JPH0572144A - 検査範囲検出装置 - Google Patents
検査範囲検出装置Info
- Publication number
- JPH0572144A JPH0572144A JP3168615A JP16861591A JPH0572144A JP H0572144 A JPH0572144 A JP H0572144A JP 3168615 A JP3168615 A JP 3168615A JP 16861591 A JP16861591 A JP 16861591A JP H0572144 A JPH0572144 A JP H0572144A
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- Japan
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- signal
- inspection
- circuit
- inspection range
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント基板等のパターン検査のとき、欠陥
と誤認される惧れのある基板取付け穴や基板切離し穴等
を検査範囲から除外して検査範囲を設定するため、基板
取付け穴や基板切離し穴等を画像処理によって確実に検
出し、その部分を除外した部分を検査範囲とする座標デ
ータを算出する。 【構成】 非検査物の穴の部分に透過照明によって影を
つくり、その映像をデジタル化して２値化し、それに対
して縮小処理と拡大処理とを行って非検査部分を確実に
検出し、その非検査部分を除外した検査範囲の座標デー
タを算出する。
と誤認される惧れのある基板取付け穴や基板切離し穴等
を検査範囲から除外して検査範囲を設定するため、基板
取付け穴や基板切離し穴等を画像処理によって確実に検
出し、その部分を除外した部分を検査範囲とする座標デ
ータを算出する。 【構成】 非検査物の穴の部分に透過照明によって影を
つくり、その映像をデジタル化して２値化し、それに対
して縮小処理と拡大処理とを行って非検査部分を確実に
検出し、その非検査部分を除外した検査範囲の座標デー
タを算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板等のパタ
ーン検査のとき、欠陥と誤認される惧れのある基板取付
け穴や基板切離し穴等を検査範囲から除外して検査範囲
を設定するための検査範囲検出装置に関する。
ーン検査のとき、欠陥と誤認される惧れのある基板取付
け穴や基板切離し穴等を検査範囲から除外して検査範囲
を設定するための検査範囲検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のプリント基板等のパターン検査の
とき、欠陥と誤認される惧れのある基板取付け穴や基板
切離し穴等を検査範囲から除外して検査範囲を設定する
ための従来の検査範囲検出手段は、ＣＡＤ等の設計デー
タからパターン検査のときに欠陥と誤認される惧れのあ
る基板取付け穴や基板切離し穴等を判断し、それによっ
て検査範囲を設定している。
とき、欠陥と誤認される惧れのある基板取付け穴や基板
切離し穴等を検査範囲から除外して検査範囲を設定する
ための従来の検査範囲検出手段は、ＣＡＤ等の設計デー
タからパターン検査のときに欠陥と誤認される惧れのあ
る基板取付け穴や基板切離し穴等を判断し、それによっ
て検査範囲を設定している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
検査範囲検出手段は、あらかじめ記憶しているＣＡＤ等
の設計データに対応して検査範囲を決定しなければなら
ないため、ＣＡＤ等の設計データの基準点と被検査物の
基準点との位置合せを精密に行わなければならないとい
う欠点を有している。
検査範囲検出手段は、あらかじめ記憶しているＣＡＤ等
の設計データに対応して検査範囲を決定しなければなら
ないため、ＣＡＤ等の設計データの基準点と被検査物の
基準点との位置合せを精密に行わなければならないとい
う欠点を有している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の検査範囲検出装
置は、透過照明装置によって照明された被検査物の画像
を入力してそれを光電変換してビデオ信号を出力する光
電変換回路と、前記ビデオ信号を入力してアナログデジ
タル変換したデジタル信号を出力するＡ／Ｄ変換回路
と、前記デジタル信号を入力して２値化した２値化信号
を出力する２値化回路と、前記２値化信号を入力してあ
らかじめ入力されている基準値以下の部分を削除する縮
小処理を行って縮小信号を出力する縮小回路と、前記縮
小信号を入力して非検査部分を確実に検出するための拡
大処理を行って拡大信号を出力する拡大回路と、前記拡
大信号を入力して前記非検査部分のそれぞれに外接する
矩形の部分を求めて非検査部分信号を出力する非検査部
分検出回路と、前記非検査部分信号を入力して前記非検
査部分検出回路において求めた矩形の部分を除外した検
査範囲の座標データを算出して検査範囲信号として出力
する検査範囲算出回路とを備えている。
置は、透過照明装置によって照明された被検査物の画像
を入力してそれを光電変換してビデオ信号を出力する光
電変換回路と、前記ビデオ信号を入力してアナログデジ
タル変換したデジタル信号を出力するＡ／Ｄ変換回路
と、前記デジタル信号を入力して２値化した２値化信号
を出力する２値化回路と、前記２値化信号を入力してあ
らかじめ入力されている基準値以下の部分を削除する縮
小処理を行って縮小信号を出力する縮小回路と、前記縮
