JPH042952A - スルーホール検査装置 - Google Patents
スルーホール検査装置Info
- Publication number
- JPH042952A JPH042952A JP2104962A JP10496290A JPH042952A JP H042952 A JPH042952 A JP H042952A JP 2104962 A JP2104962 A JP 2104962A JP 10496290 A JP10496290 A JP 10496290A JP H042952 A JPH042952 A JP H042952A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- mask
- inspection
- circular
- output
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 49
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はスルーホール検査装置、特に、平面パターン上
にあけられた円形の穴の検査に適用しうる画像処理方式
のスルーホール検査装置に関する。
にあけられた円形の穴の検査に適用しうる画像処理方式
のスルーホール検査装置に関する。
従来のスルーホール検査装置は、第３図に示すように、
被検査パターン１１のｏ”、“１″の２値画像に対して
、検査位置を示ずＸ位置信号２０及びＹ位置信号２１を
走査させ、それらで定義される領域の２値画像１ｏの１
“の数をカウントし、その数により良否を判定するもの
であった。
被検査パターン１１のｏ”、“１″の２値画像に対して
、検査位置を示ずＸ位置信号２０及びＹ位置信号２１を
走査させ、それらで定義される領域の２値画像１ｏの１
“の数をカウントし、その数により良否を判定するもの
であった。
上述した従来のスルーホール検査装置は、検査位置をあ
らかしめ指定して、その位置における穴の面積を求めて
いるので、検査位置データを入力する必要があり、また
穴の形状による欠陥を検出てきないという欠点があった
。
らかしめ指定して、その位置における穴の面積を求めて
いるので、検査位置データを入力する必要があり、また
穴の形状による欠陥を検出てきないという欠点があった
。
本発明のスルーホール検査装置は、被検査パターンを光
電変換スキャナーで走査して読み出した画像を’０”、
”］”の２値画像に変換する２値化回路と、前記２値化
回路から出力される２値画像に同期した円形の検査マス
クを発生させる円周マスク回路と、該２値化回路から出
力される２値画像に同期した前記円周マスクと同心の円
形検査マスクを発生させ、その内部がずへて“１′″で
はない場合欠陥信号を出力する円マスク検査回路と、該
円周マスク回路で発生した円周マスクを該２値画像に走
査し、その円周がずハ、て“′０″′パターンとなり、
かつ内部に” １ ”パターンか存在する位置を検出す
る検査位置検出回路と、前記検査位置において該円マス
ク検査回路の出力か欠陥の場合、真の欠陥として結果を
出力する穴欠陥回路とを含んで構成される。
電変換スキャナーで走査して読み出した画像を’０”、
”］”の２値画像に変換する２値化回路と、前記２値化
回路から出力される２値画像に同期した円形の検査マス
クを発生させる円周マスク回路と、該２値化回路から出
力される２値画像に同期した前記円周マスクと同心の円
形検査マスクを発生させ、その内部がずへて“１′″で
はない場合欠陥信号を出力する円マスク検査回路と、該
円周マスク回路で発生した円周マスクを該２値画像に走
査し、その円周がずハ、て“′０″′パターンとなり、
かつ内部に” １ ”パターンか存在する位置を検出す
る検査位置検出回路と、前記検査位置において該円マス
ク検査回路の出力か欠陥の場合、真の欠陥として結果を
出力する穴欠陥回路とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すフロック図である。
第１図に示すスルーホール検査装置では、被検査パター
ンを光電変換スキャナー１で走査して読み出しな画像デ
ータａは、２値化回路２て“’ｏ”、’“１″の２値画
像すに変換される。
ンを光電変換スキャナー１で走査して読み出しな画像デ
ータａは、２値化回路２て“’ｏ”、’“１″の２値画
像すに変換される。
２値画像すに同期し、円周マスク回路３て検査位置検出
用の円周マスクＣを発生させ、同様に円マスク検査回路
４ては円周マスクＣより１−ヒラ１〜小さい大きさの円
を発生させ、その内部に“′０″かある場合に、円マス
ク検出信号ｄを出力する。
用の円周マスクＣを発生させ、同様に円マスク検査回路
４ては円周マスクＣより１−ヒラ１〜小さい大きさの円
を発生させ、その内部に“′０″かある場合に、円マス
ク検出信号ｄを出力する。
検査位置検出回路５ては円周マスク回路３て発生した円
周マスクＣを２値画像１つに同期してラスタースキャン
し、円周マスクＣの円周上の点かずへて“０゛″かつ、
内部に“′］“か存在する場合に検査を行う位置として
、検査位置Ｃの信号を出力する。
周マスクＣを２値画像１つに同期してラスタースキャン
し、円周マスクＣの円周上の点かずへて“０゛″かつ、
内部に“′］“か存在する場合に検査を行う位置として
、検査位置Ｃの信号を出力する。
検査位置Ｃか出力された点において、円マスク検出信号
ｄか出力されていた場合、穴検査回路６で、大欠陥ｆを
出力する。
ｄか出力されていた場合、穴検査回路６で、大欠陥ｆを
出力する。
次に検査原理について詳細に説明する。
第２図は、検査原理について説明するｌ：めの図である
。
。
入力２値画像１０に対して円周マスク回路３て発生した
検査マスクＡ ］、 ２を走査し、検査パターン１１が
検査マスクＡ １２の内部に入る位置を検出する。
検査マスクＡ ］、 ２を走査し、検査パターン１１が
検査マスクＡ １２の内部に入る位置を検出する。
この位置において円マスク検査回路４で発生した検査マ
スクＢ１３の内部がずべて１゛″の場合は正常であるが
、欠陥部１４があるような検査パターン］１では検査マ
スクＢ１３の内部は“０“′が検出され欠陥として判定
できる。
