JPH0528818Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は圧電デバイス、殊に圧電基板上に形成
したインタデイジタル・トランスジユーサ電極に
よつて前記基板表面に励起する波動（以下、
SAWと称する）或はバルク内に励起する波動
（以下、BSWと称する）等を利用する圧電波動デ
バイスを収納する保持器の構造に関する。

（従来技術） 従来上述のような圧電デバイスは第２図に示す
如く圧電デバイス１の非電極面をベース２の圧電
デバイス支持面３に接着剤４を用いて固定すると
共にその電極を前記ベース２を気密貫通するリー
ド５とボンデイング・ワイヤによつて電気的に接
続し、然る後に図示を省略した封止蓋を嵌合し前
記ベース２の外周に広がるフランジ６において通
電圧接して外気を遮断する如く収納固定するのが
一般的であつた。

しかしながら、斯かる方法にて圧電デバイスを
ベースに固定すると前記接着剤は毛管現象によつ
て前記圧電デバイスを全面的にベースの圧電デバ
イス支持面に広がる為、前記基板とベースとの熱
膨張率の差及び前記封止蓋の通電圧接時にベース
に加わるストレスによつて前記圧電基板に歪みを
生じ、その共振周波数を変化させるという欠陥が
あつた。

また、実開昭54−16339号公報には、ケース内
に固定された石英基板上にすだれ状電極を有する
弾性表面波基板を接着固定するに際して、両基板
の対向面の中央部の一点で接合することにより、
ケースへの外力、或は温度膨張による変形を石英
基板により吸収し、更に石英基板の変形の影響を
弾性表面波基板に及ぼさないようにした構成が開
示されている。

しかしながら、同公報に示された一点接合を接
着剤により行つた場合、接合部を一点にしようと
しても実際には一定量の接着剤を介して基板同志
を接合するのであるから基板間における接着剤の
展開後の面積や展開形状（従つて肉厚）が均一に
なるとは限らない。即ち、本願考案者も長年上記
公報記載の技術と同様、平坦な基板保持面に接着
剤を点状に付し、ここで弾性表面波基板背面中央
を一点固定することを試みてきた結果、かかる手
法を以てしては接着剤が面状に拡がることを防止
し得ず、結局かなりの広い面積で弾性表面波基板
の接着がなされてしまう為温度変動等に伴うパツ
ケージの伸縮の影響を受け、デバイスの共振周波
数が変動することは不可避であること、更に接着
剤の量及び基板間の押圧力を厳密に制御しない限
り、接着剤の拡がり面積が一定せず、デバイスの
温度周波数特性にバラツキが出る等の欠陥があ
り、何らかの抜本的対策が要求されていたもので
ある。

（考案の目的） 本考案は上述のごとき従来の圧電デバイス保持
器の欠陥を除去すべくなされたものであつて、圧
電デバイスの保持器への接着面積を必要最小限に
確実に限定することにより、パツケージ完了後実
質的に共振周波数の変動を生ぜしめることのない
構造を有する圧電デバイス保持器を提供すること
を目的とする。

（考案の概要） 上述の目的を達成するための本考案に係る保持
器は、圧電基板の一表面に形成したインタデイジ
タル・トランスジユーサ電極によつて前記圧電基
板表面或はバルク内に励起する波動を利用する圧
電振動デバイス基板の電極が形成されない背面を
接着固定する保持器に於いて、前記圧電振動デバ
イスの共振周波数を決定する電極のほぼ中央部に
対応する無電極の圧電基板背面部分が当接する前
記保持器の圧電基板支持面の位置に微小面積のラ
ンドとその周辺に余剰接着剤を流入せしめる溝と
を設けた構造とする。

（実施例） 以下、本考案は図面に示した実施例に基づいて
詳細に説明する。

第３図は圧電デバイス保持器に封止蓋を通電圧
接する際ベースに加わるストレス及びこれによる
ベースの変形を説明する図である。

即ち、ベース２に封止蓋を嵌合して前記ベース
のフランジ部６において通電圧接する際溶接電極
によつて前記ベース２に加えられる力には垂直成
分F_Nだけでなく前記ベース２の圧電デバイス支
持面３の平行な成分F_Hが含まれる為、ベース２
は第２図の一点鎖線にて誇張して描いた如く撓む
と共にこの撓みは溶接電極を取り去つた後も残留
するものと考えられる。

この為、ベース２の圧電デバイス支持面３に全
面的に接着固定した圧電デバイス１はそのインタ
デイジタル・トランスジユーサ電極の電極指間隔
が格調し、共振周波数が所望の値より低下するも
のである。

この問題を解決するため、本考案においては圧
電デバイスをその電極の中央部近傍に相当する極
力小面積の部分のみでベースに接着し得るように
ベース形状を改良する。

即ち、前記ベース２の圧電デバイス支持面３に
第１図ａに示す如くほぼその中央部に微小面積の
ランド７とその周辺の接着剤流出用溝８，８とを
設け、前記ランド７の頂部にのみ接着剤を塗布し
た上で圧電基板を接着する。この際、前記ランド
７と圧電デバイスのインタデイジタル・トランス
ジユーサ電極パターン中央部の背面（無電極面）
とをほぼ一致させるべきはいうまでもあるまい。

斯くすることによつて、余剰の接着剤は総て前
記溝８の中に流入し圧電デバイスはその共振周波
数を決定する電極のほぼ中央部に相当する位置だ
けでベースに固定されることとなるので、ベース
に残留する歪みの影響を受けることが極めて少な
い。

尚、前記ランド７の形状は必ずしも点又は線に
近いものである必要はなく、前記溝も８又必ずし
もランドの全周を包囲するものではなくても差し
支えない。

例えば第１図ｂに示す如くランド７は圧電基板
１の波動の伝搬方向（一般に基板長手方向）に直
交する線状とし、その両側に溝８，８を設けても
よい。

（考案の効果） 本考案は以上説明した如く構成するので、
SAW或はBSW共振器又はフイルタ等を接着剤を
用いて保持器に収納固定した場合、封止蓋圧接に
伴うベースの歪を圧電デバイスに伝達することが
殆どなくなるのみならずベースと圧電基板との熱
膨張率の差による影響も極めて少なくなるので、
共振周波数を安定化し、又そのバラツキを減少さ
せる上で著しい効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図ａは本考案に係る圧電デバイス保持器の
ベース断面図を示す図、同図ｂはその平面図、第
２図は従来の圧電デバイスのベースへの接着要領
を示す断面図、第３図はベースに封止蓋を圧接す
る際ベースに加わる力とそれによるベースの変形
を説明するための模式図である。 １……圧電基板（圧電振動デバイス）、２……
保持器（ベース）、３……基板支持面、７及び９
……ランド、８……溝。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 圧電基板の一表面に形成したインタデイジタ
   ル・トランスジユーサ電極によつて前記圧電基板
   表面或はバルク内に励起する波動を利用する圧電
   振動デバイス基板の電極が形成されない背面を接
   着固定する保持器に於いて、 前記圧電振動デバイスの共振周波数を決定する
   電極のほぼ中央部に対応する無電極の圧電基板背
   面部分が当接する前記保持器の圧電基板支持面の
   位置に微小面積のランドとその周辺に余剰接着剤
   を流入せしめる溝とを設けたことを特徴とする圧
   電デバイス保持器の構造。