KR100595189B1 - 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스페이서 분리 촉진막의 특성을 향상시켜 증대된 기록 밀도를 갖는 기록 매체의 제작이 용이하도록한 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법에 관한 것으로, 디스크 기판상에 분리층을 사이에 두고 적층되는 기록막 조합층들을 갖는 기록 매체의 제조에 있어서, 각각의 기록막 조합층을 형성한 후에 분리 촉진층을 갖는 스탬퍼를 이용하여 분리층 형성을 위한 본딩 공정을 진행하고, 이와 같은 기록막 조합층과 분리층 형성 공정을 반복하는 것을 특징으로 한다.

광 디스크, 상변화형 광디스크, 스탬퍼, 분리층, 분리 촉진층

Description

디스크 타입 기록 매체의 제조 방법{Method for fabricating of multilayer disk}

도 1a와 도 1b는 분리 촉진층이 형성된 스탬퍼 및 다층 구조의 기록 박막 조합이 형성된 기판의 구성도

도 2a내지 도 2h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기록 매체 제조를 위한 공정 단면도

도 3a내지 도 3h는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기록 매체 제조를 위한 공정 단면도

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11. 스탬퍼 12. 분리 촉진층

13. 기판 14. 제 1 기록막 조합층

15. 분리층 형성용 물질 16. 지그

17. 제 1 분리층 18. 제 2 기록막 조합층

19. 제 2 분리층

본 발명은 디스크 타입의 기록 매체에 관한 것으로, 특히 스페이서 분리 촉진막의 특성을 향상시켜 증대된 기록 밀도를 갖는 기록 매체의 제작이 용이하도록한 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법에 관한 것이다.

동화상 및 정지 화상을 포함한 비디오 신호, 오디오 신호 및 컴퓨터 데이터 정보를 종합적으로 다루는 멀티 미디어 시대의 도래와 함께, 패키지 미디어(예, CD, DVD를 비롯한 각종 디스크)가 폭넓게 보급되고 있으며, 이 같은 추세는 더욱 두드러질 전망이다.

패키지 미디어, 가령 컴팩트 디스크(CD)와 디지털 비디오(혹은 Versatile) 디스크(DVD)는 크게 기판과 정보를 기록하고 있는 기록막 및 보호막으로 구성되어 있다.

이들 광 디스크들 가운데, 재생 전용(Read Only Memory;ROM) 디스크는 서보나 위치 정보 혹은 피트(pit) 형태의 미세한 홈이 원주 방향으로 형성되어 있고, 반사층이 존재한다.

한편, 정보를 오직 한 번 기록할 수 있는 추기형(Recordable)인 경우와 반복해서 정보를 쓰고 읽고, 지우기가 가능한 반복 기록형(Rewritable) 디스크의 경우는 프리 피츠(Pre-Pits)와 반사층 외에도 리코더블 다이(Recordable Dye)나 상 변화 혹은 광 자기 방식의 기록층과 이 기록층을 보호하기 위한 보호층 등으로 구성된다.

이와 같은, 반복 기록형 디스크들이 최근 들어 고용량화되고 또한 오디오나 비디오, 음악 파일 재생용 외에 퍼스널 컴퓨터(Personal Computer;PC)용 저장매체 로도 쓰일 전망이다.

PC용 정보 저장 매체로 충분한 반복 기록이 되기 위해서는 오디오/비디오용보다 훨씬 많은 수의 반복 기록, 재생을 할 수 있어야 한다. 또한, 고화질 디지털 방송의 출현과 이 방송 신호를 디지털로 기록하기 위해서는 이전에 보유한 디스크들보다 훨씬 많은 양의 정보를 보관 가능해야 한다.

이와 같이 고밀도 정보기록/재생에 대한 요구가 커지면서 레이저광의 열적 에너지를 이용하거나 이에 덧붙여 자기장을 추가로 인가하여 이를 구현하는 등의 고밀도 기록매체가 점차 확산되는 추세에 있다.

전자의 경우는 주로 기록 층에 있어서 재료의 상 변태를 이용하게 되는 상 변화형 광디스크가 이에 해당되고 후자의 경우는 광자기 디스크가 해당된다.