スクＢ１３の内部がずべて１゛″の場合は正常であるが
、欠陥部１４があるような検査パターン］１では検査マ
スクＢ１３の内部は“０“′が検出され欠陥として判定
できる。
本発明のスルーホール検査装置は、検査位置を指定する
代りに、円形マスクを走査し検査位置を検出しているた
め、検査位置データが必要でなく、また、円形マスクと
マッチンクを行うことにより、形状による欠陥も検出て
きるという効果かある。
代りに、円形マスクを走査し検査位置を検出しているた
め、検査位置データが必要でなく、また、円形マスクと
マッチンクを行うことにより、形状による欠陥も検出て
きるという効果かある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図の動作原理を説明するための模式図、第３図は従
来の一例を示す模式図である。 １−・・光電変換スキャナー、２・・２値化回路、３・
円周マスク回路、４・・円マスク検査回路、５検査位置
検出回路、６・穴検査回路、］０・・入力２値画像、１
１・・・検査パターン、１２・・検査マスクＡ、１３・
・検査マスクＢ、１４・・欠陥部、２０・・・Ｘ位置信
号、２１・・・Ｙ位置信号、ａ・・画像データ、ｂ・２
値画像、Ｃ・円周マスク、ｄ・・円マスク検出信号、ｅ
・・検査位置、ｆ・・大欠陥。
第１図の動作原理を説明するための模式図、第３図は従
来の一例を示す模式図である。 １−・・光電変換スキャナー、２・・２値化回路、３・
円周マスク回路、４・・円マスク検査回路、５検査位置
検出回路、６・穴検査回路、］０・・入力２値画像、１
１・・・検査パターン、１２・・検査マスクＡ、１３・
・検査マスクＢ、１４・・欠陥部、２０・・・Ｘ位置信
号、２１・・・Ｙ位置信号、ａ・・画像データ、ｂ・２
値画像、Ｃ・円周マスク、ｄ・・円マスク検出信号、ｅ
・・検査位置、ｆ・・大欠陥。
Claims (1)
- 被検査パターンを光電変換スキャナーで走査して読み
出した画像を“０”、“１”の２値画像に変換する２値
化回路と、前記２値化回路から出力される２値画像に同
期した円形の検査マスクを発生させる円周マスク回路と
、該２値化回路から出力される２値画像に同期した前記
円周マスクと同心の円形検査マスクを発生させ、その内
部がすべて“１”ではない場合欠陥信号を出力する円マ
スク検査回路と、該円周マスク回路で発生した円周マス
クを該２値画像に走査し、その円周がすべて“０”パタ
ーンとなり、かつ内部に“１”パターンが存在する位置
を検出する検査位置検出回路と、前記検査位置において
該円マスク検査回路の出力が欠陥の場合、真の欠陥とし
て結果を出力する穴欠陥回路とを含むことを特徴とする
スルーホール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104962A JPH042952A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | スルーホール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104962A JPH042952A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | スルーホール検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042952A true JPH042952A (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=14394729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2104962A Pending JPH042952A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | スルーホール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH042952A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5555315A (en) * | 1993-02-03 | 1996-09-10 | Nippondenso Co., Ltd. | Pinhole inspection device and method |
| WO2001013333A1 (fr) * | 1999-08-16 | 2001-02-22 | Ibiden Co., Ltd. | Dispositif de controle de motifs et procede de controle de motifs |
| JP2002163638A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-07 | Ibiden Co Ltd | 画像データ検査装置および画像データ検査方法 |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP2104962A patent/JPH042952A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5555315A (en) * | 1993-02-03 | 1996-09-10 | Nippondenso Co., Ltd. | Pinhole inspection device and method |
| WO2001013333A1 (fr) * | 1999-08-16 | 2001-02-22 | Ibiden Co., Ltd. | Dispositif de controle de motifs et procede de controle de motifs |
| JP2002163638A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-07 | Ibiden Co Ltd | 画像データ検査装置および画像データ検査方法 |
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