小信号を入力して非検査部分を確実に検出するための拡
大処理を行って拡大信号を出力する拡大回路と、前記拡
大信号を入力して前記非検査部分のそれぞれに外接する
矩形の部分を求めて非検査部分信号を出力する非検査部
分検出回路と、前記非検査部分信号を入力して前記非検
査部分検出回路において求めた矩形の部分を除外した検
査範囲の座標データを算出して検査範囲信号として出力
する検査範囲算出回路とを備えている。
【０００５】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００６】図１は本発明の一実施例を示すブロック
図、図２は図１の実施例において、透過照明によって被
検査物の穴の部分に影が生じた状態を示す平面図、図３
は図２の被検査物を縮小処理した状態を示す平面図、図
４は図３の縮小処理した被検査物を拡大処理した状態を
示す平面図、図５は図４の被検査物の基板取付け穴およ
び基板切離し穴に外接する矩形を検出した状態を示す平
面図である。
図、図２は図１の実施例において、透過照明によって被
検査物の穴の部分に影が生じた状態を示す平面図、図３
は図２の被検査物を縮小処理した状態を示す平面図、図
４は図３の縮小処理した被検査物を拡大処理した状態を
示す平面図、図５は図４の被検査物の基板取付け穴およ
び基板切離し穴に外接する矩形を検出した状態を示す平
面図である。
【０００７】図１において、光電変換回路１は、透過照
明装置によって照明された被検査物の画像を入力し、そ
れを光電変換してビデオ信号３１を出力する。Ａ／Ｄ変
換回路２は、ビデオ信号３１を入力し、それをアナログ
デジタル変換してデジタル信号３２を送出する。２値化
回路３は、デジタル信号３２を入力し、被検査物の穴の
開いている部分を黒とし、穴の開いていない部分を白と
することによって２値化した２値化信号３３を出力す
る。図２は、基板取付け穴１１および基板切離し穴１２
およびピンホール１３を有する被検査物１４を２値化回
路３によって２値化した状態を示している。
明装置によって照明された被検査物の画像を入力し、そ
れを光電変換してビデオ信号３１を出力する。Ａ／Ｄ変
換回路２は、ビデオ信号３１を入力し、それをアナログ
デジタル変換してデジタル信号３２を送出する。２値化
回路３は、デジタル信号３２を入力し、被検査物の穴の
開いている部分を黒とし、穴の開いていない部分を白と
することによって２値化した２値化信号３３を出力す
る。図２は、基板取付け穴１１および基板切離し穴１２
およびピンホール１３を有する被検査物１４を２値化回
路３によって２値化した状態を示している。
【０００８】縮小回路４は、２値化信号３３を入力し、
パターン検査のときに欠陥と誤認される惧れのある基板
取付け穴や基板切離し穴等の非検査部分を除外するた
め、あらかじめ入力されているピンホールの基準値以下
の部分を削除して縮小する処理を行い、縮小信号３４を
出力する。図３は、ピンホール１３に対応する部分を除
外し、基板取付け穴に対応する基板取付け穴対応部１１
ａおよび基板切離し穴に対応する基板切離し穴対応部１
２ａを残した状態を示している。
パターン検査のときに欠陥と誤認される惧れのある基板
取付け穴や基板切離し穴等の非検査部分を除外するた
め、あらかじめ入力されているピンホールの基準値以下
の部分を削除して縮小する処理を行い、縮小信号３４を
出力する。図３は、ピンホール１３に対応する部分を除
外し、基板取付け穴に対応する基板取付け穴対応部１１
ａおよび基板切離し穴に対応する基板切離し穴対応部１
２ａを残した状態を示している。
【０００９】拡大回路５は、縮小信号３４を入力し、非
検査部分である基板取付け穴や基板切離し穴を確実に検
出することができるように、それらを復元する拡大処理
を行い、拡大信号３５を出力する。このような拡大処理
を行うのは、パターン検査のときに基板取付け穴や基板
切離し穴の外径部において乱反射を起し、画像が不安定
になることを防止するためである。図４は、図２から図
３に縮小した回数より多い回数だけ拡大処理を行い、基
板取付け穴対応部１１ｂおよび基板切離し穴対応部１２
ｂを大きくした状態を示している。
検査部分である基板取付け穴や基板切離し穴を確実に検
出することができるように、それらを復元する拡大処理
を行い、拡大信号３５を出力する。このような拡大処理
を行うのは、パターン検査のときに基板取付け穴や基板
切離し穴の外径部において乱反射を起し、画像が不安定
になることを防止するためである。図４は、図２から図
３に縮小した回数より多い回数だけ拡大処理を行い、基
板取付け穴対応部１１ｂおよび基板切離し穴対応部１２
ｂを大きくした状態を示している。
【００１０】非検査物部分検出回路６は、拡大信号３５
を入力し、基板取付け穴対応部および基板切離し穴対応
部のそれぞれに外接する矩形の非検査部分を求め、非検
査部分信号３６を出力する。図５は、基板取付け穴対応
部１１ｂおよび基板切離し穴対応部１２ｂのそれぞれに
外接する矩形の非検査部分２１および２２を求め、それ
以外の部分を検査対象２３とした状態を示している。
を入力し、基板取付け穴対応部および基板切離し穴対応
部のそれぞれに外接する矩形の非検査部分を求め、非検
査部分信号３６を出力する。図５は、基板取付け穴対応
部１１ｂおよび基板切離し穴対応部１２ｂのそれぞれに
外接する矩形の非検査部分２１および２２を求め、それ
以外の部分を検査対象２３とした状態を示している。
【００１１】検査範囲算出回路７は、非検査部分信号３
６を入力し、非検査部分検出回路６において検出した非
検査部分２１および２２を除外した検査範囲の座標デー