상 변화형 광디스크는 집속 된 레이저 빔을 기록 층의 국부적인 영역에 조사하여 승온/용융 시키고 열의 확산속도를 빠르게 설계한 디스크 구조를 이용해 급냉 시켜 비정질 마크를 결정질 기지(matrix)에 만들어 줌으로써 정보를 기록하고, 이를 다시 기록시 보다 낮은 파워로 가열해 비정질 마크 부위를 결정질로 만들어 줌으로써 기록된 정보를 소거시킨다.

결정과 비정질 사이의 가역적 변태(reversible reaction)를 이용해 정보를 기록하는 상 변화형 광 기록매체에서 기록층 재료로 폭 넓게 쓰이고 있는 것 중의 하나가 Ge-Sb-Te 계로 대표되는 3원계 합금의 금속간 화합물이다.

또한, 저선속 에서 소거율 특성과 신호기록 감도를 높일 수 있도록 설계된 Ag-In-b-Te 계 합금계도 최근 주목이 되고 있다.

이러한 기록층의 상.하에는 광학적 특성 및 열적인 특성을 유지해주기 위해 유전체층을 설치하게 된다. 유전체층으로는 ZnS-SiO₂ 계 박막이 많이 쓰이고 있다,

그리고 광 반사량을 높이면서 비정질 bit의 형성을 위한 적절한 냉각속도를 얻기 위해 반사 방열 층을 설치하게 되는데 이의 재료로는 Al합금, Ag, Au등의 박막이 많이 쓰이고 있다.

그리고 광자기 디스크의 경우에는 수직자화 박막에 자기장을 가하면서 레이저 광의 열적 효과를 이용하여 Bit을 형성하여 기록하고 자기광학효과(Kerr Effect, Faraday Effect)를 이용하여 정보를 판독하는 것이다.

그리고 상 변화형 광디스크와 마찬가지로 기록층을 주위로 상하에 유전체층을 설치하고 마지막으로는 반사 방열층을 설치하게 되는데 기록층 재료로는 희토류 천이금속 합금계( RE-TM)를 많이 쓰는데, 천이금속으로는 강자성 원소인 Fe, Co등이 있고 희토류원소에는 Tb, Dy, Gd, Sm, Ho 등의 원소가 있다.

유전체보호막으로는 Si₃N₄ , AlN, SiO₂, Al₂O₃ 등이 이용된다. 반사 방열층으로는 Al합금, Ag, Au등의 박막이 많이 쓰이고 있다.

위에 소개된 상 변화형 광디스크, 광자기형 디스크 외에 광디스크 계열로Dye 재료를 이용한 1회 쓰기 가능(Write-once type) 디스크와 금속 반사층만의 반사도를 이용한 읽기 전용 디스크가 있다.

이러한 종래 기술의 정보 저장 디스크 경우, 기록층(상 변화재료, 광자기 재료, Dye 등)및 기록측 주위의 광학적이나 열적인 측면에서 도움이 되도록 하기위한 유전체층이나 또한 입사된 광 에너지가 기록층에서 흡수된후 열적으로 적절한 속도로 냉각을 시키거나 반사신호를 증가시키기위한 목적으로 금속반사막을 설치한다.

이와 같이 기록층 주위로 유전체층과 반사층 등을 하나의 조합으로 하여 이를 묶어 하나의 기록막 조합이라 부르고 대부분 1,2개의 정보 기록막 조합을 가지고 있고 그 이상 기록 정보의 대용량화를 위해서 제2, 제3 이상의 기록막 층을 쉽게 적층시켜 나갈 수 있는 방법을 제시해야 할 필요성이 있다.

그러나 이상에서 설명한 종래 기술의 디스크 타입 기록 매체의 제조에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있다.

기록 매체의 기록막 조합간에 적절한 간격 예를 들어 20~70 micron 으로 분리 시켜서 레이저 픽업이 이들 두 기록막 조합간에 간섭을 일으키지 않고 잘 읽을 수 있어야 하는 점등이 요구되고 있다.

종래 기술의 기록 매체에 있어서는 통상적으로 자외선 경화 수지 등을 이용하여 스페이서(Spacer)층을 형성하고 또한, 스페이서에 레이저빔이 트랙킹(Tracking)을 할 수 있도록 가이딩 트랙(Guiding Track)이나 ROM Pit을 형성하게 된다.

