JPH0438859A - 電子部品組立構造及びその組立方法 - Google Patents
電子部品組立構造及びその組立方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置などの電子部品の組立技術に関する
ものである。
ものである。
田を融かして液状化し均一な状態で接合が行われるよう
にしている。
にしている。
パワートランジスタ等の半導体装置を組立てる際に、通
常は放熱用の厚い金属板ヘッダの平らな主面上に半導体
素子(ペレット)を半田等の接合剤を用いて接合し、ヘ
ッダと一体的に形成されたリードと素子の電極とを直接
に、または金属ワイヤを介して間接に接続し、然るのち
に樹脂モールドを行ってパッケージするようにしている
。
常は放熱用の厚い金属板ヘッダの平らな主面上に半導体
素子(ペレット)を半田等の接合剤を用いて接合し、ヘ
ッダと一体的に形成されたリードと素子の電極とを直接
に、または金属ワイヤを介して間接に接続し、然るのち
に樹脂モールドを行ってパッケージするようにしている
。
上記のヘッダ上に素子を正しい位置に規定するために、
たとえば実開昭61−83046号公報において、放熱
板(ヘッダ)の上面に1形の溝を設け、さらに樹脂とヘ
ッダとの結合を良くするために溝の底部に突出部を加工
する技術が記載されている。
たとえば実開昭61−83046号公報において、放熱
板(ヘッダ)の上面に1形の溝を設け、さらに樹脂とヘ
ッダとの結合を良くするために溝の底部に突出部を加工
する技術が記載されている。
なお、上記ペレットと放熱板との接着のために放熱板上
に半田等の接着剤を置き、ペレット上から一定の荷重で
押しつけて加熱することにより半〔発明が解決しようと
する課題〕 従来ノベレット接続方法では、液状の接着剤を使う場合
放熱板上でのペレットの姿勢が不安定になって傾きを生
し、接着剤層の厚い部分と薄い部分とが生じる。このた
めにトランジスタの動作時の温度サイクル等で半田部分
やペレットにクラック等を生じやすいことが問題となっ
ている。
に半田等の接着剤を置き、ペレット上から一定の荷重で
押しつけて加熱することにより半〔発明が解決しようと
する課題〕 従来ノベレット接続方法では、液状の接着剤を使う場合
放熱板上でのペレットの姿勢が不安定になって傾きを生
し、接着剤層の厚い部分と薄い部分とが生じる。このた
めにトランジスタの動作時の温度サイクル等で半田部分
やペレットにクラック等を生じやすいことが問題となっ
ている。
本発明はこうした問題をなくすためのもので、その目的
は基板上にペレットを均一な間隔を保って接合する技術
を提供することにある。
は基板上にペレットを均一な間隔を保って接合する技術
を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は基板の平らな主面
に対し電子部品の平らな面を対向させて組み立てられた
構造であって、基板と電子部品との間にスペーサを介在
させて両者の間隔を平行に保持する空隙内に液体状の接
着用物質を注入し、これを固化させて基板と電子部品と
を接続させたことを特徴とするものである。
に対し電子部品の平らな面を対向させて組み立てられた
構造であって、基板と電子部品との間にスペーサを介在
させて両者の間隔を平行に保持する空隙内に液体状の接
着用物質を注入し、これを固化させて基板と電子部品と
を接続させたことを特徴とするものである。
上記した本発明において、スペーサは互いに隔てられた
少なくとも3個の突出部からなっているものである。
少なくとも3個の突出部からなっているものである。
また、上記した本発明において、基板の平らな主面に凹
部があけられ、この凹部と交差する状態で電子部品が重
ねられることにより、スペーサを介在させたと同等の空
隙をつくるものである。
部があけられ、この凹部と交差する状態で電子部品が重
ねられることにより、スペーサを介在させたと同等の空
隙をつくるものである。
本発明は、平らな主面にスペーサを設けた基板上におい
て、上記スペーサに囲まれた面に液状の接着用物質を滴
下し、この上に電子部品の平らな面を対向させてスペー
サにより基板と電子部品とを平行に保持した状態で接着
用物質を固化させて基板と電子部品との接続を行うこと
を特徴とする電子部品の組立方法に関するものである。
て、上記スペーサに囲まれた面に液状の接着用物質を滴
下し、この上に電子部品の平らな面を対向させてスペー
サにより基板と電子部品とを平行に保持した状態で接着
用物質を固化させて基板と電子部品との接続を行うこと
を特徴とする電子部品の組立方法に関するものである。
本発明はまた、絶縁性テープにあけた窓孔にリードの一
端を臨ませてテープ上に複数のリード配置させ、上記複
数のリードに半導体チップの複数電極を対向させて接続
し、上記複数のリードの内端部をスペーサとして平らな
絶縁性板をチップ上に平行に支持し、スペーサにより生
