JPH04328886A - 圧電素子の接着方法 - Google Patents
圧電素子の接着方法Info
- Publication number
- JPH04328886A JPH04328886A JP3124899A JP12489991A JPH04328886A JP H04328886 A JPH04328886 A JP H04328886A JP 3124899 A JP3124899 A JP 3124899A JP 12489991 A JP12489991 A JP 12489991A JP H04328886 A JPH04328886 A JP H04328886A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- thermosetting resin
- piezoelectric
- resin adhesive
- adhesive agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 42
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 20
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims abstract description 19
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 36
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 26
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 12
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 12
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 12
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 7
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910002065 alloy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、接着方法、特に、圧電
素子の接着方法に関する。
素子の接着方法に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえば圧電ブザーや圧電スピーカ等の
圧電型電気音響変換器は、圧電素子が取り付けられた振
動板を有している。ここで、圧電素子は、たとえば嫌気
性接着剤のようなアクリル系接着剤やエポキシ系接着剤
のような熱硬化性樹脂系接着剤を用いて振動板に取り付
けられている。嫌気性接着剤を用いる場合は、嫌気性接
着剤が塗布された圧電素子を振動板に圧着することによ
り接着剤と空気との接触を断ち、接着剤を硬化させてい
る。一方、熱硬化性樹脂系接着剤を用いる場合は、接着
剤が塗布された圧電素子を振動板に圧着し、室温〜80
℃程度の加熱により接着剤を硬化させている。
圧電型電気音響変換器は、圧電素子が取り付けられた振
動板を有している。ここで、圧電素子は、たとえば嫌気
性接着剤のようなアクリル系接着剤やエポキシ系接着剤
のような熱硬化性樹脂系接着剤を用いて振動板に取り付
けられている。嫌気性接着剤を用いる場合は、嫌気性接
着剤が塗布された圧電素子を振動板に圧着することによ
り接着剤と空気との接触を断ち、接着剤を硬化させてい
る。一方、熱硬化性樹脂系接着剤を用いる場合は、接着
剤が塗布された圧電素子を振動板に圧着し、室温〜80
℃程度の加熱により接着剤を硬化させている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】電子回路部品の高密度
実装化に伴い、各種電子部品は、通常はんだリフロー法
により回路基板に実装されている。ここで、はんだリフ
ロー法とは、回路基板の実装部にはんだクリームを塗布
しておき、電子部品をこの実装部に仮固定した後、回路
基板を炉の中に入れてはんだクリームを溶融させ、チッ
