JP2765339B2 - スルーホール検査装置 - Google Patents
スルーホール検査装置Info
- Publication number
- JP2765339B2 JP2765339B2 JP2635192A JP2635192A JP2765339B2 JP 2765339 B2 JP2765339 B2 JP 2765339B2 JP 2635192 A JP2635192 A JP 2635192A JP 2635192 A JP2635192 A JP 2635192A JP 2765339 B2 JP2765339 B2 JP 2765339B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- circuit
- thinning
- hole
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スルーホール検査装置
に関し、特に平面パターン上にあけられた穴の位置の検
査に用いるスルーホール検査装置に関する。
に関し、特に平面パターン上にあけられた穴の位置の検
査に用いるスルーホール検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のスルーホール検査装置は、図５に
示すように、入力２値画像２００に対して、検査位置を
示すＸ位置信号２０２，Ｙ位置信号２０３を走査し、そ
れらで定義される領域内の２値画像２００の“１”の数
をカウントし、その値より穴の有無および良否を判定す
るものであった。
示すように、入力２値画像２００に対して、検査位置を
示すＸ位置信号２０２，Ｙ位置信号２０３を走査し、そ
れらで定義される領域内の２値画像２００の“１”の数
をカウントし、その値より穴の有無および良否を判定す
るものであった。
【０００３】また、他の従来のスルーホール検査装置
は、図６（ａ）に示すように、スルーホール１００の２
値画像に対して、大きさの上限を示す検出マスク１０１
および大きさの下限を示す検出マスク１０２を走査さ
せ、これら２つのマスクが同時にスルーホール１００の
２値画像にあてはまる場合その位置をスルーホールとし
て検出するものであった。
は、図６（ａ）に示すように、スルーホール１００の２
値画像に対して、大きさの上限を示す検出マスク１０１
および大きさの下限を示す検出マスク１０２を走査さ
せ、これら２つのマスクが同時にスルーホール１００の
２値画像にあてはまる場合その位置をスルーホールとし
て検出するものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のスルー
ホール検査装置のうち前者のものは、あらかじめ指定し
た検査位置内における穴の面積をカウントしているの
で、検査位置の外に穴があった場合の不良を検出できな
いという欠点があった。
ホール検査装置のうち前者のものは、あらかじめ指定し
た検査位置内における穴の面積をカウントしているの
で、検査位置の外に穴があった場合の不良を検出できな
いという欠点があった。
【０００５】また、後者のスルーホール検査装置は、同
心の大きさの異なる２つのマスク１０１，１０２を被検
査パターンに走査させ、同時にあてはまる位置を検出し
ているため、図６（ｂ）に示すように、スルーホール１
０３の形状が円形に欠損１０４が生じ、検出マスク１０
３，１０４があてはまらない場合、スルーホール１０３
の検出ができないという欠点があった。
心の大きさの異なる２つのマスク１０１，１０２を被検
査パターンに走査させ、同時にあてはまる位置を検出し
ているため、図６（ｂ）に示すように、スルーホール１
０３の形状が円形に欠損１０４が生じ、検出マスク１０
３，１０４があてはまらない場合、スルーホール１０３
の検出ができないという欠点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のスルーホール検
査装置は、被検査パターンを光電変換スキャナーで走査
して読み出した映像信号を２値画像に変換する２値化回
路と、前記２値画像のある大きさ以下の一方の値の領域
を１画素に細線化する第１の細線化回路と、前記第１の
細線化回路で細線化した画像を、基準パターンまたは被
検査パターンとする検査／登録切換回路と、前記基準パ
ターンを反転する第１の画像反転回路と、前記被検査パ
ターンを反転する第２の画像反転回路と、前記第１の画
像反転回路が出力する反転画像の一方の値の領域を所定
の段数だけ縮小する第２の細線化回路と、前記第２の画
像反転回路が出力する反転画像の一方の値を領域を所定
の段数だけ縮小する第３の細線化回路と、前記第２の細
線化回路が出力する反転線画像および前記被検査画像の
一方の値の一致する点を求める第１の画像一致判定回路
と、前記第３の細線化回路が出力する反転線画像および
前記基準パターンの一方の値の一致する点を求める第２
の画像一致判定回路とを含んで構成される。
査装置は、被検査パターンを光電変換スキャナーで走査
して読み出した映像信号を２値画像に変換する２値化回