じた空隙にあらかしめ注入した液状の樹脂を固化させる
ことを特徴とする半導体装置の組立方法に関するもので
ある。
端を臨ませてテープ上に複数のリード配置させ、上記複
数のリードに半導体チップの複数電極を対向させて接続
し、上記複数のリードの内端部をスペーサとして平らな
絶縁性板をチップ上に平行に支持し、スペーサにより生
じた空隙にあらかしめ注入した液状の樹脂を固化させる
ことを特徴とする半導体装置の組立方法に関するもので
ある。
基板とペレットとの間をスペーサを介在させることによ
り平行な間隔を保持でき、この状態で基板とペレットの
間で液状化した接着剤を固化できるから、確実に、かつ
均一に接着ができる。
り平行な間隔を保持でき、この状態で基板とペレットの
間で液状化した接着剤を固化できるから、確実に、かつ
均一に接着ができる。
スペーサは少なくとも3個の突出部を用いることでペレ
ットを安定に支持できる。
ットを安定に支持できる。
また、凹部に交差してペレットをおくことでスペーサを
介在させると同じ状態をつくることができる。
介在させると同じ状態をつくることができる。
また、絶縁シート上のリードの内端は複数個の突起から
なるスペーサの役割を果たし、その空間で均一な厚さで
の樹脂を充たすことができる。
なるスペーサの役割を果たし、その空間で均一な厚さで
の樹脂を充たすことができる。
以下、本発明を若干の実施例にそって図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第1図(a)〜(d)は本発明の一実施例を示すもので
あって、リードフレーム上に半導体素子(ペレット)を
組立てる場合にスペーサを用いたプロセスの各工程の断
面図である。
あって、リードフレーム上に半導体素子(ペレット)を
組立てる場合にスペーサを用いたプロセスの各工程の断
面図である。
(a)複数のり一ド1とタブ2からなるリードフレーム
において、タブ2表面にスペーサとしての突起4を設け
る。
において、タブ2表面にスペーサとしての突起4を設け
る。
第2図は(a)の時点におけるリードフレームのパター
ンを上面図で示すものである。
ンを上面図で示すものである。
スペーサとしての突起4はペレットを基板(タブ)上に
平行に保持するためのもので、第4図に示すようにタブ
2の周辺に互いに間隔を保って設けた複数の突起4から
なる。この突起は、1)タブ上にCu箔を接着して部分
エッチするか、2)シリコン材を接着するか、3)フレ
ームをエツチングするかにより形成することができる。
平行に保持するためのもので、第4図に示すようにタブ
2の周辺に互いに間隔を保って設けた複数の突起4から
なる。この突起は、1)タブ上にCu箔を接着して部分
エッチするか、2)シリコン材を接着するか、3)フレ
ームをエツチングするかにより形成することができる。
これら突起は、第4図の(a)に示すように点彩状のも
のを少なくとも3個所互いに隔てて配置するか、(b)
一方または両方を細長形として相対峙して配置するか、
(C)タブのコーナーに設けるか、(d)タブの対辺に
設けることにより、この上に置いたペレットを基板面と
平行を保った状態で安定に支持しうる。
のを少なくとも3個所互いに隔てて配置するか、(b)
一方または両方を細長形として相対峙して配置するか、
(C)タブのコーナーに設けるか、(d)タブの対辺に
設けることにより、この上に置いたペレットを基板面と
平行を保った状態で安定に支持しうる。
このようなタブにおける突起(スペーサ)に囲まれた面
上にシリンジ(チューブ)12に入った接着剤5を十分
な量に滴下する。この接着剤は熱導伝性の良い物質、た
とえばAg入りペースト等を用いるか、あるいは半田等
の低融点ロウ材を熔融状態で使用する。
上にシリンジ(チューブ)12に入った接着剤5を十分
な量に滴下する。この接着剤は熱導伝性の良い物質、た
とえばAg入りペースト等を用いるか、あるいは半田等
の低融点ロウ材を熔融状態で使用する。
第1図(b)に示すようにタブ上に半導体ペレット3を
重ねる。この半導体ペレットは回路素子や電極バンドの
形成されない面を下に向けてタブ上に重ねる。
重ねる。この半導体ペレットは回路素子や電極バンドの
形成されない面を下に向けてタブ上に重ねる。
第1図(C)に示すようにペレット3をスペーサに接触
するまで押し付けると、接着剤はペレットと基板との間
に隙間なく均一な厚さに広がり、このままの状態で固化
させて接続が完了する。
するまで押し付けると、接着剤はペレットと基板との間
に隙間なく均一な厚さに広がり、このままの状態で固化
させて接続が完了する。
第1図(d)に示すように、このあとペレットの上面に
形成されている電極パッドと対向するリードとの間をワ
イヤボンディングする(第3図参照)。
形成されている電極パッドと対向するリードとの間をワ
イヤボンディングする(第3図参照)。
最後にペレットとインナーリード部を囲むように樹脂を
モールド(図示されない)して、パフケージングされた