プ部品を基板にはんだ付けする方法である。
実装化に伴い、各種電子部品は、通常はんだリフロー法
により回路基板に実装されている。ここで、はんだリフ
ロー法とは、回路基板の実装部にはんだクリームを塗布
しておき、電子部品をこの実装部に仮固定した後、回路
基板を炉の中に入れてはんだクリームを溶融させ、チッ
プ部品を基板にはんだ付けする方法である。
【0004】ところが、圧電型電気音響変換器を高温の
炉の中に入れると、圧電素子と振動板とを接着している
接着剤が熱膨張するので、圧電素子に引っ張り方向の応
力が作用する。この結果、圧電素子では、逆電圧が発生
して磁器基板の分極が弱まり、圧電特性が低下してしま
う。甚だしい場合には、磁器基板にクラックが生じるこ
ともある。
炉の中に入れると、圧電素子と振動板とを接着している
接着剤が熱膨張するので、圧電素子に引っ張り方向の応
力が作用する。この結果、圧電素子では、逆電圧が発生
して磁器基板の分極が弱まり、圧電特性が低下してしま
う。甚だしい場合には、磁器基板にクラックが生じるこ
ともある。
【0005】本発明の目的は、リフロー炉等の高温環境
下でも、振動特性が損なわれにくい圧電素子の接着方法
を提供することにある。
下でも、振動特性が損なわれにくい圧電素子の接着方法
を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の圧電素子の接着
方法は、振動板に圧電素子を接着するための方法である
。この接着方法は、次の工程を含んでいる。◎圧電素子
と振動板とを熱硬化性樹脂系接着剤を介して密着する工
程。◎熱硬化性樹脂系接着剤を圧電素子の使用温度範囲
の中間温度以上に保って硬化させる工程。
方法は、振動板に圧電素子を接着するための方法である
。この接着方法は、次の工程を含んでいる。◎圧電素子
と振動板とを熱硬化性樹脂系接着剤を介して密着する工
程。◎熱硬化性樹脂系接着剤を圧電素子の使用温度範囲
の中間温度以上に保って硬化させる工程。
【0007】
【作用】本発明の接着方法では、熱硬化性樹脂系接着剤
は、圧電素子の使用温度範囲の中間温度以上に保って硬
化されているため、高温下に置かれた場合の膨張率が小
さい。このため、本発明によれば、熱硬化性樹脂系接着
剤が圧電素子に引っ張り方向の応力を与えにくいので、
圧電素子の圧電特性の低下や破損が起こりにくい。
は、圧電素子の使用温度範囲の中間温度以上に保って硬
化されているため、高温下に置かれた場合の膨張率が小
さい。このため、本発明によれば、熱硬化性樹脂系接着
剤が圧電素子に引っ張り方向の応力を与えにくいので、
圧電素子の圧電特性の低下や破損が起こりにくい。
【0008】
【実施例】図1は本考案の一実施例を採用して製造され
た圧電型電気音響変換器の縦断面図、図2はその斜視分
解図である。図において、圧電型電気音響変換器1は、
振動部2と、この振動部2を収納する前面ケース3及び
裏面ケース4とから主に構成されている。
た圧電型電気音響変換器の縦断面図、図2はその斜視分
解図である。図において、圧電型電気音響変換器1は、
振動部2と、この振動部2を収納する前面ケース3及び
裏面ケース4とから主に構成されている。
【0009】振動部2は、金属振動板5と、この金属振
動板5の表面に接着された圧電素子6とから構成されて
いる。金属振動板5は、たとえば42アロイからなり、
円板状に形成されている。一方、圧電素子6は、チタン
酸ジルコン酸鉛等の圧電磁器材料からなり、金属振動板
5より小さい寸法の円板状に形成されている。また、圧
電素子6の両主面には、全体に銀電極が配置されている
。なお、金属振動板5と圧電素子6とは熱硬化性樹脂系
接着剤により接着されている。
動板5の表面に接着された圧電素子6とから構成されて
いる。金属振動板5は、たとえば42アロイからなり、
円板状に形成されている。一方、圧電素子6は、チタン
酸ジルコン酸鉛等の圧電磁器材料からなり、金属振動板
5より小さい寸法の円板状に形成されている。また、圧
電素子6の両主面には、全体に銀電極が配置されている
。なお、金属振動板5と圧電素子6とは熱硬化性樹脂系
接着剤により接着されている。
【0010】前面ケース3は、アルミニウムからなり、
キャップ状に形成されている。前面ケース2の中央部に
は、複数の放音孔3aが形成されている。また、前面ケ