스페이서층에 가이딩 트랙(Guiding Track)이나 ROM Pit을 형성하면서 일정 두께로 유지하는 방법으로 투명한 스탬퍼(stamper) 예를 들면, 폴리카보네이트(Polycarbonate), PMMA 등과 같은 엔지니어링 플라스틱(Engineering Plastic) 이나 , 글래스(Glass) 등의 재질을 이용하여 시도되고 있다.

그러나 이와 같은 방법에서는 자외선경화수지와 투명한 스탬퍼(stamper) 간에 이형성(Easy Separation Characteristics)이 좋지 않아서 자외선 경화수지가 투명한 스탬퍼(stamper)에 부분적으로 부착이 되는 문제가 발생한다.

또한, 전사된(Transcribed) 자외선 경화수지 스페이서의 표면에 생겨야 될 가이딩 트랙(Guiding Track)이나 ROM Pit에 물리적인 변형이 유발되는 형태로 나타난다.

따라서 이를 해결하기 위해 투명한 스탬퍼(stamper)와 자외선 경화수지가 용이하게 분리되어야 하는데, 종래 기술에서는 이와 같은 방법이 제시되지 않아 기록 매체를 대용량화하기 위하여 제 2, 제 3 이상의 기록막층을 더 적층시키는 것이 어렵다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 디스크 타입 기록 매체의 제조에 있어서의 문제를 해결하기 위한 것으로, 스페이서 분리 촉진막의 특성을 향상시켜 증대된 기록 밀도를 갖는 기록 매체의 제작이 용이하도록한 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법은 디스크 기판상에 분리층을 사이에 두고 적층되는 기록막 조합층들을 갖는 기록 매체의 제조에 있어서, 각각의 기록막 조합층을 형성한 후에 분리 촉진층을 갖는 스탬퍼를 이용하여 분리층 형성을 위한 본딩 공정을 진행하고, 이와 같은 기록막 조합층과 분리층 형성 공정을 반복하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 분리 촉진층을 DLC(Diamond Like Carbon) 박막, Si-N, Al-N의 질화막, Si-O, Al-O의 산화막, ZnS-SiO₂와 같은 황화물 산화물의 복합체, 그리고 Co, Al-alloy, Ag-alloy 과 같은 금속막 등으로 이루어진 단일 박막이나 이들 박막중 2개 이상의 구성 요소로 이루어진 복합 박막으로 형성하는 것을 특징으로 한다.

그리고 분리 촉진층을 스탬퍼상에 2 ~ 50nm의 두께로 형성하는 것을 특징으로 한다.

그리고 분리층을 형성하기 위한 물질을 본딩 공정을 진행하기 전에 분리 촉진층이 형성된 스탬퍼, 기록막 조합층이 형성된 디스크 기판의 어느 하나의 상면에 형성하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 분리층을 형성하기 위한 물질층으로 자외선 경화 수지를 사용하고,본딩 공정시에 자외선을 스탬퍼쪽에서 디스크 기판쪽으로 조사하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 목적, 특성 및 잇점들은 이하에서의 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.

본 발명에 따른 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법의 바람직한 실시예에 관하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1a와 도 1b는 분리 촉진층이 형성된 스탬퍼 및 다층 구조의 기록 박막 조합이 형성된 기판의 구성도이다.

본 발명은 주어진 일정 반경 범위의 면적에 이전에 사용하는 것과 같은 기 록, 재생 기술만을 이용해 2배, 3배, 등 정수배의 기록 밀도를 얻기 위한 다층 기록막 조합의 광디스크 제작을 용이하게 하는 기술을 제공하기 위한 것이다.

이를 위하여, 기록막 조합간의 자외선 경화수지 스페이서 제작시에 이용되는 투명한 스템퍼 표면상에, 자외선 경화수지와 투명한 스템퍼간에 분리를 용이하게 하기 위한 분리 촉진층을 형성하는 것이 특징으로, 이를 이용하여 제 1 기록막 조합 위에 분리층을 형성시키고 그 위에 제 2 기록막 조합을 입히고 위와 같은 절차를 반복함으로 기록밀도가 정수배로 증가하는 것이 가능하도록 한다.

먼저, 원형 디스크형 기록 매체를 제조하기 위한 스탬퍼와 다층 박막을 갖는 기판 형성 과정을 설명한다.