タを算出し、それを検査範囲信号３７として出力する。
６を入力し、非検査部分検出回路６において検出した非
検査部分２１および２２を除外した検査範囲の座標デー
タを算出し、それを検査範囲信号３７として出力する。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の検査範囲
検出装置は、非検査物の穴の部分に透過照明によって影
をつくり、その映像をデジタル化して２値化し、それに
対して縮小処理と拡大処理とを行って非検査部分を確実
に検出し、その非検査部分を除外した検査範囲の座標デ
ータを算出することにより、パターン検査のときにＣＡ
Ｄ等の設計データの基準点と被検査物の基準点との精密
な位置合せを行う必要がないという効果がある。
検出装置は、非検査物の穴の部分に透過照明によって影
をつくり、その映像をデジタル化して２値化し、それに
対して縮小処理と拡大処理とを行って非検査部分を確実
に検出し、その非検査部分を除外した検査範囲の座標デ
ータを算出することにより、パターン検査のときにＣＡ
Ｄ等の設計データの基準点と被検査物の基準点との精密
な位置合せを行う必要がないという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１の実施例において、透過照明によって被検
査物の穴の部分に影が生じた状態を示す平面図である。
査物の穴の部分に影が生じた状態を示す平面図である。
【図３】図２の被検査物を縮小処理した状態を示す平面
図である。
図である。
【図４】図３の縮小処理した被検査物を拡大処理した状
態を示す平面図である。
態を示す平面図である。
【図５】図４の被検査物の基板取付け穴および基板切離
し穴に外接する矩形を検出した状態を示す平面図であ
る。
し穴に外接する矩形を検出した状態を示す平面図であ
る。
１ 光電変換回路 ２ Ａ／Ｄ変換回路 ３ ２値化回路 ４ 縮小回路 ５ 拡大回路 ６ 非検査部分検出回路 ７ 検査範囲算出回路 １１ 基板取付け穴 １１ａ 基板取付け穴対応部 １１ｂ 基板取付け穴対応部 １２ 基板切離し穴 １２ａ 基板切離し穴対応部 １２ｂ 基板切離し穴対応部 １３ ピンホール １４ 非検査物 ２１ 非検査物部分 ２２ 非検査物部分 ２２ 検査範囲
Claims (1)
- 【請求項１】 透過照明装置によって照明された被検査
物の画像を入力してそれを光電変換してビデオ信号を出
力する光電変換回路と、前記ビデオ信号を入力してアナ
ログデジタル変換したデジタル信号を出力するＡ／Ｄ変
換回路と、前記デジタル信号を入力して２値化した２値
化信号を出力する２値化回路と、前記２値化信号を入力
してあらかじめ入力されている基準値以下の部分を削除
する縮小処理を行って縮小信号を出力する縮小回路と、
前記縮小信号を入力して非検査部分を確実に検出するた
めの拡大処理を行って拡大信号を出力する拡大回路と、
前記拡大信号を入力して前記非検査部分のそれぞれに外
接する矩形の部分を求めて非検査部分信号を出力する非
検査部分検出回路と、前記非検査部分信号を入力して前
記非検査部分検出回路において求めた矩形の部分を除外
した検査範囲の座標データを算出して検査範囲信号とし
て出力する検査範囲算出回路とを備えることを特徴とす
る検査範囲検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3168615A JPH0572144A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | 検査範囲検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3168615A JPH0572144A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | 検査範囲検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572144A true JPH0572144A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=15871344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3168615A Pending JPH0572144A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | 検査範囲検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0572144A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012164655A1 (ja) * | 2011-05-28 | 2012-12-06 | 株式会社メガトレード | 自動検査装置および自動検査方法 |
-
1991
- 1991-07-10 JP JP3168615A patent/JPH0572144A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012164655A1 (ja) * | 2011-05-28 | 2012-12-06 | 株式会社メガトレード | 自動検査装置および自動検査方法 |
| JPWO2012164655A1 (ja) * | 2011-05-28 | 2014-07-31 | 株式会社メガトレード | 自動検査装置および自動検査方法 |
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