JPH0433759B2 - - Google Patents
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- JPH0433759B2 JPH0433759B2 JP4968185A JP4968185A JPH0433759B2 JP H0433759 B2 JPH0433759 B2 JP H0433759B2 JP 4968185 A JP4968185 A JP 4968185A JP 4968185 A JP4968185 A JP 4968185A JP H0433759 B2 JPH0433759 B2 JP H0433759B2
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- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 48
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 19
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- UTICYDQJEHVLJZ-UHFFFAOYSA-N copper manganese nickel Chemical compound [Mn].[Ni].[Cu] UTICYDQJEHVLJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 12
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- NEIHULKJZQTQKJ-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Ag] Chemical compound [Cu].[Ag] NEIHULKJZQTQKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 229910000914 Mn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 1
- PCEXQRKSUSSDFT-UHFFFAOYSA-N [Mn].[Mo] Chemical compound [Mn].[Mo] PCEXQRKSUSSDFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001464 adherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
A 産業上の利用分野
本発明は無機絶縁物と銅材との真空ろう付け方
法に関するものである。
法に関するものである。
B 発明の概要
この発明は、無機絶縁物と銅材とを真空ろう付
け接合する方法において、 銅−マンガン−ニツケルからなるろう材の成分
組成を、銅が50重量%、マンガンが41重量%、及
びニツケルが9重量%とすることにより、 ろう付け接合部の機械的強度の向上及び信頼性
の高い真空機密接合が得られるようにしたもので
ある。
け接合する方法において、 銅−マンガン−ニツケルからなるろう材の成分
組成を、銅が50重量%、マンガンが41重量%、及
びニツケルが9重量%とすることにより、 ろう付け接合部の機械的強度の向上及び信頼性
の高い真空機密接合が得られるようにしたもので
ある。
C 従来の技術
無機絶縁物と金属とを真空ろう付け接合する従
来方法として、真空インタラプタの真空容器の製
造に用いられた例を説明すると、まず、真空容器
Aは第6図に示すように、ガラス又はアルミナセ
ラミツクなどの無機絶縁物円筒1からなり、その
両端面にモリブデン−マンガン合金からなるメタ
ライズ層2を設け、このメタライズ層2と金属円
筒3の1端面とをろう材4で接合する一方、金属
円筒3の他端面に金属端板7を同様にろう付け接
合して構成した。真空容器A内には、電極5a,
6aを有する固定リード棒5と可動リード棒6と
がそれぞれ気密に貫通させてある。そして、前記
可動リード棒6は真空容器Aの軸方向に進退可能
な如く、ベローズ8を介して可動的に構成されて
いる。
来方法として、真空インタラプタの真空容器の製
造に用いられた例を説明すると、まず、真空容器
Aは第6図に示すように、ガラス又はアルミナセ
ラミツクなどの無機絶縁物円筒1からなり、その
両端面にモリブデン−マンガン合金からなるメタ
ライズ層2を設け、このメタライズ層2と金属円
筒3の1端面とをろう材4で接合する一方、金属
円筒3の他端面に金属端板7を同様にろう付け接
合して構成した。真空容器A内には、電極5a,
6aを有する固定リード棒5と可動リード棒6と
がそれぞれ気密に貫通させてある。そして、前記
可動リード棒6は真空容器Aの軸方向に進退可能
な如く、ベローズ8を介して可動的に構成されて
いる。
上記金属円筒3はコバール(Fe−Ni−Co)、
ろう材4は銀−銅ろうが用いられ、そして、真空
ろう付けするには、ろう付け接合すべき部分にろ
う材を挾んで真空容器Aを仮組立し、10-5Torr
程度の真空圧を保持した真空加熱炉内で900℃〜
