JP2677052B2 - スルーホール検査装置 - Google Patents
スルーホール検査装置Info
- Publication number
- JP2677052B2 JP2677052B2 JP3168616A JP16861691A JP2677052B2 JP 2677052 B2 JP2677052 B2 JP 2677052B2 JP 3168616 A JP3168616 A JP 3168616A JP 16861691 A JP16861691 A JP 16861691A JP 2677052 B2 JP2677052 B2 JP 2677052B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- image signal
- signal
- pattern
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は印刷配線回路のスルーホ
ール検査装置に関し、特に平面上に設けた印刷配線回路
パターンのスルーホール穴の位置および大きさの検査の
ための画像処理方式によるスルーホール検査装置に関す
る。
ール検査装置に関し、特に平面上に設けた印刷配線回路
パターンのスルーホール穴の位置および大きさの検査の
ための画像処理方式によるスルーホール検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のスルーホール検査手段を説
明するための模式図である。
明するための模式図である。
【０００３】従来の印刷配線回路のスルーホール検査手
段は、図３に示すように、非検査パターン２２の２値画
像信号に対して、検査位置を示すＸ位置信号２０および
Ｙ位置信号２１を走査させ、それらで定義される領域の
入力２値画像２３の数をカウントし、その数によって良
否を判定している。
段は、図３に示すように、非検査パターン２２の２値画
像信号に対して、検査位置を示すＸ位置信号２０および
Ｙ位置信号２１を走査させ、それらで定義される領域の
入力２値画像２３の数をカウントし、その数によって良
否を判定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
スルーホール検査手段は、検査位置をあらかじめ指定し
その位置における穴の面積を求めているため、検査位置
データを入力する必要があり、また、検査位置データと
被検査パターンとの位置合せを正確に行う必要があると
いう欠点がある。
スルーホール検査手段は、検査位置をあらかじめ指定し
その位置における穴の面積を求めているため、検査位置
データを入力する必要があり、また、検査位置データと
被検査パターンとの位置合せを正確に行う必要があると
いう欠点がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のスルーホール検
査装置は、被検査パターンを走査して読出す光電変換回
路と、前記光電変換回路からの信号をデジタル信号に変
換するＡ／Ｄ変換回路と、前記デジタル信号を２値画像
信号に変換する２値化回路と、前記２値画像信号を反転
して前記被検査パターンの背景部分を抽出する画像反転
回路と、前記画像反転回路からの反転画像を細線化して
前記被検査パターンの中心線を抽出する細線化回路と、
前記細線化回路からの細線画像信号で囲まれた閉領域を
抽出するぬりつぶし回路と、前記閉領域の各領域に対し
て認識番号を付与する領域作成回路と、前記２値画像信
号を一時保持し前記領域作成回路の出力信号と同期して
同期２値画像信号を出力するディレイ回路と、前記ディ
レイ回路からの前記同期２値画像信号の“１”パターン
の数を前記領域作成回路において前記認識番号を付与し
た各領域毎にカウントするカウント回路と、前記カウン
ト回路のカウント値から前記被検査パターンの大きさを
判定して大きさの欠陥を抽出する大きさ判定回路と、前
記細線画像信号における線の“十”字分岐点および
“Ｔ”字分岐点を抽出する分岐点抽出回路と、前記
“十”字分岐点および“Ｔ”字分岐点の位置を検出して
前記被検査パターンの位置不良を判定する位置判定回路
とを備えている。
査装置は、被検査パターンを走査して読出す光電変換回
路と、前記光電変換回路からの信号をデジタル信号に変
換するＡ／Ｄ変換回路と、前記デジタル信号を２値画像
信号に変換する２値化回路と、前記２値画像信号を反転
して前記被検査パターンの背景部分を抽出する画像反転
回路と、前記画像反転回路からの反転画像を細線化して
前記被検査パターンの中心線を抽出する細線化回路と、
前記細線化回路からの細線画像信号で囲まれた閉領域を
抽出するぬりつぶし回路と、前記閉領域の各領域に対し