광 디스크는 스탬퍼(stamper)라는 금속 디스크로부터 사출 성형 과정을 통해 만들어지는데, 스탬퍼를 만들기 위해서는 먼저 표면이 매우 깨끗하게 세척된 유리 원판위에 PR(photoresist)이라는 감광 물질을 얇게 도포하게 된다.

그리고 유리 원판에 레이져 광을 원하는 부분에만 조사하여 PR을 부분적으로 감광한다. 감광된 부분의 PR은 식각(etching)과정을 통해 깎여 나가게 되고 요철을 갖게 된다. 이 요철 표면에 금속을 두껍게 코팅하여 떼어내면 원래 레이저 광을 통해 전달된 정보가 피트 형태로 금속 표면에 나선형 트랙 모양을 따라 형성하게 된다. 이 금속 디스크를 스탬퍼(stamper)라 한다.

최초 제작되는 순수 스탬퍼는 소정의 가이딩 트랙(Guiding Track) 이나 Pit을 포함하고 있고 스탬퍼(Stamper)(11)의 재질로는 폴리카보네이트(Polycarbonate), PMMA, 글래스(Glass) 등의 재료로 이루어진다.

이 투명한 스탬퍼(11)의 기이딩 트랙이나 Pit가 있는 면상에 DLC를 스퍼터링이나 CVD(Chemical Vapour Deposition) 방법 등을 이용하여 2 ~ 50 nm 두께로 형성하여 분리층 형성이 효율적으로 이루어지도록 하는 분리 촉진층(12)을 형성한다.

구체적으로, 분리 촉진층(12)은 DLC(Diamond Like Carbon) 박막 또는 Si-N, Al-N등의 질화막(nitride film), Si-O, Al-O, 등의 산화막, ZnS-SiO₂와 같은 황화물 산화물의 복합체, 그리고 Co, Al-alloy, Ag-alloy 과 같은 금속막 등으로 이루어진 단일 박막이나, 이들 박막중 2개 이상의 구성 요소로 이루어진 복합 박막으로 이루어진다.

그리고 디스크 기판은 도 1b에서와 같이, 폴리카보네이트(Polycarbonate) 기판(13) 위에 1층 이상의 다층 구조를 갖는 제 1 기록막 조합층(14)을 형성한 디스크를 준비한다.

여기서, 기록층의 조합은 상변화 광기록막 및 유전체 층 그리고 반사층들으로 조합된 다층박막으로 형성한다.

이와 같이 분리 촉진층을 갖는 스탬퍼와 다층 박막(제 1 기록막 조합층)이 형성된 디스크가 준비되면 다음과 같이 디스크 제조 공정을 진행한다.

본 발명에 따른 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법의 구체적인 실시예는 다음과 같다.

도 2a내지 도 2h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기록 매체 제조를 위한 공정 단면도이다.

먼저, 도 2a에서와 같이, DLC 박막등과 같은 분리 촉진층(12)이 코팅된 투명한 스탬퍼(11) 및 다층 기록막 조합을 갖는 기판(13)이 준비되면, 도 2b에서와 같이, 제 1 기록막 조합층(14)이 형성된 기판(13) 상에 분리층 형성용 물질(15) 예를 들면, 자외선경화수지를 소정의 두께로 스핀 코팅(Spin Coating) 공정으로 형성한다.

이어, 도 2c에서와 같이, 분리 촉진층(12)이 형성된 스탬퍼(11)를 분리층 형성용 물질(15)이 코팅된 디스크 기판(13)의 소정의 위치에 위치시킨다.

그리고 도 2d에서와 같이, 지그(16)를 사용하여 분리 촉진층(12)이 형성된 스탬퍼(11)와 분리층 형성용 물질(15)이 코팅된 디스크 기판(13)을 부착 본딩시키고, 자외선을 투명한 스탬퍼(11) 측으로부터 조사한다.

이와 같이 스탬퍼(11) 및 분리 촉진층(12)을 투과한 자외선의 일부는 자외선 경화 수지 즉, 분리층 형성용 물질(15)에 흡수되어 경화가 일어나고, 자외선 경화수지와 접촉하고 있는 분리 촉진층(12)의 가이딩 트랙이나 Pit는 자외선 경화수지에 전사 및 경화되어 제 1 분리층(17)이 형성된다.