1050℃に加熱して行なう。ろう付け接合が終る
と、真空加熱炉内で徐冷した後、真空インタラプ
タの製作が完了する。
ろう材4は銀−銅ろうが用いられ、そして、真空
ろう付けするには、ろう付け接合すべき部分にろ
う材を挾んで真空容器Aを仮組立し、10-5Torr
程度の真空圧を保持した真空加熱炉内で900℃〜
1050℃に加熱して行なう。ろう付け接合が終る
と、真空加熱炉内で徐冷した後、真空インタラプ
タの製作が完了する。
D 発明が解決しようとする問題点
上記従来法によると、無機絶縁物円筒1と接合
される金属円筒3はコバールであり、またろう材
4は銀−銅ろうであるから、ろう付け時にろう材
4がメタライズ層2の表面全体に広がるので、局
部応力緩和の為にろう溜り4aを形成する必要が
あつた。特に、無機絶縁物円筒1がアルミナセラ
ミツクの場合、両端同時にろう付け接合する場合
にはそれなりの処置が必要となるから、手数が掛
かり面倒であつて、製造能率が著しく低下すると
ともに、気密ろう付けの機械的強度が弱く、衝撃
がくり返し加わると真空気密が破壊されるという
問題があつた。
される金属円筒3はコバールであり、またろう材
4は銀−銅ろうであるから、ろう付け時にろう材
4がメタライズ層2の表面全体に広がるので、局
部応力緩和の為にろう溜り4aを形成する必要が
あつた。特に、無機絶縁物円筒1がアルミナセラ
ミツクの場合、両端同時にろう付け接合する場合
にはそれなりの処置が必要となるから、手数が掛
かり面倒であつて、製造能率が著しく低下すると
ともに、気密ろう付けの機械的強度が弱く、衝撃
がくり返し加わると真空気密が破壊されるという
問題があつた。
そこで、金属円筒3に銅材を使用し、またろう
材4を公知の銅−マンガン−ニツケル合金からな
るもの(銅53重量%、マンガン38重量%、ニツケ
ル9重量%)を用いると、ろう材4が金属円筒3
を侵食する度合いが高いので、真空気密ろう付け
の機械的強度は比較的良好となる反面、それでも
真空気密の信頼性の面で充分でない。
材4を公知の銅−マンガン−ニツケル合金からな
るもの(銅53重量%、マンガン38重量%、ニツケ
ル9重量%)を用いると、ろう材4が金属円筒3
を侵食する度合いが高いので、真空気密ろう付け
の機械的強度は比較的良好となる反面、それでも
真空気密の信頼性の面で充分でない。
E 問題点を解決するための手段
本発明は、前記問題点を解決するため、銅−マ
ンガン−ニツケルからなるろう材を、メタライズ
層を施した無機絶縁物と銅からなる金属との間に
挾持せしめ、真空加熱炉においてろう付け接合す
る方法において、前記ろう材の成分組成を、銅が
50重量%、マンガンが41重量%、及びニツケルが
9重量%の割合とし、このろう材を無機絶縁物と
金属との真空ろう付に用いる方法を提供する。
ンガン−ニツケルからなるろう材を、メタライズ
層を施した無機絶縁物と銅からなる金属との間に
挾持せしめ、真空加熱炉においてろう付け接合す
る方法において、前記ろう材の成分組成を、銅が
50重量%、マンガンが41重量%、及びニツケルが
9重量%の割合とし、このろう材を無機絶縁物と
金属との真空ろう付に用いる方法を提供する。
F 作用
本発明によると、ろう材は銅材に対する侵食性
の高い銅−マンガン−ニツケルろうを用いるた
め、ろう付け部分の気密接合とその機械的強度が
良く、かつ、安定するから、真空洩れが生じ難く
なり、真空インタラプタの耐用寿命を延長させ
る。
の高い銅−マンガン−ニツケルろうを用いるた
め、ろう付け部分の気密接合とその機械的強度が
良く、かつ、安定するから、真空洩れが生じ難く
なり、真空インタラプタの耐用寿命を延長させ
る。
G 実施例
以下に本発明をその一実施例について説明す
る。
る。
まず初めに、第1図を用いて機械的強度が満た
された真空気密ろう付け後の真空容器Aの要部を
第1図に示す。図中、1は無機絶縁物円筒、2は
無機絶縁物円筒1の端面に施されたモリブデン−
マンガンからなるメタライズ層、3は銅材からな
る金属円筒である。また、A1,A2はメタライズ
層2のろう材非着部分であり、この幅は約1mm以
上に形成されている。B1,B2はろう材溜部分で、
この幅は1mm以下で0.3mm以上に形成される。C1
はメタライズ層2の有効幅寸法である。メタライ
ズ層2の有効幅C1の下限値は、金属円筒3の厚
寸法を考慮して適宜定められる。
された真空気密ろう付け後の真空容器Aの要部を
第1図に示す。図中、1は無機絶縁物円筒、2は
無機絶縁物円筒1の端面に施されたモリブデン−
マンガンからなるメタライズ層、3は銅材からな
る金属円筒である。また、A1,A2はメタライズ
層2のろう材非着部分であり、この幅は約1mm以
上に形成されている。B1,B2はろう材溜部分で、
この幅は1mm以下で0.3mm以上に形成される。C1
はメタライズ層2の有効幅寸法である。メタライ
ズ層2の有効幅C1の下限値は、金属円筒3の厚
寸法を考慮して適宜定められる。
そこで上記したA1,A2,B1,B2の各幅寸法を
得るためのろう付け方法を説明する。ここで用い
られるろう材9はその成分組成が、銅50重量%、
マンガン41重量%、ニツケル9重量%であり、か
つ、このろう材9は第3図に示すように略L字形
の断面となる如くバーリング成形されている。こ
