JPH04313888A - ダイナミック型半導体メモリ装置 - Google Patents

ダイナミック型半導体メモリ装置

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JPH04313888A
JPH04313888A JP3108642A JP10864291A JPH04313888A JP H04313888 A JPH04313888 A JP H04313888A JP 3108642 A JP3108642 A JP 3108642A JP 10864291 A JP10864291 A JP 10864291A JP H04313888 A JPH04313888 A JP H04313888A
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体メモリ装置に関し
、特にダイナミック型半導体メモリのリフレッシュ方式
に関する。
【0002】
【従来の技術】ダイナミック型半導体メモリ装置(以下
、DRAMという)は、メモリセル内に電荷の形で蓄え
られたデータが時間の経過に伴いリークしてしまうので
、一定時間毎に電荷を蓄え直すリフレッシュ動作が必要
となる。従来より汎用のDRAMのリフレッシュモード
としては、RAS(オーハ゛ーライン)オンリーリフレ
ッシュ、ヒドンリフレッシュ、CBRオートリフレッシ
ュが知られている。とりわけ、CBRオートリフレッシ
ュは外部から、ロウアドレスを与える必要がなく、CB
Rオートリフレッシュモードエントリー後、すなわち、
CAS(オーハ゛ーライン)のレベルを所定のタイミン
グで降下させた後(以下、「Lにする」もしくは「L」
という。その反対は「H」という)。半導体メモリ装置
は内部のロウアドレスカウンタをカウントアップするた
めにRAS(オーハ゛ーライン)に矩形波を与えなけれ
ばならない。したがって、全ビットをリフレッシュする
には、カウンタのカウントアップは1MビットDRAM
で512回、4MビットDRAMでは1024回必要で
ある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のDRAMはリフレッシュ動作の開始だけでなく
、メモリビットを指定するアドレスの歩進もRAS(オ
ーハ゛ーライン)等の外部制御信号で制御しているので
、これらの外部制御信号の制御が複雑となり、外部装置
の負担が大きいという問題点があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、外部か
ら所定のタイミングで所定レベルのロウアドレスストロ
ーブ信号およびカラムアドレスストローブ信号が供給さ
れると第1検出信号を出力するセルフリフレッシュ内部
カウンタ制御回路と、前記第1検出信号φにより活性化
され所定周期のパルスを発振するパルス発振回路と、前
記所定周期のパルスを分周して分周信号を出力する分周
回路と、前記分周信号を受け前記所定のタイミングで所
定レベルのロウアドレスストローブ信号およびアドレス
ストローブ信号が供給された時点からの経過時間を計時
するタイマー回路と、該経過時間が第1の所定時間に達
した時に第2検出信号を出力するセルフリフレッシュ制
御回路と、前記第2検出信号により制御され内部ロウア
ドレスストローブ信号および内部カラムアドレスストロ
ーブ信号を出力する内部ロウアドレスストローブ信号発
生回路および内部カラムアドレスストローブ信号発生回
路と、複数のメモリセルより成るメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイに対しアクセスを行う周辺回路と
、前記周辺回路の一部を制御するキャスビフォアラスカ
ウンタ制御回路とを具備し、前記タイマー回路は前記第
2検出信号を出力した後、外部から供給されたロウアド
レスストローブ信号およびカラムアドレスストローブ信
号が所定のレベルに保持している間第2の所定時間を計
時し、該第2の所定時間毎にリフレッシュ動作を実行す
ることである。
【0005】
【発明の作用】外部から供給されるロウアドレスストロ
ーブ信号とカラムアドレスストローブ信号とが所定のタ
イミングで所定レベルに移行すると、第1検出信号が発
生し、該第1検出信号に応答してパルス発振回路が所定
周期のパルスを分周回路に供給する。分周回路は所定周
期のパルスを分周して分周信号を形成し、タイマー回路
はこの分周信号を計数する。タイマー回路の計数値が第
1の所定時間を示すとセルフリフレッシュ制御回路が内
部ロウアドレスストローブ信号発生回路と内部カラムア
ドレスストローブ信号とに内部ロウアドレスストローブ
信号と内部カラムアドレスストローブ信号を周辺回路に
供給させ、周辺回路はメモリセルアレイのメモリセルの
リフレッシュ動作を開始する。
