분리 촉진층(22)으로부터 기하 형상이 전사된 제 1 분리층(27)을 형성하고, 도 3g에서와 같이, 상기 제 1 분리층(27)상에 다시 도 3a에서와 같은 두 번째 다층 박막 형성 공정을 진행하여 제 2 기록막(28)을 형성한다.
그리고 제 2 기록막(28)이 형성된 기판 전면에 분리층을 형성하기 위한 물질층을 형성하고 다시 분리 촉진층(22)을 갖는 스탬퍼(21)를 이용하여 기하 형상을 전사시키기 위한 본딩 공정을 진행하여 제 2 분리층(29)을 형성한다.
여기서, 도 3g의 분리 공정은 마찬가지로 도 6에서와 같이 진행한다.
즉, 도 6의 (가)에서와 같이 타원형통(x > y)을 반경 방향이나 원주 방향으로 끼워 회전시키거나, 도 6의 (나)에서와 같이 테이퍼 핀(삼각뿔 형)을 원주 방향이나 반경 방향으로 끼워(tangential direction) 왕복 선형 운동시키거나, 도 6의 (다)에서와 같이 지그를 분리시키지 않고 본딩후에 지그를 떼어내는 과정에서 끝단 부분을 상하로 흔들어 분리시킬 수 있다.
이와 같은 공정으로 도 3h에서와 같이, 기판(23)상에 제 1 기록막(24),제 1 분리층(27),제 2 기록막(28),제 2 분리층(29)이 적층되도록 형성하여 제 3 기록막을 형성할 수 있도록 한다.
여기서, 제 3 기록막(도면에 도시하지 않음)은 제 2 분리층(29)상에 제 1,2 기록막(24)(28)과 동일한 방법으로 형성한다.
그리고 스탬퍼의 분리 촉진층상에 분리층 형성용 물질을 형성하는 본 발명에 따른 제 2 실시예를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 4a에서와 같이, 분리 촉진층(22)이 형성된 스탬퍼(21)가 준비되면 도 4b에서와 같이, UV 경화수지와 같은 분리층 형성용 물질(25)을 스탬퍼(21)의 분리 촉진층(22)상에 스핀 코팅한다.
그리고 도 4b의 화살표 부분(스탬퍼의 홈 부분)의 UV 액을 제거한다.
이어, 도 4c에서와 같이, 준비된 지그(Jig)를 스탬퍼(21)의 홈에 끼워 도 4d에서와 같이 본딩 공정을 진행한다.
지그를 사용한 본딩 공정은 본 발명의 제 1 실시예에서와 마찬가지로, 도 5a에서와 같이 스탬퍼(21)에 형성된 홈의 크기에 맞는 분리된 구조의 원형 링이나, 도 5b에서와 같은 분리된 형태의 지그를 사용한다.
그리고 도 4d의 본딩 공정은 UV 광을 스탬퍼(21)와 기판(23) 방향 모두에서 입사시키거나 투과도가 높은 한쪽으로 입사시키며 진행하여 제 1 분리층(27)을 형성한다.
이와 같은 본딩 진행 공정을 진행시에 스탬퍼(21)와 기판(23)에 가압 및 진공을 뽑아낼 수 있어 회전 본딩, 진공 가압 본딩으로 진행한다.
이어, 도 4e에서와 같이, 본딩 공정이 완료된 후에 순수 스탬퍼(21)상에 적층되어진 분리 촉진층(22)과 경화된 UV 수지의 접촉면을 기계적(Mechanically)으로 분리시킨다.
이와 같은 도 4e의 분리 공정은 도 6에서와 같이 진행한다.
즉, 도 6의 (가)에서와 같이 타원형통(x > y)을 반경 방향이나 원주 방향으로 끼워 회전시키거나, 도 6의 (나)에서와 같이 테이퍼 핀(삼각뿔 형)을 원주 방향이나 반경 방향으로 끼워(tangential direction) 왕복 선형 운동시키거나, 도 6의 (다)에서와 같이 지그를 분리시키지 않고 본딩후에 지그를 떼어내는 과정에서 끝단 부분을 상하로 흔들어 분리시킬 수 있다.
이와 같은 본 발명의 제 2 실시예는 분리층 형성 물질을 스탬퍼(21)상의 분리 촉진층(22)상에 형성하고 본딩 공정을 통한 전사 과정을 거쳐 분리하게 되면, 기판(23)의 제 1 기록막(24)상에 제 1 분리층(27)이 형성되도록한 것이다.
이와 같은 공정으로 기판상에 다층 구조의 제 1 기록막(24), 제 1 기록막(24)상에 분리 촉진층(22)으로부터 기하 형상이 전사된 제 1 분리층(27)을 형성하고, 도 4g에서와 같이, 상기 제 1 분리층(27)상에 다시 두 번째 다층 박막 형성 공정을 진행하여 제 2 기록막(28)을 형성한다.
