JPH0442072A - Ic試験用クロック遅延時間の設定方法 - Google Patents

Ic試験用クロック遅延時間の設定方法

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JPH0442072A
JPH0442072A JP2150339A JP15033990A JPH0442072A JP H0442072 A JPH0442072 A JP H0442072A JP 2150339 A JP2150339 A JP 2150339A JP 15033990 A JP15033990 A JP 15033990A JP H0442072 A JPH0442072 A JP H0442072A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、IC(半導体集積回路)試M装置のタイミ
ング発生器にICの各ピンについての試験用クロックの
タイミングレートパルスに対スる遅延時間を設定する方
法に関する。
「従来の技術」 IC試験装置においては、タイミング発生器からのクロ
ックにもとづいてパターン発生器から試験パターンデー
タを得、その試験パターンデータのうちの印加パターン
データからタイミング発生器からのクロックにもとづい
て信号波形を形成し、その信号波形をECLレヘレベT
TLレヘレベどの信号電圧に変換してICの必要なピン
に供給するとともに、これによってICのピンに得られ
た信号電圧を基準電圧と比較し、その比較出力をタイミ
ング発生器からのクロックにもとづいて上記の試験パタ
ーンデータのうちの期待値パターンデータと論理比較す
るというように、タイミング発生器から各種の試験用ク
ロックを得る必要がある。
この試験用クロックは、一般にタイミングレートパルス
にもとづいて形成し、しかもIC試験装置の回路系や伝
送系の遅延時間がICの各ピンにつき必ずしも同一でな
いなどのために、あるピンについての試験用クロックは
タイミングレートパルスに対して時間遅れのないものに
し、別のピンについての試験用クロックはタイミングレ
ートパルスに対して時間τ、だけ遅れたものにし、さら
に別のピンについての試験用クロックはタイミングレー
トパルスに対して時間τ2だけ遅れたものにするという
ように、試験用クロックのタイミングレートパルスに対
する遅延時間を各ピンごとに設定する。
従来、この遅延時間の設定は、各ピンについてアドレス
を順次指定して各ピンについての遅延時間のデータを遅
延時間設定用メモリに順次書き込むという方法によって
行っている。
第5図は、この従来の設定方法を実現する装置の一例で
、ICの上記の遅延時間を設定すべきピンの総数が32
で(以後、ピンPI、P2.P3・・・P32とする)
、かつ遅延時間データを32ピントにする場合である。
テスタプロセッサ10とタイミング発生器20が8ビツ
トのデータバス30によって接続され、タイミング発生
器20にはインタフェース部にラッチ回路21および2
2と遅延時間設定用メモリ23が設けられ、遅延時間設
定用メモリ23は32=2Sのアドレスにそれぞれ32
ビツトの遅延時間データを書き込むことができるものに
される。
そして、第6図に示すように、試験開始信号TSに続い
てインタフェースクロックCKIおよびCK2によりテ
スタプロセンサ10からラッチ回路21にそれぞれ8ビ
ツトのデータが転送され、その総計16ビツトのうちの
5ビツトがピンP1についてのアドレスデータとして遅
延時間設定用メモリ23のアドレス端子ADRに供給さ
れるとともに、次いでインタフェースクロックCK3゜
CK4.CK5およびCK6によりテスタプロセッサ1
0からラッチ回路22にピンP1についての総計32ビ
ツトの遅延時間データがそれぞれ8ビツトずつ転送され
、これが遅延時間設定用メモIJ23のデータ入力端子
Diに供給されることによって、遅延時間設定用メモリ
23の書込イネーブル端子WEに供給される書込イネー
ブル信号WEにより、データ取込期間の後のデータ書込
期間内において、ピンPlについての総計32ビツトの
遅延時間データが遅延時開設定用メモリ23のピンP1
についてのアドレスに書き込まれ、以後同様にピンP2
.P3・・・P32についての遅延時間データが遅延時
間設定用メモリ23に順次書き込まれる。
図示していないが、このように遅延時間設定用メモリ2
3に書き込まれたピンPL、P2.P3・・・P32に
ついての遅延時間データが遅延時間設定用メモリ23の
データ出力端子DOから読み出され、その読み出された
遅延時間データにもとづいてピンPI、P2.P3・・
・P32についての試験用クロックが形成される。