のバーリング成形における厚みT1と立上り高さ
H1については次のような条件が必要である。
得るためのろう付け方法を説明する。ここで用い
られるろう材9はその成分組成が、銅50重量%、
マンガン41重量%、ニツケル9重量%であり、か
つ、このろう材9は第3図に示すように略L字形
の断面となる如くバーリング成形されている。こ
のバーリング成形における厚みT1と立上り高さ
H1については次のような条件が必要である。
即ち、T1は、バーリング加工によるそり返り
が小なること、真空ろう付けする場合、ろう材9
表面から720℃以上でマンガンが真空中に抜けて
も融点が大きく変化しない量、例えば0.14〜0.2
mm程度がよい。
が小なること、真空ろう付けする場合、ろう材9
表面から720℃以上でマンガンが真空中に抜けて
も融点が大きく変化しない量、例えば0.14〜0.2
mm程度がよい。
また、H1は、金属円筒3が膨張しても内径側
に位するようにし、0.5mm〜1mm程度がよい。
に位するようにし、0.5mm〜1mm程度がよい。
このようにバーリング成形されたろう材9を、
第2図に示すように、金属円筒3と無機絶縁物円
筒1との間に挾んで仮組付をし、真空加熱炉中に
おいてろう付け接合させる。
第2図に示すように、金属円筒3と無機絶縁物円
筒1との間に挾んで仮組付をし、真空加熱炉中に
おいてろう付け接合させる。
真空加熱炉における加熱温度は、900℃〜1050
℃とし、加熱時間はろう材9が融着するまでの所
要時間であり、かつ、真空度が10-5Torr以下の
圧力で行う。
℃とし、加熱時間はろう材9が融着するまでの所
要時間であり、かつ、真空度が10-5Torr以下の
圧力で行う。
なお、第4図及び第5図は本発明の応用例を示
す要部断面図である。第4図の例では、金属円筒
3の接合端面が肉厚T2よりも大きく、T字形を
なしていて、上例同様の銅−マンガン−ニツケル
のろう材9で接合されている。第5図は金属円筒
3の外端面に銅−マンガン−ニツケルのろう材9
によりステンレス部品10が接合されている。こ
のステンレス部品10には、例えば端板7を溶接
できる。
す要部断面図である。第4図の例では、金属円筒
3の接合端面が肉厚T2よりも大きく、T字形を
なしていて、上例同様の銅−マンガン−ニツケル
のろう材9で接合されている。第5図は金属円筒
3の外端面に銅−マンガン−ニツケルのろう材9
によりステンレス部品10が接合されている。こ
のステンレス部品10には、例えば端板7を溶接
できる。
H 発明の効果
以上に説明した本発明によれば、銅が50重量
%、マンガンが41重量%、ニツケルが9重量%か
らなる銅−マンガン−ニツケルろうを用いて無機
絶縁物と銅材とを真空ろう付けできるので、銅材
の侵食性が適性な範囲に抑制され、ろう付けの機
械的強度が向上するのは勿論、充分な信頼性を有
する真空気密接合を得ることができ、真空インタ
ラプタの製造に好適である。しかも、本発明によ
る銅−マンガン−ニツケルろうは、銀銅ろうに比
べ粘性が大きく、したがつてろう溜りを形成すべ
き特別の処置を施こすことなく、例えば真空容器
の両端に金属円筒を同時に真空炉内においてろう
付けすることができ、真空容器の製造能率を向上
させる。また、ろう材は、銅−マンガン−ニツケ
ルろうであるから、例えば金属円筒の外端部にス
テンレスからなる端板を同時にろう付けすること
も可能となり、従来、真空炉外で溶接により端板
を取付けていた不便を解消できる。すなわち、銅
−マンガン−ニツケルろうを真空中で1回ろう付
けすると、マンガンは高蒸気圧であると同時に、
ろうの融点を下げる添加元素であるから、溶け凝
固した銅−マンガン−ニツケルろうからマンガン
が少なくなり融点が上がる。よつて、無機絶縁物
に銅材をろう付けし、かつ、銅材に同じろう材を
用いてステンレス部品をろう付けすることが可能
である。更に、無機絶縁物と接合される金属とし
て磁性体であるコバールを用いなくともよく、銅
材を用いることができるので、大電流用の真空イ
ンタラプタとして用いたとき、磁気歪による電流
損失又は騒音の発生が生じない、等の効果を奏す
る。
%、マンガンが41重量%、ニツケルが9重量%か
らなる銅−マンガン−ニツケルろうを用いて無機
絶縁物と銅材とを真空ろう付けできるので、銅材
の侵食性が適性な範囲に抑制され、ろう付けの機
械的強度が向上するのは勿論、充分な信頼性を有
する真空気密接合を得ることができ、真空インタ
ラプタの製造に好適である。しかも、本発明によ
る銅−マンガン−ニツケルろうは、銀銅ろうに比
べ粘性が大きく、したがつてろう溜りを形成すべ
き特別の処置を施こすことなく、例えば真空容器
の両端に金属円筒を同時に真空炉内においてろう
付けすることができ、真空容器の製造能率を向上
させる。また、ろう材は、銅−マンガン−ニツケ
ルろうであるから、例えば金属円筒の外端部にス
テンレスからなる端板を同時にろう付けすること
も可能となり、従来、真空炉外で溶接により端板
を取付けていた不便を解消できる。すなわち、銅
−マンガン−ニツケルろうを真空中で1回ろう付
けすると、マンガンは高蒸気圧であると同時に、
ろうの融点を下げる添加元素であるから、溶け凝
固した銅−マンガン−ニツケルろうからマンガン