그리고 다시 스탬퍼(21)상의 분리 촉진층(22)상에 분리층을 형성하기 위한 물질층을 형성하고 다시 본딩 공정을 진행하여 제 2 분리층(29)을 형성한다.
여기서, 분리 공정은 마찬가지로 도 6에서와 같이 진행한다.
이와 같은 공정으로 도 4h에서와 같이, 기판(23)상에 제 1 기록막(24),제 1 분리층(27),제 2 기록막(28),제 2 분리층(29)이 적층되도록 형성하여 제 3 기록막을 형성할 수 있도록 한다.
여기서, 제 3 기록막(도면에 도시하지 않음)은 제 2 분리층(29)상의 제 1,2 기록막(24)(28)과 동일한 방법으로 형성한다.
이와 같은 본 발명에 따른 제 1,2 실시예의 기록 매체 제조 방법은 분리층을 형성하기 위한 물질층을 스탬퍼(21)상의 분리 촉진층(22)상에 형성하여 본딩 공정을 진행하거나, 기판(23)상의 기록막상에 분리층을 형성하기 위한 물질층을 형성하고 본딩 공정을 진행한다.
여기서, 스템퍼에 본딩 공정을 위한 홈을 원주 모양으로 균일하게 형성하거 나, 1개 이상의 임의의 위치에 분포시켜 형성하고, UV 경화수지를 회전(Spin) 코팅하고 나서 스템퍼 홈 크기에 맞는 분리된 원형 링이나 분리된 형태의 지그(jig)를 하나 이상을 스템퍼에 맞춘 다음에 UV조사로 본딩 하는 것이다.
이와 같은 본 발명에 따른 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법은 광자기 디스크, 광 디스크(상 변화형, 추기형, 읽기 전용형) 형태의 디스크 모두에 적용될 수 있음은 당연하다.
이와 같은 본 발명에 따른 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
광자기 디스크나 광 디스크(상 변화형,추기형,읽기 전용 형 등)의 디스크 종류에 상관없이 같은 용량의 층을 여러 개 반복 적층하기 쉬운 방법을 제시하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
이는 기록 밀도를 정수배로 증가시키는 것을 가능하도록 하여 유저의 고밀도 정보기록/재생에 대한 요구를 만족시키는 효과를 갖는다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.

Claims (9)

  1. 디스크 기판상에 분리층을 사이에 두고 적층되는 기록막 조합층들을 갖는 기록 매체의 제조에 있어서,
    레이저 광을 통해 전달된 정보가 피트 형태로 담겨있는 스탬퍼의 가장자리 부분에 홈을 형성하는 단계를 포함하고,
    각각의 기록막 조합층이 형성된 후에 스탬퍼의 홈에 삽입되는 지그를 이용하여 분리층 형성을 위한 본딩 공정을 진행하고,
    이와 같은 기록막 조합층과 분리층의 형성 공정을 반복하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 기록막 조합층이 적층되는 층수에 따라 기록 밀도가 정수배로 증가하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 스탬퍼에 형성되는 홈을 스탬퍼 가장자리 부분 전체에 원주 모양으로 균일하게 형성하거나, 가장자리 부분의 임의의 위치에 복수개 형성하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 스탬퍼에 형성되는 홈은 스탬퍼의 두께가 100um ~ 50.0mm인 경우에,
    깊이를 10um ~ 20mm으로, 평면상에서의 폭을 10um ~ 2mm의 크기로 형성하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 본딩 공정을 진행하기 전에 스탬퍼, 기록막 조합층이 형성된 디스크 기판의 어느 하나의 상면에 분리층을 형성하기 위한 물질층을 형성하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 분리층을 형성하기 위한 물질층으로 자외선 경화 수지를 사용하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
  7. 제 1 항에 있어서, 본딩 공정시에 스탬퍼의 홈 크기에 맞는 분리된 원형 링이나 홈 갯수에 상응하도록 나누어진 지그를 사용하여 회전 방식, 진공 가압 방식의 어느 하나를 포함하는 방식으로 자외선을 조사하며 진행하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 자외선을 스탬퍼, 디스크 기판 모두의 방향에서 입사시키거나, 투과도가 높은 어느 한쪽에서 입사시키는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
  9. 제 1 항에 있어서, 분리층을 형성하기 위한 본딩 공정후에 스탬퍼와 디스크 기판을 기계적으로 분리시키기 위한 방법으로,
    타원형통(x > y)을 반경 방향이나 원주 방향으로 끼워 회전시키거나,
    삼각뿔 형태의 테이퍼 핀을 원주 방향이나 반경 방향으로 끼워(tangential direction) 왕복 선형 운동시키거나,
    지그를 분리시키지 않고 본딩후에 지그를 떼어내는 과정에서 끝단 부분을 상하로 흔들어 분리시키는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
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