て認識番号を付与する領域作成回路と、前記２値画像信
号を一時保持し前記領域作成回路の出力信号と同期して
同期２値画像信号を出力するディレイ回路と、前記ディ
レイ回路からの前記同期２値画像信号の“１”パターン
の数を前記領域作成回路において前記認識番号を付与し
た各領域毎にカウントするカウント回路と、前記カウン
ト回路のカウント値から前記被検査パターンの大きさを
判定して大きさの欠陥を抽出する大きさ判定回路と、前
記細線画像信号における線の“十”字分岐点および
“Ｔ”字分岐点を抽出する分岐点抽出回路と、前記
“十”字分岐点および“Ｔ”字分岐点の位置を検出して
前記被検査パターンの位置不良を判定する位置判定回路
とを備えている。
【０００６】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００７】図１は本発明の一実施例を示すブロック図
である。
である。
【０００８】図１において、光電変換回路１は、被検査
パターンを走査して読出し、映像信号４１を出力する。
この映像信号４１は、Ａ／Ｄ変換回路２に入力してそこ
でデジタル信号４２に変換される。デジタル信号４２
は、２値化回路３に入力し、そこで“０”または“１”
の２値画像信号４３に変換される。画像反転回路４は、
２値画像信号４３を入力してそれを反転した反転画像信
号４４を出力する。細線化回路５は、反転画像信号４４
を入力し、被検査パターンの中心線を抽出するために細
線化処理を行い、１ビット幅の線画像信号４５を出力す
る。ぬりつぶし回路６は、細線化回路５からの線画像信
号４５を入力して線画像信号４５で囲まれた閉領域を抽
出し、その画素データを閉領域信号４６として領域作成
回路７に送る。領域作成回路７は、ぬりつぶし回路６で
抽出した閉領域の各領域毎に認識番号を付与して検査領
域信号４７を出力する。
パターンを走査して読出し、映像信号４１を出力する。
この映像信号４１は、Ａ／Ｄ変換回路２に入力してそこ
でデジタル信号４２に変換される。デジタル信号４２
は、２値化回路３に入力し、そこで“０”または“１”
の２値画像信号４３に変換される。画像反転回路４は、
２値画像信号４３を入力してそれを反転した反転画像信
号４４を出力する。細線化回路５は、反転画像信号４４
を入力し、被検査パターンの中心線を抽出するために細
線化処理を行い、１ビット幅の線画像信号４５を出力す
る。ぬりつぶし回路６は、細線化回路５からの線画像信
号４５を入力して線画像信号４５で囲まれた閉領域を抽
出し、その画素データを閉領域信号４６として領域作成
回路７に送る。領域作成回路７は、ぬりつぶし回路６で
抽出した閉領域の各領域毎に認識番号を付与して検査領
域信号４７を出力する。
【０００９】一方、２値画像信号４３は、ディレイ回路
８に入力してそこで一時保持され、検査領域信号４７と
同期して同期２値画像信号４８を出力する。カウント回
路１１は、領域作成回路７からの検査領域信号４７とデ
ィレイ回路８からの同期２値画像信号４８とを入力し、
認識番号を付与した領域毎に同期２値画像信号４８の
“１”パターンの数をカウントし、各領域におけるスル
ーホールの面積を算出して面積値信号４９を出力する。
大きさ判定回路１２は、この面積値信号４９を入力し、
基準値と比較して大きさ欠陥信号５０を出力する。
８に入力してそこで一時保持され、検査領域信号４７と
同期して同期２値画像信号４８を出力する。カウント回
路１１は、領域作成回路７からの検査領域信号４７とデ
ィレイ回路８からの同期２値画像信号４８とを入力し、
認識番号を付与した領域毎に同期２値画像信号４８の
“１”パターンの数をカウントし、各領域におけるスル
ーホールの面積を算出して面積値信号４９を出力する。
大きさ判定回路１２は、この面積値信号４９を入力し、
基準値と比較して大きさ欠陥信号５０を出力する。
【００１０】また、線画像信号４５は、分岐点抽出回路
９にも入力する。分岐点抽出回路９は、線画像信号４５
における“十”字分岐点および“Ｔ”字分岐点を抽出
し、分岐点信号５１を出力する。このときの分岐点の抽
出方法としては、例えば、３×３のマスクを被検査パタ
ーン上に走査し、中心が“１”パターンでその周囲に３
個または４個の“１”パターンがある場合に分岐点であ
ると判定する。位置判定回路１０は、分岐点信号５１を
入力し、分岐点の発生位置および発生ピッチからスルー
ホールの位置の良否を判定して位置欠陥信号５２を出力
する。
９にも入力する。分岐点抽出回路９は、線画像信号４５
における“十”字分岐点および“Ｔ”字分岐点を抽出
し、分岐点信号５１を出力する。このときの分岐点の抽
出方法としては、例えば、３×３のマスクを被検査パタ
ーン上に走査し、中心が“１”パターンでその周囲に３