路と、前記２値画像のある大きさ以下の一方の値の領域
を１画素に細線化する第１の細線化回路と、前記第１の
細線化回路で細線化した画像を、基準パターンまたは被
検査パターンとする検査／登録切換回路と、前記基準パ
ターンを反転する第１の画像反転回路と、前記被検査パ
ターンを反転する第２の画像反転回路と、前記第１の画
像反転回路が出力する反転画像の一方の値の領域を所定
の段数だけ縮小する第２の細線化回路と、前記第２の画
像反転回路が出力する反転画像の一方の値を領域を所定
の段数だけ縮小する第３の細線化回路と、前記第２の細
線化回路が出力する反転線画像および前記被検査画像の
一方の値の一致する点を求める第１の画像一致判定回路
と、前記第３の細線化回路が出力する反転線画像および
前記基準パターンの一方の値の一致する点を求める第２
の画像一致判定回路とを含んで構成される。
【０００７】本発明のスルーホール検査装置は、被検査
パターンを光電変換スキャナで走査して読み出した画像
を２値画像に変換する２値化回路と、前記２値画像を定
められた段数だけ縮小し、線画像に変換する第１の細線
化回路と、前記第１の細線化回路が出力した細線画像内
の一画素の孤立点を検出する第１の孤立点検出回路と、
前記第１の細線化回路が出力した細線画像をさらに縮小
しすべて画像が１画素にまで縮小された細線画像に変換
する第２の細線化回路と、前記第２の細線化回路が出力
する細線画像内の一画素の孤立点を検出する第２の孤立
点検出回路と、前記第１および第２の孤立点検出回路が
検出した孤立点の一致しない点をスルーホールとして判
定する穴検出判定回路とを含んで構成される。
パターンを光電変換スキャナで走査して読み出した画像
を２値画像に変換する２値化回路と、前記２値画像を定
められた段数だけ縮小し、線画像に変換する第１の細線
化回路と、前記第１の細線化回路が出力した細線画像内
の一画素の孤立点を検出する第１の孤立点検出回路と、
前記第１の細線化回路が出力した細線画像をさらに縮小
しすべて画像が１画素にまで縮小された細線画像に変換
する第２の細線化回路と、前記第２の細線化回路が出力
する細線画像内の一画素の孤立点を検出する第２の孤立
点検出回路と、前記第１および第２の孤立点検出回路が
検出した孤立点の一致しない点をスルーホールとして判
定する穴検出判定回路とを含んで構成される。
【０００８】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００９】図１は、本発明の一実施例を示すブロック
図である。
図である。
【００１０】被検査パターンを光電変換スキャナー１で
走査して読み出した映像信号１１を２値化回路で
“０”，“１”の２値画像１２に変換する。２値画像１
２の“１”で表わされる閉領域を縮小し、１画素の大き
さになるように細線化回路３で細線化し、線画像１３を
求める。線画像１３は、検査／登録切換回路４でそのパ
ターンを基準にするか否かでマスク画像１４または、被
検査画像１５に選別される。マスタ画像１４はマスタメ
モリ回路５に記憶される。マスタメモリ回路５から出力
されるマスタメモリ画像１６は、画像反転回路６で
“０”，“１”が反転され、反転画像１７が出力され、
次に細線化回路７で“１”の部分が定められた位置ずれ
の大きさに応じた画素数だけ縮小され、反転線画像１８
が抽出される。反転線画像１８と被検査画像１５で共通
な“１”の画素を画像一致判定回路８で論理関により求
め、欠陥画像２として出力する。また、一方被検査画像
１５に対して、画像反転回路６’及び細線化回路７’で
同様に抽出した反転線画像２０と、マスタメモリ画像１
６で共通な“１”の画素を画像一致判定回路８’で論理
積により求め、欠陥画像２２として出力する。２つの欠
陥画像２１，２２内のいずれかに含まれる“１”の点を
穴欠陥判定回路９でスルーホールの欠陥２３として出力
する。
走査して読み出した映像信号１１を２値化回路で
“０”，“１”の２値画像１２に変換する。２値画像１
２の“１”で表わされる閉領域を縮小し、１画素の大き
さになるように細線化回路３で細線化し、線画像１３を
求める。線画像１３は、検査／登録切換回路４でそのパ
ターンを基準にするか否かでマスク画像１４または、被
検査画像１５に選別される。マスタ画像１４はマスタメ
モリ回路５に記憶される。マスタメモリ回路５から出力
されるマスタメモリ画像１６は、画像反転回路６で
“０”，“１”が反転され、反転画像１７が出力され、
次に細線化回路７で“１”の部分が定められた位置ずれ
の大きさに応じた画素数だけ縮小され、反転線画像１８
が抽出される。反転線画像１８と被検査画像１５で共通
な“１”の画素を画像一致判定回路８で論理関により求
め、欠陥画像２として出力する。また、一方被検査画像
１５に対して、画像反転回路６’及び細線化回路７’で
同様に抽出した反転線画像２０と、マスタメモリ画像１
６で共通な“１”の画素を画像一致判定回路８’で論理
積により求め、欠陥画像２２として出力する。２つの欠
陥画像２１，２２内のいずれかに含まれる“１”の点を
穴欠陥判定回路９でスルーホールの欠陥２３として出力
する。