이어, 도 2e에서와 같이, 스탬퍼(11)를 디스크 기판(13)과 분리시키면 분리 촉진층(12)에 의해 분리가 용이하게 이루어지고, 도 2f에서와 같이, 제 1 분리층(17)은 분리 촉진층(12)으로부터 기하 형상을 전사 받아 제 1 분리층(17)은 전사된 가이딩 트랙이나 피트를 갖게 된다.

그리고 도 2g에서와 같이, 상기 제 1 분리층(17)상에 다시 두 번째 다층 박막 형성 공정을 진행하여 제 2 기록막 조합층(18)을 형성한다.

그리고 제 2 기록막 조합층(18)이 형성된 기판 전면에 분리층을 형성하기 위한 물질층을 형성하고 다시 분리 촉진층(12)을 갖는 스탬퍼(11)를 이용하여 기하 형상을 전사시키기 위한 본딩 공정을 진행하여 제 2 분리층(19)을 형성한다.

이와 같은 공정으로 도 2h에서와 같이, 기판(13)상에 제 1 기록막 조합층(14),제 1 분리층(27),제 2 기록막 조합층(18),제 2 분리층(19)이 적층되도록 형성하여 제 3 기록막을 형성할 수 있도록 한다.

여기서, 제 3 기록막(도면에 도시하지 않음)은 제 2 분리층(19)상에 제 1,2 기록막(14)(18)과 동일한 방법으로 형성한다.

상기 기술한 방법에 의해 2개층 이상의 다층 기록막 조합으로된 광디스크를 제작할 수 있다.

이와 같은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기록 매체의 제조 방법은 분리 촉진층(12)을 스탬퍼(11)상에 형성하고 분리층 형성 물질을 기록막 조합층이 형성된 디스크 기판(13)상에 스핀 코팅한 후에 본딩 경화시키는 것에 의해 분리 공정이 용이하게 실시될 수 있도록한 것이다.

그리고 본 발명의 제 2 실시예에 따른 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법은 다음과 같다.

도 3a내지 도 3h는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기록 매체 제조를 위한 공정 단면도이다.

먼저, 먼저, 도 3a에서와 같이, DLC 박막 등을 사용한 분리 촉진층(12)이 코팅된 투명한 스탬퍼(11) 및 다층 기록막 조합을 갖는 기판(13)이 준비되면, 도 3b 에서와 같이, 분리 촉진층(12)이 형성된 스탬퍼(11)상에 분리층 형성용 물질(15) 예를 들면, 자외선경화수지를 소정의 두께로 스핀 코팅(Spin Coating) 공정으로 형성한다.

이어, 도 3c에서와 같이, 분리 촉진층(12),분리층 형성용 물질(15)이 적층되어 형성된 스탬퍼(11)를 지그(16)를 사용하여 디스크 기판(13)의 소정의 위치에 위치시킨다.

그리고 도 3d에서와 같이, 지그(16)를 사용하여 분리 촉진층(12), 분리 형성용 물질(15)이 적층 형성된 스탬퍼(11)와 제 1 기록막 조합층(14)이 형성된 디스크 기판(13)을 부착 본딩시키고, 자외선을 투명한 스탬퍼(11) 측으로부터 조사한다.

분리층이 형성된 스템퍼(11)의 자외선의 투과도는 대표적인 파장대인 350~400nm 에서 1%이상 되도록 형성한다.

이와 같이 스탬퍼(11) 및 분리 촉진층(12)을 투과한 자외선의 일부는 자외선 경화 수지 즉, 분리층 형성용 물질(15)에 흡수되어 경화가 일어나고, 자외선 경화수지와 접촉하고 있는 분리 촉진층(12)의 가이딩 트랙이나 Pit는 자외선 경화수지에 전사 및 경화되어 제 1 분리층(17)이 형성된다.

이어, 도 3e에서와 같이, 스탬퍼(11)를 디스크 기판(13)과 분리시키면 분리 촉진층(12)에 의해 분리가 용이하게 이루어지고, 도 3f에서와 같이, 제 1 분리층(17)은 분리 촉진층(12)으로부터 기하 형상을 전사 받아 제 1 분리층(17)은 전사된 가이딩 트랙이나 피트를 갖게 된다.

그리고 도 3g에서와 같이, 상기 제 1 분리층(17)상에 다시 두 번째 다층 박 막 형성 공정을 진행하여 제 2 기록막 조합층(18)을 형성한다.