ース3の外周部には、金属振動板5の表面側周縁に当接
する振動部保持部3bと切欠き部3cとが形成されてい
る。
キャップ状に形成されている。前面ケース2の中央部に
は、複数の放音孔3aが形成されている。また、前面ケ
ース3の外周部には、金属振動板5の表面側周縁に当接
する振動部保持部3bと切欠き部3cとが形成されてい
る。
【0011】裏面ケース4は、鉄製であり、皿状に形成
されている。その中央部には、漏洩孔4aが形成されて
いる。裏面ケース4の内側には、周波数特性を平坦化す
るための音響抵抗材7が漏洩孔4aを覆うように配置さ
れている。また、裏面ケース4の外周端部には、振動部
2を支持するための振動部支持部4bが形成されている
。そして、この裏面ケース4の振動部支持部4bを抱き
込むように、前面ケース3の外周端部がかしめられてい
る。
されている。その中央部には、漏洩孔4aが形成されて
いる。裏面ケース4の内側には、周波数特性を平坦化す
るための音響抵抗材7が漏洩孔4aを覆うように配置さ
れている。また、裏面ケース4の外周端部には、振動部
2を支持するための振動部支持部4bが形成されている
。そして、この裏面ケース4の振動部支持部4bを抱き
込むように、前面ケース3の外周端部がかしめられてい
る。
【0012】振動部2において、圧電素子6の表面には
、リード端子8がはんだ付けされている。また、金属振
動板5の外周部表面にも、同様にリード端子9がはんだ
付けされている。両リード端子8,9は、短冊状の板状
部材であり、前面ケース3の切欠き部3cから外部に突
出している。そして、両リード端子8,9は、下方(裏
面ケース4側方向)に屈曲されており、さらに先端が水
平に屈曲されている。
、リード端子8がはんだ付けされている。また、金属振
動板5の外周部表面にも、同様にリード端子9がはんだ
付けされている。両リード端子8,9は、短冊状の板状
部材であり、前面ケース3の切欠き部3cから外部に突
出している。そして、両リード端子8,9は、下方(裏
面ケース4側方向)に屈曲されており、さらに先端が水
平に屈曲されている。
【0013】次に、本実施例に係る圧電素子6の接着方
法に触れつつ上述の圧電型電気音響変換器1の製造方法
を説明する。まず、チタン酸ジルコン酸鉛のシートを円
形に打ち抜き、これを所定の温度で焼成することにより
磁器基板を得る。次に、得られた磁器基板に分極処理を
施す。ここでは、磁器基板の両主面に電極を配置し、こ
の電極間に高電圧を印加することにより磁器基板を分極
させる。なお、磁器基板に配置した電極は、分極処理後
に取り除かれる。
法に触れつつ上述の圧電型電気音響変換器1の製造方法
を説明する。まず、チタン酸ジルコン酸鉛のシートを円
形に打ち抜き、これを所定の温度で焼成することにより
磁器基板を得る。次に、得られた磁器基板に分極処理を
施す。ここでは、磁器基板の両主面に電極を配置し、こ
の電極間に高電圧を印加することにより磁器基板を分極
させる。なお、磁器基板に配置した電極は、分極処理後
に取り除かれる。
【0014】次に、分極処理された磁器基板の両主面の
全体に銀電極を形成する。これにより、圧電素子6が得
られる。得られた圧電素子6の銀電極の表面には、微細
な凹凸が形成されている。
全体に銀電極を形成する。これにより、圧電素子6が得
られる。得られた圧電素子6の銀電極の表面には、微細
な凹凸が形成されている。
【0015】次に、得られた圧電素子6を金属振動板5
に接着する。これにより、振動部2が得られる。ここで
は、圧電素子6の銀電極の表面の凸部と金属振動板5と
が接触し、圧電素子6と金属振動板5との導通が図られ
る。圧電素子6と金属振動板5との接着には、上述のよ
うに熱硬化性樹脂系接着剤が用いられる。熱硬化性樹脂
系接着剤としては、たとえばフェノール樹脂、エポキシ
樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド等の接着剤が例示
できる。熱硬化性樹脂系接着剤としては、常温での硬化
速度が遅いものが好ましい。これは、硬化速度の速い接
着剤は圧電素子6の銀電極表面で速く固まってしまうの
で、銀電極と金属振動板5とを加熱しながら圧着すると
きに、銀電極の凸部と金属振動板5とが直接接触する前
に接着剤の硬化が始まって両者の導通が取りにくくなる