「発明が解決しようとする課題J しかしながら、上述した従来の設定方法においては、各
ピンについての遅延時間データを各ピンについてアドレ
スを1@次指定して遅延時間設定用メモリ23に順次書
き込むので、一つのピンについてテスタプロセッサ10
からタイミング発生器20に遅延時間設定用メモリ23
のアドレスデータおよび遅延時間データを取り込むのに
要する時間をTy、一つのピンについて遅延時間設定用
メモリ23に遅延時間データを書き込むのに要する時間
をTy、遅延時間を設定すべきピンの総数をNとすると
、すべてのピンについて遅延時間を設定するにはN (
Tx+Ty)の時間を要するというように、遅延時間の
設定に長い時間がかかる不都合がある。
そこで、この発明は、IC試験装置のタイミング発生器
にICの各ピンについての試験用クロックのタイミング
レートパルスに対する遅延時間を設定する方法において
、短い時間で遅延時間を設定することができるようにし
たものである。
「課題を解決するための手段」 この発明においては、試験するICの各ピンについての
試験用クロックのタイミングレートパルスに対する遅延
時間を同一にするピンを同一のピングループに帰属させ
たときの、各ピンが各ピングループに属するか否かを示
すデータのテーブルを、あらかしめピングループテーブ
ルメモリに格納し、次に、上記ピングループテーブルメ
モリから各ピングループごとに順次、そのピングループ
に各ピンが属するか否かを示すデータを読み出し、その
読み出したデータにもとづいて各ピングループごとに順
次、そのピングループに属するピンについてのみアドレ
スを順次指定して、そのピングループに属する各ピンに
ついての上記遅延時間のデータを遅延時間設定用メモリ
に書き込む。
「作 用」 上記の方法をとる、この発明の設定方法においては、一
つのピングループについてテスタプロセッサからタイミ
ング発生器にピングループテーブルメモリの書込アドレ
スデータおよび各ピンがそのピングループに属するか否
かを示すデータを取り込むのに要する時開をTx、一つ
のピングループについて各ピンがそのピングループに属
するか否かを示すデータをピングループテーブルメモリ
に書き込むのに要する時間をT、y、一つのピングルー
プについてテスタプロセッサからタイミング発生器にピ
ングループテーブルメモリの続出アドレスデータおよび
そのピングループに属する各ピンについての遅延時間デ
ータを取り込むのに要する時間をTx、一つのピンにつ
いて遅延時間設定用メモリに遅延時間データを書き込む
のに要する時間をTy、遅延時間を設定すべきピンの総
数をN、ピングループの総数をMとすると、すべてのピ
ンについて遅延時間を設定するのに要する時間は、 M  (Tx+Ty)+M−Tx+N−Ty=2M−T
x+  (M+N)Ty      =−(1)となり
、実際上、TxがTyに比べてかなり長く、かつMがN
に比べてかなり小さくなることから、従来の設定方法に
比べて著しく短い時間で遅延時間を設定することができ
る。
U実施例」 第1図は、この発明の設定方法を実現する装置の一例で
、ICの上記の遅延時間を設定すべきピンの総数が32
で(以後、ピンPI、P2.P3・・・P32とする)
、かつ遅延時間データを32ビツトにする場合である。
テスタプロセッサ10とタイミング発生器20が8ビツ
トのデータバス30によって接続され、タイミング発生
器20にはインタフェース部に、ラッチ回路21,22
、遅延時間設定用メモリ23、ピングループテーブルメ
モリ24、フリップフロ、ブ群25、プライオリティエ
ンコーダ26およびデコーダ27が設けられ、遅延時間
設定用メモリ23は32=2’のアドレスにそれぞれ3
2ピントの遅延時間データを書き込むことができるもの
にされ、ピングループテーブルメモリ24は後述するデ
ータテーブルを格納することができるものにされ、フリ
ップフロップ群25は32個のフリップフロップによっ
て構成される。
−例として、試験用クロックのタイミングレートパルス
に対する遅延時間は、ピンP1.P2゜P5.PIOお
よびP32については互いに等しくし、ピンP3.P8
.PI7およびP29については互いに等しくし、ピン
P4.P12  P27およびP28については互いに
等しくし、ピンP6.P7.P13  PI8およびP
2Oについては互いに等しくし、ピンP9.P15.p
’;:o。
P21およびP26については互いに等しくし、ピンp
H,PI3.PI3.P23およびP24については互
いに等しくし、ピンP16  P22、P25およびP
31については互いに等しくする。したがって、このと
き、試験用クロックのタイミングレートパルスに対する
遅延時間を同一にするピンを同一のピングループに帰属