個または４個の“１”パターンがある場合に分岐点であ
ると判定する。位置判定回路１０は、分岐点信号５１を
入力し、分岐点の発生位置および発生ピッチからスルー
ホールの位置の良否を判定して位置欠陥信号５２を出力
する。
【００１１】図２は、図１の実施例の細線化回路以降の
動作を説明するための模式図である。
動作を説明するための模式図である。
【００１２】図２に示すように、被検査パターン３０上
にスルーホール３１がある場合、細線化回路５によって
細線パターン３３が作成される。この細線パターン３３
で囲まれた領域には、必ず１個のスルーホール３１が存
在する。このため、各領域内のスルーホール３１を表す
“１”パターンの数を数えることによりスルーホール３
１の大きさが求まり、スルーホールの一部が欠けて大き
さが変化したとき、欠陥スルーホール３５を検出するこ
とができる。
にスルーホール３１がある場合、細線化回路５によって
細線パターン３３が作成される。この細線パターン３３
で囲まれた領域には、必ず１個のスルーホール３１が存
在する。このため、各領域内のスルーホール３１を表す
“１”パターンの数を数えることによりスルーホール３
１の大きさが求まり、スルーホールの一部が欠けて大き
さが変化したとき、欠陥スルーホール３５を検出するこ
とができる。
【００１３】一方、細線パターン３３の分岐点３２は、
各スルーホール３１の間に存在する。ただし、スルーホ
ールが被検査パターン３０上から欠落している場合、位
置欠陥３４に示すように、分岐点の位置およびピッチが
不規則となるため、スルーホールの位置不良を判定する
ことができる。
各スルーホール３１の間に存在する。ただし、スルーホ
ールが被検査パターン３０上から欠落している場合、位
置欠陥３４に示すように、分岐点の位置およびピッチが
不規則となるため、スルーホールの位置不良を判定する
ことができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のスルーホ
ール検査装置は、被検査パターン上からスルーホールの
大きさと位置の欠陥を検出しているため、スルーホール
の位置データを入力する必要がなく、また、検査位置デ
ータと被検査パターンとの位置合せを行わずにスルーホ
ールの有無および形状の検査を行うことができるという
効果がある。
ール検査装置は、被検査パターン上からスルーホールの
大きさと位置の欠陥を検出しているため、スルーホール
の位置データを入力する必要がなく、また、検査位置デ
ータと被検査パターンとの位置合せを行わずにスルーホ
ールの有無および形状の検査を行うことができるという
効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１の実施例の細線化回路以降の動作を説明す
るための模式図である。
るための模式図である。
【図３】従来のスルーホール検査手段を説明するための
模式図である。
模式図である。
１ 光電変換回路 ２ Ａ／Ｄ変換回路 ３ ２値化回路 ４ 画像反転回路 ５ 細線化回路 ６ ぬりつぶし回路 ７ 領域作成回路 ８ ディレイ回路 ９ 分岐点抽出回路 １０ 位置判定回路 １１ カウント回路 １２ 大きさ判定回路 ２０ Ｘ位置信号 ２１ Ｙ位置信号 ２２ 非検査パターン ２３ 入力２値画像 ３０ 被検査パターン ３１ スルーホール ３２ 分岐点 ３３ 細線パターン ３４ 位置欠陥 ３５ 欠陥スルーホール ４１ 映像信号 ４２ デジタル信号 ４３ ２値画像信号 ４４ 反転画像信号 ４５ 線画像信号 ４６ 閉領域信号 ４７ 検査領域信号 ４８ 同期２値画像信号 ４９ 面積値信号 ５０ 大きさ欠陥信号 ５１ 分岐点信号 ５２ 位置欠陥信号
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査パターンを走査して読出す光電変
換回路と、前記光電変換回路からの信号をデジタル信号
に変換するＡ／Ｄ変換回路と、前記デジタル信号を２値
画像信号に変換する２値化回路と、前記２値画像信号を
反転して前記被検査パターンの背景部分を抽出する画像
反転回路と、前記画像反転回路からの反転画像を細線化
して前記被検査パターンの中心線を抽出する細線化回路
と、前記細線化回路からの細線画像信号で囲まれた閉領
域を抽出するぬりつぶし回路と、前記閉領域の各領域に
対して認識番号を付与する領域作成回路と、前記２値画
像信号を一時保持し前記領域作成回路の出力信号と同期
して同期２値画像信号を出力するディレイ回路と、前記
ディレイ回路からの前記同期２値画像信号の“１”パタ
ーンの数を前記領域作成回路において前記認識番号を付
与した各領域毎にカウントするカウント回路と、前記カ
ウント回路のカウント値から前記被検査パターンの大き