【００１１】図２は、図１に示す実施例の検査原理を示
す模式図である。細線化されて１画素となった孤立点１
６ａを有するマスタメモリ画像１６と細線化されて１画
素となった孤立点１５ａを有する被検査画像１５のそれ
ぞれの細線画像を比較し、検査を行う場合、マスタメモ
リ画像１６を位置づれの基準で考えると、マスタメモリ
画像１６を“０”，“１”反転し細線化すると、同図に
示すような反転線画像１７が求められる。反転線画像１
７は、穴画像が存在するべき位置の円形の“０”パター
ン１７ａを有しており、“０”パターン１７ａの大きさ
は、位置ずれの許容値に応じた大きさで、細線化回路７
に設定される細線化段数により決定される。反転細線画
像１７と被検査画像１５の共通点論理積を検出すること
により基準位置（マスタメモリ画像１６の孤立点１６ａ
の位置）にない被検査画像１５の穴の欠陥画像２１（孤
立点１５ａに対応）を抽出することができる。
す模式図である。細線化されて１画素となった孤立点１
６ａを有するマスタメモリ画像１６と細線化されて１画
素となった孤立点１５ａを有する被検査画像１５のそれ
ぞれの細線画像を比較し、検査を行う場合、マスタメモ
リ画像１６を位置づれの基準で考えると、マスタメモリ
画像１６を“０”，“１”反転し細線化すると、同図に
示すような反転線画像１７が求められる。反転線画像１
７は、穴画像が存在するべき位置の円形の“０”パター
ン１７ａを有しており、“０”パターン１７ａの大きさ
は、位置ずれの許容値に応じた大きさで、細線化回路７
に設定される細線化段数により決定される。反転細線画
像１７と被検査画像１５の共通点論理積を検出すること
により基準位置（マスタメモリ画像１６の孤立点１６ａ
の位置）にない被検査画像１５の穴の欠陥画像２１（孤
立点１５ａに対応）を抽出することができる。
【００１２】また逆に被検査画像１５を位置ずれの基準
と考え、反転回路６’以下の回路により同様の処理を行
うと、基準位置に存在し、被検査パターンに存在しない
穴の欠陥画像２２（孤立点１６ａに対応）を抽出するこ
とができる。
と考え、反転回路６’以下の回路により同様の処理を行
うと、基準位置に存在し、被検査パターンに存在しない
穴の欠陥画像２２（孤立点１６ａに対応）を抽出するこ
とができる。
【００１３】図３は、本発明の他の実施例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【００１４】図３に示す実施例のスルーホール検査装置
では、被検査パターンを充電変換スキャナ２１で走査し
て読み出した映像信号３１は、２値化回路２２で
“０”，“１”の２値画像３２に変換される。２値画像
３２に対し、細線化回路２３では、定められた段数だけ
画像を縮小し、ある大きさの以下の画像を１画素に変換
し、細線画像３３を出力する。
では、被検査パターンを充電変換スキャナ２１で走査し
て読み出した映像信号３１は、２値化回路２２で
“０”，“１”の２値画像３２に変換される。２値画像
３２に対し、細線化回路２３では、定められた段数だけ
画像を縮小し、ある大きさの以下の画像を１画素に変換
し、細線画像３３を出力する。
【００１５】細線画像３３内の１画素の大きさの点を孤
立点検出回路２４で抽出し、点画像３４を出力する。一
方、細線化回路２５では、細線画像３３をさらに縮小
し、すべての画像を１画素とした細線画像３５を求め
る。細線画像３５内の１画素の大きさの点を孤立点検出
回路２６で抽出し、点画像３６を出力する。点画像３６
と点画像３４を穴検出判定回路３７で比較し、同一位置
に点画像３６で存在し、点画像３４で存在しない１画素
の点を求め、穴位置３７として出力し、スルーホールを
検出する。次に、本実施例のスルーホール検出原理につ
いて詳細に説明する。
立点検出回路２４で抽出し、点画像３４を出力する。一
方、細線化回路２５では、細線画像３３をさらに縮小
し、すべての画像を１画素とした細線画像３５を求め
る。細線画像３５内の１画素の大きさの点を孤立点検出
回路２６で抽出し、点画像３６を出力する。点画像３６
と点画像３４を穴検出判定回路３７で比較し、同一位置
に点画像３６で存在し、点画像３４で存在しない１画素
の点を求め、穴位置３７として出力し、スルーホールを
検出する。次に、本実施例のスルーホール検出原理につ
いて詳細に説明する。
【００１６】図４は、この検出原理について説明するた
めの図である。図４（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ検出した
いスルーホールの大きさより小さい画像の場合、検出し
たいスルーホールの大きさ以上の画像の場合および検出
したいスルーホールの大きさ以上であるが欠損がある画
像の場合である。図４（ａ）〜（ｃ）それぞれにつち
て、３２ａ〜３２ｃは２値化回路２１が出力する２値画
像３２を示し、３３ａ〜３３ｃは細線化回路２３が出力
する細線画像３３を示し、３５ａ，３５ｂ，３５ｃは細
線化回路２５が出力する細線画像３５を示す。
めの図である。図４（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ検出した