が少なくなり融点が上がる。よつて、無機絶縁物
に銅材をろう付けし、かつ、銅材に同じろう材を
用いてステンレス部品をろう付けすることが可能
である。更に、無機絶縁物と接合される金属とし
て磁性体であるコバールを用いなくともよく、銅
材を用いることができるので、大電流用の真空イ
ンタラプタとして用いたとき、磁気歪による電流
損失又は騒音の発生が生じない、等の効果を奏す
る。
第1図は本発明方法により接合された無機絶縁
物と銅材との要部断面図、第2図は本発明による
ろう付け前の状態を示す分解した要部断面図、第
3図はバーリング成形によるろう材の縦断側面
図、第4図及び第5図は本発明の応用例を示す要
部縦断面図、第6図は従来例の要部縦断面図であ
る。 1……無機絶縁物円筒、2……メタライズ層、
3……金属円筒、6……ろう溜り、9……ろう
材、A1,A2……ろう材非着部分、B1,B2……ろ
う溜部分。
物と銅材との要部断面図、第2図は本発明による
ろう付け前の状態を示す分解した要部断面図、第
3図はバーリング成形によるろう材の縦断側面
図、第4図及び第5図は本発明の応用例を示す要
部縦断面図、第6図は従来例の要部縦断面図であ
る。 1……無機絶縁物円筒、2……メタライズ層、
3……金属円筒、6……ろう溜り、9……ろう
材、A1,A2……ろう材非着部分、B1,B2……ろ
う溜部分。
Claims (1)
- 1 銅−マンガン−ニツケルからなるろう材を、
メタライズ層を施した無機絶縁物と銅からなる金
属との間に挾持せしめ、真空加熱炉においてろう
付け接合する方法において、前記ろう材の成分組
成を、銅が50重量%、マンガンが41重量%、及び
ニツケルが9重量%としたことを特徴とする無機
絶縁物と銅材との真空ろう付け方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4968185A JPS61209966A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 無機絶縁物と銅材との真空ろう付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4968185A JPS61209966A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 無機絶縁物と銅材との真空ろう付け方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61209966A JPS61209966A (ja) | 1986-09-18 |
JPH0433759B2 true JPH0433759B2 (ja) | 1992-06-03 |
Family
ID=12837917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4968185A Granted JPS61209966A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 無機絶縁物と銅材との真空ろう付け方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61209966A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01264127A (ja) * | 1988-04-14 | 1989-10-20 | Toshiba Corp | 真空バルブの製造方法 |
JP2627090B2 (ja) * | 1989-12-12 | 1997-07-02 | 株式会社小松製作所 | 硼化物セラミックスと金属系構造部材との接合体及び接合方法 |
WO2000018537A1 (fr) | 1998-09-28 | 2000-04-06 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Alliage de metaux d'apport de brasage pour structure brasee en acier inoxydable, et metal d'apport de brasage pour acier inoxydable |
JP2015182109A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 株式会社日立製作所 | ろう材、接合体、真空バルブ |
US10551261B2 (en) * | 2017-02-28 | 2020-02-04 | Rosemount Inc. | Joint for brittle materials |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP4968185A patent/JPS61209966A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61209966A (ja) | 1986-09-18 |
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