【0006】
【実施例】次に本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。以下の説明でロウアドレスストローブはRAS、カ
ラムアドレスストローブはCASの略称を使用する。
【0007】図1は、本発明の第1実施例を示すブロッ
ク図である。図1において1は内部RAS発生回路であ
り、その詳細構成は図6,図7に示す。2は内部CAS
発生回路であり、図9に詳示した回路構成を有している
。3はキャスビフォアラス(以下、CBRと略す)カウ
ンタ制御回路を示しており、セルフリフレッシュ制御回
路4の詳細構成は図10に示されている。5はセルフリ
フレッシュ内部カウンタ制御回路であり、図8に詳示さ
れた回路構成を有している。6はパルス発振回路を示し
ており、タイマー回路7は図11に詳示された回路構成
を有している。8は分周回路であり、その詳細構成は図
12に示されている。
【0008】図12において53〜57で示されたフリ
ップフロップ(以下、F/Fと略す)ブロックは52に
示された回路構成をそれぞれ有している。9は周辺回路
を、10はメモリセルアレイをそれぞれ示している。R
AS(オーハ゛ーライン)はロウアドレスストローブ信
号を、CAS(オーハ゛ーライン)はカラムアドレスス
トローブ信号を示しており、φ1はセルフリフレッシュ
期間中内部カウンタを駆動する所定周期のパルスとして
のクロックパルスである。φ2,φ3,φ4はクロック
パルスφ1を分周した複数の分周信号であり、例えばφ
2が31μsサイクルなら、φ3は62μsサイクル、
φ4は124μsサイクルに設定されている。φ5はタ
イマー回路の出力であり、CBRタイミングの入力後、
第1の所定時間の間RAS(オーハ゛ーライン)が低レ
ベルを維持したとき、セルフリフレッシュモードにエン
トリさせるための計時と、セルフリフレッシュ期間中リ
フレッシュが一定時間毎に行えるように第2の所定時間
を計時する。
【0009】φ6は内部RAS発生回路1の一方の出力
であり、外部から与えられるRAS(オーハ゛ーライン
)にほぼ同期している。
【0010】φ7(図6参照)は内部RAS発生回路1
内の信号であり、セルフリフレッシュ時にリフレッシュ
動作を制御する信号である。φ8もφ7と同様にセルフ
リフレッシュ時にリフレッシュ動作を制御する信号であ
るが、外部より与えられるRAS(オーハ゛ーライン)
からの信号系とロジックをとり、RAS(オーハ゛ーラ
イン)がHになったときセルフリフレッシュ動作をリセ
ットする。
【0011】φ9はCBRカウンタ制御回路3を制御す
るためのCAS系の信号であり、セルフリフレッシュ期
間中はHとなり、CAS(オーハ゛ーライン)信号がH
となっても、セルフリフレッシュ動作を可能にし、電流
の削減を行っている。
【0012】φ10はCBRカウンタ制御回路3の出力
信号である。φ11はセルフリフレッシュ内部カウンタ
制御回路5出力信号であり、第1検出信号に相当する。 φ12はセルフリフレッシュ制御回路4の出力信号であ
り、第2検出信号に相当する。出力信号φ12はセルフ
リフレッシュ動作時にHとなる。φ13は内部RAS発
生回路2の出力の一方であり、セルフリフレッシュの動
作期間中、非動作期間中にかかわらず周辺回路を制御す
る。φ14はセンス動作の終了を知らせる信号である。 φ15は分周回路8の分周信号φ2,φ4の一方を選択
する信号で、通常はH固定だが、メモリセルの負荷保持
特性の良悪で分周信号φ2,φ4を切り換えるとき使用
される。
【0013】以下、図2を参照して一実施例の動作を説
明する。外部よりRAS(オーハ゛ーライン),CAS
(オーハ゛ーライン)がCBRタイミングで入力される
と(時刻t1)、通常のCBRリフレッシュ時と同様に
、φ9はH、φ10はL、φ13はLとなる。φ6がH
、φ10がLになると、φ11がLにラッチされ値φ1
が活性化される。またφ2,φ3,φ4が初期化により
Hとなりφ5もHとなる。
【0014】CBRタイミング入力後、RAS(オーハ
゛ーライン)が所定時間Lに保持されると(時刻t2)
、φ15がHに固定の時、φ5はLとなりφ12はHに
ラッチされセルフリフレッシュモードにエントリーされ
る。φ12がHなので、内部RAS信号φ13はHにな
り、周辺回路9の内部ではtRP期間(RASプリチャ
ージ時間)に入る。セルフリフレッシュモードエントリ
ー以降RAS(オーハ゛ーライン)がLに保持されれば
、内部カウンタ出力φ1,φ3,φ4により、φ5は一
定期間毎にLになり、内部RAS信号φ13は活性化さ
れセルフリフレッシュ動作を繰り返す。
【0015】内部RAS信号φ13のアクティブ部期間
(L出力期間)では、センス終了を知らせる信号φ14
のH出力がHレベルのφ15のトリガーになっているの