いスルーホールの大きさより小さい画像の場合、検出し
たいスルーホールの大きさ以上の画像の場合および検出
したいスルーホールの大きさ以上であるが欠損がある画
像の場合である。図４（ａ）〜（ｃ）それぞれにつち
て、３２ａ〜３２ｃは２値化回路２１が出力する２値画
像３２を示し、３３ａ〜３３ｃは細線化回路２３が出力
する細線画像３３を示し、３５ａ，３５ｂ，３５ｃは細
線化回路２５が出力する細線画像３５を示す。
【００１７】入力された２値画像３２に対して、まず最
初の細線化回路２３によって細線画像３３が検出され
る。この時、図４（ａ）に示すように検出したいスルー
ホールの大きさより小さい画像は、１画素の大きさに細
線化される。次に細線化回路２５によって細線画像３５
が検出される。この時すべての穴画像が１画素の点に細
線化される。
初の細線化回路２３によって細線画像３３が検出され
る。この時、図４（ａ）に示すように検出したいスルー
ホールの大きさより小さい画像は、１画素の大きさに細
線化される。次に細線化回路２５によって細線画像３５
が検出される。この時すべての穴画像が１画素の点に細
線化される。
【００１８】上記の２つの細線画像３３，３５からそれ
ぞれ１画素の孤立点を検出し、図４（ａ）のように細線
画像３３および３５における同じ位置の点が孤立点の場
合、求める穴の大きさが小さく、正しい穴としては検出
せず、図４（ｂ）のように細線画像３５のみが孤立点の
場合、正しい穴として検出する。また、このような原理
により図４（ｃ）のように、穴に欠損があった場合で
も、正しく穴として検出可能である。
ぞれ１画素の孤立点を検出し、図４（ａ）のように細線
画像３３および３５における同じ位置の点が孤立点の場
合、求める穴の大きさが小さく、正しい穴としては検出
せず、図４（ｂ）のように細線画像３５のみが孤立点の
場合、正しい穴として検出する。また、このような原理
により図４（ｃ）のように、穴に欠損があった場合で
も、正しく穴として検出可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、細線化に
よりスルーホールの位置をあらかじめ決定し、基準のパ
ターン及び被検査パターンそれぞれ独立して、検査領域
を定めることにより、または入力画像を検出したい穴の
大きさに応じて、縮小し、その後さらに１画素の大きさ
の点に細線化して穴の位置を検出することにより、穴の
位置によらず、さらに穴の形状欠陥の有無によらずに、
スルーホールを検出できるというという効果を有する。
よりスルーホールの位置をあらかじめ決定し、基準のパ
ターン及び被検査パターンそれぞれ独立して、検査領域
を定めることにより、または入力画像を検出したい穴の
大きさに応じて、縮小し、その後さらに１画素の大きさ
の点に細線化して穴の位置を検出することにより、穴の
位置によらず、さらに穴の形状欠陥の有無によらずに、
スルーホールを検出できるというという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１に示すスルーホール検査装置の検査原理を
説明する模式図である。
説明する模式図である。
【図３】本発明の他の実施例のブロック図である。
【図４】図３に示す実施例の原理を説明するための模式
図である。
図である。
【図５】従来のスルーホール検査装置の原理を説明する
ための模式図である。
ための模式図である。
【図６】従来の他のスルーホール検査装置の原理を説明
するための模式図である。
するための模式図である。
３ 細線化回路 ５ マスタメモリ回路 ６ 画像反転回路 ７ 細線化回路 ８ 画像一致判定回路 １５ 被検査画像 １６ マスタメモリ画像 ２３，２５ 細線化回路 ２４，２６ 孤立点検出回路 ３３ 細線画像 ３５ 細線画像
Claims (2)
- 【請求項１】 被検査パターンを光電変換スキャナーで
走査して読み出した映像信号を２値画像に変換する２値
化回路と、 前記２値画像のある大きさ以下の一方の値の領域を１画
素に細線化する第１の細線化回路と、 前記第１の細線化回路で細線化した画像を基準パターン
または被検査パターンとする検査／登録切換回路と、 前記基準パターンを反転する第１の画像反転回路と、 前記被検査パターンを反転する第２の画像反転回路と、 前記第１の画像反転回路が出力する反転画像の一方の値
の領域を所定の段数だけ縮小する第２の細線化回路と、 前記第２の画像反転回路が出力する反転画像の一方の値
を領域を所定の段数だけ縮小する第３の細線化回路と、 前記第２の細線化回路が出力する反転線画像および前記
被検査画像の一方の値の一致する点を求める第１の画像
一致判定回路と、 前記第３の細線化回路が出力する反転線画像および前記
基準パターンの一方の値の一致する点を求める第２の画
像一致判定回路とを含むことを特徴とするスルーホール
検査装置。 - 【請求項２】 被検査パターンを光電変換スキャナで走
査して読み出した画像を２値画像に変換する２値化回路
と、 前記２値画像を定められた段数だけ縮小し線画像に変換