半導体装置が完了する。
モールド(図示されない)して、パフケージングされた
半導体装置が完了する。
第5図は本発明におけるスペーサの他の一実施例を示す
ものであって、ヘッダ基板2の一生面に縦長の凹部13
を形成し、この凹部に交差するように横長のペレット3
を重ねることにより、凹部の段部をスペーサとする空隙
をつ(る。
ものであって、ヘッダ基板2の一生面に縦長の凹部13
を形成し、この凹部に交差するように横長のペレット3
を重ねることにより、凹部の段部をスペーサとする空隙
をつ(る。
この凹部13内に予め液状接着剤を注入りでおけば、基
板とベレ7)とは均一な厚さの接着剤層を介して接続さ
れることになる。
板とベレ7)とは均一な厚さの接着剤層を介して接続さ
れることになる。
第6図(a)〜(C)は、本発明の他の一実施例を示す
ものであって、TAB (テープ・オート・ボンディン
グ)封止方式の半導体装置の組立にスペーサを利用した
プロセスの各工程の断面図である。
ものであって、TAB (テープ・オート・ボンディン
グ)封止方式の半導体装置の組立にスペーサを利用した
プロセスの各工程の断面図である。
(a)絶縁性テープ11に窓孔13があけられ、この窓
に一端を臨ませて複数のCu膜リード8が放射状に配置
されたテープ(キャリアテープ)を用意しく第7図を参
照)、このテープの下側に半導体素子(ペレット)を載
置し、テープの中央の窓孔部13内で半導体素子(ペレ
ット)6の各電極バフドアとテープ側のCu膜リード8
の内端部を接触させた状態で上方より筒状治具(図示さ
れない)押し付けるギヤングボンディングを行い、ペレ
ット上面には液状の封止剤(絶縁性物質)9を充分の置
滴下する。
に一端を臨ませて複数のCu膜リード8が放射状に配置
されたテープ(キャリアテープ)を用意しく第7図を参
照)、このテープの下側に半導体素子(ペレット)を載
置し、テープの中央の窓孔部13内で半導体素子(ペレ
ット)6の各電極バフドアとテープ側のCu膜リード8
の内端部を接触させた状態で上方より筒状治具(図示さ
れない)押し付けるギヤングボンディングを行い、ペレ
ット上面には液状の封止剤(絶縁性物質)9を充分の置
滴下する。
(b)ベレット6と同寸法またはそれより大きい寸法の
樹脂板10をペレ 1上に重ねる。
樹脂板10をペレ 1上に重ねる。
(C)樹脂板10をソー1′8内端部に接触するまでに
押し付ける。
押し付ける。
このとき同図に示すようにリード内端部は所定の厚さを
等)ったスペーサの役割をし、樹脂板10はペレット上
面と平行に支持されるとともに、液状の接着剤9は基板
との間に隙間なく均一の厚さにひろがり、そのまま固化
することでペレット上面が封止された状態になる。これ
により平らな封止面が維持でき、その後のマーキングや
ハンドリングを容易ならしめる(第8図を参照)。
等)ったスペーサの役割をし、樹脂板10はペレット上
面と平行に支持されるとともに、液状の接着剤9は基板
との間に隙間なく均一の厚さにひろがり、そのまま固化
することでペレット上面が封止された状態になる。これ
により平らな封止面が維持でき、その後のマーキングや
ハンドリングを容易ならしめる(第8図を参照)。
この例によれば、封止に使用する接着剤に粘度が高い(
一般に温度サイクルに強い樹脂である)材料を通用する
ことが可能となる。
一般に温度サイクルに強い樹脂である)材料を通用する
ことが可能となる。
本発明は、以上説明したように構成されているので以下
に記載のような効果を奏する。
に記載のような効果を奏する。
スペーサを利用することで、基板とペレットとの間を均
一の厚さで接着剤を埋めた形で接続ができ、温度サイク
ルによるペレットクランク発生がなくなり、信頼性を向
上する。
一の厚さで接着剤を埋めた形で接続ができ、温度サイク
ルによるペレットクランク発生がなくなり、信頼性を向
上する。
TAB方式ではリードをスペーサとしてそのまま利用す
ることで、ボンディング歩留を向上できるとともに、接
着工程で高信頼性のレジンを使用でき、したがって製品
の信頼性が向上する。
ることで、ボンディング歩留を向上できるとともに、接
着工程で高信頼性のレジンを使用でき、したがって製品
の信頼性が向上する。
第1図(a)〜(d)は本発明の一実施例を示す半導体
装置組立プロセスの一部工程断面図である。 第2図、第3図は第1図の(a>、(d)にそれぞれ対
応する上面図である。 第4図(a)〜(d)は本発明におけるスペーサの各態
様を示す上面図である。 第5図(a)、 (b)は本発明の他の一実施例を示
し、(a)は上面図、(b)は(a)のA−A断面図で
ある。 第6図(a)〜(C)は本発明の他の一実施例を示す半
導体装置組立プロセスの一部工程断面図である。 第7図、第8図は第6図の(a)、(c)にそれぞれ対
応する上面図である。 l・・・リードフレームにおけるリード(Cu板)2・
・・リードフレームにおけるタブ(Cu板)3・・・半