で、数10ns程度である。
【0016】図3に内部RAS信号φ13をHに保持し
た非アクティブ時にセルフリフレッシュをリセットした
ときの動作タイミングを示す。センス終了を知らせるL
レベルφ14の後に、RAS(オーハ゛ーライン)をH
にしてリセットされたとき、φ8がLなので、直ちにφ
6がL、φ11がH、φ12がLとなり、セルフリフレ
ッシュモードはリセットされる。
【0017】図4に内部RAS信号φ13をLに保持し
たアクティブ時にセルフリフレッシュをリセットしたと
きの動作タイミングを示す。Lレベルのφ13で活性化
され、センス終了信号φ14がHになると、φ14がL
、φ6がL、φ11がH、φ12がLとなり、セルフリ
フレッシュモードがリセットされ、内部RAS信号φ1
3はHにプリチャージされ、非アクティブになる。
【0018】図5に内部RAS信号φ13が非アクティ
ブからアクティブに移行したときにセルフリフレッシュ
をリセットしたときの動作タイミングを示す。一定時間
毎にセルフリフレッシュ動作を活性化させるLレベルの
φ5により、φ8がHとなる直前にRAS(オーハ゛ー
ライン)がHとなると、φ6は一瞬Lになる。ただちに
φ11がH,φ12がLとなり、セルフリフレッシュモ
ードはリセットされる。このとき図7のディレイ素子2
5によりφ7がHとなる以前にφ12がLとなるので、
内部RAS信号φ13は活性化されない。
【0019】上述の本発明の第1実施例の説明は分周回
路8の分周信号φ2,φ4の一方を選択する選択信号φ
15がHの時だが、メモリセルの電荷保持特性の悪い半
導体メモリ装置では、φ15がLに固定されることによ
り、セルフリフレッシュサイクルを1/2にすることが
できる。
【0020】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。第2実施例は図10に示された第1実施例のセルフ
リフレッシュ制御回路を図13に示したセルフリフレッ
シュ制御回路に変更し、図14に示したバックバイアス
ジェネレータ制御回路を追加している。その他の構成は
第1実施例と同一なので説明を省略する。
【0021】図15は第2実施例の動作波形図であり、
図中φ1〜φ15は第1実施例と同一の信号であるがφ
12は図13に示した回路の出力信号である。φ16は
ライトCBR(ライトイネーブル信号WE(オーハ゛ー
ライン)をLとした状態でCBRタイミングを詳示させ
ること)タイミング時にHになり、CBRタイミングか
ROR(RASオンリーリフレッシュ)タイミングでL
になる信号である。φ17はバックバイアス電位が一定
値以上に上昇したときにHになる信号であり、φ18は
バックバイアスジェネレータは活性化される。
【0022】外部からRAS(オーハ゛ーライン),C
AS(オーハ゛ーライン),WE(オーハ゛ーライン)
をライトCBRタイミングで入力すると、通常のCBR
モードと同様に特定の1ワード上のメモリセルのリフレ
ッシュが開始される。上記タイミングでφ16はHとな
り、リフレッシュされるメモリセルのセンス終了信号φ
14がHになると、セルフリフレッシュモードにエント
リーされ、φ12がHとなる。
【0023】第1実施例では、CBRタイミング後RA
S(オーハ゛ーライン)がLで所定時間経過後にセルフ
リフレッシュモードにエントリーしたが、第2実施例で
はライトCBRタイミング入力後、センス終了信号φ1
4がHになると、直ちにセルフリフレッシュモードにエ
ントリーされるので、内部RAS信号φ13がHとなり
、回路内部は非アクティブとなる。
【0024】バックバイアス検知信号φ17がLである
とき、バックバイアス制御信号φ18は内部RAS信号
φ13に同期してバックバイアスジェネレータを活性化
するので、平均消費電流が少なくなる。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、メモリが
長時間アクセスされないとき、一定時間毎に全ワードメ
モリビットをリフレッシュするために外部から信号を与
え制御する必要がないので、外部からのリフレッシュ制
御が簡単になるという効果がある。
【0026】また内部リフレッシュの周期が数10μs
ec〜数100μsecと周期が比較的長いので、平均
消費電力が少なくバッテリーバックアップを比較的簡単
な制御で達成することができる。セルフリフレッシュ時
の平均電流は4MDRAMで100μA〜150μA程
度である。
【0027】また請求項4に規定する半導体メモリ装置
ではライトCBRタイミングでRAS(オーハ゛ーライ
ン)がLを保持し、セルフリフレッシュモードにエント
リーするときは、CBRタイミング後セルフリフレッシ
ュモードにエントリーされるまでの第1実施例の所定時
間に費やされる電力がバックバイアスジェネレータを非