する第１の細線化回路と、 前記第１の細線化回路が出力した細線画像内の一画素の
孤立点を検出する第１の孤立点検出回路と、 前記第１の細線化回路が出力した細線画像をさらに縮小
しすべて画像が１画素にまで縮小された細線画像に変換
する第２の細線化回路と、 前記第２の細線化回路が出力する細線画像内の一画素の
孤立点を検出する第２の孤立点検出回路と、 前記第１および第２の孤立点検出回路が検出した孤立点
の一致しない点をスルーホールとして判定する穴検出判
定回路とを含むことを特徴とするスルーホール検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2635192A JP2765339B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | スルーホール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2635192A JP2765339B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | スルーホール検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05232039A JPH05232039A (ja) | 1993-09-07 |
| JP2765339B2 true JP2765339B2 (ja) | 1998-06-11 |
Family
ID=12191048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2635192A Expired - Lifetime JP2765339B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | スルーホール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2765339B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4631696B2 (ja) * | 2005-12-20 | 2011-02-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 画像処理装置、および画像処理方法、並びにコンピュータ・プログラム |
-
1992
- 1992-02-13 JP JP2635192A patent/JP2765339B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05232039A (ja) | 1993-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6332666A (ja) | パタ−ン欠陥検出方法 | |
| JPH0160767B2 (ja) | ||
| JP2747105B2 (ja) | 画像データ検証方法及び装置 | |
| JPH10253544A (ja) | 外観検査方法及びその装置 | |
| JPH05281154A (ja) | パターン欠陥検査装置 | |
| JP2765339B2 (ja) | スルーホール検査装置 | |
| JP2001266126A (ja) | 欠陥検出方法及びその装置並びにマスクの製造方法 | |
| JP2635758B2 (ja) | 欠陥判別装置 | |
| JPH0441777B2 (ja) | ||
| JPS61205811A (ja) | 欠陥検出方法 | |
| JPH063541B2 (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH1091788A (ja) | パターン位置合わせ装置およびパターン位置合わせ方法 | |
| JP3198105B2 (ja) | 自動外観検査装置 | |
| JP2676990B2 (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JPH04282442A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPS6135303A (ja) | パタ−ン欠陥検査装置 | |
| JPH0772089A (ja) | パターン欠陥検査装置 | |
| JPH058762B2 (ja) | ||
| JPS6057929A (ja) | パターン欠陥検出装置 | |
| JPH06245074A (ja) | 画像二値化方法及び装置 | |
| JPH0564857B2 (ja) | ||
| JP2677052B2 (ja) | スルーホール検査装置 | |
| JPH06164931A (ja) | 画像信号処理装置 | |
| JPS619765A (ja) | 画像処理装置 | |
| JPH0410565B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980303 |