ためである。なお、熱硬化性樹脂系接着剤として最も好
ましいのは、120℃程度で硬化するエポキシ系の接着
剤である。
に接着する。これにより、振動部2が得られる。ここで
は、圧電素子6の銀電極の表面の凸部と金属振動板5と
が接触し、圧電素子6と金属振動板5との導通が図られ
る。圧電素子6と金属振動板5との接着には、上述のよ
うに熱硬化性樹脂系接着剤が用いられる。熱硬化性樹脂
系接着剤としては、たとえばフェノール樹脂、エポキシ
樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド等の接着剤が例示
できる。熱硬化性樹脂系接着剤としては、常温での硬化
速度が遅いものが好ましい。これは、硬化速度の速い接
着剤は圧電素子6の銀電極表面で速く固まってしまうの
で、銀電極と金属振動板5とを加熱しながら圧着すると
きに、銀電極の凸部と金属振動板5とが直接接触する前
に接着剤の硬化が始まって両者の導通が取りにくくなる
ためである。なお、熱硬化性樹脂系接着剤として最も好
ましいのは、120℃程度で硬化するエポキシ系の接着
剤である。
【0016】金属振動板5と圧電素子6との接着では、
金属振動板5または圧電素子6の銀電極に上述の熱硬化
性樹脂系接着剤を所定量塗布し、金属振動板5と圧電素
子6とを圧接して接着剤を両者の間の全体に押し広げる
。これにより、接着剤は、銀電極表面の凹凸を埋め、金
属振動板5と圧電素子6とを接着する。なお、圧電素子
6の銀電極の凸部は、圧接により金属振動板5と直接当
接する。この状態で、接着剤を加熱して硬化させる。 接着剤の加熱温度は、圧電素子6の使用温度範囲の中間
温度以上に設定する。硬化処理時の温度が前記中間温度
未満の場合は、硬化後の接着剤の熱膨張により圧電素子
6に引っ張り方向の応力が加わりやすく、圧電素子6で
は圧電基板の分極が弱まって圧電特性が低下しやすい。 なお、中間温度を求めるための使用温度範囲とは、上述
の圧電型電気音響変換器1が使用される温度範囲の中間
温度をいう。ここで、使用温度範囲の最高温度は、たと
えば圧電型電気音響変換器1をはんだリフロー法により
回路基板に実装する際の炉の設定温度(たとえば230
℃)である。一方、使用最低温度とは、たとえば寒冷時
の温度(たとえば−30℃)である。このように使用最
高温度が230℃で使用最低温度が−30℃の場合、中
間温度は両者の中間の100℃となる。
金属振動板5または圧電素子6の銀電極に上述の熱硬化
性樹脂系接着剤を所定量塗布し、金属振動板5と圧電素
子6とを圧接して接着剤を両者の間の全体に押し広げる
。これにより、接着剤は、銀電極表面の凹凸を埋め、金
属振動板5と圧電素子6とを接着する。なお、圧電素子
6の銀電極の凸部は、圧接により金属振動板5と直接当
接する。この状態で、接着剤を加熱して硬化させる。 接着剤の加熱温度は、圧電素子6の使用温度範囲の中間
温度以上に設定する。硬化処理時の温度が前記中間温度
未満の場合は、硬化後の接着剤の熱膨張により圧電素子
6に引っ張り方向の応力が加わりやすく、圧電素子6で
は圧電基板の分極が弱まって圧電特性が低下しやすい。 なお、中間温度を求めるための使用温度範囲とは、上述
の圧電型電気音響変換器1が使用される温度範囲の中間
温度をいう。ここで、使用温度範囲の最高温度は、たと
えば圧電型電気音響変換器1をはんだリフロー法により
回路基板に実装する際の炉の設定温度(たとえば230
℃)である。一方、使用最低温度とは、たとえば寒冷時
の温度(たとえば−30℃)である。このように使用最
高温度が230℃で使用最低温度が−30℃の場合、中
間温度は両者の中間の100℃となる。
【0017】次に、得られた振動部2の所定部位にリー
ド端子8,9をはんだ付けする。そして、この振動部2
を裏面ケース4の振動部支持部4b上に載置し、さらに
その上から前面ケース3を覆い被せて外周部をかしめる
と、圧電型電気音響変換器1が得られる。
ド端子8,9をはんだ付けする。そして、この振動部2
を裏面ケース4の振動部支持部4b上に載置し、さらに
その上から前面ケース3を覆い被せて外周部をかしめる
と、圧電型電気音響変換器1が得られる。
【0018】得られた圧電型電気音響変換器1は、所定
の回路基板に実装して用いられる。圧電型電気音響変換