活性にする分少なくて済むという効果も奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すブロック図である。
【図2】第1実施例の動作波形図である。
【図3】第1実施例で内部RAS非アクティブ時にセル
フリフレッシュをリセットしたときの動作タイミング図
である。
【図4】第1実施例で内部RASアクティブ時にセルフ
リフレッシュをリセットしたときの動作タイミング図で
ある。
【図5】第1実施例なので内部RAS非アクティブから
アクティブになるときにセルフリフレッシュをリセット
したときの動作タイミング図である。
【図6】第1実施例の内部RAS発生回路の一部を示す
回路図である。
【図7】第1実施例の内部RAS発生回路の他部を示す
回路図である。
【図8】第1実施例のセルフリフレッシュ内部カウンタ
制御回路の回路図である。
【図9】第1実施例の内部CAS発生回路の回路図であ
る。
【図10】第1実施例のセルフリフレッシュ制御回路を
示す回路図である。
【図11】第1実施例のタイマー回路を示す回路図であ
る。
【図12】第1実施例の分周回路を示す回路図である。
【図13】第2実施例のセルフリフレッシュ制御回路を
示す回路図である。
【図14】第2実施例のバックバイアスジェネレータ制
御回路を示す回路図である。
【図15】第2実施例の動作波形図を示す。
【符号の説明】
1  内部RAS発生回路 2  内部CAS発生回路 3  CBRカウンタ制御回路 4  セルフリフレッシュ制御回路 5  セルフリフレッシュ内部カウンタ制御回路6  
パルス発振回路 7  タイマー回路 8  分周回路 9  周辺回路 10  メモリセルアレイ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  外部から所定のタイミングで所定レベ
    ルのロウアドレスストローブ信号およびカラムアドレス
    ストローブ信号が供給されると第1検出信号を出力する
    セルフリフレッシュ内部カウンタ制御回路と、前記第1
    検出信号φにより活性化され所定周期のパルスを発振す
    るパルス発振回路と、前記所定周期のパルスを分周して
    分周信号を出力する分周回路と、前記分周信号を受け前
    記所定のタイミングで所定レベルのロウアドレスストロ
    ーブ信号およびアドレスストローブ信号が供給された時
    点からの経過時間を計時するタイマー回路と、該経過時
    間が第1の所定時間に達した時に第2検出信号を出力す
    るセルフリフレッシュ制御回路と、前記第2検出信号に
    より制御され内部ロウアドレスストローブ信号および内
    部カラムアドレスストローブ信号を出力する内部ロウア
    ドレスストローブ信号発生回路および内部カラムアドレ
    スストローブ信号発生回路と、複数のメモリセルより成
    るメモリセルアレイと、前記メモリセルアレイに対しア
    クセスを行う周辺回路と、前記周辺回路の一部を制御す
    るキャスビフォアラスカウンタ制御回路とを具備し、前
    記タイマー回路は前記第2検出信号を出力した後、外部
    から供給されたロウアドレスストローブ信号およびカラ
    ムアドレスストローブ信号が所定のレベルに保持してい
    る間第2の所定時間を計時し、該第2の所定時間毎にリ
    フレッシュ動作を実行することを特徴とするダイナミッ
    ク型半導体メモリ装置。
  2. 【請求項2】前記内部ロウアドレスストローブ信号発生
    回路は、前記ロウアドレスストローブ信号が所定のレベ
    ルから変化すると前記周辺回路から出力されるセンス終
    了検出信号に応答して前記第2の所定時間毎のリフレッ
    シュ動作を解除する請求項1記載のダイナミック型半導
    体メモリ装置。
  3. 【請求項3】前記タイマー回路は前記メモリのセルデー
    タ保持時間特性を表す選択信号に応答して分周回路の複
    数の分周信号の内から使用する分周信号を選択し前記第
    1の所定時間および第2の所定時間を計時する請求項1
    記載のダイナミック型半導体メモリ装置。
  4. 【請求項4】前記セルフリフレッシュ制御回路はライト
    イネーブル信号を活性レベルに移行させた状態で上記所
    定のタイミングにロウアドレスストローブ信号とカラム
    アドレスストローブ信号を所定レベルに移行させると、
    周辺回路がリフレッシュ動作の対象となっているメモリ
    セルのセンス動作が終了していることを確認して直ちに
    セルフリフレッシュ動作モードに入る請求項1記載のダ
    イナミック型半導体メモリ装置。
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