さを判定して大きさの欠陥を抽出する大きさ判定回路
と、前記細線画像信号における線の“十”字分岐点およ
び“Ｔ”字分岐点を抽出する分岐点抽出回路と、前記
“十”字分岐点および“Ｔ”字分岐点の位置を検出して
前記被検査パターンの位置不良を判定する位置判定回路
とを備えることを特徴とするスルーホール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3168616A JP2677052B2 (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | スルーホール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3168616A JP2677052B2 (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | スルーホール検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0534292A JPH0534292A (ja) | 1993-02-09 |
| JP2677052B2 true JP2677052B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=15871363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3168616A Expired - Lifetime JP2677052B2 (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | スルーホール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2677052B2 (ja) |
-
1991
- 1991-07-10 JP JP3168616A patent/JP2677052B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0534292A (ja) | 1993-02-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6332666A (ja) | パタ−ン欠陥検出方法 | |
| JP2005121546A (ja) | 欠陥検査方法 | |
| JP2677052B2 (ja) | スルーホール検査装置 | |
| JPH0210461B2 (ja) | ||
| JP2745778B2 (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JP2003203218A (ja) | 外観検査装置および方法 | |
| JP2725469B2 (ja) | 微小欠陥検出装置 | |
| JP2850601B2 (ja) | プリント基板パターン検査装置 | |
| JP2676990B2 (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JP4474006B2 (ja) | 検査装置 | |
| JP2756738B2 (ja) | 半導体装置の外観検査装置 | |
| JPH063541B2 (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH0453253B2 (ja) | ||
| JP3144067B2 (ja) | プリント配線基板の検査装置 | |
| JPH0720061A (ja) | プリント基板パターン検査装置 | |
| JP2529505B2 (ja) | 配線パタ―ン検査装置 | |
| JPH058762B2 (ja) | ||
| JP2536745B2 (ja) | 基板のカツト状態検査方法 | |
| JPH05108799A (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JPS6135303A (ja) | パタ−ン欠陥検査装置 | |
| JPH102725A (ja) | テープキャリアパッケージの外観検査装置 | |
| JP2765339B2 (ja) | スルーホール検査装置 | |
| JPH05126756A (ja) | プリント基板パターン検査装置 | |
| JPH0758269B2 (ja) | プリント基板パターン検査装置 | |
| JPH0564857B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970624 |