導体ペレット(Si ) 4・・・スペーサとしての突起(Si 、 Cu 7
f3)5・・・接着剤(Agペースト、熔融半田)6・
・・半導体ペレット、 7・・・金属ハンプ(AN)8
・・・リード (Cu 膜) 9・・・液状封止剤(シリカ、ポリイミド系樹脂)10
・・・薄い樹脂板。
装置組立プロセスの一部工程断面図である。 第2図、第3図は第1図の(a>、(d)にそれぞれ対
応する上面図である。 第4図(a)〜(d)は本発明におけるスペーサの各態
様を示す上面図である。 第5図(a)、 (b)は本発明の他の一実施例を示
し、(a)は上面図、(b)は(a)のA−A断面図で
ある。 第6図(a)〜(C)は本発明の他の一実施例を示す半
導体装置組立プロセスの一部工程断面図である。 第7図、第8図は第6図の(a)、(c)にそれぞれ対
応する上面図である。 l・・・リードフレームにおけるリード(Cu板)2・
・・リードフレームにおけるタブ(Cu板)3・・・半
導体ペレット(Si ) 4・・・スペーサとしての突起(Si 、 Cu 7
f3)5・・・接着剤(Agペースト、熔融半田)6・
・・半導体ペレット、 7・・・金属ハンプ(AN)8
・・・リード (Cu 膜) 9・・・液状封止剤(シリカ、ポリイミド系樹脂)10
・・・薄い樹脂板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、基板の平らな主面に対して電子部品の平らな面を対
向させて組み立てられた構造であって、基板と電子部品
との間にスペーサを介して両者の間隔を平行に保持し、
その空隙内に注入した液体状の接着用物質を固化させて
基板と電子部品とを接続させてあることを特徴とする電
子部品組立構造。 2、請求項1に記載の電子部品組立構造において、スペ
ーサは互いに隔てられた少なくとも3個の突出部からな
っている。 3、請求項1に記載の電子部品組立構造において、基板
の平らな主面に凹部があけられ、この凹部と交差する状
態で電子部品が重ねられることにより、スペーサを介在
させたと同等の空隙がつくられる。 4、平らな主面にスペーサを突設した基板上において、
上記スペーサに囲まれた面に液状の接着用物質を滴下し
、この上に電子部品の平らな面を対向させてスペーサに
より基板と電子部品とを平行に保持した状態で上記接着
用物質を固化させて基板と電子部品との接続を行うこと
を特徴とする電子部品の組立方法。 5、絶縁性テープにあけた窓孔にリードの一端を臨ませ
てテープ上に複数のリード配置させ、上記複数のリード
に半導体チップの複数電極を対向させて接続し、上記複
数のリードの内端部をスペーサとして平らな絶縁性板を
チップ上に平行に支持し、スペーサにより生じた空隙に
あらかじめ注入した液状の樹脂を固化させることを特徴
とする半導体装置の組立方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2144315A JPH0438859A (ja) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | 電子部品組立構造及びその組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2144315A JPH0438859A (ja) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | 電子部品組立構造及びその組立方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0438859A true JPH0438859A (ja) | 1992-02-10 |
Family
ID=15359234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2144315A Pending JPH0438859A (ja) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | 電子部品組立構造及びその組立方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0438859A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001059828A2 (de) * | 2000-02-14 | 2001-08-16 | Epcos Ag | Bauelement mit konstant verspannter verklebung und verfahren zur verklebung |
SG97759A1 (en) * | 1998-02-06 | 2003-08-20 | Texas Instr Singapore Pte Ltd | Mehtod for assembling an integrated circuit package |