させたときの各ピングループとこれに属する各ピンとの
関係は、第3図に示すようになる。
そして、第2図では示していないが、インタフェースク
ロックCKIおよびCK2によりテスタプロセッサlO
からラッチ回路21にそれぞれ8ビツトのデータが転送
され、その総計16ビツトのうちの5ビツトがピングル
ープG1についてのアドレスデータとしてピングループ
テーブルメモリ24のアドレス端子ADRに供給される
とともに、次いでインタフェースクロックCK3.CK
4、CK5およびCK6によりテスタプロセッサ10か
らラッチ回路22にピンP1−P32がそれぞれピング
ループG1に属するか否かを示す総計32ビツトのデー
タがそれぞれ8ビツトずつ転送され、これがピングルー
プテーブルメモリ24のデータ入力端子Diに供給され
ることによって、ピンP1〜P32がそれぞれピングル
ープG1に属するか否かを示す総計32ビツトのデータ
がピングループテーブルメモリ24のピングループG1
についてのアドレスに書き込まれ、以後同様に、ピンP
1〜P32がそれぞれピングループ02G3・・・G7
に属するか否かを示す、それぞれ総計32ビツトのデー
タがピングループテーブルメモリ24に順次書き込まれ
る。第4図は、このようにしてピングループテーブルメ
モリ24に格納されたデータテーブルを示すものである
ここで、一つのピングループについてテスタプロセッサ
10からタイミング発生器20にピングループテーブル
メモリ24の書込アドレスデータおよびピンP1〜P3
2がそのピングループに属するか否かを示すデータを取
り込むのに要する時間をTx、一つのピングループにつ
いてピンP1〜P32がそのピングループに属するか否
かを示すデータをピングループテーブルメモリ24に書
き込むのに要する時間をTyとすると、ピングループの
総数Mが7であるので、ピングループテーブルメモリ2
4に上記のデータテーブルを格納するのに要する時間は
7 (Tx+Ty)となる。
次に、第2図に示すように、インタフェースクロックC
KIおよびCK2によりテスタプロセッサ10からラッ
チ回路21にそれぞれ8ビツトのデータが転送され、そ
の総計16ビツトのうちの5ビツトがピングループG1
についてのアドレスデータとしてピングループテーブル
メモリ24のアドレス端子ADRに供給されてピングル
ープテーブルメモリ24のピングループGlについての
アドレスからデータ出力端子Doを通してピンPl〜P
32がそれぞれピングループG1に属するか否かを示す
総計32ピントのデータが読み出されるとともに、イン
タフェースクロックCK3゜CK4.CK5およびCK
6によりテスタプロセッサ10からラッチ回路22にピ
ングループG1に属するピンPi、P2.P5.PIO
およびP32についての総計32ビツトの遅延時間デー
タがそれぞれ8ビツトずつ転送され、これが遅延時間設
定用メモリ23のデータ入力端子Diに供給される。
そして、ピングループGlについては、まずインタフェ
ースクロックCK6の後において、フリツブフロップ群
25にセントパルスSTPが供給されることによりピン
グループテーブルメモリ24からフリツブフロップ群2
5にピンP1〜P32がそれぞれピングループG1に属
するか否かを示す総計32ビツトのデータがセットされ
、プライオリティエンコーダ26において、その総計3
2ビツトのデータにおいてデータ内容が“1”になる最
下位のビットが検出されて、そのビットに応じた5ビツ
トのデータが形成され、この5ビ。
トのデータがアドレスデータとして遅延時間設定用メモ
リ23のアドレス端子ADRに供給されて、遅延時間設
定用メモリ23の書込イネーブル端子WEに書込イネー
ブル信号WEが供給されることにより、ピングループG
1に属する各ピンについての総計32ビツトの遅延時間
データが遅延時間設定用メモリ23の、その5ビツトの
データによって指定されたアドレスに書き込まれる。
すなわち、上記の例においては、セットパルスSTPに
よってピングループテーブルメモリ24からフリツブフ
ロップ群25にセントされる総計32ビツトのデータに
おいてデータ内容が1″になる最下位のビットは第4図
のデータテーブル中の最上段から明らかなように32ピ
ント中のピンP1に対応する最下位ビットであるから、
プライオリティエンコーダ26からピンP1についての
アドレスデータが得られ、遅延時間設定用メモIJ 2
3のピンPIについてのアドレスにピンP1についての
総計32ビツトの遅延時間データが書き込まれる。
次いで、デコーダ27にイネーブル信号ENが供給され
ることによりデコーダ27においてプライオリティエン
コーダ26からの5ビツトのアドレスデータが32ビツ