器1を回路基板に実装する場合には、たとえばはんだリ
フロー法が採用される。はんだリフロー法により実装す
る場合、圧電型電気音響変換器1は、230℃程度に設
定された炉内に配置される。ここで、圧電型電気音響変
換器1の振動部2では、金属振動板5と圧電素子6とを
接着する接着剤が熱膨張するが、この接着剤は上述のよ
うな方法により硬化されているため、従来の方法により
硬化された場合に比べて膨張率が小さい。このため、こ
の接着剤は、圧電素子6に大きな引っ張り応力を加える
ことがないので、圧電素子6の圧電特性を損ないにくい
。
の回路基板に実装して用いられる。圧電型電気音響変換
器1を回路基板に実装する場合には、たとえばはんだリ
フロー法が採用される。はんだリフロー法により実装す
る場合、圧電型電気音響変換器1は、230℃程度に設
定された炉内に配置される。ここで、圧電型電気音響変
換器1の振動部2では、金属振動板5と圧電素子6とを
接着する接着剤が熱膨張するが、この接着剤は上述のよ
うな方法により硬化されているため、従来の方法により
硬化された場合に比べて膨張率が小さい。このため、こ
の接着剤は、圧電素子6に大きな引っ張り応力を加える
ことがないので、圧電素子6の圧電特性を損ないにくい
。
【0019】〔他の実施例〕
(a) 前記実施例では、42アロイ製の金属振動板
5を用いたが、コバール製やセラミック製の振動板の場
合にも本発明を同様に実施できる。
5を用いたが、コバール製やセラミック製の振動板の場
合にも本発明を同様に実施できる。
【0020】(b) 前記実施例では、本発明を圧電
スピーカにおいて実施した場合について説明したが、表
面実装用ブザー等の他の電子部品についても本発明を同
様に実施できる。
スピーカにおいて実施した場合について説明したが、表
面実装用ブザー等の他の電子部品についても本発明を同
様に実施できる。
【0021】〔実験例〕厚さ0.1mmの42アロイ製
金属振動板と、両面に銀電極が配置された厚みが0.1
mmの圧電素子とを用意し、両者を硬化温度が120℃
のエポキシ系接着剤を用いて接着した。なお、接着剤の
膜厚は、3〜5μmに設定した。また、接着剤の硬化は
、表1に示す温度で1時間放置することにより行った。 比較のため、嫌気性のアクリル接着剤及び室温硬化タイ
プのエポキシ系接着剤を用いて振動板と圧電素子とを接
着した。
金属振動板と、両面に銀電極が配置された厚みが0.1
mmの圧電素子とを用意し、両者を硬化温度が120℃
のエポキシ系接着剤を用いて接着した。なお、接着剤の
膜厚は、3〜5μmに設定した。また、接着剤の硬化は
、表1に示す温度で1時間放置することにより行った。 比較のため、嫌気性のアクリル接着剤及び室温硬化タイ
プのエポキシ系接着剤を用いて振動板と圧電素子とを接
着した。
【0022】得られた接着品について、熱衝撃試験を行
い、静電容量の変化とクラックの発生を調べた。なお、
試験は、各実験例について10個の試料について行った
。また、熱衝撃試験は図3の温度サイクルにより行った
。したがって、この実験例では、接着品の使用温度範囲
の中間温度は100℃となる。結果を表1に示す。
い、静電容量の変化とクラックの発生を調べた。なお、
試験は、各実験例について10個の試料について行った
。また、熱衝撃試験は図3の温度サイクルにより行った
。したがって、この実験例では、接着品の使用温度範囲
の中間温度は100℃となる。結果を表1に示す。
【0023】
【表1】
【0024】表1から明らかなように、本発明の実験例
では、圧電素子の静電容量の変化率が小さく、圧電素子
の圧電特性は良好に維持できたが、比較例では静電容量
が大きく減少し、圧電特性が大きく損なわれた。
では、圧電素子の静電容量の変化率が小さく、圧電素子
の圧電特性は良好に維持できたが、比較例では静電容量
が大きく減少し、圧電特性が大きく損なわれた。
【0025】
【発明の効果】本発明では、熱硬化性樹脂系接着剤を上
述の温度以上に保って硬化させている。このため、本発
明によれば、圧電素子の耐熱性を損ないにくい圧電素子
の接着方法が実現できる。
述の温度以上に保って硬化させている。このため、本発
明によれば、圧電素子の耐熱性を損ないにくい圧電素子
の接着方法が実現できる。
【図1】本発明の一実施例により製造された圧電型電気
音響変換器の縦断面図。