그리고 제 2 기록막 조합층(18)이 형성된 기판 전면에 분리층을 형성하기 위한 물질층을 형성하고 다시 분리 촉진층(12)을 갖는 스탬퍼(11)를 이용하여 기하 형상을 전사시키기 위한 본딩 공정을 진행하여 제 2 분리층(19)을 형성한다.

이와 같은 공정으로 도 3h에서와 같이, 기판(13)상에 제 1 기록막 조합층(14),제 1 분리층(27),제 2 기록막 조합층(18),제 2 분리층(19)이 적층되도록 형성하여 제 3 기록막을 형성할 수 있도록 한다.

여기서, 제 3 기록막(도면에 도시하지 않음)은 제 2 분리층(19)상에 제 1,2 기록막(14)(18)과 동일한 방법으로 형성한다.

이와 같은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기록 매체의 제조 방법은 분리 촉진층(12), 분리층 형성 물질(15)을 스탬퍼(11)상에 적층 형성하고 기록막 조합층이 형성된 디스크 기판(13)과 본딩 경화시키는 것에 의해 분리 공정이 용이하게 실시될 수 있도록한 것이다.

이상의 실시예에서는 분리 촉진층(12)을 DLC( Diamond Like Carbon) 박막을 사용하는 것으로 설명하였으나, 상기한 바와 같이 Si-N, Al-N 등의 질화막, Si-O, Al-O 등의 산화막, ZnS-SiO₂와 같은 황화물 산화물의 복합체, 그리고 Co, Al-alloy, Ag-alloy 과 같은 금속막 등으로 이루어진 단일 박막이나 이들 박막중 2개 이상의 구성요소로 이루어진 복합 박막으로 형성할수도 있음은 당연하다.

그리고 분리 촉진층으로 작용할 박막의 두께를 2 ~ 50nm 범위로 형성한다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.

이와 같은 본 발명에 따른 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명은 분리층으로 사용되는 자외선 경화수지와의 분리가 용이한 분리 촉진층을 사용하는 것에 의해 디스크 종류에 상관없이 같은 용량의 층을 여러 개 반복 적층하기 쉬운 방법을 제시하여 생산성을 향상시킬 수 있다.

즉, 분리층상에 가이딩 트랙이나 피트를 형성한 후에 용이하게 분리가 이루어지기 때문에 가이딩 트랙이나 Pit 형성 능력이 우수하고 형태의 안정성이 뛰어나, 생산 수율을 포함하는 생산성을 획기적으로 향상시킬 수 있다.

또한, 이는 기록 밀도를 정수배로 증가시키는 것을 가능하도록 하여 유저의 고밀도 정보기록/재생에 대한 요구를 만족시키는 효과를 갖는다.

Claims (6)

1. 디스크 기판상에 분리층을 사이에 두고 적층되는 기록막 조합층들을 갖는 기록 매체의 제조에 있어서,

   각각의 기록막 조합층이 형성된 후에 박막 형태의 분리 촉진층을 갖는 스탬퍼로 분리층 형성을 위한 본딩 공정을 진행하고,

   형성된 상기 분리층으로부터 상기 분리 촉진층이 분리되며,

   상기 기록막 조합층과 분리층 형성 공정을 반복하여 적층하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 분리 촉진층은,

   DLC(Diamond Like Carbon) 박막, Si-N, Al-N의 질화막, Si-O, Al-O의 산화막, ZnS-SiO₂와 같은 황화물 산화물의 복합체, 그리고 Co, Al-alloy, Ag-alloy 과 같은 금속막 등으로 이루어진 단일 박막이나 이들 박막중 2개 이상의 구성 요소로 이루어진 복합 박막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 분리 촉진층은,

   2 ~ 50nm의 두께인 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 분리층을 형성하는 물질을 상기 본딩 공정을 진행하기 전에 분리 촉진층이 형성된 스탬퍼, 기록막 조합층이 형성된 디스크 기판 중 어느 하나의 상면에 마련하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
5. 제 4 항에 있어서, 분리층을 형성하기 위한 물질층으로 자외선 경화 수지를 사용하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.
6. 제 1 항에 있어서, 본딩 공정시에 자외선을 스탬퍼쪽에서 디스크 기판쪽으로 조사하는 것을 특징으로 하는 디스크 타입 기록 매체의 제조 방법.

Images