トのデータにデコードされ、その32ビツトのデータが
フリップフロップ群25の32個のフリップフロップの
リセット端子Rに供給されることにより、上記の例にお
いては、上述したようにフリップフロップ群25にセッ
トされた総計32ビツトのデータにおいて上記のように
データ内容が“1″になっていた最下位ビットのデータ
内容が“O”に変更され、これによりプライオリティエ
ンコーダ26からの5ビツトのアドレスデータがピンP
2についてのアドレスを指定するものにされて、遅延時
間設定用メモリ23のピンP2についてのアドレスにピ
ンP2についての総計32ビツトの遅延時間データが書
き込まれる。以下、同様にしてピングループGlに属す
る他のピンP5.PIOおよびP32についての遅延時
間データが遅延時間設定用メモリ23に順次書き込まれ
る。
その後、図示していないが、ピングループG1と同様に
して、ピングループG2.G3・・・G7について、テ
スタプロセッサ10からタイミング発生器20にピング
ループテーブルメモリ24の続出アドレスデータおよび
そのピングループに属する各ピンについての遅延時間デ
ータが順次取り込まれ、遅延時間設定用メモリ23にそ
のピングループに属する各ピンについての遅延時間デー
タが順次書き込まれる。
したがって、一つのピングループについてテスタプロセ
フす10からタイミング発生器20にピングループテー
ブルメモリ24の続出アドレスデータおよびそのピング
ループに属する各ピンについての遅延時間データを取り
込むのに要する時間をTx、一つのピンについて遅延時
間設定用メモ1J23に遅延時間データを書き込むのに
要する時間をTyとすると、遅延時間を設定すべきピン
の総数Nが32、ピングループの総数Mが7であるから
、ピングループテーブルメモリ24にデータテーブルを
格納した後の、すべてのピンについて遅延時間を設定す
るのに要する時間は7Tx+32T7となり、上述した
ようにピングループテーブルメモリ24にデータテーブ
ルを格納するのに要する時間を7 (T X +T y
 )とすると、すべてのピンについて遅延時間を設定す
るのに要する時間は、ピングループテーブルメモリ24
にデータテーブルを格納するのに要する時間を含めて、
7 (Tx+Ty)+7Tx+32Ty−14Tx+3
9Ty        −(2)となる。
具体的に、Txが700−J−/秒、Tyが300ナノ
秒とすると、すべてのピンについて遅延時間を設定する
のに要する時間は、この発明の上記の例においては21
500ナノ秒になり、従来の設定方法においては320
00ナノ秒になることがら、この発明の上記の例におい
ては従来の設定方法に比べてかなり短くなる。ICの多
ピン化に伴い、実際上、遅延時間を設定すべきピンの総
数Nは32よりかなり多いので、この発明によれば従来
の設定方法に比べて著しく短い時間で遅延時間を設定す
ることができる。
「発明の効果」 上述したように、この発明によれば、IC試験装置のタ
イミング発生器にICの各ピンについての試験用クロッ
クのタイミングレートパルスに対する遅延時間を短い時
間で設定することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の設定方法を実現する装置の一例を
示すブロック図、第2図は、その動作の説明に供するタ
イムチャート、第3図は、そのピングループの一例を示
す図、第4図は、そのピングループテーブルメモリに格
納されるデータテーブルの一例を示す図、第5図は、従
来の設定方法を実現する装置の一例を示すブロック図、
第6図は、その動作の説明に供するタイムチャートであ
る。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)試験するICの各ピンについての試験用クロック
    のタイミングレートパルスに対する遅延時間を同一にす
    るピンを同一のピングループに帰属させたときの、各ピ
    ンが各ピングループに属するか否かを示すデータのテー
    ブルを、あらかじめピングループテーブルメモリに格納
    し、次に、上記ピングループテーブルメモリから各ピン
    グループごとに順次、そのピングループに各ピンが属す
    るか否かを示すデータを読み出し、その読み出したデー
    タにもとづいて各ピングループごとに順次、そのピング
    ループに属するピンについてのみアドレスを順次指定し
    て、そのピングループに属する各ピンについての上記遅
    延時間のデータを遅延時間設定用メモリに書き込む、 IC試験用クロック遅延時間の設定方法。
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