音響変換器の縦断面図。
【図2】前記圧電型電気音響変換器の斜視分解図。
【図3】熱衝撃試験の温度サイクルを示す図。
5 金属振動板
6 圧電素子
Claims (1)
- 【請求項1】振動板に圧電素子を接着する圧電素子の接
着方法であって、前記圧電素子と前記振動板とを熱硬化
性樹脂系接着剤を介して密着する工程と、前記熱硬化性
樹脂系接着剤を前記圧電素子の使用温度範囲の中間温度
以上に保って硬化させる工程と、を含む圧電素子の接着
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3124899A JPH04328886A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 圧電素子の接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3124899A JPH04328886A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 圧電素子の接着方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04328886A true JPH04328886A (ja) | 1992-11-17 |
Family
ID=14896863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3124899A Pending JPH04328886A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 圧電素子の接着方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04328886A (ja) |
-
1991
- 1991-04-26 JP JP3124899A patent/JPH04328886A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7531946B2 (en) | Piezoelectric sounding body | |
JP4692024B2 (ja) | 弾性表面波デバイス | |
KR100608448B1 (ko) | 표면 실장형 전자부품의 광체 구조 | |
JPS58137316A (ja) | 電圧クリスタル組立体およびその製造方法 | |
JP3438711B2 (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP2001024460A (ja) | 圧電振動板の製造方法 | |
JPH04328886A (ja) | 圧電素子の接着方法 | |
JP3183065B2 (ja) | 圧電部品の製造方法 | |
JP2002238094A (ja) | 圧電音響部品およびその製造方法 | |
JP2000165993A (ja) | 圧電発音体素子 | |
TWI848415B (zh) | 電子器件及其製備方法 | |
JPH09307398A (ja) | 電子部品 | |
JP2003125492A (ja) | 圧電音響装置 | |
JP2940159B2 (ja) | 封止型圧電部品の製造方法 | |
JP3940607B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JPS5946786A (ja) | 金属薄膜テ−プの導電接続方法 | |
JP3259603B2 (ja) | 圧電共振部品 | |
JPS5917600B2 (ja) | バイモルフ素子の製造方法 | |
JPH08140196A (ja) | 圧電振動板 | |
JPS6367008A (ja) | 圧電磁器濾波器の製造方法 | |
JP3181008B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH08330884A (ja) | チップ型圧電振動部品とその製造方法 | |
KR930006685Y1 (ko) | 압전부저 | |
JPH02114800A (ja) | 圧電振動板 | |
JPH0528818Y2 (ja) |