JP2006278598A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2009111080A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Hitachi Kyowa Engineering Co Ltd | 電子部品搭載方法及び電子部品基板搭載構造体 |
WO2010147187A1 (ja) * | 2009-06-18 | 2010-12-23 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
WO2018159309A1 (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-07 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
JPWO2020175619A1 (ja) * | 2019-02-28 | 2021-12-16 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用パッケージ、電子装置及び発光装置 |
-
1990
- 1990-06-04 JP JP2144315A patent/JPH0438859A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG97759A1 (en) * | 1998-02-06 | 2003-08-20 | Texas Instr Singapore Pte Ltd | Mehtod for assembling an integrated circuit package |
WO2001059828A2 (de) * | 2000-02-14 | 2001-08-16 | Epcos Ag | Bauelement mit konstant verspannter verklebung und verfahren zur verklebung |
WO2001059828A3 (de) * | 2000-02-14 | 2002-02-28 | Epcos Ag | Bauelement mit konstant verspannter verklebung und verfahren zur verklebung |
JP4704084B2 (ja) * | 2005-03-29 | 2011-06-15 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP2006278598A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
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WO2010147187A1 (ja) * | 2009-06-18 | 2010-12-23 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
CN102484080A (zh) * | 2009-06-18 | 2012-05-30 | 罗姆股份有限公司 | 半导体装置 |
US10163850B2 (en) | 2009-06-18 | 2018-12-25 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device |
WO2018159309A1 (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-07 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2018147995A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
CN110326092A (zh) * | 2017-03-03 | 2019-10-11 | 株式会社电装 | 半导体装置及其制造方法 |
US11183480B2 (en) | 2017-03-03 | 2021-11-23 | Denso Corporation | Semiconductor device |
CN110326092B (zh) * | 2017-03-03 | 2023-08-04 | 株式会社电装 | 半导体装置及其制造方法 |
JPWO2020175619A1 (ja) * | 2019-02-28 | 2021-12-16 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用パッケージ、電子装置及び発光装置 |
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